JP2013257409A5 - - Google Patents
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Claims (11)
- 基板を露光する露光装置であって、
前記基板を保持する第1の基板保持部を備え、第1の待機位置と、前記第1の基板保持部に保持された前記基板の露光面が第1の方向を向いた状態で該基板が配置される第1の露光位置との間で、前記第1の基板保持部を移動させる第1の移動部と、
前記基板を保持する第2の基板保持部を備え、前記第1の待機位置とは異なる第2の待機位置と、第2の露光位置であって、前記第2の基板保持部に保持された前記基板の露光面が、前記第1の方向を向いた状態、かつ、前記第1の露光位置に配置された前記基板の前記露光面と、前記第1の方向と直交する第2の方向に並んだ状態で、前記第2の基板保持部に保持された前記基板が配置される第2の露光位置との間で、前記第2の基板保持部を移動させる第2の移動部と、
前記第2の方向に沿って配置されたガイドに沿って、前記第1の露光位置と前記第2の露光位置との間を移動可能な露光ヘッドを備え、前記第1の露光位置に配置された前記基板と、前記第2の露光位置に配置された前記基板とを、前記露光ヘッドの前記第2の方向に沿った移動によって、選択的に露光する露光部と
を備えた露光装置。 - 請求項1に記載の露光装置であって、
前記第1の移動部および前記第2の移動部の各々は、前記第1の基板保持部または前記第2の基板保持部として、前記第1の方向に沿った方向、および、該第1の方向に交差する方向に移動可能に二重化された2つの基板保持部を備えた
露光装置。 - 請求項1または請求項2のいずれか一項に記載の露光装置であって、
さらに、前記第2の方向に沿って移動可能に構成され、前記第1の露光位置および前記第2の露光位置に配置された前記基板の位置および形状の少なくとも一方を検出する検出部を備え、
前記露光部は、前記検出部による検出結果に応じて補正された露光データに基づいて、前記露光を行う
露光装置。 - 請求項3に記載の露光装置であって、
前記ガイドは、前記露光ヘッドの前記第2の方向に沿った移動と、前記検出部の前記第2の方向に沿った移動との両方に兼用のガイドとして設けられた
露光装置。 - 請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載の露光装置であって、
さらに、前記基板を搬送する第1の搬送部と、
前記第1の搬送部と前記第1の待機位置との間で前記基板を搬送する第2の搬送部と、
前記第1の搬送部と前記第2の待機位置との間で前記基板を搬送する第3の搬送部と
を備えた露光装置。 - 請求項1ないし請求項5のいずれか一項に記載の露光装置であって、
さらに、前記露光ヘッドと、前記第1の露光位置および前記第2の露光位置に配置された前記基板の前記露光面との距離を測定する測定部と、
前記露光ヘッドを前記第1の方向に沿って移動させる第3の移動部と
を備え、
前記第3の移動部は、前記測定部の測定結果に応じて、前記露光ヘッドと前記露光面との距離を調節する
露光装置。 - 請求項1ないし請求項6のいずれか一項に記載の露光装置であって、
前記露光ヘッドは、複数の露光ユニットを有する
露光装置。 - 露光装置によって基板を露光する露光方法であって、
前記基板の露光面が第1の方向を向いた状態で該基板が配置される第1の露光位置と、前記基板の露光面が、前記第1の方向を向いた状態、かつ、前記第1の露光位置に配置された前記基板の前記露光面と、前記第1の方向と直交する第2の方向に並んだ状態で、前記基板が配置される第2の露光位置とが設定された露光装置であって、前記第1の露光位置と前記第2の露光位置との間を前記第2の方向に沿って移動可能な露光ヘッドを備え、前記第1の露光位置に配置された前記基板と、前記第2の露光位置に配置された前記基板とを、前記露光ヘッドの前記第2の方向に沿った移動によって、選択的に露光する露光装置を用意する第1の工程と、
前記第1の露光位置に配置された第1の基板に対する露光処理が終了するまでに、第1の基板と異なる第2の基板を前記第2の露光位置に配置する第2の工程と、
前記第2の露光位置に配置された前記第2の基板に対する露光処理が終了するまでに、前記第2の基板とは異なる第3の基板を前記第1の露光位置に配置する第3の工程と
を備えた露光方法。 - 基板を露光する露光装置であって、
前記基板の露光面が第1の方向を向いた状態で該基板が配置される第1の露光位置に前記基板の露光対象領域を移動させる第1の移動部と、
第2の露光位置であって、前記基板の露光面が、前記第1の方向を向いた状態、かつ、前記第1の露光位置に配置された前記基板の前記露光面と、前記第1の方向と直交する第2の方向に並んだ状態で、前記基板が配置される第2の露光位置に前記基板の露光対象領域移動させる第2の移動部と、
前記第2の方向に沿って配置されたガイドに沿って、前記第1の露光位置と前記第2の露光位置との間を移動可能な露光ヘッドを備え、前記第1の露光位置に配置された前記基板の露光対象領域と、前記第2の露光位置に配置された前記基板の露光対象領域とを、前記露光ヘッドの前記第2の方向に沿った移動によって、選択的に露光する露光部と
を備えた露光装置。 - 基板を露光する露光装置であって、
第1の基板を保持する第1の基板保持部を備え、第1の待機位置と、前記第1の基板保持部に保持された前記第1の基板の露光面が第1の方向を向いた状態で該第1の基板が配置される露光位置との間で、前記第1の基板保持部を移動させる第1の移動部と、
第2の基板を保持する第2の基板保持部を備え、前記第1の待機位置とは異なる第2の待機位置と、前記第2の基板保持部に保持された前記第2の基板の露光面が前記第1の方向を向いた状態で該第2の基板が配置される前記露光位置との間で、前記第2の基板保持部を移動させる第2の移動部と、
前記第1の基板および前記第2の基板を露光する露光ヘッドを備える露光部であって、前記第1の基板と前記露光ヘッドとの間での相対移動によって該第1の基板を露光する処理と、前記第2の基板と前記露光ヘッドとの間での相対移動によって該第2の基板を露光する処理と、を選択的に実施する露光部と
を備えた露光装置。 - 露光装置によって基板を露光する露光方法であって、
第1の基板の露光面が第1の方向を向いた状態で該第1の基板が配置される第1の待機位置と、第2の基板の露光面が、前記第1の方向を向いた状態、かつ、前記第1の待機位置に配置された前記第1の基板の前記露光面と、前記第1の方向と直交する第2の方向に並んだ状態で、前記第2の基板が配置される第2の待機位置と、が設定された露光装置であって、前記第1の基板および前記第2の基板を露光する露光ヘッドを備え、前記第1の基板と前記露光ヘッドとの間での相対移動によって該第1の基板を露光する処理と、前記第2の基板と前記露光ヘッドとの間での相対移動によって該第2の基板を露光する処理と、を選択的に実施する露光装置を用意する第1の工程と、
前記第1の基板に対する露光処理が終了するまでに、前記第2の基板を前記第2の待機位置に配置する第2の工程と、
前記第2の基板に対する露光処理が終了するまでに、第3の基板を前記第1の待機位置に配置する第3の工程と
を備えた露光方法。
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