JPH0336940U - - Google Patents
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- JPH0336940U JPH0336940U JP9762689U JP9762689U JPH0336940U JP H0336940 U JPH0336940 U JP H0336940U JP 9762689 U JP9762689 U JP 9762689U JP 9762689 U JP9762689 U JP 9762689U JP H0336940 U JPH0336940 U JP H0336940U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- liquid leakage
- detecting
- reflective
- submerged
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 9
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 claims 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Description
第1図はこの考案の漏液センサの基本構成を示
す斜視図、第2図は漏液の非浸水状態を示す漏液
センサの部分側面図、第3図はその浸水状態を示
す部分側面図、第4図は別の実施例による漏液の
非浸水状態を示す漏液センサ部分側面図、第5図
はその浸水状態を示す部分側面図、第6図〜第9
図は従来の漏液検知方法を説明するために示す図
である。 1,100……反射媒体、2……漏液、3……
配管、4……床面、5……発光装置、6……受光
装置、7……検知装置。
す斜視図、第2図は漏液の非浸水状態を示す漏液
センサの部分側面図、第3図はその浸水状態を示
す部分側面図、第4図は別の実施例による漏液の
非浸水状態を示す漏液センサ部分側面図、第5図
はその浸水状態を示す部分側面図、第6図〜第9
図は従来の漏液検知方法を説明するために示す図
である。 1,100……反射媒体、2……漏液、3……
配管、4……床面、5……発光装置、6……受光
装置、7……検知装置。
Claims (1)
- 漏液の光屈折率に近い光屈折率を有する透明材
又は半透明材であると共に、非浸水時に照射光を
反射する反射面を有する反射媒体と、この反射媒
体に前記照射光を照射する発光手段と、前記反射
媒体からの反射光を受光する受光手段と、この受
光手段からの情報に基づいて前記漏液を検知する
検知手段とによつて構成され、前記反射面の浸水
時に前記反射光の光量変化によつて漏液検知を行
ない得るようにしたことを特徴とする漏液センサ
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9762689U JPH0336940U (ja) | 1989-08-22 | 1989-08-22 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9762689U JPH0336940U (ja) | 1989-08-22 | 1989-08-22 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0336940U true JPH0336940U (ja) | 1991-04-10 |
Family
ID=31646761
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9762689U Pending JPH0336940U (ja) | 1989-08-22 | 1989-08-22 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0336940U (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011044735A (ja) * | 2004-07-12 | 2011-03-03 | Nikon Corp | 露光装置及びデバイス製造方法 |
JP2012225780A (ja) * | 2011-04-20 | 2012-11-15 | Disco Abrasive Syst Ltd | 漏液検出機構 |
US9760026B2 (en) | 2003-07-28 | 2017-09-12 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, method for producing device, and method for controlling exposure apparatus |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62133335A (ja) * | 1985-12-06 | 1987-06-16 | Nec Corp | 漏洩検出装置 |
-
1989
- 1989-08-22 JP JP9762689U patent/JPH0336940U/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62133335A (ja) * | 1985-12-06 | 1987-06-16 | Nec Corp | 漏洩検出装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9760026B2 (en) | 2003-07-28 | 2017-09-12 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, method for producing device, and method for controlling exposure apparatus |
US10185232B2 (en) | 2003-07-28 | 2019-01-22 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, method for producing device, and method for controlling exposure apparatus |
JP2011044735A (ja) * | 2004-07-12 | 2011-03-03 | Nikon Corp | 露光装置及びデバイス製造方法 |
JP2012009897A (ja) * | 2004-07-12 | 2012-01-12 | Nikon Corp | 露光装置及びデバイス製造方法 |
JP2012225780A (ja) * | 2011-04-20 | 2012-11-15 | Disco Abrasive Syst Ltd | 漏液検出機構 |
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