JP2012044223A5

JP2012044223A5 - ノズル部材、露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法

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Publication number: JP2012044223A5
Application number: JP2011258917A
Authority: JP
Filing date: 2011-11-28
Publication date: 2013-03-14
Anticipated expiration: 2025-04-14

Claims

投影光学系と液体とを介して露光光を基板上に照射することによって、前記基板を露光する露光装置に備えられるノズル部材であって、
前記投影光学系の像面側に配置された前記基板の表面とほぼ平行に液体を供給する第１液体供給口と、
前記第１液体供給口とは別に、前記投影光学系の像面側に配置された前記基板の表面に向かって下向きに液体を供給する第２液体供給口と、
前記投影光学系の像面側に配置された前記基板の表面が対向するように、前記投影光学系の端面を囲むように、かつ前記基板の表面との距離が、前記投影光学系の端面と前記基板の表面との距離よりも小さくなるように配置される下面と、
前記下面の外側に、前記基板の表面が対向するように設けられた液体回収口と、を備えたノズル部材。
前記投影光学系の像面側が液体で満たされた状態で前記第２液体供給口からの液体供給を行う請求項１記載のノズル部材。
前記投影光学系の像面側への液体供給を、前記第１液体供給口からの液体供給で開始する請求項２に記載のノズル部材。
前記投影光学系の像面側が液体で満たされるように前記投影光学系の像面側に液体の供給を開始するときに、前記第１液体供給口からの液体の供給量を前記第２液体供給口からの液体の供給量よりも多くする請求項２に記載のノズル部材。
前記下面は、撥液性の領域を含む請求項１〜４のいずれか一項に記載のノズル部材。
前記領域は、前記投影光学系の端面よりも撥液性である請求項５に記載のノズル部材。
前記領域の液体との接触角は、前記投影光学系の端面の液体との接触角よりも大きい請求項５又は６に記載のノズル部材。
前記領域の液体との接触角は、８０〜１２０度である請求項５〜７のいずれか一項に記載のノズル部材。
前記領域は、撥液性材料を塗布する、あるいは撥液性材料の薄膜を貼付する撥液化処理によって形成される請求項５〜８のいずれか一項に記載のノズル部材。
前記投影光学系の端面は、親液性である請求項１〜９のいずれか一項に記載のノズル部材。
前記投影光学系の端面の前記液体との接触角は、５〜２０度である請求項１〜１０のいずれか一項に記載のノズル部材。
前記液体回収口は、多孔部材を介して液体を回収する請求項１〜１１のいずれか一項に記載のノズル部材。
前記液体回収口は、第１の多孔部材と第２の多孔部材とを介して液体を回収する請求項１〜１２のいずれか一項に記載のノズル部材。
凹部を有し、
前記下面は、前記凹部の周囲に設けられる請求項１〜１３のいずれか一項に記載のノズル部材。
前記凹部は、前記投影光学系の下に配置された前記基板の表面が対向する面を有する請求項１４に記載のノズル部材。
前記凹部の前記面は、前記投影光学系の光軸とほぼ垂直である請求項１５に記載のノズル部材。
前記液体回収口は、前記第１液体供給口及び前記第２液体供給口の少なくとも一方から前記基板の表面に供給された液体を回収する請求項１〜１６のいずれか一項に記載のノズル部材。
前記液体回収口は、前記第１、第２液体供給口を囲むように配置される請求項１〜１７のいずれか一項に記載のノズル部材。
前記液体回収口に接続された環状流路と、
前記環状流路に接続されたマニホールド流路と、を有する請求項１〜１８のいずれか一項に記載のノズル部材。
前記投影光学系の像面側の気体を排出するための吸引口を有する請求項１〜１９のいずれか一項記載のノズル部材。
前記投影光学系の終端部の光学素子を配置可能な穴部を有する請求項１〜２０のいずれか一項に記載のノズル部材。
投影光学系と、
請求項１〜２１のいずれか一項に記載のノズル部材と、を備え、
前記ノズル部材を用いて前記基板上の一部に液浸領域を形成するとともに、前記液浸領域の液体を介して前記投影光学系からの露光光を前記基板に照射する露光装置。
前記ノズル部材は、環状の部材であり、
前記投影光学系の終端部の光学素子を囲むように配置される請求項２２に記載の露光装置。
前記基板を基板ホルダに保持する基板ステージを備え、
前記基板ステージは、前記基板ホルダに保持された前記基板の表面とほぼ面一の上面を有する請求項２２又は２３に記載の露光装置。
前記基板ステージの前記上面は、撥液性の領域を含む請求項２４に記載の露光装置。
前記基板ステージの前記撥液性の領域の前記液体との接触角は、９０〜１３０度である請求項２５に記載の露光装置。
前記基板ステージの前記撥液性の領域は、撥液性材料を塗布する、あるいは撥液性材料の薄膜を貼付する撥液化処理によって形成される請求項２５又は２６に記載の露光装置。
前記基板ステージの前記上面は、前記基板ホルダに保持された前記基板を囲むように設けられた平坦部を含む請求項２４〜２７のいずれか一項に記載の露光装置。
請求項１〜２８のいずれか一項に記載の露光装置を用いるデバイス製造方法。
請求項１〜２８のいずれか一項に記載のノズル部材を用いて、基板上の一部に液浸領域を形成することと、
前記液浸領域の液体を介して投影光学系からの露光光を前記基板に照射することと、を含む露光方法。