JPS61149808U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61149808U JPS61149808U JP3478885U JP3478885U JPS61149808U JP S61149808 U JPS61149808 U JP S61149808U JP 3478885 U JP3478885 U JP 3478885U JP 3478885 U JP3478885 U JP 3478885U JP S61149808 U JPS61149808 U JP S61149808U
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
第１図は本考案の光学式物体検出装置の側面図
、第２図は同装置の平面図、第３図および第４図
はセンサーと検出面との関係を示す拡大側面図、
第５図は信号の波形図である。 １…光学式物体検出装置、２…センサー、３…
光源、４…受光素子、５…鏡面、６…非鏡面、７
…ウエハー、８…リフアレンスプレート。
、第２図は同装置の平面図、第３図および第４図
はセンサーと検出面との関係を示す拡大側面図、
第５図は信号の波形図である。 １…光学式物体検出装置、２…センサー、３…
光源、４…受光素子、５…鏡面、６…非鏡面、７
…ウエハー、８…リフアレンスプレート。
Claims (1)
- 鏡面、非鏡面が混在する面より、いずれかの面
を検出する装置において、光源と受光素子とを並
べて設け、上記光源の光を物体で反射させ、その
反射光を上記受光素子で検出するセンサーを、検
出面に対し傾斜して設置し、上記非鏡面での反射
光により物体を検出することを特徴とする光学式
物体検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3478885U JPS61149808U (ja) | 1985-03-11 | 1985-03-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3478885U JPS61149808U (ja) | 1985-03-11 | 1985-03-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61149808U true JPS61149808U (ja) | 1986-09-16 |
Family
ID=30538486
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3478885U Pending JPS61149808U (ja) | 1985-03-11 | 1985-03-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61149808U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57206807A (en) * | 1981-06-13 | 1982-12-18 | Canon Inc | Detecting method for profile point of curve surface |
| JPS5918409A (ja) * | 1982-07-21 | 1984-01-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 赤熱物体表面検査装置 |
-
1985
- 1985-03-11 JP JP3478885U patent/JPS61149808U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57206807A (en) * | 1981-06-13 | 1982-12-18 | Canon Inc | Detecting method for profile point of curve surface |
| JPS5918409A (ja) * | 1982-07-21 | 1984-01-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 赤熱物体表面検査装置 |