JP2009043879A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 液体を介して基板を露光する露光装置において、
   前記基板を保持する基板ステージを備え、
   前記基板ステージは、
   天板と、
   前記天板上に設けられていて前記基板を保持する基板保持部と、
   前記天板上に前記基板保持部とは別個に設けられていて前記基板保持部に保持された基板の外周を囲むように補助板を保持する補助板保持部と、
   を有し、
   前記基板保持部は、前記補助板保持部に保持された補助板の裏面と対向する表面を持つ延伸部を有し、
   前記補助板の裏面と前記延伸部の表面との間の隙間は、前記基板と前記補助板との間の隙間より狭く、
   前記補助板保持部には、前記補助板の裏面と前記延伸部の表面との間の隙間に浸入した液体を回収する回収口が設けられている、
   ことを特徴とする露光装置。
2. 前記延伸部には、前記基板と前記補助板との間の隙間に浸入した液体を回収する回収口が設けられ、
   前記延伸部に設けられた回収口を介して液体を吸引する吸引手段を更に備え、
   前記基板に対する非露光時には、前記基板と前記補助板との間の隙間に浸入した液体を前記延伸部に設けられた回収口から前記吸引手段により回収し、
   前記基板に対する露光時には、前記基板と前記補助板との間の隙間に浸入した液体を前記延伸部に設けられた回収口から重力作用により回収する、
   ことを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
3. 前記補助板の裏面と対向する前記延伸部の表面は、前記基板保持部の前記基板を保持する表面よりも低い、
   ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の露光装置。
4. 前記延伸部と対向する前記補助板の部分は、前記基板よりも厚い、
   ことを特徴とする請求項３に記載の露光装置。
5. 請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の露光装置を用いて基板を露光し、
   その露光された基板を現像する、
   ことを特徴とするデバイス製造方法。