JP2012044204A5 - メンテナンス方法、露光装置、及びデバイス製造方法 - Google Patents

Claims (14)

1. 液浸露光装置のメンテナンス方法であって、
   前記液浸露光装置は、露光光が射出される光学部材の近傍に配置され、液体供給口及び液体回収口を有するノズル部材を有し、
   前記ノズル部材を洗浄用液体に浸漬するとともに、前記洗浄用液体に超音波を印加することと、
   前記洗浄用液体に浸漬後、前記液体供給口からの液体供給を行うとともに、前記液体回収口からの液体回収を行って、前記ノズル部材に残留している前記洗浄用液体を除去することと、を含み、
   前記ノズル部材に残留している前記洗浄用液体を除去するために前記液体供給口から純水が供給されるメンテナンス方法。
2. 前記純水を汚染しない物体と前記ノズル部材の下面とを対向させた状態で、前記液体供給口からの液体供給と、前記液体回収口からの液体回収とを行う請求項１記載のメンテナンス方法。
3. 前記物体は、前記基板を保持する基板ホルダを有し、前記光学部材の光射出側で移動可能な基板ステージ、及び前記基板ホルダに保持されたダミー基板の少なくとも一方を含む請求項２に記載のメンテナンス方法。
4. 前記ノズル部材の温度調整を行いながら、前記ノズル部材を前記洗浄用液体に浸漬する請求項１〜３のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
5. 前記ノズル部材を洗浄用液体に浸漬することは、前記ノズル部材を第１の洗浄用液体に浸漬することと、前記第１の洗浄用液体に浸漬後、前記ノズル部材を第２の洗浄用液体に浸漬することと、を含む請求項１〜４のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
6. 前記ノズル部材は、前記液体供給口を有する第１ノズル部材と、前記液体回収口を有する第２ノズル部材と、を含む請求項１〜５のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
7. 液浸露光装置であって、
   露光光が射出される光学部材と、
   前記光学部材の近傍に配置され、液体供給口及び液体回収口を有するノズル部材と、を備え、
   超音波が印加された洗浄用液体に浸漬後の前記ノズル部材の前記液体供給口からの液体供給を行うとともに、前記液体回収口から液体回収を行って、前記ノズル部材に残留している前記洗浄用液体を除去し、
   前記ノズル部材に残留している前記洗浄用液体を除去するために、前記液体供給口から純水を供給する露光装置。
8. 前記純水を汚染しない物体と前記ノズル部材の下面とを対向させた状態で、前記液体供給口からの液体供給を行うとともに、前記液体回収口からの液体回収を行う請求項７に記載の露光装置。
9. 前記基板を保持する基板ホルダを有し、前記光学部材の光射出側で移動可能な基板ステージを備え、
   前記物体は、前記基板ステージ及び前記基板ホルダに保持されたダミー基板の少なくとも一方を含む請求項８に記載の露光装置。
10. 温度調整装置で前記ノズル部材の温度調整を行いながら、前記ノズル部材を前記洗浄用液体に浸漬する請求項７〜９のいずれか一項に記載の露光装置。
11. 前記ノズル部材は、前記液体供給口を有する第１ノズル部材と、前記液体回収口を有する第２ノズル部材と、を含む請求項７〜１０のいずれか一項に記載の露光装置。
12. 前記ノズル部材に残留している前記洗浄用液体の除去において前記液体回収口に接続される液体排出管を備える請求項７〜１１のいずれか一項に記載の露光装置。
13. 前記基板の露光において前記排出管からの液体排出を行わない請求項１２に記載の露光装置。
14. 請求項７〜１３のいずれか一項に記載の露光装置を用いるデバイス製造方法。