JP5277288B2 - 紫外線ガスレーザ装置 - Google Patents
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Description
ウィンドウ22と案内ミラー14、15の表面は常に清浄にしておく必要がある。また光路調整モジュール13内を通過するシード光ができるだけ減衰しないことが望ましい。同様のことは狭帯域化モジュール12についてもいえる。
本願明細書では、図4において、レーザチャンバ11、21に連通して設けた排気用のガス管路をまとめてレーザガス排気用回路60と呼ぶ。レーザガス排気用回路60は、おもにレーザチャンバ11、21内のレーザガスを排気するための2つのガス管路11b、21cと、ガス管路48と、フッ素ガスを捕獲するフィルタ49と、逆止弁54と、ポンプ50とからなる。レーザチャンバ11、21には、レーザガスを供給するためのガス管路11e、21dが接続されている。
前記容器から排出されるガスのうち所定のガス成分を捕獲するフィルタを前記筺体内に備えたことを特徴とする。
第1発明乃至第3発明によれば、たとえレーザチャンバに設けたウィンドウに発生したクラックからレーザガスがリークしても、ウィンドウを大気から遮断する容器から筺体側にレーザガスが放出される前に、レーザガスに含まれる所定のガス成分をフィルタで捕獲することができる。
図1は本願発明の実施例1の紫外線ガスレーザ装置を説明するための概念図である。
実施例1は、図1に示すように、パージ用回路40のパージガスがレーザガス排気用回路60に設けられたフィルタ49を介して筺体2内に放出される構成であった。
また、パージ用回路40には逆止弁がないため、実施例1の場合より小さな圧力のパージガスで案内ミラー容器13a内およびフロントミラー容器24内に導入可能である。
実施例1および実施例2では、ウィンドウ22、23に発生したクラックからリークしたレーザガスのうちフッ素ガスをフィルタで捕獲し、これにより、フッ素ガスが筺体2内に放出されることを防止していた。
2 筺体
4 排気通路
5 排気通路側ガスセンサ
10 発振段
11 発振段のレーザチャンバ
13 光路調整モジュール
13a 案内ミラー容器
20 増幅段
21 増幅段のレーザチャンバ
22、23 ウィンドウ
24 フロントミラー容器
30 露光装置
40 パージ用回路
49 フィルタ
56 フィルタ
60 レーザガス排気用回路
Claims (3)
- 前後にレーザ光を透過させるウィンドウを有するレーザチャンバと、前記レーザチャンバに接続された前記ウィンドウおよびレーザ光路を覆う容器と、前記レーザチャンバと前記容器を収納する筺体とを備え、前記容器内のガスを前記筺体内に排出する紫外線ガスレーザ装置において、
前記容器に接続され当該容器内のパージガスを前記筐体内に配置された放出端より前記筐体内に放出するパージ用回路と、
前記レーザチャンバに接続され当該レーザチャンバ内のレーザガスを前記筐体内に配置された排出口より前記筐体内に排出するレーザガス排気用回路と、
前記容器および前記レーザチャンバから排出されるガスのうち所定のガス成分を捕獲するフィルタを前記パージ用回路および前記レーザガス排気用回路に設け、
前記パージ用回路および前記レーザガス排気用回路のガスの流れを規制する規制手段を前記フィルタの下流側に設けたことを特徴とする紫外線ガスレーザ装置。 - 前記パージ用回路と前記レーザガス排気用回路が前記フィルタを共有し、前記パージ用回路と前記レーザガス排気用回路が前記規制手段を共有することを特徴とする請求項1記載の紫外線ガスレーザ装置。
- 前記パージ用回路に前記フィルタを設けるとともに、前記レーザガス排気用回路に、前記パージ用回路に設けられた当該フィルタとは別に、前記所定のガス成分を捕獲するフィルタを設け、
前記パージ用回路に設けられた前記フィルタの下流側に、前記パージ用回路のガスの流れを規制する規制手段を設けるとともに、前記レーザガス排気用回路に設けられた前記フィルタの下流側に、前記パージ用回路に設けられた当該規制手段とは別に、前記レーザガス排気用回路のガスの流れを規制する規制手段を設けることを特徴とする請求項1記載の紫外線ガスレーザ装置。
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