JP2011160001A5 - 露光装置、及び液体検出方法 - Google Patents

Claims (38)

1. 投影光学系と液体とを介して基板を露光する露光装置であって、
   前記基板を上面の一部に載置して前記投影光学系下を移動する可動部材と、
   前記投影光学系下に液体を供給するとともに、前記供給される液体によって前記投影光学系下に形成される液浸領域から液体を回収する液浸装置と、
   前記液浸領域から離脱して前記可動部材の上面または前記可動部材の外側に残留する液体を検出する検出器と、を備える露光装置。
2. 前記検出器は、前記載置された前記基板の外側に残留する液体を検出する請求項１に記載の露光装置。
3. 前記可動部材の上面は、前記載置される基板と隙間を隔てた平面を含み、
   前記検出器は、前記隙間の外側に残留する液体を検出する請求項１または２に記載の露光装置。
4. 前記基板は、前記平面と前記基板の表面とが同じ高さとなるように、前記可動部材に載置される請求項３に記載の露光装置。
5. 前記検出器は、前記可動部材の上面よりも下方の液体を検出する請求項１〜４のいずれか一項に記載の露光装置。
6. 前記検出器は、前記可動部材の側面の液体を検出する請求項５に記載の露光装置。
7. 前記可動部材を駆動する駆動機構を有し、
   前記検出器は、前記駆動機構の一部の前記液体を検出する請求項１〜６のいずれか一項に記載の露光装置。
8. 前記駆動機構は、前記可動部材に設けられた可動子と、前記可動子がその一部と対向して配置される固定子を有し、
   前記駆動機構の一部は、前記固定子を含む請求項７に記載の露光装置。
9. 前記駆動機構は、平面モータを含む請求項７または８に記載の露光装置。
10. 前記可動部材がその上方を移動するベース部材を有し、
    前記検出器は、前記ベース部材の前記液体を検出する請求項１〜９のいずれか一項に記載の露光装置。
11. 前記検出器は、前記ベース部材の側面の前記液体を検出する請求項１０に記載の露光装置。
12. 前記可動部材は、前記基板を載置する第１可動部材と、前記第１可動部材の下方に配置される第２可動部材を有し、
    前記検出器は、前記第２可動部材の液体を検出する請求項１〜１１のいずれか一項に記載の露光装置。
13. 前記液浸装置で回収されない前記可動部材の液体を回収する回収装置を有する請求項１〜１２のいずれか一項に記載の露光装置。
14. 前記液浸装置は前記可動部材に対して前記投影光学系側に配置される請求項１３に記載の露光装置。
15. 前記回収装置は前記可動部材に設けられる請求項１３または１４に記載の露光装置。
16. 前記離脱した液体は、前記液浸装置と前記回収装置で回収できない液体である請求項１３〜１５のいずれか一項に記載の露光装置。
17. 前記回収装置は、前記可動部材に載置された基板と前記上面との隙間から流入した液体を回収する請求項１３〜１６のいずれか一項に記載の露光装置。
18. 前記回収装置は、前記上面の液体を回収する請求項１３〜１７のいずれか一項に記載の露光装置。
19. 前記回収装置は、気体とともに前記可動部材の液体を回収する請求項１３〜１８のいずれか一項に記載の露光装置。
20. 前記液浸装置は、前記液浸領域の液体を気体とともに回収する請求項１〜１９のいずれか一項に記載の露光装置。
21. 投影光学系と液体とを介して、可動部材の上面の一部に載置された基板を露光する露光装置に用いられる液体検出方法であって、
    供給口を介して液体を前記投影光学系下に供給し、前記供給される液体によって前記投影光学系下に形成される液浸領域から回収口を介して液体を回収することと、
    記液浸領域から離脱して前記可動部材の上面または前記可動部材の外側に残留する液体を検出することと、を含む液体検出方法。
22. 前記可動部材に載置された前記基板の外側の液体が検出される請求項２１に記載の液体検出方法。
23. 前記可動部材の上面は、前記基板と隙間を隔てて位置する平面を含み、
    前記隙間の外側の液体が検出される請求項２１または２２に記載の液体検出方法。
24. 前記基板は、前記平面と前記基板の表面とが同じ高さとなるように、前記可動部材に載置される請求項２３に記載の液体検出方法。
25. 前記可動部材の上面よりも下方の液体が検出される請求項２１〜２４のいずれか一項に記載の液体検出方法。
26. 前記可動部材の側面の液体が検出される請求項２５に記載の液体検出方法。
27. 前記可動部材を駆動する駆動機構の一部の前記液体が検出される請求項２１〜２６のいずれか一項に記載の液体検出方法。
28. 前記駆動機構は、前記可動部材に設けられた可動子と、前記可動子がその一部と対向して配置される固定子を有し、
    前記駆動機構の一部は、前記固定子を含む請求項２７に記載の液体検出方法。
29. 前記駆動機構は、平面モータを含む請求項２７または２８に記載の液体検出方法。
30. 前記可動部材がその上方を移動するベース部材の前記液体が検出される請求項２１〜２９のいずれか一項に記載の液体検出方法。
31. 前記ベース部材の側面の前記液体が検出される請求項３０に記載の液体検出方法。
32. 前記可動部材は、前記基板を載置する第１可動部材と、前記第１可動部材の下方に配置される第２可動部材を有し、
    前記第２可動部材の液体が検出される請求項２１〜３１のいずれか一項に記載の液体検出方法。
33. 前記供給口および前記回収口を含む液浸装置で回収されない液体が、前記可動部材に設けられた回収装置により回収される請求項２１〜３２のいずれか一項に記載の液体検出方法。
34. 前記離脱した液体は、前記液浸装置と前記回収装置で回収できない液体である請求項３３に記載の液体検出方法。
35. 前記可動部材に載置された基板と前記上面との隙間から流入した液体が前記回収装置により回収される請求項３３または３４に記載の液体検出方法。
36. 前記上面の液体が前記回収装置により回収される請求項３３〜３５のいずれか一項に記載の液体検出方法。
37. 気体とともに前記可動部材の液体が前記回収装置により回収される請求項２１〜３６のいずれか一項に記載の液体検出方法。
38. 前記液浸領域の液体が、前記回収口を介して気体とともに回収される請求項２１〜３７のいずれか一項に記載の液体検出方法。