JPH0449614A - Ｘ線露光装置 - Google Patents
Ｘ線露光装置Info
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- JPH0449614A JPH0449614A JP2158693A JP15869390A JPH0449614A JP H0449614 A JPH0449614 A JP H0449614A JP 2158693 A JP2158693 A JP 2158693A JP 15869390 A JP15869390 A JP 15869390A JP H0449614 A JPH0449614 A JP H0449614A
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
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- G03F7/70008—Production of exposure light, i.e. light sources
-
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- G03F7/70808—Construction details, e.g. housing, load-lock, seals or windows for passing light in or out of apparatus
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は露光装置に関し、特に、シンクロトロン放射光
（以下、ＳＯＲ光と称す）を用いて露光が行なわれるＸ
線露光装置に関する。
（以下、ＳＯＲ光と称す）を用いて露光が行なわれるＸ
線露光装置に関する。
ＳＯＲ光によって露光が行なわれるｘｍ露光装置は、Ｓ
ＯＲ光を発生し、超高真空状態に置かれるシンクロトロ
ン放射光装置とマスクやウェハ等を収容する露光チャン
バとが、ビームラインを介して接続される。露光チャン
バ内に収容されるウェハは、ビームラインを通り、マス
クによって部分的に遮光されたＳＯＲ光によって露光さ
れる。
ＯＲ光を発生し、超高真空状態に置かれるシンクロトロ
ン放射光装置とマスクやウェハ等を収容する露光チャン
バとが、ビームラインを介して接続される。露光チャン
バ内に収容されるウェハは、ビームラインを通り、マス
クによって部分的に遮光されたＳＯＲ光によって露光さ
れる。
この露光時において、マスクにはＳＯＲ光が照射される
ことによる発熱が生じるため、露光チャンバ内は必要な
熱伝導が生じる程度に減圧された気体雰囲気中に置かれ
る。シンクロトロン放射光装置は上述したように超高真
空状態に置かれており、シンクロトロン放射光装置およ
び露光チャンバの各圧力状態はビームライン中に設けら
れる窓材により保たれる。
ことによる発熱が生じるため、露光チャンバ内は必要な
熱伝導が生じる程度に減圧された気体雰囲気中に置かれ
る。シンクロトロン放射光装置は上述したように超高真
空状態に置かれており、シンクロトロン放射光装置およ
び露光チャンバの各圧力状態はビームライン中に設けら
れる窓材により保たれる。
上記のように構成されたＸ線露光装置においては、ビー
ムラインにリークが生じたときや露光チャンバにリーク
が生じて窓材が破損してしまった場合には、シンクロト
ロン放射光装置に大気が侵入してしまう危険性がある。
ムラインにリークが生じたときや露光チャンバにリーク
が生じて窓材が破損してしまった場合には、シンクロト
ロン放射光装置に大気が侵入してしまう危険性がある。
上記のようなリークが生じたときに、シンクロトロン放
射光装置に大気が侵入することを防ぐ従来のものとして
特開昭６４−６１７００号公報に記載された第５図に示
されるようなものがある。
射光装置に大気が侵入することを防ぐ従来のものとして
特開昭６４−６１７００号公報に記載された第５図に示
されるようなものがある。
シンクロトロン放射光装置（不図示）にて発生するＳＯ
ＲＯＲ光１は、ビームライン５０３および該ビームライ
ン５０３中に設けられた窓材５０７を通って露光チャン
バ５１３内のマスク５１２およびウェハ取付部５１７上
に取付けられたウェハ５１１を照射する。ウェハ取付部
５１７には上述したＳＯＲ光５０１照射により発生する
熱を除去するための温調水路５１８が埋設されており、
該温調水路５１８には露光チャンバ５１３外部に設けら
れた温調水供給装置５１９によって温度が高精度に安定
化された温調水が循環されている。温調水路５１８は、
不図示ではあるが露光チャンバ５１３内の各発熱部に引
き回されており、熱歪によりマスク５１２とウェハ５１
１との間にパターンずれが生じることを防止している。
ＲＯＲ光１は、ビームライン５０３および該ビームライ
ン５０３中に設けられた窓材５０７を通って露光チャン
バ５１３内のマスク５１２およびウェハ取付部５１７上
に取付けられたウェハ５１１を照射する。ウェハ取付部
５１７には上述したＳＯＲ光５０１照射により発生する
熱を除去するための温調水路５１８が埋設されており、
該温調水路５１８には露光チャンバ５１３外部に設けら
れた温調水供給装置５１９によって温度が高精度に安定
化された温調水が循環されている。温調水路５１８は、
不図示ではあるが露光チャンバ５１３内の各発熱部に引
き回されており、熱歪によりマスク５１２とウェハ５１
１との間にパターンずれが生じることを防止している。
ビームライン５０３には、真空リークにより発生する衝
撃波の進行を遅らせるための衝撃波遅延管５０２および
ＳＯＲＯＲ光１を拡げるためのミラーチャンバ５０５か
径路中に順に設けられ、ミラーチャンバ５０５と窓材５
０７との間には圧力センサ５０６が、また、シンクロト
ロン放射光装置と衝撃波遅延管５０４との間には圧力セ
ンサ５０６の検出状態に応じて動作する緊急遮断弁５０
２が設けられている。露光チャンバ５１３に収容される
マスク５１５およびウェハ５１１は、マスク予備室５１
６内に収容されるマスク５１５およびウェハ予備室５０
９内に収容されるウニＡ３１１とゲート弁５１４および
ゲート弁５１０をそれぞれ介して交換される。
撃波の進行を遅らせるための衝撃波遅延管５０２および
ＳＯＲＯＲ光１を拡げるためのミラーチャンバ５０５か
径路中に順に設けられ、ミラーチャンバ５０５と窓材５
０７との間には圧力センサ５０６が、また、シンクロト
ロン放射光装置と衝撃波遅延管５０４との間には圧力セ
ンサ５０６の検出状態に応じて動作する緊急遮断弁５０
２が設けられている。露光チャンバ５１３に収容される
マスク５１５およびウェハ５１１は、マスク予備室５１
６内に収容されるマスク５１５およびウェハ予備室５０
９内に収容されるウニＡ３１１とゲート弁５１４および
ゲート弁５１０をそれぞれ介して交換される。
ビームライン５０３にリークが生じたときや露光チャン
バ５１３にリークが生じて窓材５０７が破損したときは
、これに伴なって圧力センサ５１２の検出圧力が上昇し
て緊急遮断弁５０２が閉じられてシンクロトロン放射光
発生装置に大気が侵入することが防止される。
バ５１３にリークが生じて窓材５０７が破損したときは
、これに伴なって圧力センサ５１２の検出圧力が上昇し
て緊急遮断弁５０２が閉じられてシンクロトロン放射光
発生装置に大気が侵入することが防止される。
上述した従来のＸ線露光装置においては、異常圧力を検
出するための圧力センサが窓材よりシンクロトロン放射
光装置側（上流側）に設けられている。したがって、露
光チャンバにリークが発生したことは、窓材に破損が生
じた後に検出されることになるが、窓材が破損するとそ
の破片が露光チャンバおよびビームライン中に飛散して
しまうため、回復処理に大変手間がかかり、露光動作再
開までの時間も長くかかるという問題点がある。
出するための圧力センサが窓材よりシンクロトロン放射
光装置側（上流側）に設けられている。したがって、露
光チャンバにリークが発生したことは、窓材に破損が生
じた後に検出されることになるが、窓材が破損するとそ
の破片が露光チャンバおよびビームライン中に飛散して
しまうため、回復処理に大変手間がかかり、露光動作再
開までの時間も長くかかるという問題点がある。
また、上記の問題点は露光チャンバにリークが発生した
場合に限らず、温調水の漏水が発生した場合にも起り得
る。これは、露光チャンバ内が減圧された状態であるた
め、漏水した温調水が露光チャンバ内に溜まることや漏
水した温調水が気化する際の体積膨張により露光チャン
バ内の圧力が上昇してしまうことによる。
場合に限らず、温調水の漏水が発生した場合にも起り得
る。これは、露光チャンバ内が減圧された状態であるた
め、漏水した温調水が露光チャンバ内に溜まることや漏
水した温調水が気化する際の体積膨張により露光チャン
バ内の圧力が上昇してしまうことによる。
本発明は、上記従来技術が有する問題点に鑑みてなされ
たもので、露光チャンバにリークが発生した場合の、ま
たは温調水の漏水が生じた場合のシンクロトロン放射光
装置の保護を、窓材に破損が生じることなく行なうこと
のできるＸ線露光装置を実現することを目的とする。
たもので、露光チャンバにリークが発生した場合の、ま
たは温調水の漏水が生じた場合のシンクロトロン放射光
装置の保護を、窓材に破損が生じることなく行なうこと
のできるＸ線露光装置を実現することを目的とする。
本発明のＸ線露光装置は、
シンクロトロン放射光を発生するシンクロトロン放射光
装置と、 前記シンクロトロン放射光装置とビームラインを介して
接続され、該ビームライン中に設けられた窓材を介して
入射されるシンクロトロン放射光により露光処理が行な
われる露光チャンバとによって構成され、該露光チャン
バの熱発生部には温度調節用の温調水路か配置されてい
るＸ線露光装置において、 前記露光チャンバ内の圧力を検出する圧力検知手段と、 前記窓材と前記シンクロトロン放射光装置との間の前記
ビームラインに設けられた遮断弁と、前記ビームライン
中の、前記窓材と遮断弁の間の部分と前記窓材と露光チ
ャンバの間の部分とを連通させる連通弁を介在させたバ
イパスと、前記ビームライン中の前記窓材と遮断弁の間
の部分の真空排気を行なうための真空排気手段と、前記
ビームラインと真空排気手段とを結ぶ管路中に設けられ
たポンプ弁と、 前記温調水路にて発生した漏水を検出する漏水センサと
、 前記圧力検知手段の検出圧力に応じ、露光動作時の前記
検出圧力が予め定められた所定の圧力よりも低い定常状
態を示すものである場合には、前記遮断弁およびポンプ
弁を開状態、前記連通弁を閉状態とし、露光動作時の前
記検出圧力が予め定められた所定の圧力を超えるか、も
しくは前記漏水センサが漏水を検出した場合には前記遮
断弁およびポンプ弁を閉状態とした後に前記連通弁を開
状態とする制御装置を備えている。
装置と、 前記シンクロトロン放射光装置とビームラインを介して
接続され、該ビームライン中に設けられた窓材を介して
入射されるシンクロトロン放射光により露光処理が行な
われる露光チャンバとによって構成され、該露光チャン
バの熱発生部には温度調節用の温調水路か配置されてい
るＸ線露光装置において、 前記露光チャンバ内の圧力を検出する圧力検知手段と、 前記窓材と前記シンクロトロン放射光装置との間の前記
ビームラインに設けられた遮断弁と、前記ビームライン
中の、前記窓材と遮断弁の間の部分と前記窓材と露光チ
ャンバの間の部分とを連通させる連通弁を介在させたバ
イパスと、前記ビームライン中の前記窓材と遮断弁の間
の部分の真空排気を行なうための真空排気手段と、前記
ビームラインと真空排気手段とを結ぶ管路中に設けられ
たポンプ弁と、 前記温調水路にて発生した漏水を検出する漏水センサと
、 前記圧力検知手段の検出圧力に応じ、露光動作時の前記
検出圧力が予め定められた所定の圧力よりも低い定常状
態を示すものである場合には、前記遮断弁およびポンプ
弁を開状態、前記連通弁を閉状態とし、露光動作時の前
記検出圧力が予め定められた所定の圧力を超えるか、も
しくは前記漏水センサが漏水を検出した場合には前記遮
断弁およびポンプ弁を閉状態とした後に前記連通弁を開
状態とする制御装置を備えている。
この場合、窓材とシンクロトロン放射光装置との間のビ
ームラインに設けられた遮断弁と同様に開閉状態が制御
される第２の遮断弁を、窓材と露光チャンバとの間のビ
ームラインに設けてもよい。
ームラインに設けられた遮断弁と同様に開閉状態が制御
される第２の遮断弁を、窓材と露光チャンバとの間のビ
ームラインに設けてもよい。
また、窓材と露光チャンバとの間のビームラインに設け
られた遮断弁と制御装置のみの構成としてもよい。
られた遮断弁と制御装置のみの構成としてもよい。
露光動作時に露光チャンバにリークが生じてしまい、検
出圧力が上昇して所定の圧力を超えた場合や圧力上昇の
原因となる漏水が発生した場合には遮断弁とポンプ弁か
閉じられた後に連通弁が開けられる。連通弁が開けられ
る前に遮断弁が閉じられるため、露光チャンバ内の気体
がシンクロトロン放射光装置に侵入することはない。こ
の連通弁が開けられることにより、窓材に圧力が加わら
なくなるため、窓材に破損が生じることがなくなる。ま
た、上記のビームライン中の所定の部分を真空排気する
ための真空排気手段が設けられている。露光動作を再開
するときには、連通弁を閉じた後にポンプ弁を開けて窓
材と遮断弁との間に侵入した露光チャンバ内の気体は真
空排気し、この後に遮断弁を開けることにより遮断弁を
閉じたときと同様にシンクロトロン放射光装置に露光チ
ャンバ内の気体が侵入することを防ぐことができる。
出圧力が上昇して所定の圧力を超えた場合や圧力上昇の
原因となる漏水が発生した場合には遮断弁とポンプ弁か
閉じられた後に連通弁が開けられる。連通弁が開けられ
る前に遮断弁が閉じられるため、露光チャンバ内の気体
がシンクロトロン放射光装置に侵入することはない。こ
の連通弁が開けられることにより、窓材に圧力が加わら
なくなるため、窓材に破損が生じることがなくなる。ま
た、上記のビームライン中の所定の部分を真空排気する
ための真空排気手段が設けられている。露光動作を再開
するときには、連通弁を閉じた後にポンプ弁を開けて窓
材と遮断弁との間に侵入した露光チャンバ内の気体は真
空排気し、この後に遮断弁を開けることにより遮断弁を
閉じたときと同様にシンクロトロン放射光装置に露光チ
ャンバ内の気体が侵入することを防ぐことができる。
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第１図（ａ）は本発明の第１の実施例の構成を示す図で
ある。
ある。
シンクロトロン放射光装置（不図示）にて発生するＳＯ
ＲＯＲ光１は、ビームライン１０３および該ビームライ
ン１０３中に設けられた窓材１０７を通って露光チャン
バ１１３内のマスク１１２およびウェハ取付部１１７上
に取付けられたウェハ１１１を照射する。ウェハ取付部
１１７には上述したＳＯＲ光１０１照射により発生する
熱を除去するための温調水路１１８が埋設されており、
該温調水路１１８には露光チャンバ１１３外部に設けら
れた温調水供給装置１１９によって温度が高鯖度に安定
化された温調水が循環されている。温調水路１１８は、
不図示ではあるが露光チャンバ１１３内の各発熱部に引
き回されており、熱歪によりマスク１１２とウェハ１１
１との間にパターンずれが生じることを防止している。
ＲＯＲ光１は、ビームライン１０３および該ビームライ
ン１０３中に設けられた窓材１０７を通って露光チャン
バ１１３内のマスク１１２およびウェハ取付部１１７上
に取付けられたウェハ１１１を照射する。ウェハ取付部
１１７には上述したＳＯＲ光１０１照射により発生する
熱を除去するための温調水路１１８が埋設されており、
該温調水路１１８には露光チャンバ１１３外部に設けら
れた温調水供給装置１１９によって温度が高鯖度に安定
化された温調水が循環されている。温調水路１１８は、
不図示ではあるが露光チャンバ１１３内の各発熱部に引
き回されており、熱歪によりマスク１１２とウェハ１１
１との間にパターンずれが生じることを防止している。
ビームライン１０３には、真空リークにより発生する衝
撃波の進行を遅らせるための衝撃波遅延管１０４および
ＳＯＲＯＲ光１を拡げるためのミラーチャンバ１０５が
径路中に順に設けられ、ミラーチャンバ１０５と窓材１
０７との間には圧力センサ１０６が、また、シンクロト
ロン放射光装置と衝撃波遅延管１０４との間には圧力セ
ンサ１０６の検出状態に応じて動作する緊急遮断弁１０
２が設けられている。露光チャンバ１１３に収容される
マスク１１５およびウェハ１１１は、マスク予備室１１
６内に収容されるマスク１１５およびウェハ予備室１０
９内に収容されるウェハ１１１とゲート弁１１４および
ゲート弁１１０をそれぞれ介して交換される。
撃波の進行を遅らせるための衝撃波遅延管１０４および
ＳＯＲＯＲ光１を拡げるためのミラーチャンバ１０５が
径路中に順に設けられ、ミラーチャンバ１０５と窓材１
０７との間には圧力センサ１０６が、また、シンクロト
ロン放射光装置と衝撃波遅延管１０４との間には圧力セ
ンサ１０６の検出状態に応じて動作する緊急遮断弁１０
２が設けられている。露光チャンバ１１３に収容される
マスク１１５およびウェハ１１１は、マスク予備室１１
６内に収容されるマスク１１５およびウェハ予備室１０
９内に収容されるウェハ１１１とゲート弁１１４および
ゲート弁１１０をそれぞれ介して交換される。
ビームライン１０３にリークが生じたときや露光チャン
バ１１３にリークが生じて窓材１０７が破損したときは
、これに伴なって圧力センサ１１２の検出圧力が上昇し
て緊急遮断弁１０２が閉じられてシンクロトロン放射光
発生装置に大気が侵入することが防がれる。
バ１１３にリークが生じて窓材１０７が破損したときは
、これに伴なって圧力センサ１１２の検出圧力が上昇し
て緊急遮断弁１０２が閉じられてシンクロトロン放射光
発生装置に大気が侵入することが防がれる。
本実施例のビームライン１０３には上記の各構成のほか
に、露光チャンバ１１３内の圧力を検出するための圧力
検知手段である圧力センサ１２０と、圧力センサ１２１
と、ミラーチャンバ１０５と窓材１０７との間を遮断す
る遮断弁１３０と、該遮断弁１３０と窓材１０７の間の
部位と露光チャンバ１１３とをバイパスするバイパス１
２２と、該バイパス１２２による開放／遮断を制御する
連通弁１２３と、窓材１０７と遮断弁１３０との間の領
域を開閉弁であるポンプ弁１２４を介して真空排気する
真空ポンプ１２５とが設けられている。圧力センサ１２
０は窓材１０７と露光チャンバ１１３との間に設けられ
、圧力センサ１２１は窓材１０７と遮断弁１３０との間
に設けられている。また、露光チャンバ１１３内の温調
水路１１８の要部には漏水センサ１２７が取付けられ、
温調水路１１８の温調水供給装置１１９との出入口部に
は温調水の循環動作を遮断するための２個の水路遮断弁
１２６＋ 、１２６２がそれぞれ設けられている。上記
のように構成されたビームライン１０３、露光チャンバ
１１３の外部には、漏水センサ１２７および各水路遮断
弁１２６．。
に、露光チャンバ１１３内の圧力を検出するための圧力
検知手段である圧力センサ１２０と、圧力センサ１２１
と、ミラーチャンバ１０５と窓材１０７との間を遮断す
る遮断弁１３０と、該遮断弁１３０と窓材１０７の間の
部位と露光チャンバ１１３とをバイパスするバイパス１
２２と、該バイパス１２２による開放／遮断を制御する
連通弁１２３と、窓材１０７と遮断弁１３０との間の領
域を開閉弁であるポンプ弁１２４を介して真空排気する
真空ポンプ１２５とが設けられている。圧力センサ１２
０は窓材１０７と露光チャンバ１１３との間に設けられ
、圧力センサ１２１は窓材１０７と遮断弁１３０との間
に設けられている。また、露光チャンバ１１３内の温調
水路１１８の要部には漏水センサ１２７が取付けられ、
温調水路１１８の温調水供給装置１１９との出入口部に
は温調水の循環動作を遮断するための２個の水路遮断弁
１２６＋ 、１２６２がそれぞれ設けられている。上記
のように構成されたビームライン１０３、露光チャンバ
１１３の外部には、漏水センサ１２７および各水路遮断
弁１２６．。
１２６２と接続する漏水検出回路１２８と、制御装置１
２９とか設けられている。制御装置１２９は漏水検出回
路１２８と接続され、また、第１図（ａ）ては不図示の
接続線を介して各圧力センサ１２０，１２１．連通弁１
２３、ポンプ弁１２４、遮断弁１３０と接続するもので
、各圧力センサの検出する圧力や、漏水センサ１２７の
検出状況に応じて遮断弁１３０、連通弁１２３、ポンプ
弁１２４および各水路遮断弁１２６．。
２９とか設けられている。制御装置１２９は漏水検出回
路１２８と接続され、また、第１図（ａ）ては不図示の
接続線を介して各圧力センサ１２０，１２１．連通弁１
２３、ポンプ弁１２４、遮断弁１３０と接続するもので
、各圧力センサの検出する圧力や、漏水センサ１２７の
検出状況に応じて遮断弁１３０、連通弁１２３、ポンプ
弁１２４および各水路遮断弁１２６．。
１２６２の動作を制御する。また、不図示の表示装置と
も接続しており、これの表示動作の制御も行なっている
。
も接続しており、これの表示動作の制御も行なっている
。
第１図（ｂ）は上述した制御装置１２９と、漏水検出回
路１２８、各圧力センサ１２０゜１２１、連通弁１２３
、ポンプ弁１２４および遮断弁１３０との接続状態を示
すブロック図である。
路１２８、各圧力センサ１２０゜１２１、連通弁１２３
、ポンプ弁１２４および遮断弁１３０との接続状態を示
すブロック図である。
第２図は露光チャンバ１１３内の温調水路１１８に取付
けられる漏水センサ１２７の構成を示す図である。
けられる漏水センサ１２７の構成を示す図である。
木実施例における漏水センサ１２７としては電極間の抵
抗値の変化から漏水を検出するタイプのものが用いられ
ている。
抗値の変化から漏水を検出するタイプのものが用いられ
ている。
ウェハ１１１が取付けられるウェハ取付部１１７はガイ
ド２０２に沿って第２図の上下方向に移動するものであ
り、コネクタ２０６を介して温調水路１１８と接続され
その内部に温調水が循環されている。漏水センサ１２７
として使用される電極２０４は、電線状に形成された１
対のものが並列に形成されたもので、ハーメチックコネ
クタ２０５を介して露光チャンバ１１３内に導入される
センサケーブル２０３内に収容されて複数の漏水検出箇
所まで並列あるいは直列に導びかれる。漏水検出箇所と
してはコネクタ２０６近辺に設定される。これらはウェ
ハ取付部１１７の移動に伴なってコネクタ２０６にゆる
みが生じ、漏水する危険性が高いためである。いずれか
の漏水検出箇所に漏水が生じた場合には電極２０４間の
抵抗値が低下するため、該抵抗値の変化により漏水を検
出することができる。
ド２０２に沿って第２図の上下方向に移動するものであ
り、コネクタ２０６を介して温調水路１１８と接続され
その内部に温調水が循環されている。漏水センサ１２７
として使用される電極２０４は、電線状に形成された１
対のものが並列に形成されたもので、ハーメチックコネ
クタ２０５を介して露光チャンバ１１３内に導入される
センサケーブル２０３内に収容されて複数の漏水検出箇
所まで並列あるいは直列に導びかれる。漏水検出箇所と
してはコネクタ２０６近辺に設定される。これらはウェ
ハ取付部１１７の移動に伴なってコネクタ２０６にゆる
みが生じ、漏水する危険性が高いためである。いずれか
の漏水検出箇所に漏水が生じた場合には電極２０４間の
抵抗値が低下するため、該抵抗値の変化により漏水を検
出することができる。
露光チャンバ１１３内に収容されるウェハ１１１は、ビ
ームライン１０３および窓材１０７を通り、マスク１１
２によって部分的に遮光されたＳＯＲ光１０１によって
露光される。この露光時において、−上述したようにマ
スク１１２にはＳＯＲ光１０１が照射されることによる
発熱が生じるため、露光チャンバ１１３内は必要な熱伝
導が生じる程度に減圧された気体雰囲気（Ｈｅ ：１５
０Ｔｏｒｒ）とされている。また、窓材１０７としては
ＳＯＲ光１０１をよく透過することが必要とされるため
、Ｂｅを薄く（１０μｍ〜２０μｍ）加工したものが用
いられている。上記の露光チャンバ１１３内の圧力Ｐｓ
（１５０Ｔｏｒｒ）は、この厚さにおける窓材１０７の
耐圧ＰＬよりも低く設定されている。
ームライン１０３および窓材１０７を通り、マスク１１
２によって部分的に遮光されたＳＯＲ光１０１によって
露光される。この露光時において、−上述したようにマ
スク１１２にはＳＯＲ光１０１が照射されることによる
発熱が生じるため、露光チャンバ１１３内は必要な熱伝
導が生じる程度に減圧された気体雰囲気（Ｈｅ ：１５
０Ｔｏｒｒ）とされている。また、窓材１０７としては
ＳＯＲ光１０１をよく透過することが必要とされるため
、Ｂｅを薄く（１０μｍ〜２０μｍ）加工したものが用
いられている。上記の露光チャンバ１１３内の圧力Ｐｓ
（１５０Ｔｏｒｒ）は、この厚さにおける窓材１０７の
耐圧ＰＬよりも低く設定されている。
第５図に示した従来例と同様に、露光に使用されるマス
ク１１２およびウェハ１１１をマスク予備室１１６およ
びウェハ予備室１０９にそれぞれ収容されるマスク１１
５およびウェハ１０８と交換する際には、ウェハ予備室
１０９およびマスク予備室１１６は露光チャンバ１１３
内と同様の雰囲気に置換されたいわゆるロードロックさ
れた状態とされる。
ク１１２およびウェハ１１１をマスク予備室１１６およ
びウェハ予備室１０９にそれぞれ収容されるマスク１１
５およびウェハ１０８と交換する際には、ウェハ予備室
１０９およびマスク予備室１１６は露光チャンバ１１３
内と同様の雰囲気に置換されたいわゆるロードロックさ
れた状態とされる。
露光チャンバ１１３、ウェハ予備室１０９およびマスク
予備室１１６のそれぞれには図示しないが上記のような
室内雰囲気を実現するための真空排気手段およびガス導
入手段が設けられ、圧力調整が行なわするもので、これ
らの各真空排気手段および各ガス導入手段の動作も制御
装置１２９により制御されている。
予備室１１６のそれぞれには図示しないが上記のような
室内雰囲気を実現するための真空排気手段およびガス導
入手段が設けられ、圧力調整が行なわするもので、これ
らの各真空排気手段および各ガス導入手段の動作も制御
装置１２９により制御されている。
通常の露光時において、緊急遮断弁１０２、遮断弁１３
０およびポンプ弁１２４は開状態とされ、連通弁１２３
は閉状態とされて、真空ポンプ１２５によってもビーム
ライン１０３を真空状態とすることが行なわれている。
０およびポンプ弁１２４は開状態とされ、連通弁１２３
は閉状態とされて、真空ポンプ１２５によってもビーム
ライン１０３を真空状態とすることが行なわれている。
露光動作中のビームライン１０３にリークが生じた場合
には、このことは第５図に示した従来例と同様に圧力セ
ンサ１０６により検出され、緊急遮断弁１０２が閉じら
れてシンクロトロン放射光装置の保護がなされる。また
、露光チャンバ１１３に関するリークおよび漏水の検出
とこれらに伴なう窓材１０７の保護は制御装置１２９の
制御により行なわれる。
には、このことは第５図に示した従来例と同様に圧力セ
ンサ１０６により検出され、緊急遮断弁１０２が閉じら
れてシンクロトロン放射光装置の保護がなされる。また
、露光チャンバ１１３に関するリークおよび漏水の検出
とこれらに伴なう窓材１０７の保護は制御装置１２９の
制御により行なわれる。
第３図（ａ）は露光動作中の制御装置１２９の動作を示
すフローチャートである。
すフローチャートである。
制御装置１２９は、露光動作時においては圧力センサ１
２０により検出される露光チャンバ１１３内の圧力Ｐが
所定の圧力ｐｏ （Ｐ、＜Ｐｏ＜ Ｐ Ｌここで、Ｐ
ｌは露光チャンバ１１３の露光時での圧力、ＰＬは窓材
１０７の耐圧である。）を超えるものであるか、また、
漏水センサ１２７により漏水があるかを常時監視してお
り（ステップＳ１）、マスク予備室１１６やウェハ予備
室１０９におけるロードロックの失敗や、露光チャンバ
１１３内の圧力調整が失敗して圧力Ｐが所定の圧力Ｐｏ
を超えた場合や漏水を検出した場合のいずれかには遮断
弁１３０およびポンプ弁１２４を閉状態としくステップ
Ｓ２）、続いて連通弁１２３を開状態とし、露光チャン
バ１１３をシステムダウンンしたうえで表示装置（不図
示）に露光チャンバ１１３内に異常が発生した旨を示す
表示を行なわせる（ステップＳ３）。
２０により検出される露光チャンバ１１３内の圧力Ｐが
所定の圧力ｐｏ （Ｐ、＜Ｐｏ＜ Ｐ Ｌここで、Ｐ
ｌは露光チャンバ１１３の露光時での圧力、ＰＬは窓材
１０７の耐圧である。）を超えるものであるか、また、
漏水センサ１２７により漏水があるかを常時監視してお
り（ステップＳ１）、マスク予備室１１６やウェハ予備
室１０９におけるロードロックの失敗や、露光チャンバ
１１３内の圧力調整が失敗して圧力Ｐが所定の圧力Ｐｏ
を超えた場合や漏水を検出した場合のいずれかには遮断
弁１３０およびポンプ弁１２４を閉状態としくステップ
Ｓ２）、続いて連通弁１２３を開状態とし、露光チャン
バ１１３をシステムダウンンしたうえで表示装置（不図
示）に露光チャンバ１１３内に異常が発生した旨を示す
表示を行なわせる（ステップＳ３）。
圧力Ｐが窓材１０７の耐圧ＰＬに達するまえに遮断弁１
３０が閉められることにより少なくとも窓材１０７の破
片がビームライン１０３の上流に飛散することを防止す
ることができ、また圧力Ｐが窓材１０７の耐圧ＰＬに達
するまえに連通弁１２３を開けることにより窓材１０７
に圧力が加わることを防止することができ、窓材１０７
が破損することを防ぐことができる。
３０が閉められることにより少なくとも窓材１０７の破
片がビームライン１０３の上流に飛散することを防止す
ることができ、また圧力Ｐが窓材１０７の耐圧ＰＬに達
するまえに連通弁１２３を開けることにより窓材１０７
に圧力が加わることを防止することができ、窓材１０７
が破損することを防ぐことができる。
第３図（ｂ）は、露光チャンバ１１３に生じたリークが
修理され、露光動作再立上げ時における制御装置１２９
の動作を示すフローチャートである。
修理され、露光動作再立上げ時における制御装置１２９
の動作を示すフローチャートである。
制御装置１２９は、再立上げ時には露光チャンバ１１３
に設けられた真空排気手段により露光チャンバ１１３内
の真空排気を行なわせる。この動作は圧力センサ１１７
が検出する圧力Ｐが所定の値ＰＡ（１０−３Ｔｏ ｒ
ｒ近辺）を下回るまで続けられ（ステップＳ４）、Ｐ＜
ＰＡとなると連通弁１２３を閉じる（ステップＳ５）。
に設けられた真空排気手段により露光チャンバ１１３内
の真空排気を行なわせる。この動作は圧力センサ１１７
が検出する圧力Ｐが所定の値ＰＡ（１０−３Ｔｏ ｒ
ｒ近辺）を下回るまで続けられ（ステップＳ４）、Ｐ＜
ＰＡとなると連通弁１２３を閉じる（ステップＳ５）。
次に、ポンプ弁１２４を開とし、また、露光チャンバ１
１３内に設けられたガス導入手段により露光チャンバ１
１３内へのＨｅの導入を開始する（ステップＳ６）。こ
の後、圧力センサ１２１が検出する圧力Ｐが露光時にお
いてビームライン１０３に要求される真空度１０−’Ｔ
ｏｒｒを下回るものであるかを確認しくステップＳ７）
、さらに、露光チャンバ１１３内の室内雰囲気が露光可
能なものであるかを確認した後に（ステップＳ８）、遮
断弁１３０を開ける（ステップＳ９）。
１３内に設けられたガス導入手段により露光チャンバ１
１３内へのＨｅの導入を開始する（ステップＳ６）。こ
の後、圧力センサ１２１が検出する圧力Ｐが露光時にお
いてビームライン１０３に要求される真空度１０−’Ｔ
ｏｒｒを下回るものであるかを確認しくステップＳ７）
、さらに、露光チャンバ１１３内の室内雰囲気が露光可
能なものであるかを確認した後に（ステップＳ８）、遮
断弁１３０を開ける（ステップＳ９）。
上記のような動作を行なわせることにより、ビームライ
ン１０３中にＨｅが侵入することを防ぐことができ、露
光を円滑に再開することがてきる。
ン１０３中にＨｅが侵入することを防ぐことができ、露
光を円滑に再開することがてきる。
第４図は本発明の第２の実施例の構成を示す図である。
本実施例は第１図に示した第１の実施例構成を簡略化し
、遮断弁４０１をあらたに設けたものであるため、同様
の構成のものには第１図（ａ）と同一番号を付し、説明
は省略する。
、遮断弁４０１をあらたに設けたものであるため、同様
の構成のものには第１図（ａ）と同一番号を付し、説明
は省略する。
本実施例においては第１図（ａ）中に示した遮断弁１３
０、バイパス１２２、連通弁１２３、ポンプ弁１２４ｓ
３よび真空ポンプ１２５が省かれ、窓材１０７と圧力セ
ンサ１２０の間に制御装置１２９により動作が制御され
る遮断弁４０１が設けられている。
０、バイパス１２２、連通弁１２３、ポンプ弁１２４ｓ
３よび真空ポンプ１２５が省かれ、窓材１０７と圧力セ
ンサ１２０の間に制御装置１２９により動作が制御され
る遮断弁４０１が設けられている。
制御装置１２９は圧力センサ１２０により検出された圧
力Ｐが所定の圧力Ｐ。を超えたときもしくは漏水センサ
１２７により漏水が検出されたときのいずれかの場合に
遮断弁４０１を閉じ、窓材１０７にさらに圧力が加わる
ことを防ぐことにより窓材１０７が破損されることを防
止する。
力Ｐが所定の圧力Ｐ。を超えたときもしくは漏水センサ
１２７により漏水が検出されたときのいずれかの場合に
遮断弁４０１を閉じ、窓材１０７にさらに圧力が加わる
ことを防ぐことにより窓材１０７が破損されることを防
止する。
本発明の他の実施例としては第１の実施例の構成と第２
の実施例の構成とを組み合わせたものも考えられる。こ
れは第１図（ａ）に示した第１の実施例のものに、バイ
パス１２２の露光チャンバ１１３側の連通部と露光チャ
ンバ１１３との間に第３図示の遮断弁４０】を設けたも
のである。
の実施例の構成とを組み合わせたものも考えられる。こ
れは第１図（ａ）に示した第１の実施例のものに、バイ
パス１２２の露光チャンバ１１３側の連通部と露光チャ
ンバ１１３との間に第３図示の遮断弁４０】を設けたも
のである。
この場合の制御装置１２９の動作は第２図（ａ）、（ｂ
）に示した第１の実施例とほぼ同様のものとし、遮断弁
１３０の開閉動作と遮断弁４０１の開閉動作とが連動す
るものとすればよい。これにより、遮断弁１３０および
遮断弁４０１が閉じられた後には窓材１０７にはリーク
による圧力がかかることがなくなるので安全性がさらに
向上する。
）に示した第１の実施例とほぼ同様のものとし、遮断弁
１３０の開閉動作と遮断弁４０１の開閉動作とが連動す
るものとすればよい。これにより、遮断弁１３０および
遮断弁４０１が閉じられた後には窓材１０７にはリーク
による圧力がかかることがなくなるので安全性がさらに
向上する。
なお、以上説明した各実施例においては、漏水センサと
して電極間の抵抗値変化から漏水を検出するものとして
説明したが、このほかにも相対湿度計や水分計を用いて
漏水を検出することが考えられ、このように構成しても
よい。
して電極間の抵抗値変化から漏水を検出するものとして
説明したが、このほかにも相対湿度計や水分計を用いて
漏水を検出することが考えられ、このように構成しても
よい。
本発明は以上説明したように構成されているので、以下
に記載するような効果を奏する。
に記載するような効果を奏する。
請求項１に記載のものにおいては露光チャンバのリーク
および露光チャンバ内での漏水をいち早く検出すること
ができるので、窓材が破損されることおよびシンクロト
ロン放射光装置に露光チャンバ内の気体が侵入すること
を阻止することができる効果かある。特に漏水が発生し
た場合には、実際に圧力が上昇する前に防止措置がとら
れることになり、上記効果は大きなものとなる。
および露光チャンバ内での漏水をいち早く検出すること
ができるので、窓材が破損されることおよびシンクロト
ロン放射光装置に露光チャンバ内の気体が侵入すること
を阻止することができる効果かある。特に漏水が発生し
た場合には、実際に圧力が上昇する前に防止措置がとら
れることになり、上記効果は大きなものとなる。
請求項２に記載のものにおいては、上記各効果のうちの
窓材の破損防止効果がさらに向上する。
窓材の破損防止効果がさらに向上する。
請求項３に記載のものにおいては、露光チャンバのリー
クや露光チャンバ内での漏水による破損防止を簡単な構
成にて実現することができる効果がある。
クや露光チャンバ内での漏水による破損防止を簡単な構
成にて実現することができる効果がある。
第１図（ａ）は本発明の第１の実施例の構成を示す図、
第１図（ｂ）は第１図（ａ）中の制御装置１２９の接続
状態を示す図、第２図は第１図（ａ）中の漏水センサ１
２７の構成を示す図、第３図（ａ）、（ｂ）はそれぞれ
制御装置１２９の制御動作を示すフローチャート、第４
図は本発明の第２の実施例の構成を示す図、第５図は従
来例の構成を示す図である。 １０１−５ＯＲ光、 １０２−・・緊急遮断弁、 １０３−・・ビームライン、 １０４−・・衝°撃波遅延管、 １０５−・・ミラーチャンバ、 １０６．１２０，１２１−・・圧力センサ、１０７・・
・窓材、 １０８．１１１・・・ウェハ、 ９・・・ウニ八予備室、 ０．１１４−・・ゲート弁、 ２．１１５−・・マスク、 ３・・・露光チャンバ、 ６・・・マスク予備室、 ７・・・ウェハ取付部、 ８・・・温調水路、 ９・・・温調水供給装置、 ２・・・バイパス、 ３・・・連通弁、 ４・・・ポンプ弁、 ５・・・真空ポンプ、 ６、．１２６２・・・水路遮断弁、 ７・・・漏水センサ、 ８・・・漏水検出回路、 ９・・・制御装置、 ０．４０１−・・遮断弁、 ２・・・ガイド、 ３・・・センサケーブル、 ４・・・電極、 ２０５−・・ハーメチックコネクタ、 ２０６・・・コネクタ。 特許出願人 キャノン株式会社 代 理 人 弁理士 若株 忠 第 図
第１図（ｂ）は第１図（ａ）中の制御装置１２９の接続
状態を示す図、第２図は第１図（ａ）中の漏水センサ１
２７の構成を示す図、第３図（ａ）、（ｂ）はそれぞれ
制御装置１２９の制御動作を示すフローチャート、第４
図は本発明の第２の実施例の構成を示す図、第５図は従
来例の構成を示す図である。 １０１−５ＯＲ光、 １０２−・・緊急遮断弁、 １０３−・・ビームライン、 １０４−・・衝°撃波遅延管、 １０５−・・ミラーチャンバ、 １０６．１２０，１２１−・・圧力センサ、１０７・・
・窓材、 １０８．１１１・・・ウェハ、 ９・・・ウニ八予備室、 ０．１１４−・・ゲート弁、 ２．１１５−・・マスク、 ３・・・露光チャンバ、 ６・・・マスク予備室、 ７・・・ウェハ取付部、 ８・・・温調水路、 ９・・・温調水供給装置、 ２・・・バイパス、 ３・・・連通弁、 ４・・・ポンプ弁、 ５・・・真空ポンプ、 ６、．１２６２・・・水路遮断弁、 ７・・・漏水センサ、 ８・・・漏水検出回路、 ９・・・制御装置、 ０．４０１−・・遮断弁、 ２・・・ガイド、 ３・・・センサケーブル、 ４・・・電極、 ２０５−・・ハーメチックコネクタ、 ２０６・・・コネクタ。 特許出願人 キャノン株式会社 代 理 人 弁理士 若株 忠 第 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、シンクロトロン放射光を発生するシンクロトロン放
射光装置と、 前記シンクロトロン放射光装置とビームラインを介して
接続され、該ビームライン中に設けられた窓材を介して
入射されるシンクロトロン放射光により露光処理が行な
われる露光チャンバとによって構成され、該露光チャン
バの熱発生部には温度調節用の温調水路が配置されてい
るＸ線露光装置において、 前記露光チャンバ内の圧力を検出する圧力検知手段と、 前記窓材と前記シンクロトロン放射光装置との間の前記
ビームラインに設けられた遮断弁と、前記ビームライン
中の、前記窓材と遮断弁の間の部分と前記窓材と露光チ
ャンバの間の部分とを連通させる連通弁を介在させたバ
イパスと、前記ビームライン中の前記窓材と遮断弁の間
の部分の真空排気を行なうための真空排気手段と、前記
ビームラインと真空排気手段とを結ぶ管路中に設けられ
たポンプ弁と、 前記温調水路にて発生した漏水を検出する漏水センサと
、 前記圧力検知手段の検出圧力に応じ、露光動作時の前記
検出圧力が予め定められた所定の圧力よりも低い定常状
態を示すものである場合には、前記遮断弁およびポンプ
弁を開状態、前記連通弁を閉状態とし、露光動作時の前
記検出圧力が予め定められた所定の圧力を超えるか、も
しくは前記漏水センサが漏水を検出した場合には、前記
遮断弁およびポンプ弁を閉状態とした後に前記連通弁を
開状態とする制御装置を備えたことを特徴とするＸ線露
光装置。 ２、請求項１記載のＸ線露光装置において、窓材とシン
クロトロン放射光装置との間のビームラインに設けられ
た遮断弁と同様に開閉状態が制御される第２の遮断弁が
、窓材と露光チャンバとの間のビームラインに設けられ
ているＸ線露光装置。 ３、シンクロトロン放射光を発生するシンクロトロン放
射光装置と、 前記シンクロトロン放射光装置とビームラインを介して
接続され、該ビームライン中に設けられた窓材を介して
入射されるシンクロトロン放射光により露光処理が行な
われる露光チャンバとによって構成され、該露光チャン
バの熱発生部には温度調節用の温調水路が配置されてい
るＸ線露光装置において、 前記露光チャンバ内の圧力を検出する圧力検知手段と、 前記窓材と前記露光チャンバとの間の前記ビームライン
に設けられた遮断弁と、 前記温調水路にて発生した漏水を検出する漏水センサと
、 前記圧力検知手段の検出圧力に応じ、露光動作時の前記
検出圧力が予め定められた所定の圧力よりも低い定常状
態を示すものである場合には前記遮断弁を開状態とし、
露光動作時の前記検出圧力が予め定められた所定の圧力
を超えるか、もしくは前記漏水センサが漏水を検出した
場合には前記遮断弁を閉状態とする制御装置を備えたこ
とを特徴とするＸ線露光装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2158693A JPH0449614A (ja) | 1990-06-19 | 1990-06-19 | Ｘ線露光装置 |
| DE69033002T DE69033002T2 (de) | 1989-10-02 | 1990-10-01 | Belichtungsvorrichtung |
| EP90310748A EP0422814B1 (en) | 1989-10-02 | 1990-10-01 | Exposure apparatus |
| US07/591,252 US5138643A (en) | 1989-10-02 | 1990-10-01 | Exposure apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2158693A JPH0449614A (ja) | 1990-06-19 | 1990-06-19 | Ｘ線露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0449614A true JPH0449614A (ja) | 1992-02-19 |
Family
ID=15677293
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2158693A Pending JPH0449614A (ja) | 1989-10-02 | 1990-06-19 | Ｘ線露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0449614A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011160001A (ja) * | 2003-07-28 | 2011-08-18 | Nikon Corp | 露光装置及びデバイス製造方法、並びに露光装置の制御方法 |
-
1990
- 1990-06-19 JP JP2158693A patent/JPH0449614A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011160001A (ja) * | 2003-07-28 | 2011-08-18 | Nikon Corp | 露光装置及びデバイス製造方法、並びに露光装置の制御方法 |
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