KR102205976B1 - 노광 장치, 노광 방법 - Google Patents

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켄 미야케
토시히로 타카기
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상에이 기켄 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 노광 기술의 생산성을 향상시키는 것을 과제로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 노광 장치는, (1) 기판을 유지하는 제 1 기판 유지부를 구비하고, 제 1 대기 위치와, 노광면이 제 1 방향을 향한 상태로 기판이 배치되는 제 1 노광 위치와의 사이에서, 제 1 기판 유지부를 이동시키는 제 1 이동부와, (2) 기판을 유지하는 제 2 기판 유지부를 구비하며, 제 2 대기 위치와, 노광면이, 제 1 방향을 향한 상태이며, 또한 제 1 노광 위치의 기판의 노광면과, 제 1 방향과 직교하는 제 2 방향으로 나란한 상태로, 제 2 기판 유지부에 유지된 기판이 배치되는 제 2 노광 위치와의 사이에서, 제 2 기판 유지부를 이동시키는 제 2 이동부와, (3) 제 2 방향을 따라 배치된 가이드를 따라서 제 1 노광 위치와 제 2 노광 위치의 사이를 이동할 수 있는 노광 헤드를 구비하고, 제 1 노광 위치에 배치된 기판과, 제 2 노광 위치에 배치된 기판을 선택적으로 노광하는 노광부를 구비한다.

Description

노광 장치, 노광 방법{EXPOSURE APPARATUS, EXPOSURE METHOD}
본 발명은 노광 장치를 이용한 기판의 노광 기술에 관한 것이다.
표면에 감광층을 갖는 기판의 노광면에 대해, 전기 회로 등의 2차원 패턴을 나타내는 노광 데이터에 근거하여 노광을 수행함으로써, 해당 2차원 패턴을 기판상에 형성하는 노광 장치가 알려져 있다. 이러한 노광 장치에서는, 1개의 기판을 소정의 노광 위치에 배치하여 노광한 후, 노광된 기판을 노광 위치로부터 이동시키는 동시에, 다른 기판을 노광 위치에 배치하여 노광하는 반복 프로세스에 의해, 복수의 기판을 노광 처리한다.
이러한 프로세스에 있어서는, 노광된 기판의 노광 위치로부터의 이동과, 다른 기판의 노광 위치로의 배치에 소요되는 시간 동안에는 노광을 수행할 수 없기 때문에 생산성이 낮다. 이 때문에, 생산성을 향상시키기 위한 기술이 제안된 바 있다. 예컨대, 하기 특허문헌 1에는, 기판을 적재하여 동일한 1차원 궤도상을 왕복 이동할 수 있는 2개의 이동 스테이지와, 해당 궤도상의 중앙에 고정적으로 설치된 노광부를 구비한 노광 장치가 개시되어 있다. 이러한 노광 장치는, 한쪽의 이동 스테이지와 노광부를 상대 이동시켜, 1개의 기판에 대하여 노광 처리를 수행하고 있는 동안에, 다른 쪽의 이동 스테이지에 있어서, 노광이 완료된 기판과 새로운 기판을 바꿔 실을 수 있도록 한다. 이로써, 노광 처리를 수행하고 있는 이외의 시간이 단축되어 생산성이 향상된다.
일본 특허 공개 공보 제2008-191302호
그러나, 특허문헌 1의 기술에서는 여전히, 노광 처리를 위한 시간 외에, 이동 스테이지의 이동 등에 많은 시간이 필요하게 된다. 또, 기판의 양면을 일련의 흐름으로 노광할 수 없다. 이 때문에, 생산성을 한층 더 향상시킬 수 있는 노광 기술이 요구된다. 또한, 노광 장치의 일반적인 과제로서 장치의 저비용화와 소형화가 요구된다.
본 발명은, 상술한 과제 중 적어도 일부를 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 예컨대, 이하의 형태로서 실현될 수 있다.
본 발명의 제 1 형태는, 기판을 노광하는 노광 장치로서 제공된다. 상기 노광 장치는, 기판을 유지하는 제 1 기판 유지부를 구비한 제 1 이동부를 구비한다. 상기 제 1 이동부는, 제 1 대기 위치와, 제 1 기판 유지부에 유지된 기판의 노광면이 제 1 방향을 향한 상태로 기판이 배치되는 제 1 노광 위치와의 사이에서, 제 1 기판 유지부를 이동시킨다. 또, 노광 장치는, 기판을 유지하는 제 2 기판 유지부를 구비한 제 2 이동부를 구비한다. 상기 제 2 이동부는, 제 1 대기 위치와는 다른 제 2 대기 위치와, 제 2 노광 위치로서, 제 2 기판 유지부에 유지된 기판의 노광면이, 제 1 방향을 향한 상태이며, 또한, 제 1 노광 위치에 배치된 기판의 노광면과, 제 1 방향과 직교하는 제 2 방향으로 나란한 상태로, 제 2 기판 유지부에 유지된 기판이 배치되는 제 2 노광 위치와의 사이에서, 제 2 기판 유지부를 이동시킨다. 또한 노광 장치는, 제 2 방향을 따라 배치된 가이드를 따라서, 제 1 노광 위치와 제 2 노광 위치의 사이를 이동할 수 있는 노광 헤드를 구비한 노광부를 구비한다. 상기 노광부는, 제 1 노광 위치에 배치된 기판과, 제 2 노광 위치에 배치된 기판을, 노광 헤드의 제 2 방향을 따른 이동에 의해 선택적으로 노광한다.
이러한 형태의 노광 장치에 따르면, 2개의 노광 위치에서 교대로 노광을 수행할 수 있다. 따라서, 한쪽의 노광 위치에서 노광을 수행하고 있는 시간을, 다른 쪽의 노광 위치에서 이미 노광된 기판을 배출하는 동시에, 새로운 기판을 다른 쪽의 노광 위치에 배치하기 위한 시간으로 할당할 수 있다. 이 때문에, 기판의 생산성을 향상시킬 수가 있다. 또, 한쪽의 노광 위치에서 노광된 기판을, 다른 쪽의 노광 위치에 배치함으로써, 1개의 노광부만 사용하여 기판의 양면을 노광할 수 있다. 따라서, 2개의 노광 장치를 사용하여 기판의 양면을 노광하는 경우에 비해 장치의 저비용화 및 소형화에 이바지한다.
본 발명의 제 2 형태로서, 제 1 이동부는, 제 1 기판 유지부로서, 제 1 방향, 및 제 1 방향과 교차하는 방향으로 이동가능하도록 이중화된 2개의 기판 유지부를 구비하고 있어도 무방하다. 마찬가지로, 제 2 이동부는, 제 2 기판 유지부로서, 제 1 방향을 따른 방향, 및 제 1 방향과 교차하는 방향으로 이동 가능하도록 이중화된 2개의 기판 유지부를 구비하고 있어도 무방하다.
이러한 형태의 노광 장치에 따르면, 1개의 노광 위치에 대하여, 노광이 완료된 기판의 노광 위치로부터의 배출과, 새로운 기판의 노광 위치로의 배치를 동시에 수행할 수 있다. 따라서, 노광 이외의 동작에 소요되는 시간을 매우 짧게 할 수 있다. 이러한 양태는, 예컨대, 2개의 기판 유지부 중 한쪽을, 제 1 노광 위치 또는 제 2 노광 위치로부터 제 1 대기 위치 또는 제 2 대기 위치로 이동시킬 때, 다른 쪽을 제 1 대기 위치 또는 제 2 대기 위치로부터 제 1 노광 위치 또는 제 2 노광 위치로 이동시키는 구성으로 하여 실현되어도 무방하다. 혹은, 다른 쪽은, 다른 노광 위치에서의 노광 시간을 이용하여, 제 1 대기 위치 또는 제 2 대기 위치로부터 소정의 위치까지 미리 이동하고 있어도 무방하다.
본 발명의 제 3 형태로서, 제 2 형태의 노광 장치는, 가이드가 설치된 베이스 부재를 구비하고 있어도 무방하다. 또, 해당 노광 장치는, 베이스 부재에 부착된 기준 플레이트로서, 기판을, 제 1 노광 위치 및 제 2 노광 위치로서의, 기준 플레이트 내부의 위치에 삽입할 수 있는 프레임 형상을 갖는 기준 플레이트를 구비하고 있어도 무방하다. 이러한 노광 장치에 있어서, 제 1 기판 유지부 및 제 2 기판 유지부는, 기판이 변위 가능한 상태로 기판을 유지하여도 무방하다. 기준 플레이트의 소정 부위와, 제 1 기판 유지부 및 제 2 기판 유지부의 소정 부위가, 제 1 기판 유지부 및 제 2 기판 유지부에 유지된 각각의 기판의 외주에서 접촉한 상태로, 기판은 제 1 노광 위치 및 제 2 노광 위치에 배치되어도 무방하다.
이러한 형태의 노광 장치에 따르면, 제 1 이동부 및 제 2 이동부의 각각이, 양호한 정밀도로 제 1 기판 유지부 및 제 2 기판 유지부를 이동시키는 기구가 아니어도, 제 1 노광 위치 및 제 2 노광 위치에 있어서, 노광 헤드에 대하여, 기판을 유지하는 제 1 기판 유지부 및 제 2 기판 유지부를 양호한 정밀도로 소정의 위치에 배치할 수 있다. 그 결과, 비용을 저감시킬 수 있다. 또한, 이동이 가능하도록 구성된 제 1 기판 유지부 및 제 2 기판 유지부를 경량화할 수 있으므로, 기판의 반송 속도를 증대시킬 수 있게 되어 생산성이 향상된다. 더욱이, 제 1 이동부 및 제 2 이동부의 고도의 이동 정밀도를 확보하기 위한, 강고한 기초 구조가 불필요하게 되어, 노광 장치를 소형화할 수 있는 동시에 비용을 저감시킬 수가 있다.
본 발명의 제 4 형태로서, 제 1 형태의 노광 장치가 구비하는, 제 1 이동부 및 제 2 이동부의 각각은, 제 1 기판 유지부 및 제 2 기판 유지부가 제 1 방향을 따라 이동할 수 있도록 구성되어도 무방하다. 이 경우, 제 4 형태로서의 노광 장치는, 상술한 제 3 형태를 구비하고 있어도 무방하다. 이러한 노광 장치는, 제 3 형태와 같은 효과를 거둔다.
본 발명의 제 5 형태로서, 제 3 또는 제 4 형태의 노광 장치가 구비하는 기준 플레이트에는, 서로 끼움 결합되는 한 쌍의 위치 결정 구성 중 한쪽이 형성되어 있어도 무방하다. 제 1 기판 유지부 및 제 2 기판 유지부 중의, 제 1 기판 유지부 및 제 2 기판 유지부에 각각 유지된 기판보다 외측의 위치에는, 위치 결정 구성 중 다른 쪽이 형성되어 있어도 무방하다. 제 1 기판 유지부 및 제 2 기판 유지부에 유지된 기판은, 한 쌍의 위치 결정 구성이 끼움 결합된 상태에서, 제 1 노광 위치 및 제 2 노광 위치에 배치되어도 무방하다.
이러한 형태의 노광 장치에 따르면, 제 1 이동부 및 제 2 이동부의 각각이, 양호한 정밀도로 제 1 기판 유지부 및 제 2 기판 유지부를 이동시키는 기구가 아니어도, 제 1 방향과 직교하는 면에 있어서의 기판의 위치가 정확하게 위치 결정된다. 따라서, 제 3 형태 및 제 4 형태와 같은 효과를 거둔다.
본 발명의 제 6 형태로서, 제 1 내지 제 5 중 어느 하나의 형태의 노광 장치는, 제 2 방향을 따라 이동할 수 있도록 구성되며, 제 1 노광 위치 및 제 2 노광 위치에 배치된 기판의 위치 및 형상 중 적어도 한쪽을 검출하는 검출부를 구비하고 있어도 무방하다. 또, 노광부는, 검출부에 의한 검출 결과에 따라 보정된 노광 데이터에 근거하여 노광을 수행하여도 무방하다.
이러한 형태의 노광 장치에 따르면, 기판에 부착된 위치 맞춤 마크를 읽어내고, 그 정보를 기초로 하여, 기판의 위치나 형상을 정확하게 인식하며, 기판의 위치나 형상에 따라 보정된 노광 데이터에 근거하여 적합한 노광을 수행할 수 있다. 제 1 노광 위치 및 제 2 노광 위치 중 한쪽에 배치된 기판의 노광중에, 다른 쪽 기판에 대하여, 그 위치나 형상을 검출하는 양태로 하면, 생산성이 저하되는 일도 없다.
본 발명의 제 7 형태로서, 제 6 형태의 노광 장치가 구비하는 가이드는, 노광 헤드의 제 2 방향을 따른 이동과, 검출부의 제 2 방향을 따른 이동의 양자에 대한 겸용의 가이드로서 설치되어도 무방하다. 이러한 형태의 노광 장치에 따르면, 노광 장치를 소형화할 수 있다.
본 발명의 제 8의 형태로서, 제 1 내지 제 7 중 어느 하나의 형태의 노광 장치는, 기판을 반송(搬送)하는 제 1 반송부와, 제 1 반송부와 제 1 대기 위치의 사이에서 기판을 반송하는 제 2 반송부와, 제 1 반송부와 제 2 대기 위치의 사이에서 기판을 반송하는 제 3 반송부를 구비하고 있어도 무방하다. 이러한 형태의 노광 장치에 따르면, 기판을 일련의 흐름으로 효율적으로 연속 처리할 수 있어 생산성이 향상된다.
본 발명의 제 9의 형태로서, 제 1 내지 제 8 중 어느 하나의 형태의 노광 장치는, 노광 헤드와, 제 1 노광 위치 및 제 2 노광 위치에 배치된 기판의 노광면과의 거리를 측정하는 측정부를 구비하고 있어도 무방하다. 또, 상기 노광 장치는, 노광 헤드를 제 1 방향을 따라 이동시키는 제 3 이동부를 구비하고 있어도 무방하다. 제 3 이동부는, 측정부의 측정 결과에 따라, 노광 헤드와 노광면간의 거리를 조절하여도 무방하다. 이러한 형태의 노광 장치에 따르면, 평활하지 않은 기판의 노광면에 대해서도, 항상 안정적으로 초점을 맺을 수가 있다.
본 발명의 제 10의 형태로서, 제 1 내지 제 9 중 어느 하나의 형태의 노광 장치가 구비하는 노광 헤드는, 복수의 노광 유닛을 가지고 있어도 무방하다. 이러한 형태의 노광 장치에 따르면, 복수의 노광 유닛으로 나눔으로써, 각 노광 유닛의 주사 폭이 작아진다. 즉, 노광 유닛에 사용하는 렌즈의 직경을 작게 할 수 있으므로, 저비용화가 가능하다.
본 발명의 제 11의 형태는, 노광 장치에 의해 기판을 노광하는 노광 방법으로서 제공된다. 이러한 노광 방법은, 노광 장치를 준비하는 제 1 공정을 구비한다. 준비되는 노광 장치에는, 기판의 노광면이 제 1 방향을 향한 상태로 기판이 배치되는 제 1 노광 위치와, 기판의 노광면이, 제 1 방향을 향한 상태이며, 또한, 제 1 노광 위치에 배치된 기판의 노광면과, 제 1 방향과 직교하는 제 2 방향으로 나란한 상태에서, 기판이 배치되는 제 2 노광 위치가 설정되어 있다. 또, 해당 노광 장치는, 제 1 노광 위치와 제 2 노광 위치의 사이를 제 2 방향을 따라 이동할 수 있는 노광 헤드를 구비하며, 제 1 노광 위치에 배치된 기판과, 제 2 노광 위치에 배치된 기판을, 노광 헤드의 제 2 방향을 따른 이동에 의해 선택적으로 노광한다. 또, 노광 방법은, 제 1 노광 위치에 배치된 제 1 기판에 대한 노광 처리가 종료될 때까지, 제 1 기판과 다른 제 2 기판을 제 2 노광 위치에 배치하는 제 2 공정과, 제 2 노광 위치에 배치된 제 2 기판에 대한 노광 처리가 종료될 때까지, 제 2 기판과는 다른 제 3 기판을 제 1 노광 위치에 배치하는 제 3 공정을 구비한다. 이러한 노광 방법에 따르면, 제 1 형태의 노광 장치와 같은 효과를 거둔다.
이러한 제 11의 형태에 있어서, 제 1 공정에서 준비하는 노광 장치는, 제 1 노광 위치 및 제 2 노광 위치에 배치된 기판의 위치 및 형상 중 적어도 한쪽을 검출하는 검출부를 더욱 구비하고 있어도 무방하다. 또, 노광 장치는, 검출부에 의한 검출 결과에 근거하여, 노광 데이터를 보정하여 노광을 수행하여도 무방하다. 이 경우, 제 2 공정에서는, 제 1 노광 위치에 배치된 제 1 기판에 대한 노광 처리가 종료될 때까지, 제 2 기판을 제 2 노광 위치에 배치하는 동시에, 제 2 노광 위치에 배치된 제 2 기판에 대하여, 검출부에 의한 검출을 수행하여도 무방하다. 또한, 해당 제 2 기판의 검출에 추가하여, 해당 검출 결과에 근거하는 노광 데이터의 보정까지 수행하여도 무방하다. 마찬가지로, 제 3 공정에서는, 제 2 노광 위치에 배치된 제 2 기판에 대한 노광 처리가 종료될 때까지, 제 3 기판을 제 1 노광 위치에 배치하는 동시에, 제 1 노광 위치에 배치된 제 3 기판에 대하여, 검출부에 의한 검출을 수행하여도 무방하다. 또한 해당 제 3 기판의 검출에 추가하여, 해당 검출 결과에 근거하는 노광 데이터의 보정까지 수행하여도 무방하다.
상술한 형태는, 일례에 지나지 않으며, 상술한 여러 형태의 각 요소는, 본원에 기재된 과제 중 적어도 일부를 해결할 수 있는 범위, 혹은 본원에 기재된 효과 중 적어도 일부를 발휘하는 범위에서 적절히 조합 또는 생략이 가능한 것이다. 예컨대, 본 발명은, 이하에 나타내는 제 12 내지 제 14의 형태로서도 제공될 수 있다. 제 2 내지 제 10 중 어느 하나의 형태는, 제 12 내지 제 14의 형태에도 적용될 수 있다.
본 발명의 제 12의 형태는 노광 장치로서 제공된다. 상기 노광 장치는, 기판을 유지하는 제 1 기판 유지부를 구비하고, 대기 위치와, 기판의 노광면이 제 1 방향을 향한 상태로 기판이 배치되는 노광 위치와의 사이에서 제 1 기판 유지부를 이동시키는 제 1 이동부와, 기판을 유지하는 제 2 기판 유지부를 구비하며, 대기 위치와 노광 위치의 사이에서 제 2 기판 유지부를 이동시키는 제 2 이동부와, 노광 헤드를 구비하며 제 1 방향과 직교하는 제 2 방향을 따라 노광 헤드를 이동시키면서, 노광 위치에 배치된 기판의 노광면을 노광하는 노광부를 구비한다.
이러한 형태의 노광 장치에 따르면, 노광이 완료된 기판의 노광 위치로부터의 배출과, 새로운 기판의 노광 위치에 대한 배치를 동시에 수행할 수 있다. 따라서, 노광 이외의 동작에 소요되는 시간을 짧게 할 수 있어 생산성이 향상된다.
본 발명의 제 13의 형태는 노광 장치로서 제공된다. 상기 노광 장치는, 기판을 유지하는 기판 유지부를 구비하고, 기판 유지부에 유지된 기판의 노광면이 제 1 방향을 향한 상태에서 기판이 노광 위치에 배치될 때까지 기판 유지부를 이동시키는 이동부와, 노광 헤드를 구비하며, 제 1 방향과 직교하는 제 2 방향으로 노광 헤드를 이동시키면서, 노광 위치에 배치된 기판의 노광면을 노광하는 노광부와, 노광 헤드를 제 2 방향을 따라 이동시키기 위해 제 2 방향을 따라서 배치된 가이드가 설치된 베이스 부재와, 베이스 부재에 부착된 기준 플레이트로서, 기판을, 노광 위치로서의, 기준 플레이트의 내부의 위치에 삽입할 수 있는 프레임 형상을 가진 기준 플레이트를 구비한다. 이러한 노광 장치에 있어서 이동부는, 기판 유지부가 제 1 방향을 따라 이동할 수 있도록 구성된다. 기판 유지부는, 기판이 변위 가능한 상태로 기판을 유지한다. 기준 플레이트의 소정 부위와 기판 유지부의 소정 부위가, 기판 유지부에 유지된 기판의 외주에서 접촉한 상태로 기판은 노광 위치에 배치된다.
이러한 형태의 노광 장치에 따르면, 이동부가, 양호한 정밀도로 기판 유지부를 이동시키는 기구가 아니어도, 노광 위치에 있어서, 노광 헤드에 대하여, 기판을 유지하는 기판 유지부를 양호한 정밀도로 소정의 위치에 배치할 수 있다. 그 결과, 비용을 저감할 수 있다. 또, 이동이 가능하도록 구성된 기판 유지부를 경량화할 수 있으므로, 기판의 반송 속도를 증대시킬 수 있게 되어 생산성이 향상된다. 또한, 이동부의 고도의 이동 정밀도를 확보하기 위한, 강고한 기초 구조가 불필요하게 되어, 노광 장치를 소형화할 수 있는 동시에 비용을 저감할 수가 있다.
본 발명의 제 14의 형태는 노광 장치로서 제공된다. 상기 노광 장치는, 기판을 유지하는 기판 유지부를 구비하고, 기판 유지부에 유지된 기판의 노광면이 제 1 방향을 향한 상태에서 기판이 노광 위치에 배치될 때까지, 기판 유지부를 이동시키는 이동부와, 노광 헤드를 구비하며, 제 1 방향과 직교하는 제 2 방향으로 노광 헤드를 이동시키면서, 노광 위치에 배치된 기판의 노광면을 노광하는 노광부와, 노광 헤드를 제 2 방향을 따라 이동시키기 위하여 제 2 방향을 따라서 배치된 가이드가 설치된 베이스 부재와, 베이스 부재에 부착된 기준 플레이트로서, 기판을, 노광 위치로서의, 기준 플레이트의 내부의 위치에 삽입할 수 있는 프레임 형상을 가진 기준 플레이트를 구비한다. 이러한 노광 장치에 있어서 이동부는, 기판 유지부가 제 1 방향을 따라 이동할 수 있도록 구성된다. 기판 유지부는, 기판이 변위 가능한 상태로 기판을 유지한다. 기준 플레이트에는, 서로 끼움 결합되는 한 쌍의 위치 결정 구성 중 한쪽이 형성된다. 기판 유지부 중, 기판 유지부에 유지된 기판보다 외측의 위치에는, 위치 결정 구성의 다른 쪽이 형성된다. 기준 플레이트 및 기판 유지부에 형성된 한 쌍의 위치 결정 구성이 끼움 결합된 상태에서 기판은 노광 위치에 배치된다.
이러한 형태의 노광 장치에 따르면, 이동부가, 양호한 정밀도로 기판 유지부를 이동시키는 기구가 아니어도, 제 1 방향과 직교하는 면에 있어서의 기판의 위치가 정확하게 위치 결정된다. 따라서, 제 13의 형태와 같은 효과를 거둔다.
도 1은 본 발명의 실시예로서의 노광 장치(20)의 전체 구성을 나타내는 설명도이다.
도 2는 노광 장치(20) 중 노광부(110)의 주변의 구성을 나타내는 설명도이다.
도 3은 제 1 이동부(50a)의 구성을 나타내는 설명도이다.
도 4는 기판을 제 1 노광 위치(P21)에 배치하는 동작을 나타내는 설명도이다.
도 5는 노광 장치(20)의 동작의 흐름을 나타내는 설명도이다.
도 6은 노광 장치(20)의 동작의 흐름을 나타내는 설명도이다.
도 7은 노광 장치(20)의 동작의 흐름을 나타내는 타이밍 차트 도면이다.
도 8은 제 2 실시예로서의 노광 장치(220)의 구성을 나타내는 설명도이다.
도 9는 노광 장치(220)를 수평 방향에서 본 설명도이다.
A. 제 1 실시예：
도 1은 본 발명의 실시예로서의 노광 장치(20)의 전체 구성을 나타낸다. 노광 장치(20)는, 표면에 감광층을 갖는 기판의 노광면에 대해, 전기 회로 등의 2차원 패턴을 나타내는 노광 데이터에 근거하여 노광을 수행함으로써, 해당 패턴을 기판상에 형성한다. 본 실시예에서 노광 장치(20)는, 기판의 양면에 대하여 패턴을 형성한다. 도 1에 나타내는 바와 같이 노광 장치(20)는, 제 1 반송부(30), 제 2 반송부(40a), 제 3 반송부(40b), 제 1 이동부(50a), 제 2 이동부(50b), 베이스 부재(80), 기준 플레이트(90a,90b), 검출부(100a,100b), 노광부(110)를 구비하고 있다.
본원에서는, 기판의 표면을 노광하기 위한 전용의 구성에는 부호의 말미에 「a」가 부여되어 있다. 또, 기판의 이면을 노광하기 위한 전용의 구성에는 부호의 말미에 「b」가 부여되어 있다. 한편, 표면의 노광 및 이면의 노광에 공통되는 구성에 대해서는 「a」 및 「b」를 부여하지 않았다. 즉, 도 1에서, 제 2 반송부(40a), 제 1 이동부(50a), 기준 플레이트(90a) 및 검출부(100a)는 표면 노광용의 구성이다. 제 3 반송부(40b), 제 2 이동부(50b), 기준 플레이트(90b) 및 검출부(100b)는 이면 노광용의 구성이다. 또, 제 1 반송부(30), 베이스 부재(80) 및 노광부(110)는 공통의 구성이다. 이하에서는, 표면을 노광하기 위한 전용의 구성을 표면 처리 계열이라고도 부르며, 기판의 이면을 노광하기 위한 전용의 구성을 이면 처리 계열이라고도 부른다.
제 1 반송부(30)는, 기판을 노광 처리의 흐름에 따라 일정한 방향으로 반송한다. 본 실시예에서는 제 1 반송부(30)는, 이동 스테이지(31~34)와 가이드 레일(36)을 구비하고 있다. 이동 스테이지(31~34)는, 기판이 재치(載置)된 상태로 가이드 레일(36) 위를 이동할 수 있게 구성된다. 이동 스테이지(31~34)의, 기판의 재치면에는 미세한 관통 구멍이 형성되어 있다. 상기 관통 구멍을 통해, 재치면의 반대측을 향해 흡인이 이루어짐에 따라, 재치된 기판은 재치면 위에 고정적으로 유지된다.
제 1 반송부(30)의 반송 경로의 도중에는, 제 2 반송부(40a)와 제 3 반송부(40b)가 설치되어 있다. 이동 스테이지(31)는 미처리 기판(S1)을 제 2 반송부(40a)의 설치 위치까지 반송한다. 제 2 반송부(40a)의 설치 위치에서는, 기판(S1)이 이동 스테이지(31)로부터 제 2 반송부(40a)로 옮겨져 실리는 동시에, 표면만 노광된 기판(S4)이 제 2 반송부(40a)로부터 이동 스테이지(32)로 옮겨져 실린다.
이동 스테이지(32)에 재치된 기판은, 제 2 반송부(40a)의 설치 위치와 제 3 반송부(40b)의 설치 위치의 사이에서 이동 스테이지(33)에 옮겨져 실린다. 이때, 기판은 표리가 반전된다. 구체적으로는 이동 스테이지(32, 33)의 재치면은, 서로 마주하는 방향쪽을 축으로 하여, 반대쪽이 상방으로 회전할 수 있도록 구성되어 있다. 이동 스테이지(32, 33)의 재치면이 90°회전하여, 기판(S4)을 사이에 끼우고 서로 마주하여 접촉한 상태에 있어서, 이동 스테이지(33)에서 흡인이 이루어지고, 또한 이동 스테이지(32)에서 흡인이 해제됨에 따라, 기판(S4)은 이동 스테이지(32)로부터 이동 스테이지(33)로 옮겨져 실린다. 이러한 이동 스테이지(32) 및 이동 스테이지(33)는, 기판의 표리를 반전시키는 반전 장치(35)로서 기능한다.
이동 스테이지(33)는, 반전된 기판(S4)을, 제 3 반송부(40b)의 설치 위치까지 반송한다. 제 3 반송부(40b)의 설치 위치에서는, 기판(S4)이, 이동 스테이지(33)로부터 제 3 반송부(40b)로 옮겨져 실리는 동시에, 표면에 이어 이면이 노광된 기판(S6)이, 제 3 반송부(40b)로부터 이동 스테이지(34)로 옮겨져 실린다. 또한 도 1에서는, 이동 스테이지(33)로부터 제 3 반송부(40b)로 기판(S4)을 옮겨 싣기 위한 공간 분(分)만큼, 이동 스테이지(34)가 하류측으로 퇴피한 상태를 나타내고 있다.
제 2 반송부(40a) 및 제 3 반송부(40b)는 동일한 구성을 갖고 있다. 이 때문에 이하에서는 제 2 반송부(40a)에 대해서만 설명하도록 한다. 제 2 반송부(40a)는 흡착 기구(41a)와 가이드 레일(42a)을 구비하고 있다. 흡착 기구(41a)는, 가이드 레일(42a)을 따라서 제 1 이동부(50a)의 설치 위치까지 이동할 수 있게 구성된다. 또, 흡착 기구(41a)는, 가이드 레일(42a)이 연장되는 방향과 직교하며, 수평 방향에 평행한 방향을 회전축으로 하여 회전할 수 있게 구성된다. 또, 흡착 기구(41a)는, 해당 회전축이 상방으로 회동할 수 있게 구성된다.
이러한 제 2 반송부(40a)는, 제 1 반송부(30)측으로 가장 많이 이동한 상태에서, 흡착 기구(41a)의 바로 아래에 정지한 이동 스테이지(31)상의 기판(S1)을 흡착한다. 다음으로, 제 2 반송부(40a)는, 흡착 기구(41a)를 제 1 이동부(50a)의 방향으로 이동하면서, 회전축을 상방으로 회동시키며, 기판(S1)이 제 1 이동부(50a)의 방향을 향하도록 흡착 기구(41a)를 회전시킨다. 그리고, 제 2 반송부(40a)는, 흡착 기구(41a)가 제 1 이동부(50a)에 가장 가까워진 상태에서, 연직 방향으로 세워진 기판(S1)을 제 1 이동부(50a)에 전달한다. 도 1에서는, 제 3 반송부(40b)가, 기판(S5)을 제 2 이동부(50b)에 전달하고 있는 상태를 나타내고 있다.
이러한 제 2 반송부(40a)는, 상술한 동작과 반대의 동작을 수행함으로써, 표면이 노광된 기판(S1)을, 제 1 이동부(50a)로부터 받아 이동 스테이지(32)로 옮겨 싣는다.
제 1 이동부(50a) 및 제 2 이동부(50b)는 동일한 구성을 가지고 있다. 이 때문에, 이하에서는 주로 제 1 이동부(50a)에 대해서만 설명한다. 제 1 이동부(50a)는, 제 1 이동부 제 1 계열(60a)과 제 1 이동부 제 2 계열(70a)을 구비하고 있다. 제 1 이동부 제 1 계열(60a) 및 제 1 이동부 제 2 계열(70a)은, 이중화된 구성이며, 동일한 기능을 가지고 있다.
제 1 이동부 제 1 계열(60a)은 제 1 기판 유지부(68a)를 구비하고 있다. 제 1 기판 유지부(68a)는, 기판을 직접적으로 유지하는 유지 부재(62a)와, 유지 부재(62a)를 유지하며, 연직 방향의 양단측이, 유지 부재(62a)보다 크게 형성된 베이스 부재(61a)를 구비하고 있다. 베이스 부재(61a) 및 유지 부재(62a)는 평판 형상을 가지고 있다. 베이스 부재(61a) 중의 유지 부재(62a)보다 외측의 부위에는, 2개의 오목부(63a)가 형성되어 있다. 이러한 제 1 이동부 제 1 계열(60a)이, 제 2 반송부(40a)와의 사이에서 기판을 주고 받는 위치를 제 1 대기 위치(P11)라고도 부른다. 제 1 이동부 제 1 계열(60a)과 제 1 이동부 제 2 계열(70a)은 모두 동일한 제 1 대기 위치(P11)에서 기판을 주고받는다. 마찬가지로, 제 2 이동부(50b)는 제 2 대기 위치(P12)에서 기판을 주고받는다.
제 1 이동부 제 1 계열(60a)은, 제 1 대기 위치(P11)와 제 1 노광 위치(P21)의 사이에서 제 1 기판 유지부(68a)를 이동시킨다. 제 1 노광 위치(P21)는, 기판의 표면이 노광되는 위치이며, 그 상세는 후술하도록 한다. 본 실시예에서는 제 1 기판 유지부(68a)의 이동 방향은, 제 1 방향(D1)을 따른 방향(제 1 방향(D1), 또는 제 1 방향(D1)과 반대의 방향) 및 제 2 방향(D2)이다. 제 1 방향(D1)은, 제 1 노광 위치(P21)에 배치된 기판의 노광면이 향하는 방향이다. 본 실시예에서는 기판은, 그 노광면이 수평 방향(중력 방향과 직교하는 방향)을 향하도록 제 1 노광 위치(P21)에 배치된다. 제 2 방향(D2)은 제 1 방향(D1)과 직교하는 방향이다. 제 2 방향(D2)은 본 실시예에서는, 수평 방향에 평행한 방향이다. 제 1 이동부 제 2 계열(70a)에 대해서도, 제 1 이동부 제 1 계열(60a)과 같은 동작이 가능하다.
마찬가지로, 제 2 이동부(50b)는, 제 2 이동부 제 1 계열(60b)(도 1에서는 도시생략) 및 제 2 이동부 제 2 계열(70b)을 구비하고 있다. 제 2 이동부 제 1 계열(60b)은, 제 2 대기 위치(P12)와 제 2 노광 위치(P22)의 사이에서 제 2 기판 유지부(68b)를 이동시킨다. 제 2 노광 위치(P22)는, 기판의 이면이 노광되는 위치이며, 그 상세는 후술하도록 한다. 마찬가지로, 제 2 이동부 제 2 계열(70b)은, 제 2 대기 위치(P12)와 제 2 노광 위치(P22)의 사이에서, 제 2 기판 유지부(68b)를 이동시킨다. 이러한 제 2 이동부(50b)는, 제 1 이동부(50a)와 좌우 대칭의 동작이 가능하다.
베이스 부재(80)는, 대략 직사각형으로 형성된 기초부(81)와, 기초부(81) 중의 제 1 방향(D1)측에 형성된 가이드부(82)와, 제 1 방향(D1)과 반대측에 형성된 벽부(83)를 구비하고 있다. 가이드부(82)는, 제 2 방향(D2)을 따라 연장 형성되어 있다. 가이드부(82)의 상부에는, 그 양측이 제 1 방향(D1)을 따른 방향으로 돌출된 볼록부가 형성되어 있다. 상기 볼록부는, 후술하는 검출부(100a,100b) 및 노광부(110)가 제 2 방향(D2)으로 이동하기 위한 가이드로서 기능한다. 벽부(83)는, 대략 직사각형의 프레임 형상으로 형성되어 있다. 벽부(83)의 내부에는, 제 1 방향(D1)으로 관통하는, 대략 직사각형의 관통 구멍이 형성되어 있다.
도 2는, 도 1에 나타낸 노광 장치(20) 중, 노광부(110) 주변의 확대도이다. 기준 플레이트(90a,90b), 검출부(100a,100b) 및 노광부(110)에 대해서는, 도 2를 이용하여 이하에 설명한다. 2개의 기준 플레이트(90a,90b)는 대략 직사각형의 프레임 형상으로 형성되어 있다. 기준 플레이트(90a,90b)의 내부에는, 제 1 방향(D1)으로 관통하는, 대략 직사각형상의 관통 구멍(91a, 91b)이 형성되어 있다. 기준 플레이트(90a,90b)는 그 높이가 벽부(83)의 관통 구멍의 높이와 대략 같게 형성되어 있다. 이러한 기준 플레이트(90a,90b)는, 벽부(83)의 관통 구멍에 끼워 넣어진 상태로 벽부(83)에 강고하게 고정되어 있다.
상기 기준 플레이트(90a,90b)는, 제 1 방향(D1)과 직교하는 면 위에, 제 2 방향(D2)으로 나란히 배치되어 있다. 본 실시예에서는, 기준 플레이트(90a,90b)는 약간 이격되어 배치되어 있다. 기준 플레이트(90a)와 기준 플레이트(90b)간의 이격 거리는, 관통 구멍(91a)과 관통 구멍(91b)간의, 관통 구멍이 형성되어 있지 않은 영역의 폭이, 후술하는 노광부(110)의 폭 이상이 되는 조건을 만족하도록 설정된다. 본 실시예에서 상기 이격 거리는, 이러한 조건을 만족하는 최소치로 설정되어 있다. 이러한 조건을 만족한다면, 기준 플레이트(90a,90b)는 이격되지 않고 서로 접하여 배치되어 있어도 무방하다. 이 경우, 기준 플레이트는 2개의 관통 구멍이 형성된 1개의 플레이트로서 구성되어도 무방하다.
기준 플레이트(90a) 중의, 제 1 방향(D1)과 직교하는 면의 하부에는, 2개의 에어 실린더(92a)가 설치되어 있다. 기준 플레이트(90b)에 대해서도, 마찬가지로 2개의 에어 실린더(92b)가 설치되어 있다. 에어 실린더(92a, 92b)의 역할은 후술하도록 한다.
검출부(100a) 및 검출부(100b)는 동일한 구성을 가지고 있다. 이 때문에, 이하에서는 검출부(100a)에 대해서만 설명한다. 검출부(100a)는, 제 1 노광 위치(P21)에 있어서의 기판의, 제 1 방향(D1)과 직교하는 면 위에서의 위치 및 형상을 검출한다. 상기 검출부(100a)는, 카메라(101a), 지지 부재(102a), 벽부(103a) 및 이동체(104a)를 구비하고 있다. 카메라(101a)는, 기판 상의 소정 위치에 부착된 위치 맞춤 마크나 패턴을 광학적으로 읽어냄으로써, 읽어낸 마크 등의 좌표 위치에 근거하여, 제 1 노광 위치(P21)에 배치된 기판의 형상 및 배치 위치를 검출한다(이러한 동작을 이하에서는 '기판 계측'이라고도 함). 지지 부재(102a)는 카메라(101a)를 지지한다. 벽부(103a)는, 연직 방향으로 연장 형성되어, 지지 부재(102a)를 연직 방향으로 이동할 수 있도록 지지한다. 이동체(104a)는 그 상면으로 벽부(103a)를 지지하며, 가이드부(82)를 따라 제 2 방향(D2)으로 이동한다. 즉, 본 실시예의 검출부(100a)는, 카메라(101a)를 연직 방향 및 수평 방향으로 이동시킬 수 있도록 구성된다. 또한 검출부(100a)는, 기판의 위치와 형상 중 적어도 한쪽을 검출하는 것이어도 무방하다. 또, 본 실시예에서 카메라(101a)는 1대이지만, 검출부(100a)는 2대 이상의 카메라를 구비하고 있어도 무방하다. 또한 노광 장치(20)는, 1개의 노광 위치에 대하여 2 이상의 검출부를 구비하고 있어도 무방하다. 이렇게 하면, 동시에 복수의 마크 등을 읽어내고, 다수의 마크에 근거하여 검출할 수 있으므로, 생산성을 손상시키지 않으면서 형상 인식 정밀도를 향상시킬 수가 있다.
노광부(110)는, 노광 헤드(111), 지지부(112) 및 이동체(113)를 구비하고 있다. 노광 헤드(111)는, 레이저 광원과, 광 빔을 편향 주사하는 다각형 미러를 갖는 복수의 노광 유닛을 구비하고 있다. 지지부(112)는, 연직 방향으로 연장 형성되어, 제 1 노광 위치(P21)에 배치된 기판의 노광면의 높이 전체에 걸쳐 배열된 복수의 노광 유닛, 즉, 노광 헤드(111)를 지지한다. 이동체(113)는, 그 상면으로 지지부(112)를 지지하며, 가이드부(82)를 따라 제 2 방향(D2)으로 이동한다. 즉, 노광부(110)는, 제 2 방향(D2)을 따라 이동 가능함에 따라, 제 1 노광 위치(P21)에 배치된 기판과, 제 2 노광 위치(P22)에 배치된 기판을 선택적으로 노광할 수 있게 구성된다. 또한 노광 처리에 있어서는, 노광 헤드와 기판간의 거리를 일정하게 유지하는 것이 중요하며, 노광부(110)는, 제 1 방향(D1)으로 흔들리는 일 없이 양호한 정밀도로 이동하는 것이 바람직하다. 이 때문에, 노광부(110)는, 강고한 구조체로서의 베이스 부재(80)의 일부인 가이드부(82)를 따라 이동하는 구성으로 되어 있다.
이러한 노광부(110)의 동작은, 노광 데이터를 취급하는 화상 처리 유닛(도시 생략)에 의해 제어된다. 상기 화상 처리 유닛은, 검출부(100a,100b)의 검출 결과에 따라 노광 데이터를 보정하며, 보정 데이터에 근거하여 노광부(110)를 제어한다. 그리고, 노광부(110)는, 기준 플레이트(90a,90b)에 의해 규정되는, 제 2 방향(D2)에 있어서의 제 1 노광 위치(P21)와 제 2 노광 위치(P22) 사이의 위치(이하, '홈 포지션(HP)'이라고도 함)로부터, 검출부(100a,100b) 중 어느 하나의 방향으로 이동하면서, 보정 데이터에 근거하는 기판 상의 필요 부위에 광 빔을 조사한다.
이상의 설명으로부터 명백한 바와 같이, 본 실시예에서는, 검출부(100a,100b) 및 노광부(110)를 이동시키기 위한 가이드(가이드부(82))가 공통화되어 있다. 이 때문에, 노광 장치(20)를 소형화할 수 있다. 이러한 구동원으로서는, 예컨대, 이동 정밀도가 높은 리니어 모터를 이용할 수 있다.
도 3은 제 1 이동부(50a)의 구성을 나타낸다. 도 3에서는, 노광 장치(20)를, 제 2 이동부(50b)로부터 제 1 이동부(50a)를 향하는 방향으로 본 상태를 나타내고 있다. 베이스 부재(80) 및 기준 플레이트(90a)는, 단면으로서 나타내어져 있다. 또, 제 1 반송부(30), 제 3 반송부(40b), 제 2 이동부(50b), 검출부(100a,100b)는 도시가 생략되어 있다. 제 1 이동부(50a)는, 상술한 제 1 이동부 제 1 계열(60a) 및 제 1 이동부 제 2 계열(70a)을 구비하고 있다. 제 1 이동부 제 1 계열(60a)과 제 1 이동부 제 2 계열(70a)은 동일한 구성을 가지고 있으며, 상하 대칭으로 배치되어 있다. 이 때문에, 이하에서는 제 1 이동부 제 1 계열(60a)에 대해서만 설명하도록 한다.
제 1 이동부 제 1 계열(60a)은, 상술한 제 1 기판 유지부(68a)(베이스 부재(61a) 및 유지 부재(62a)) 외에, 지지 부재(64a), 스프링(65a), 전후 이동 기구(66a), 좌우 이동 기구(67a)를 구비하고 있다. 지지 부재(64a)는, 탄성 부재(여기에서는 스프링)를 통해 제 1 기판 유지부(68a)를 지지한다. 구체적으로는 지지 부재(64a)는, 제 1 기판 유지부(68a)측의 면의 상측 및 하측에 설치된 스프링(65a)을 통해, 제 1 기판 유지부(68a)를 주로 수평 방향(중력 방향과 직교하는 방향)으로 지지한다. 스프링(65a)의 양단은, 연직 방향에 있어서의 동일한 위치에서, 제 1 기판 유지부(68a)(베이스 부재(61a))와 지지 부재(64a)에 고정되어 있다. 또, 도시는 생략되었지만, 지지 부재(64a)는 행잉 스프링을 통해 제 1 기판 유지부(68a)를 연직 방향으로 지지한다. 행잉 스프링의 일단은 지지 부재(64a)에 고정되고, 타단은 일단보다 하방측에서 베이스 부재(61a)에 고정되어 있다. 이러한 구성에 의해, 제 1 기판 유지부(68a)는, 변위 가능한 상태로, 즉, 위치에 소정 정도의 자유도를 갖는 플로팅 상태로, 지지 부재(64a)에 의해 지지된다. 제 1 기판 유지부(68a)의 변위는, 스프링의 변위에 기인하며 그 변위량은 적다. 제 1 기판 유지부(68a)에 유지되는 기판도, 당연히 플로팅 상태로 유지되게 된다.
전후 이동 기구(66a)는, 제 1 기판 유지부(68a)를 지지하는 지지 부재(64a)를, 제 1 방향(D1)을 따른 방향으로 전후 이동시킨다. 본 실시예에서는 전후 이동 기구(66a)는, 구동 기구로서 볼 나사와 모터를 구비한다. 제 1 기판 유지부(68a) 및 지지 부재(64a)의 가동 범위는, 제 1 기판 유지부(68a)가 유지하는 기판을 제 1 노광 위치(P21)에 배치할 수 있게 되는 위치를 포함한다. 또, 상기 가동 범위는, 제 1 기판 유지부(68a) 및 지지 부재(64a)가, 제 1 이동부 제 2 계열(70a)의 제 1 기판 유지부(78a) 및 지지 부재(74a)와 간섭하는 일 없이 제 2 방향(D2)으로 교차할 수 있게 되도록 설정된다. 본 실시예에서는 지지 부재(64a)는 대략 L자 형상으로 형성되어 있다. 이 때문에, 양자가 간섭하기 어려워져, 가동 범위를 작게 설정할 수 있다. 즉, 노광 장치(20)를 소형화할 수가 있다. 좌우 이동 기구(67a)는, 제 2 방향(D2)으로 연장되어 형성된 가이드를 따라, 제 1 기판 유지부(68a)를 지지하는 지지 부재(64a) 및 전후 이동 기구(66a)를 제 2 방향(D2)으로 좌우 이동시킨다. 본 실시예에서는 좌우 이동 기구(67a)는, 구동 기구로서 벨트, 풀리 및 모터를 구비한다.
기준 플레이트(90a)에 있어서, 에어 실린더(92a)의 설치 위치의 뒤쪽에는, 상기 뒤쪽의 면으로부터 위치 결정 핀(93a)이 돌출되어 있다. 상기 위치결정 핀(93a)은, 베이스 부재(61a)에 구성된 오목부(63a)와 함께 위치 결정 구성으로서 기능한다.
본 실시예에 있어서 위치 결정 핀(93a)은, 에어 실린더(92a)에 의해, 제 1 방향(D1)을 따른 방향으로 왕복 이동할 수 있게 구성되어 있다. 이 때문에, 위치 결정 핀(93a)은, 기준 플레이트(90a)의 이면보다 앞쪽에 수용되는 위치까지 이동할 수 있다. 위치 결정 핀(93a)을 기준 플레이트(90a) 내에 수용한 상태에서, 지지 부재(64a)와 지지 부재(74a)가 제 2 방향(D2)으로 교차하는 동작을 수행하면, 제 1 기판 유지부(68a)가 위치 결정 핀(93a)과 간섭하기 어려워지므로, 전후 이동 기구(66a)의 가동 범위를 작게 할 수가 있다.
도 4는 기판(S3)을 제 1 노광 위치(P21)에 배치하는 동작을 나타낸다. 도 4에서는 제 1 이동부 제 2 계열(70a)이, 기판(S3)을 제 1 노광 위치(P21)로 이동시키는 것으로 하여 설명한다. 도 4의 (A)는 제 1 기판 유지부(78a)가 제 2 방향(D2)을 따라, 제 1 대기 위치(P11)로부터 기준 플레이트(90a)의 배면까지 이동한 상태를 나타낸다. 이때, 기판(S3)의 위치는, 기준 플레이트(90a)의 관통 구멍(91a)의, 제 1 방향(D1)과 반대 방향으로의 투사 범위 내에 위치하고 있다. 또한 이 시점에서는, 기판(S3)의 위치에 대하여 고도의 정밀도는 요구되지 않는다.
도 4의 (B)는 제 1 기판 유지부(78a)가, 도 4의 (A)에 나타낸 위치로부터, 제 1 노광 위치(P21)에 기판이 배치되는 위치까지 이동한 상태를 나타낸다. 도시하는 바와 같이, 제 1 기판 유지부(78a)는, 유지 부재(72a)의 기판을 유지하고 있는 면측의 평탄면과, 기준 플레이트(90a)가, 유지 부재(72a)에 유지된 기판(S3)의 외주에서 접촉할 때까지, 제 1 방향(D1)으로 이동하고 있다. 본 실시예에서는 유지 부재(72a)와 기준 플레이트(90a)는, 기판(S3)의 외주를 모두 둘러싸도록 접촉한다.
단, 접촉의 양태는, 본 실시예의 양태로 한정되지 않으며, 기준 플레이트(90a)의 소정 부위와 제 1 기판 유지부(78a)가, 기판(S3)의 외주에서 접촉하는 것이면 된다. 예컨대, 기준 플레이트(90a)에, 유지 부재(72a)측을 향해 동일한 돌출 높이로 돌출되는 복수(예컨대, 3개)의 돌출부가 형성되며, 상기 돌출부가, 유지 부재(72a)의 기판을 유지하고 있는 면측의 평탄면과 기판(S3)의 외주에서 접촉하여도 무방하다. 이러한 돌출부는, 기준 플레이트(90a) 대신에, 유지 부재(72a)에 형성되어 있어도 무방하다. 혹은, 기준 플레이트(90a)와 유지 부재(72a)의 양자에 돌출부가 형성되어 이들이 서로 접촉하여도 무방하다. 이와 같이, 기준 플레이트(90a)와 제 1 기판 유지부(78a)는, 기판(S3)의 외주를 따라, 이격된 복수 부위에서 접촉되어 있어도 무방하다. 이러한 경우, 접촉 부위는 기판(S3)의 외주를 따라 분산 배치되어 있는 것이 바람직하다.
이러한 접촉 상태에 있어서, 기판(S3)은, 기준 플레이트(90a)의 관통 구멍(91a)의 내부에 위치하고 있다. 기판(S3)이 배치된 이 위치가 제 1 노광 위치(P21)이다. 제 1 노광 위치(P21)에서는, 기준 플레이트(90a)와 제 1 기판 유지부(78a)(보다 구체적으로는, 유지 부재(72a))가 접촉되어 있기 때문에, 제 1 노광 위치(P21)에 있어서, 노광 헤드(111)에 대해, 기판(S3)을 유지하는 제 1 기판 유지부(78a)가 D1 방향으로 양호한 정밀도로 소정의 위치에 배치된다.
또, 제 1 기판 유지부(78a)가 제 1 방향(D1)으로 이동할 때에는, 위치 결정 핀(93a)이 제 1 방향(D1)과 반대 방향으로 연장되며, 오목부(73a)와 끼움 결합된다. 이 때문에, 제 1 방향(D1)과 직교하는 면방향에 있어서의 기판(S3)의 위치가 정확하게 위치 결정된다. 본 실시예에서는 오목부(73a)의 외측 가장자리는 모따기 형상을 가지고 있다. 이 때문에, 위치 결정 핀(93a)을 오목부(73a)의 내부로 유도하기 쉽게 되어 있다.
이러한 구성에 따르면, 제 1 이동부(50a)가, 양호한 정밀도로 제 1 이동부 제 1 계열(60a) 및 제 1 이동부 제 2 계열(70a)을 이동시키는 기구가 아니어도, 노광 헤드(111)에 대하여, 제 1 노광 위치(P21)에서 기판을 유지하는 제 1 기판 유지부(68a, 78a)(보다 구체적으로는, 유지 부재(62a, 72a))를 D1과 직교하는 면방향으로 양호한 정밀도로 소정의 위치에 배치할 수 있다. 그 결과, 비용을 저감할 수 있다. 또, 지지 부재(64a, 74a) 및 제 1 기판 유지부(68a, 78a)를 경량화할 수 있으므로, 기판의 반송 속도를 증대시킬 수 있게 되어 생산성이 향상된다. 또한, 제 1 이동부(50a)의 고도의 이동 정밀도를 확보하기 위한, 강고한 기초 구조가 불필요하게 되어, 노광 장치(20)를 소형화할 수 있는 동시에 비용을 저감할 수가 있다.
도 5 및 도 6은 노광 장치(20)의 동작의 흐름을 나타낸다. 도 5의 (A)는 초기 상태의 노광 장치(20)의 상태를 나타낸다. 도 5 및 도 6에 있어서, 제 2 방향(D2) 중의, 노광부(110)로부터 검출부(100a)로 향하는 방향을 제 3 방향(D3)이라고도 하며, 검출부(100a)로부터 검출부(100b)로 향하는 방향을 제 4 방향(D4)이라고도 한다.
노광 장치(20)에 있어서의 동작이 개시되면, 우선, 도 5의 (B)에 나타내는 바와 같이, 기준 플레이트(90a)에 대하여, 노광부(110)와 반대측에 퇴피되어 있던 검출부(100a)는, 제 4 방향(D4)으로 이동한다. 이 동작은, 기판의 소정 부위에 부착된 위치 맞춤 마크의 위치까지 검출부(100a)를 사전에 이동시켜 두는 동작이다. 본 실시예에서는 위치 맞춤 마크는, 기판의 네 모서리 부근에 부착되어 있다. 다음으로, 도 5의 (C)에 나타내는 바와 같이, 제 2 반송부(40a) 및 제 1 이동부(50a)를 통해, 기준 플레이트(90a)의 내부(제 1 노광 위치(P21))에 기판(S1)이 배치된다. 기판(S1)이 배치되면, 검출부(100a)는 도 5의 (C)에 나타내는 위치, 즉, 기판의 네 모서리 부근의 위치 마크 중 2개가 부착된 제 2 방향(D2)의 위치에서, 위치 맞춤 마크를 검출한다. 본 실시예에서 검출부(100a)는, 카메라(101a)를 연직 방향으로 이동시킴으로써, 2개의 위치 맞춤 마크를 검출한다. 상술한 바와 같이 검출부(100a)가, 기판의 위치 맞춤 마크의 위치까지 사전에 이동함에 따라, 기판(S1)의 배치 후, 낭비없이 신속하게 위치 맞춤 마크를 검출할 수가 있다.
다음으로, 도 5의 (D)에 나타내는 바와 같이 검출부(100a)는 제 3 방향(D3)으로 이동하여, 기판(S1)에 부착된, 나머지 2개의 위치 맞춤 마크를 검출한다. 그 검출 결과에 근거하여, 노광 데이터는 보정되어 보정 데이터가 생성된다. 다음으로, 도 5의 (E)에 나타내는 바와 같이, 노광부(110)가, 홈 포지션(HP)으로부터 제 3 방향(D3)을 향해 주사하며, 보정 데이터에 근거하여 기판(S1)의 노광면을 노광한다. 노광시에는 검출부(100a)는, 도 5의 (A)에 나타낸 초기 위치까지 퇴피한다. 노광이 종료되면, 노광부(110)는 홈 포지션(HP)까지 돌아온다. 또, 노광된 기판(S1)은, 제 1 대기 위치(P11)로 이동된다. 이러한 이동 동작은, 기판(S1)의 노광 시간 중에 제 1 대기 위치(P11)에 배치된 기판(S2)을 제 1 노광 위치(P21)로 이동시키는 동작과 동시에 수행된다. 즉, 기판(S1)과 기판(S2)은 제 2 방향(D2)으로 교차하도록 이동된다.
이러한 도 5의 (A)~도 5의 (E)의 동작은, 제 1 노광 위치(P21)에서 표면이 노광된 기판(S1)이, 제 2 반송부(40a), 제 1 반송부(30) 및 제 3 반송부(40b)를 통해 제 2 대기 위치(P12)에 배치될 때까지 반복된다. 본 실시예에서는, 제 1 노광 위치(P21)에 있어서의 2회의 노광 동작 동안에, 기판(S1)은 제 2 대기 위치(P12)에 배치된다.
도 6의 (F)는, 제 1 노광 위치(P21)에 있어서, 기판(S1, S2)의 노광이 종료되고, 이어서, 기판(S3)이 제 1 노광 위치(P21)에 배치된 상태를 나타낸다. 노광부(110)는 홈 포지션(HP)으로 돌아와 있다. 이때, 제 2 대기 위치(P12)에는, 최초로 노광된 기판(S1)이 제 2 대기 위치(P12)에 배치되어 있다. 이 때문에, 기준 플레이트(90b)에 대하여, 노광부(110)와 반대측에 위치하고 있던 검출부(100b)는, 제 3 방향(D3)으로 이동하여, 홈 포지션(HP)의 부근에서 대기하고 있다. 이 대기 위치는, 상술한 바와 같이, 제 2 노광 위치(P22)에 배치된 기판의 2개의 위치 맞춤 마크를 검출할 수 있는 위치이다.
다음으로, 도 6의 (G)에 나타내는 바와 같이, 노광부(110)가, 홈 포지션(HP)으로부터 제 3 방향(D3)을 향해 주사하여 기판(S3)의 노광면을 노광한다. 이러한 노광 동작 중에, 제 2 대기 위치(P12)에 배치되어 있던 기판(S1)은, 제 2 노광 위치(P22)에 배치된다. 이때, 검출부(100b)는, 기판(S1)의 2개의 위치 맞춤 마크를 검출한다. 다음으로, 도 6의 (H)에 나타내는 바와 같이 검출부(100b)는, 제 4 방향(D4)으로 이동하고, 기판(S1)에 대하여, 나머지 2개의 위치 맞춤 마크를 검출한다. 이러한 검출과, 그 검출 결과에 근거하는 보정 데이터의 생성은, 도 6의 (G)에 나타낸 기판(S3)의 노광이 종료될 때까지의 기간에 수행된다.
기판(S3)의 노광이 종료되면, 도 6의 (I)에 나타내는 바와 같이, 노광부(110)는 홈 포지션(HP)까지 돌아온다. 검출부(100b)는, 도 5의 (A)에 나타낸 위치로 퇴피한다. 또, 노광된 기판(S3)은, 제 1 노광 위치(P21)로부터 제 1 대기 위치(P11)로 이동되며, 대신에, 미처리 기판(S4)이 제 1 대기 위치(P11)로부터 제 1 노광 위치(P21)로 이동된다. 도 6의 (I)에서는, 기판(S3)이 제 1 노광 위치(P21)로부터 이동된 직후의 상태를 나타내고 있다.
다음으로, 도 6의 (J)에 나타내는 바와 같이, 노광부(110)가, 홈 포지션(HP)으로부터 제 4 방향(D4)을 향해 주사하여, 기판(S1)의 노광면(이면)을 노광한다. 이러한 노광 동작 동안에, 제 1 대기 위치(P11)에 배치되어 있던 기판(S4)은, 제 1 노광 위치(P21)에 배치되어 있다. 이때, 검출부(100a)는, 기판(S4)의 2개의 위치 맞춤 마크를 검출한다. 그리고, 도 6의 (K)에 나타내는 바와 같이, 기판(S1)의 노광이 종료될 때까지의 사이에, 검출부(100a)는 제 4 방향(D4)으로 이동하여, 기판(S4)에 대해 나머지 2개의 위치 맞춤 마크에 대한 검출을 종료한다. 해당 검출 결과에 근거하는 보정 데이터의 생성도, 기판(S1)의 노광이 종료될 때까지의 사이에 수행된다.
그리고, 기판(S1)의 노광이 종료되면, 도 6의 (L)에 나타내는 바와 같이, 노광부(110)는 홈 포지션(HP)으로 돌아온다. 또, 제 2 노광 위치(P22)에 배치된 기판(S1)은 제 2 노광 위치(P22)로부터 제 2 대기 위치(P12)로 이동된다.
이러한 도 6의 (F)~도 6의 (L)의 동작이 반복됨에 따라, 노광 장치(20)에 공급되는 기판은, 그 표면과 이면 양측이, 일련의 흐름 속에서 1개의 노광부(110)에 의해 노광 처리된다. 이러한 1 사이클 동안에 노광부(110)는, 기준 플레이트(90a)와 기준 플레이트(90b)의 사이를 계속해서 왕복 이동한다.
도 7은, 도 6의 (F)~도 6의 (L)에 나타낸 노광 장치(20)의 동작의 1 사이클에 대한 타이밍 차트이다. 도시하는 바와 같이 노광 장치(20)에서는, 표면 처리 계열의 제 1 노광 위치(P21)에서, 제 1 이동부 제 1 계열(60a)이 취급하는 기판에 대하여 노광 처리가 수행되는 동안(기간(T11, T12))에, 이면 처리 계열에 있어서, 제 2 대기 위치(P12)로부터 제 2 노광 위치(P22)로의 미처리 기판의 이동(기간(T11))과, 제 2 노광 위치(P22)로부터 제 2 대기 위치(P12)로의 처리가 완료된 기판의 이동(기간(T11))과, 제 2 노광 위치(P22)에 새롭게 설치된, 즉, 다음의 노광 공정에서 노광되는 기판에 대한 기판 계측(기간(T12))이 수행된다. 또, 표면 처리 계열인 제 1 이동부 제 1 계열(60a)이 취급하는 기판의 기판 계측(기간(T42))과, 노광부(110)의 홈 포지션(HP)으로의 이동(기간(T43))과, 노광(기간(T11, T12))과, 다음의 노광부(110)의 홈 포지션(HP)으로의 이동(기간(T13))을 수행하는 기간 내에, 제 1 이동부 제 2 계열(70a)이 취급하는 처리가 완료된 기판에 대한 제 1 대기 위치(P11)로부터 제 1 반송부(30)로의 이동과, 미처리 기판에 대한 제 1 반송부(30)로부터 제 1 대기 위치(P11)로의 이동을 수행하는 교체 동작을 수행할 수 있다. 검출부(100a, 100b)의 퇴피 동작은, 노광부(110)의 홈 포지션(HP)으로의 이동 동작과 동일한 기간 내에 수행된다(기간(T13, T23, T33, T43)). 또, 도시는 생략되었지만, 기판 계측에 근거하는 노광 데이터의 보정은, 노광부(110)의 홈 포지션(HP)으로의 이동 동작과 동일한 기간 내에 수행된다. 이러한 점은, 표면 처리 계열인 제 1 이동부 제 1 계열(60a), 제 1 이동부 제 2 계열(70a), 이면 처리 계열인 제 2 이동부 제 1 계열(60b), 제 2 이동부 제 2 계열(70b)이 각각 취급하는 기판 중 어느 하나에 주목하여도 마찬가지이다.
이와 같이, 노광 장치(20)는, 노광 처리 후에 노광부(110)를 홈 포지션(HP)으로 되돌리는데 소요되는 이외의 전체 기간에 있어서 노광 처리를 수행할 수 있다. 1개의 기판에 대한 노광 처리는, 예컨대 12초로 할 수 있다. 노광부(110)의 홈 포지션(HP)으로의 이동은, 1회당 예컨대 2초로 할 수 있다. 이 경우, 전체 공정의 시간에 있어서 노광 처리가 차지하는 시간의 비율은 약 86%에 이른다.
이상 설명한 노광 장치(20)에 따르면, 제 1 노광 위치(P21)와 제 2 노광 위치(P22)의 사이에서 교대로 노광을 수행할 수 있다. 따라서, 한쪽의 노광 위치에서 노광을 수행하고 있는 시간을, 다른 쪽의 노광 위치에서 이미 노광된 기판을 배출하는 동시에, 새로운 기판을 다른 쪽의 노광 위치에 배치하기 위한 시간으로 할당할 수가 있다. 이 때문에, 기판의 생산성을 향상시킬 수가 있다. 또한, 노광 장치(20)에 따르면, 제 1 노광 위치(P21)에 대하여, 노광이 완료된 기판의 제 1 노광 위치(P21)로부터의 배출과, 새로운 기판의 제 1 노광 위치(P21)로의 배치를 동시에 수행할 수 있다. 따라서, 노광 이외에 소요되는 시간이 매우 짧아져 생산성을 대폭 향상시킬 수 있다. 또, 1개의 노광부(110)에 의해 기판의 양면을 자동적으로 노광할 수 있으므로, 장치의 저비용화 및 소형화에 이바지한다.
B. 제 2 실시예：
도 8은 제 2 실시예로서의 노광 장치(220)의 구성을 나타내는 사시도이다. 도 9는 노광 장치(220)를 정면에서 본 상태를 나타낸다. 제 2 실시예로서의 노광 장치(220)는 기판이, 그 노광면이 연직 방향 상방을 향하도록, 제 1 노광 위치(P21) 및 제 2 노광 위치(P22)에 배치된다는 점과 이것에 부수되는 사항이, 제 1 실시예의 노광 장치(20)와 다르다. 이하에서는, 제 1 실시예와 다른 점에 대해서만 설명한다. 또한 도 8 및 도 9에서는, 노광 장치(220)의 각 구성요소에는, 제 1 실시예로서의 노광 장치(20)의 각 구성요소에 사용한 부호를 밑의 두 자릿수에 포함하는 부호를 사용하고, 설명을 생략하거나 또는 간략화한다.
도 8에 나타내는 바와 같이 노광 장치(220)는, 베이스 부재(280)의 상면을 따라 이동하는 노광부(310) 및 검출부(300a, 300b)를 구비하고 있다. 베이스 부재(280)의 내부에는 기준 플레이트(290a, 290b)가, 제 1 방향(D1)(연직 방향 상방을 향하는 방향)을 향하여, 노광부(310)의 이동 방향을 따라 나란히 배치되어 있다. 기준 플레이트(290a, 290b)의 하방에는 제 1 이동부(250a) 및 제 2 이동부(250b)가 배치된다. 제 1 이동부(250a)는, 이중화된 제 1 이동부 제 1 계열(260a) 및 제 1 이동부 제 2 계열(270a)을 구비하고 있다.
제 1 이동부 제 1 계열(260a)의 지지 부재(264a)는, 제 2 방향(D2)(노광부(310)의 이동 방향과 직교하는 방향)으로 연장되어 형성된 좌우 이동 기구(267a, 277a)의 내측에, 제 1 기판 유지부(268a)가 위치하는 상태에서, 제 1 기판 유지부(268a)를 지지한다. 제 1 기판 유지부(268a)는, 좌우 이동 기구(267a)에 의해, 베이스 부재(280)의 내부와 외부의 사이를, 베이스 부재(280)에 형성된 개구부를 통해 제 2 방향(D2)으로 이동할 수 있도록 구성된다. 또, 제 1 기판 유지부(268a)는, 전후 이동 기구(266a)에 의해, 제 1 방향(D1)을 따른 방향으로 이동할 수 있게 구성된다. 이러한 구성에 의해 제 1 기판 유지부(268a)는, 제 1 대기 위치(P11)와 제 1 노광 위치(P21)의 사이에서 이동할 수 있게 구성된다. 제 1 이동부 제 2 계열(270a)은, 제 1 이동부 제 1 계열(260a)과 같은 구성을 구비한다. 또, 제 2 이동부(250b)는, 제 1 이동부(250a)와 같은 구성을 구비한다.
도 9에 나타내는 바와 같이, 제 1 기판 유지부(268a)와 제 1 기판 유지부(278a)는, 연직 방향의 다른 위치에 배치 가능하기 때문에, 수평 방향으로 교차하도록 동시에 반대 방향으로 이동할 수 있다.
이러한 노광 장치(220)에서는, 도 8에 나타내는 바와 같이, 흡착 기구(도시 생략)에 의해, 기판(S1, S2, S3, S4)의 위치 순으로 기판이 옮겨 실려 반송된다. 즉, 노광 장치(220)에 있어서는, 제 1 실시예의 가이드 레일(42a, 42b)에 상당하는 구성을 생략할 수 있다. 이 때문에, 노광 장치(220)를 소형화할 수 있다.
C.변형예：
C-1.변형예 1：
노광 장치(20)는, 기판의 한쪽 면만 노광하는 장치여도 무방하다. 이 경우, 노광 장치(20)는, 제 1 노광 위치(P21) 및 제 2 노광 위치(P22)에서 노광된 기판을, 각각 독립적으로 배출하는 2개의 반송 경로를 가지고 있어도 무방하다.
C-2.변형예 2：
노광 장치(20)에 있어서의 기판의 반송 방향은 적절히 설정 가능하다. 예컨대, 제 1 이동부(50a)가 이중화되어 있지 않은 경우에는, 제 1 이동부(50a)는, 제 1 방향(D1)을 따른 방향으로만 기판을 반송할 수 있게 구성되어도 무방하다. 이 경우, 제 2 반송부(40a) 및 제 3 반송부(40b)를 생략하여도 무방하다. 예컨대, 제 1 방향(D1)과 교차하는 방향을 따라 기판을 반송하는 제 1 반송부(30)가 기준 플레이트(90a)의 배면측에 설치되고, 흡착 기구에 의해, 제 1 반송부(30)로부터, 제 1 반송부(30)의 근방이며, 또한 기준 플레이트(90a)의 배면에 설정된 제 1 대기 위치(P11)에 기판을 옮겨 실어도 무방하다. 이러한 구성에 따르면, 제 1 이동부(50a)는, 제 1 대기 위치(P11)로부터 제 2 대기 위치(P12)까지 제 1 방향(D1)을 따라 기판을 반송하는 것만으로, 기판을 제 1 노광 위치(P21)에 배치할 수 있다.
혹은, 제 1 이동부(50a) 및 제 2 이동부(50b)가 고도의 이동 정밀도로 이동할 수 있게 구성됨에 따라, 제 1 노광 위치 및 제 2 노광 위치에 있어서, 노광 헤드(111)에 대하여, 제 1 기판 유지부(68a) 및 제 2 기판 유지부(68b)를 양호한 정밀도로 소정의 위치에 배치할 수 있는 경우에는, 제 2 반송부(40a) 및 제 3 반송부(40b)에 추가하여, 기준 플레이트(90a,90b)를 생략하여도 무방하다. 이 경우, 제 1 기판 유지부(68a) 및 제 2 기판 유지부(68b)를 제 1 방향(D1)으로 이동시킴으로써, 제 1 노광 위치(P21) 및 제 2 노광 위치(P22)에 반드시 배치할 필요는 없게 된다. 이 때문에, 기판은 제 2 방향(D2)으로만 반송되어, 제 1 대기 위치(P11) 또는 제 2 대기 위치(P12)로부터, 이들 대기 위치의 제 2 방향(D2)을 따른 연장선 상에 설정된 제 1 노광 위치(P21) 또는 제 2 노광 위치(P22)로 반송되어도 무방하다.
C-3.변형예 3：
노광 장치(20)는, 노광부(110)와, 제 1 노광 위치(P21) 및 제 2 노광 위치(P22)에 배치된 기판의 노광면과의 거리를 측정하는 측정부를 구비하고 있어도 무방하다. 이러한 측정부는, 예컨대, 레이저 거리계를 구비하고 있어도 무방하다. 또, 노광 장치(20)는, 노광부(110)를 제 1 방향(D1)을 따라 이동시키는 이동부를 구비하고 있어도 무방하다. 이러한 이동부는 예컨대, 리니어 주행 기구여도 무방하다. 상기 이동부는 측정부의 측정 결과에 따라, 노광부(110)와 기판의 노광면과의 거리를 조절하여도 무방하다. 이러한 구성에 따르면, 평활하지 않은 기판의 노광면에 대해서도 항상 안정적으로 초점을 맺을 수가 있다.
C-4.변형예 4：
광원으로부터의 광을 기판 노광면의 임의의 영역에 선택적으로 조사하는 수단은, 다각형 미러로 한정되지 않으며, 여러 양태로 실현할 수 있다. 예컨대, 해당 수단은 DMD(Digital Mirror Device)여도 무방하다. 또, 광원은 레이저 광원으로 한정되지 않으며, 각종 발광소자를 이용할 수 있다. 예컨대, 광원은 UV램프나 LED 등이어도 무방하다.
이상, 몇 가지 실시예에 근거하여 본 발명의 실시형태에 대해 설명하였으나, 상기한 발명의 실시형태는, 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위한 것이며 본 발명을 한정하는 것은 아니다. 본 발명은, 그 취지를 벗어나지 않는 한 변경, 개량될 수 있는 동시에, 본 발명에 그 등가물이 포함됨은 물론이다. 또, 상술한 과제 중 적어도 일부를 해결할 수 있는 범위, 또는 효과 중 적어도 일부를 발휘하는 범위에서, 특허청구범위 및 명세서에 기재된 각 구성요소의 조합, 또는 생략이 가능하다.
20, 220: 노광 장치
30: 제 1 반송부
31~34: 이동 스테이지
35: 반전 장치
36: 가이드 레일
40a: 제 2 반송부
40b: 제 3 반송부
41a, 41b: 흡착 기구
42a, 42b: 가이드 레일
50a, 250a: 제 1 이동부
50b, 250b: 제 2 이동부
60a, 260a: 제 1 이동부 제 1 계열
60b, 260b: 제 2 이동부 제 1 계열
70a, 270a: 제 1 이동부 제 2 계열
70b, 270b: 제 2 이동부 제 2 계열
61a, 71a, 71b, 261a, 261b, 271a, 271b: 베이스 부재
62a, 72a, 72b, 262a, 262b, 272a, 272b: 유지 부재
63a, 73a, 73b, 263a, 263b, 273a, 273b: 오목부
64a, 74a, 264a, 264b, 274a, 274b: 지지 부재
65a, 75a, 265a, 265b, 275a, 275b: 스프링
66a, 76a, 266a, 266b, 276a, 276b: 전후 이동 기구
67a, 77a, 267a, 267b, 277a, 277b: 좌우 이동 기구
68a, 78a, 268a, 278a: 제 1 기판 유지부
68b, 78b, 268b, 278b: 제 2 기판 유지부
80, 280: 베이스 부재
81: 기초부
82: 가이드부
83: 벽부
90a, 90b, 290a, 290b: 기준 플레이트
91a, 91b: 관통 구멍
92a, 92b: 에어 실린더
93a: 위치 결정 핀
100a, 100b, 300a, 300b: 검출부
101a: 카메라
102a: 지지 부재
103a: 벽부
104a: 이동체
110, 310: 노광부
111: 노광 헤드
112: 지지부
113: 이동체
S1~S6: 기판
P11: 제 1 대기 위치
P12: 제 2 대기 위치
P21: 제 1 노광 위치
P22: 제 2 노광 위치
D1: 제 1 방향
D2: 제 2 방향
D3: 제 3 방향
D4: 제 4 방향
HP: 홈포지션

Claims (11)

  1. 기판을 노광하는 노광 장치로서,
    상기 기판을 유지하는 제 1 기판 유지부를 구비하고, 제 1 대기 위치와, 상기 기판이 상기 제 1 기판 유지부에 유지될 때 상기 기판의 노광면이 제 1 방향을 향한 상태로 상기 기판이 배치되는 제 1 노광 위치와의 사이에서, 상기 제 1 기판 유지부를 이동시키는 제 1 이동부와,
    상기 기판을 유지하는 제 2 기판 유지부를 구비하고, 상기 제 1 대기 위치와는 다른 제 2 대기 위치와, 제 2 노광 위치로서, 상기 기판이 상기 제 2 기판 유지부에 유지될 때 상기 기판의 노광면이, 상기 제 1 방향을 향한 상태이며, 또한 상기 기판이 상기 제 1 노광 위치에 배치될 때의 상기 기판의 상기 노광면과, 상기 제 1 방향과 직교하는 제 2 방향으로 나란한 상태로, 상기 기판이 상기 제 2 기판 유지부에 유지될 때 상기 기판이 배치되는 제 2 노광 위치와의 사이에서, 상기 제 2 기판 유지부를 이동시키는 제 2 이동부와,
    상기 제 2 방향을 따라 배치된 가이드를 따라서, 상기 제 1 노광 위치와 상기 제 2 노광 위치의 사이를 이동할 수 있는 노광 헤드를 구비하고, 상기 제 1 노광 위치에 배치되는 상기 기판과, 상기 제 2 노광 위치에 배치되는 상기 기판을, 상기 노광 헤드의 상기 제 2 방향을 따른 이동에 의해 선택적으로 노광하는 노광부와,
    상기 제 2 방향을 따라 이동할 수 있게 구성되고, 상기 제 1 노광 위치 및 상기 제 2 노광 위치에 배치되는 상기 기판의 위치 및 형상 중 적어도 한쪽을 검출하는 검출부
    를 구비하고,
    상기 노광부는, 상기 검출부에 의한 검출 결과에 따라 보정된 노광 데이터에 근거하여 상기 노광을 수행하는, 노광 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1 이동부 및 상기 제 2 이동부의 각각은, 상기 제 1 기판 유지부 또는 상기 제 2 기판 유지부로서, 상기 제 1 방향을 따른 방향, 및 상기 제 1 방향과 교차하는 방향으로 이동할 수 있도록 이중화된 2개의 기판 유지부를 구비한, 노광 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 가이드가 설치된 베이스 부재와,
    상기 베이스 부재에 부착된 기준 플레이트로서, 상기 기판을, 상기 제 1 노광 위치 및 상기 제 2 노광 위치로서의, 상기 기준 플레이트의 내부의 위치에 삽입할 수 있는 프레임 형상을 갖는 기준 플레이트를 더 구비하고,
    상기 제 1 기판 유지부 및 상기 제 2 기판 유지부는, 상기 기판이 변위 가능한 상태로 상기 기판을 유지하며,
    상기 기준 플레이트의 소정 부위와, 상기 제 1 기판 유지부 및 상기 제 2 기판 유지부의 소정 부위가, 상기 기판이 상기 제 1 기판 유지부 및 상기 제 2 기판 유지부에 유지될 때, 각각 상기 기판의 외주에서 접촉한 상태로, 상기 기판은, 상기 제 1 노광 위치 및 상기 제 2 노광 위치에 배치되는, 노광 장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 가이드가 설치된 베이스 부재와,
    상기 베이스 부재에 부착된 기준 플레이트로서, 상기 기판을, 상기 제 1 노광 위치 및 상기 제 2 노광 위치로서의, 상기 기준 플레이트의 내부의 위치에 삽입할 수 있는 프레임 형상을 갖는 기준 플레이트를 더 구비하고,
    상기 제 1 이동부 및 상기 제 2 이동부의 각각은, 상기 제 1 기판 유지부 및 상기 제 2 기판 유지부가 상기 제 1 방향을 따라 이동할 수 있게 구성되며,
    상기 제 1 기판 유지부 및 상기 제 2 기판 유지부는, 상기 기판이 변위 가능한 상태로 상기 기판을 유지하고,
    상기 기준 플레이트의 소정 부위와, 상기 제 1 기판 유지부 및 상기 제 2 기판 유지부의 소정 부위가, 상기 기판이 상기 제 1 기판 유지부 및 상기 제 2 기판 유지부에 유지될 때, 각각 상기 기판의 외주에서 접촉한 상태로, 상기 기판은, 상기 제 1 노광 위치 및 상기 제 2 노광 위치에 배치되는, 노광 장치.
  5. 제 3항 또는 제 4항에 있어서,
    상기 기준 플레이트에는, 서로 끼움 결합되는 한 쌍의 위치 결정 구성 중 한쪽이 형성되고,
    상기 제 1 기판 유지부 및 상기 제 2 기판 유지부 중의, 상기 기판이 상기 제 1 기판 유지부 및 상기 제 2 기판 유지부에 유지될 때 상기 기판보다 외측의 위치에는, 상기 위치 결정 구성 중 다른 쪽이 형성되며,
    상기 기판이 상기 제 1 기판 유지부 및 상기 제 2 기판 유지부에 유지될 때, 상기 기판은, 상기 한 쌍의 위치 결정 구성이 끼움 결합된 상태에서, 상기 제 1 노광 위치 및 상기 제 2 노광 위치에 각각 배치되는, 노광 장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 가이드는, 상기 노광 헤드의 상기 제 2 방향을 따른 이동과, 상기 검출부의 상기 제 2 방향을 따른 이동의 양자에 대한 겸용의 가이드로서 설치된, 노광 장치.
  7. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판을 반송(搬送)하는 제 1 반송부와,
    상기 제 1 반송부와 상기 제 1 대기 위치의 사이에서 상기 기판을 반송하는 제 2 반송부와,
    상기 제 1 반송부와 상기 제 2 대기 위치의 사이에서 상기 기판을 반송하는 제 3 반송부를 더 구비한, 노광 장치.
  8. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 노광 헤드와, 상기 제 1 노광 위치 및 상기 제 2 노광 위치에 배치되는 상기 기판의 상기 노광면과의 거리를 측정하는 측정부와,
    상기 노광 헤드를 상기 제 1 방향을 따라 이동시키는 제 3 이동부를 더 구비하며,
    상기 제 3 이동부는, 상기 측정부의 측정 결과에 따라, 상기 노광 헤드와 상기 노광면간의 거리를 조절하는, 노광 장치.
  9. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 노광 헤드는, 복수의 노광 유닛을 갖는, 노광 장치.
  10. 노광 장치에 의해 기판을 노광하는 노광 방법으로서,
    상기 기판의 노광면이 제 1 방향을 향한 상태로 상기 기판이 배치되는 제 1 노광 위치와, 상기 기판의 노광면이, 상기 제 1 방향을 향한 상태이고, 또한 상기 기판이 상기 제 1 노광 위치에 배치될 때의 상기 기판의 상기 노광면과, 상기 제 1 방향과 직교하는 제 2 방향으로 나란한 상태에서, 상기 기판이 배치되는 제 2 노광 위치가 설정된 노광 장치이며, 상기 제 1 노광 위치와 상기 제 2 노광 위치의 사이를 상기 제 2 방향을 따라 이동할 수 있는 노광 헤드를 구비하고, 상기 제 1 노광 위치에 배치되는 상기 기판과, 상기 제 2 노광 위치에 배치되는 상기 기판을, 상기 노광 헤드의 상기 제 2 방향을 따른 이동에 의해, 선택적으로 노광하는 노광 장치를 준비하는 제 1 공정과,
    상기 제 1 노광 위치에 배치된 제 1 기판에 대한 노광 처리가 종료될 때까지, 제 1 기판과 다른 제 2 기판을 상기 제 2 노광 위치에 배치하는 제 2 공정과,
    상기 제 2 노광 위치에 배치된 상기 제 2 기판에 대한 노광 처리가 종료될 때까지, 상기 제 2 기판과는 다른 제 3 기판을 상기 제 1 노광 위치에 배치하는 제 3 공정과,
    상기 제 2 방향을 따라 이동할 수 있게 구성된 검출부에 의해, 상기 제 1 노광 위치 및 상기 제 2 노광 위치에 배치되는 상기 기판의 위치 및 형상 중 적어도 한쪽을 검출하는 제 4 공정과,
    상기 검출부에 의한 검출결과에 따라 보정된 노광 데이터에 근거하여 상기 노광을 수행하는 제 5 공정
    을 구비한, 노광 방법.
  11. 삭제
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