JP2012129563A5 - 露光装置及び露光方法 - Google Patents

Claims (51)

1. 光学素子と基板との間の液浸液体を介して前記基板を露光する露光装置であって、
   前記光学素子の下の空間を囲むように配置され、前記空間に液浸液体を閉じ込めるコンテインメント部材を備え、
   前記コンテインメント部材は可動であり、
   前記基板は、前記光学素子と前記コンテインメント部材の下で、前記光学素子と前記コンテインメント部材に対して動かされ、前記コンテインメント部材は、前記コンテインメント部材の下から液浸液体を回収する第１インレットを有する露光装置。
2. 前記コンテインメント部材は、前記基板が対向する底面を有し、
   前記第１インレットは、前記底面と前記基板との間から液浸液体を回収する請求項１に記載の露光装置。
3. 前記第１インレットは、前記底面に設けられている請求項２記載の露光装置。
4. 前記コンテインメント部材は、前記底面と前記基板との距離が、前記光学素子と前記基板との距離よりも小さくなるように配置される請求項２または３に記載の露光装置。
5. 前記コンテインメント部材は、前記底面から上方に延びる内面を有し、
   前記内面は、前記空間を囲むように前記空間に面している請求項２〜４のいずれか一項に記載の露光装置。
6. 前記内面は、前記空間内の液浸液体と接触し、
   前記空間に対して前記内面よりも外側に流れた液浸液体が前記コンテインメント部材の下から前記第１インレットを介して回収される請求項５に記載の露光装置。
7. 前記コンテインメント部材は、前記空間を囲むように前記空間を規定する内面を有し、
   前記第１インレットは、前記空間から前記底面の下に流れ出た液浸液体を回収する請求項２〜４のいずれか一項記載の露光装置。
8. 前記コンテインメント部材は、前記空間を囲むように前記空間を規定する内面を有し、
   前記空間に対して前記内面よりも外側に流れた液浸液体が前記コンテインメント部材の下から前記第１インレットを介して回収される請求項１に記載の露光装置。
9. 前記コンテインメント部材は、前記コンテインメント部材と前記基板との距離が、前記光学素子と前記基板との距離よりも小さくなるように配置される請求項８に記載の露光装置。
10. 前記第１インレットは、前記空間の外側で液浸液体を回収する請求項１〜９のいずれか一項記載の露光装置。
11. 前記第１インレットは、前記空間から流れ出た液浸液体を回収する請求項１〜１０のいずれか一項に記載の露光装置。
12. 前記コンテインメント部材を使って前記空間に閉じ込められた、前記光学素子の平坦な底面と前記基板との間の液浸液体を介して、前記基板を露光する請求項１〜１１のいずれか一項に記載の露光装置。
13. 前記第１インレットは、環状の溝形状である請求項１〜１２のいずれか一項記載の露光装置。
14. 前記第１インレットに減圧が提供される請求項１〜１３のいずれか一項記載の露光装置。
15. 前記コンテインメント部材の下に流体ベアリングが形成される請求項１〜１４のいずれか一項に記載の露光装置。
16. 前記コンテインメント部材の下のギャップ内の液体が前記流体ベアリングを形成する請求項１５記載の露光装置。
17. 前記流体ベアリングは、気体ベアリングを含む請求項１５または１６記載の露光装置。
18. 前記コンテインメント部材は、前記コンテインメント部材の下に気体を供給するアウトレットを有する請求項１〜１７のいずれか一項に記載の露光装置。
19. 前記アウトレットは、前記空間に対して、前記第１インレットよりも外側に配置される請求項１８記載の露光装置。
20. 前記コンテインメント部材は、前記空間に対して前記第１インレットおよび前記アウトレットよりも外側に配置され、前記コンテインメント部材の下から流体を回収する第２インレットを有する請求項１９記載の露光装置。
21. 前記コンテインメント部材は、前記空間に対して前記第１インレットよりも外側に配置され、
    前記コンテインメント部材の下から流体を回収する第２インレットを有する請求項１〜１７のいずれか一項記載の露光装置。
22. 前記第２インレットは、前記第１インレットで回収されなかった液浸液体を回収する請求項２０または２１記載の露光装置。
23. 前記基板は、前記光学素子の底面とほぼ平行になるように配置され、
    前記光学素子の底面と前記基板との間の液浸液体を介して、前記基板を露光する請求項１〜２２のいずれか一項記載の露光装置。
24. 前記光学素子に対向するように配置された前記基板の表面の一部が液浸液体で覆われる請求項１〜２３のいずれか一項記載の露光装置。
25. 前記液浸液体は、水を含む請求項１〜２４のいずれか一項に記載の露光装置。
26. 前記基板は、ウエハを含む請求項１〜２５のいずれか一項に記載の露光装置。
27. 基板を露光する露光方法であって、
    光学素子の下の空間を囲むように配置されたコンテインメント部材を使って前記空間に液浸液体を閉じ込めることと、
    前記光学素子と前記コンテインメント部材の下で前記光学素子と前記コンテインメント部材に対して移動される前記基板を、前記光学素子と前記基板との間の液浸液体を介して露光することと、を含み、
    前記コンテインメント部材は可動であり、
    前記コンテインメント部材の第１インレットを介して、前記コンテインメント部材と前記基板との間から液浸液体が回収される露光方法。
28. 前記コンテインメント部材は、前記基板が対向するように配置された底面を有し、
    前記コンテインメント部材の底面と前記基板との間の液浸液体が前記第１インレットを介して回収される請求項２７記載の露光方法。
29. 前記第１インレットは、前記底面に設けられている請求項２８記載の露光方法。
30. 前記底面と前記基板との距離は、前記光学素子と前記基板との距離よりも小さい請求項２８または２９記載の露光方法。
31. 前記コンテインメント部材は、前記底面から上方に延びる内面を有し、
    前記内面は、前記空間を囲むように前記空間に面している請求項２８〜３０のいずれか一項に記載の露光方法。
32. 前記内面は、前記空間内の液浸液体と接触し、
    前記空間に対して前記内面よりも外側に流れた液浸液体が前記コンテインメント部材と前記基板との間から前記第１インレットを介して回収される請求項３１に記載の露光方法。
33. 前記コンテインメント部材は、前記空間を囲むように前記空間を規定する内面を有し、
    前記第１インレットは、前記空間から前記底面の下に流れ出た液浸液体を回収する請求項２８〜３０のいずれか一項記載の露光方法。
34. 前記コンテインメント部材は、前記空間を囲むように前記空間を規定する内面を有し、
    前記空間に対して前記内面よりも外側に流れた液浸液体が前記コンテインメント部材と前記基板との間から前記第１インレットを介して回収される請求項２７に記載の露光方法。
35. 前記コンテインメント部材と前記基板との距離は、前記光学素子と前記基板との距離よりも小さい請求項３４に記載の露光方法。
36. 前記第１インレットは、前記空間の外側で液浸液体を回収する請求項２７〜３５のいずれか一項記載の露光方法。
37. 前記第１インレットは、前記空間から流れ出た液浸液体を回収する請求項２７〜３６のいずれか一項に記載の露光方法。
38. 前記コンテインメント部材を使って前記空間に閉じ込められた、前記光学素子の平坦な底面と前記基板との間の液浸液体を介して、前記基板を露光する請求項２７〜３７のいずれか一項に記載の露光方法。
39. 前記第１インレットに減圧が提供される請求項２７〜３８のいずれか一項記載の露光方法。
40. 前記コンテインメント部材と前記基板との間に流体ベアリングが形成される請求項２７〜３９のいずれか一項に記載の露光方法。
41. 前記コンテインメント部材と前記基板との間の液体が前記流体ベアリングを形成する請求項４０記載の露光方法。
42. 前記流体ベアリングは、気体ベアリングを含む請求項４０または４１記載の露光方法。
43. 前記コンテインメント部材のアウトレットから、前記コンテインメント部材と前記基板との間に気体を供給する請求項２７〜４２のいずれか一項に記載の露光方法。
44. 前記アウトレットは、前記空間に対して、前記第１インレットよりも外側に配置される請求項４３記載の露光方法。
45. 前記コンテインメント部材は、前記空間に対して、前記第１インレットおよび前記アウトレットよりも外側に配置された第２インレットを有し、
    前記第２インレットを介して、前記コンテインメント部材と前記基板との間から流体を回収する請求項４４記載の露光方法。
46. 前記コンテインメント部材は、前記空間に対して前記第１インレットよりも外側に配置された第２インレットを有し、
    前記第２インレットを介して、前記コンテインメント部材と前記基板との間から流体を回収する請求項２７〜４２のいずれか一項記載の露光方法。
47. 前記第２インレットは、前記第１インレットで回収されなかった液浸液体を回収する請求項４５または４６記載の露光方法。
48. 前記基板は、前記光学素子の底面とほぼ平行になるように配置され、
    前記光学素子の底面と前記基板との間の液浸液体を介して、前記基板を露光する請求項２７〜４７のいずれか一項記載の露光方法。
49. 前記光学素子に対向するように配置された前記基板の表面の一部が液浸液体で覆われる請求項２７〜４８のいずれか一項記載の露光方法。
50. 前記液浸液体は、水を含む請求項２７〜４９のいずれか一項に記載の露光方法。
51. 前記基板は、ウエハを含む請求項２７〜５０のいずれか一項に記載の露光方法。