JP2013257409A5 - - Google Patents

Claims (11)

1. 基板を露光する露光装置であって、
   前記基板を保持する第１の基板保持部を備え、第１の待機位置と、前記第１の基板保持部に保持された前記基板の露光面が第１の方向を向いた状態で該基板が配置される第１の露光位置との間で、前記第１の基板保持部を移動させる第１の移動部と、
   前記基板を保持する第２の基板保持部を備え、前記第１の待機位置とは異なる第２の待機位置と、第２の露光位置であって、前記第２の基板保持部に保持された前記基板の露光面が、前記第１の方向を向いた状態、かつ、前記第１の露光位置に配置された前記基板の前記露光面と、前記第１の方向と直交する第２の方向に並んだ状態で、前記第２の基板保持部に保持された前記基板が配置される第２の露光位置との間で、前記第２の基板保持部を移動させる第２の移動部と、
   前記第２の方向に沿って配置されたガイドに沿って、前記第１の露光位置と前記第２の露光位置との間を移動可能な露光ヘッドを備え、前記第１の露光位置に配置された前記基板と、前記第２の露光位置に配置された前記基板とを、前記露光ヘッドの前記第２の方向に沿った移動によって、選択的に露光する露光部と
   を備えた露光装置。
2. 請求項１に記載の露光装置であって、
   前記第１の移動部および前記第２の移動部の各々は、前記第１の基板保持部または前記第２の基板保持部として、前記第１の方向に沿った方向、および、該第１の方向に交差する方向に移動可能に二重化された２つの基板保持部を備えた
   露光装置。
3. 請求項１または請求項２のいずれか一項に記載の露光装置であって、
   さらに、前記第２の方向に沿って移動可能に構成され、前記第１の露光位置および前記第２の露光位置に配置された前記基板の位置および形状の少なくとも一方を検出する検出部を備え、
   前記露光部は、前記検出部による検出結果に応じて補正された露光データに基づいて、前記露光を行う
   露光装置。
4. 請求項３に記載の露光装置であって、
   前記ガイドは、前記露光ヘッドの前記第２の方向に沿った移動と、前記検出部の前記第２の方向に沿った移動との両方に兼用のガイドとして設けられた
   露光装置。
5. 請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の露光装置であって、
   さらに、前記基板を搬送する第１の搬送部と、
   前記第１の搬送部と前記第１の待機位置との間で前記基板を搬送する第２の搬送部と、
   前記第１の搬送部と前記第２の待機位置との間で前記基板を搬送する第３の搬送部と
   を備えた露光装置。
6. 請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の露光装置であって、
   さらに、前記露光ヘッドと、前記第１の露光位置および前記第２の露光位置に配置された前記基板の前記露光面との距離を測定する測定部と、
   前記露光ヘッドを前記第１の方向に沿って移動させる第３の移動部と
   を備え、
   前記第３の移動部は、前記測定部の測定結果に応じて、前記露光ヘッドと前記露光面との距離を調節する
   露光装置。
7. 請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の露光装置であって、
   前記露光ヘッドは、複数の露光ユニットを有する
   露光装置。
8. 露光装置によって基板を露光する露光方法であって、
   前記基板の露光面が第１の方向を向いた状態で該基板が配置される第１の露光位置と、前記基板の露光面が、前記第１の方向を向いた状態、かつ、前記第１の露光位置に配置された前記基板の前記露光面と、前記第１の方向と直交する第２の方向に並んだ状態で、前記基板が配置される第２の露光位置とが設定された露光装置であって、前記第１の露光位置と前記第２の露光位置との間を前記第２の方向に沿って移動可能な露光ヘッドを備え、前記第１の露光位置に配置された前記基板と、前記第２の露光位置に配置された前記基板とを、前記露光ヘッドの前記第２の方向に沿った移動によって、選択的に露光する露光装置を用意する第１の工程と、
   前記第１の露光位置に配置された第１の基板に対する露光処理が終了するまでに、第１の基板と異なる第２の基板を前記第２の露光位置に配置する第２の工程と、
   前記第２の露光位置に配置された前記第２の基板に対する露光処理が終了するまでに、前記第２の基板とは異なる第３の基板を前記第１の露光位置に配置する第３の工程と
   を備えた露光方法。
9. 基板を露光する露光装置であって、
   前記基板の露光面が第１の方向を向いた状態で該基板が配置される第１の露光位置に前記基板の露光対象領域を移動させる第１の移動部と、
   第２の露光位置であって、前記基板の露光面が、前記第１の方向を向いた状態、かつ、前記第１の露光位置に配置された前記基板の前記露光面と、前記第１の方向と直交する第２の方向に並んだ状態で、前記基板が配置される第２の露光位置に前記基板の露光対象領域移動させる第２の移動部と、
   前記第２の方向に沿って配置されたガイドに沿って、前記第１の露光位置と前記第２の露光位置との間を移動可能な露光ヘッドを備え、前記第１の露光位置に配置された前記基板の露光対象領域と、前記第２の露光位置に配置された前記基板の露光対象領域とを、前記露光ヘッドの前記第２の方向に沿った移動によって、選択的に露光する露光部と
   を備えた露光装置。
10. 基板を露光する露光装置であって、
    第１の基板を保持する第１の基板保持部を備え、第１の待機位置と、前記第１の基板保持部に保持された前記第１の基板の露光面が第１の方向を向いた状態で該第１の基板が配置される露光位置との間で、前記第１の基板保持部を移動させる第１の移動部と、
    第２の基板を保持する第２の基板保持部を備え、前記第１の待機位置とは異なる第２の待機位置と、前記第２の基板保持部に保持された前記第２の基板の露光面が前記第１の方向を向いた状態で該第２の基板が配置される前記露光位置との間で、前記第２の基板保持部を移動させる第２の移動部と、
    前記第１の基板および前記第２の基板を露光する露光ヘッドを備える露光部であって、前記第１の基板と前記露光ヘッドとの間での相対移動によって該第１の基板を露光する処理と、前記第２の基板と前記露光ヘッドとの間での相対移動によって該第２の基板を露光する処理と、を選択的に実施する露光部と
    を備えた露光装置。
11. 露光装置によって基板を露光する露光方法であって、
    第１の基板の露光面が第１の方向を向いた状態で該第１の基板が配置される第１の待機位置と、第２の基板の露光面が、前記第１の方向を向いた状態、かつ、前記第１の待機位置に配置された前記第１の基板の前記露光面と、前記第１の方向と直交する第２の方向に並んだ状態で、前記第２の基板が配置される第２の待機位置と、が設定された露光装置であって、前記第１の基板および前記第２の基板を露光する露光ヘッドを備え、前記第１の基板と前記露光ヘッドとの間での相対移動によって該第１の基板を露光する処理と、前記第２の基板と前記露光ヘッドとの間での相対移動によって該第２の基板を露光する処理と、を選択的に実施する露光装置を用意する第１の工程と、
    前記第１の基板に対する露光処理が終了するまでに、前記第２の基板を前記第２の待機位置に配置する第２の工程と、
    前記第２の基板に対する露光処理が終了するまでに、第３の基板を前記第１の待機位置に配置する第３の工程と
    を備えた露光方法。