KR101907525B1 - 잔류가스 배기 장치 - Google Patents

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KR101907525B1
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vacuum pump
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유병주
박영희
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(주)코셉솔루션
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Abstract

본 발명은 공정챔버로부터 발생된 배기가스가 진공펌프를 거쳐 스크러버로 이동하는 배기시스템에서 공정챔버와 진공펌프를 거쳐 스크러버로 이동하는 배관 주변의 구성을 교체해야 하는 상황에서 그 배관 내부의 잔류가스를 스크러버가 위치하는 배관으로 안전하게 배기시키는 기술로서, 공정챔버와 진공펌프를 잇는 제 1 배관에 장착된 게이트밸브를 기준으로 제 1 배관의 상부인 제 1 상부배관 내부의 잔류가스와 제 1 배관의 하부인 제 1 하부배관 내부의 잔류가스를 외부로부터 제공되는 희석용가스로 퍼지시켜 진공펌프와 스크러버를 잇는 제 2 배관으로 바이패스시키는 기술에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 제 1 배관의 하부, 진공펌프, 가스공급탱크로부터 연장되는 플러싱 배관, 잔류가스 바이패스관, 제 2 배관은 외부와 차폐되도록 제 1 배관의 하부, 진공펌프, 가스공급탱크로부터 연장되는 플러싱 배관, 잔류가스 바이패스관, 제 2 배관을 감싸는 커버를 구비함에 따라 제 1 배관 주변의 구성을 교체할 때 일부 노출되는 잔류가스가 외부로 확산되는 것을 방지하는 장점이 있다.

Description

잔류가스 배기 장치 {residual gas exhaust device}
본 발명은 공정챔버로부터 발생된 배기가스가 진공펌프를 거쳐 스크러버로 이동하는 배기시스템에서 주요 구성품의 교체 혹은 턴오프시 공정챔버와 진공펌프를 잇는 배관 내의 잔류가스를 스크러버가 위치하는 배관으로 배기시키는 기술이다.
더욱 상세하게는, 본발명은 공정챔버와 진공펌프를 잇는 제 1 배관에 장착된 게이트밸브를 기준으로 제 1 배관의 상부인 제 1 상부배관 내부의 잔류가스와 제 1 배관의 하부인 제 1 하부배관 내부의 잔류가스를 외부로부터 제공되는희석용가스로 퍼지시켜 진공펌프와 스크러버 간에 연결되는 제 2 배관으로 배기시키는 기술에 관한 것이다.
[도 1]은 공정챔버로부터 발생되는 배기가스를 스크러버로 이동시키기 위한 개략적인 구성을 도시한 예시도이다.
[도 1]을 참조하면, 공정챔버(10)와 진공펌프(21)는 제 1 배관(22)으로 연결되고 진공펌프(21)와 스크러버(24)는 제 2 배관(25)으로 연결된다.
그리고, 제 1 배관(22)에는 게이트밸브(23)가 장착되어 그 게이트밸브(23)가 제 1 배관(22)의 유량 흐름을 통제한다.
또한, 게이트밸브(23)를 기준으로 제 1 배관(22)의 상부인 제 1 상부배관(22a)과 제 1 배관(22)의 하부인 제 1 하부배관(22b)이 상호 구획되도록 구성된다.
그리고, 진공펌프(21)와 연결되는 제 1 하부배관(22b)의 하부는 일반적으로 플렉시블한 움직임을 나타내는 벨로우즈관으로 구성된다.
그 결과, 공정챔버(10)로부터 발생하는 유해성분의 배기가스는 제 1 배관(22)을 통해 진공펌프(21)에 도달한 후, 제 2 배관(25)을 통해 스크러버(24)로 이동한다.
그런데, 진공펌프(21)나 벨로우즈관으로 이루어진 제 1 하부배관(22b)의 경우, 이를 정기적 혹은 교체해야 하는 경우가 생기는데 이 경우 제 1 하부배관(22b)의 벨로우즈관 혹은 진공펌프(21)의 교체를 위해 해당 교체 부위를 탈거한다.
이때, 게이트밸브(23)가 닫혀 있다고 가정할때 제 1 하부배관(22b) 내의 잔류가스가 그대로 외부에 노출되는 문제가 발생한다.
한편, 제 1 상부배관(22a)의 상단부에 연결되는 소정의 구성도 정기적으로 또는 그 손상시 이를 교체해야 하는 경우가 생기는데 이 경우에도 제 1 상부배관(22a)의 상단부에 연결된 소정의 구성을 떼어내면 제 1 상부배관(22a) 내부의 잔류가스가 그대로 외부에 노출되는 문제가 발생한다.
이와같이, 제 1 배관(22) 내부의 잔류가스가 여러 회차에 걸쳐 외부로 유출되는 경우 제 1 배관(22)의 주변에 있는 작업자가 유독한 잔류가스(배기가스)에 노출되는 문제가 발생한다.
본 발명은 상기한 점을 감안하여 제안된 것으로, 본 발명의 목적은 공정챔버와 진공펌프를 거쳐 스크러버로 이동하는 배관 주변의 구성을 교체해야 하는 상황에서 그 배관 내부의 잔류가스를 스크러버가 위치하는 배관으로 안전하게 배기함에 따라 작업자가 잔류가스에 노출됨을 방지하는 잔류가스 배기 장치를 제공함에 있다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 반도체의 공정챔버에 연통 연결되어 그 공정챔버 내에 발생하는 배기가스를 흡입한 후 배기하는 진공펌프와, 공정챔버와 진공펌프를 잇는 제 1 배관과, 진공펌프에 연결되어 진공펌프로부터 배기되는 배기가스를 처리한 후 외부로 배기시키는 스크러버와, 진공펌프와 스크러버로 연결되는 제 2 배관과, 제 1 배관을 제 1 상부배관과 제 1 하부배관으로 구획하는 제1 배관의 소정 위치에 연결되어 제 1 배관 내의 배기가스 흐름을 통제하는 게이트밸브를 구비한 반도체 공정의 배기가스 처리시스템에서 제 1 배관 내의 잔류가스를 제 2 배관으로 바이패스시키는 잔류가스 배기 장치로서, 게이트밸브의 상부에 위치하는 제 1 상부배관에 자신의 일단부가 관통 연결되고 자신의 타단부는 제 2 배관에 관통 연결됨에 따라 게이트밸브가 차단된 경우 제 1 상부배관 내의 잔류가스를 제 2 배관으로 바이패스하는 제 1 바이패스관과, 게이트밸브의 하부에 위치하는 제 1 하부배관에 자신의 일단부가 관통 연결되고 자신의 타단부는 제 2 배관에 관통 연결됨에 따라 게이트밸브가 차단된 경우 제 1 하부배관 내의 잔류가스를 제 2 배관으로 바이패스하는 제 2 바이패스관을 구비하는 잔류가스 바이패스관; 외부의 가스공급탱크로부터 연장되어 제 1 상부배관에 관통 연결되며 가스공급탱크로부터 공급되는 희석용가스를 제 1 상부배관에 주입시킴에 따라 제 1 상부배관 내의 잔류가스를 제 1 바이패스관으로 이송시키는 상부 플러싱 배관과, 가스공급탱크로부터 연장되어 제 1 하부배관에 관통 연결되며 가스공급탱크로부터 공급되는 희석용가스를 제 1 하부배관에 주입시킴에 따라 제 1 하부배관 내의 잔류가스를 제 2 바이패스관으로 이송시키는 하부 플러싱 배관을 구비하는 플러싱 배관; 제 1 상부배관에 인접하는 상부 플러싱 배관에 장착되어 상부 플러싱 배관을 통해 제 1 상부배관으로 유입되는 잔류가스가 역류됨을 차단하는 상부 체크밸브; 제 1 하부배관에 인접하는 하부 플러싱 배관에 장착되어 하부 플러싱 배관을 통해 제 1 하부배관으로 유입되는 잔류가스가 역류됨을 차단하는 하부 체크밸브;를 포함하여 구성된다.
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그리고, 제 1 상부배관에 인접하는 제 1 바이패스관에 장착되어 제 1 상부배관으로부터 제 2 배관으로 이송되는 잔류가스의 흐름을 오픈 또는 클로즈 제어하는 제 1 밸브; 제 1 하부배관에 인접하는 제 2 바이패스관에 장착되어 제 1 하부배관으로부터 제 2 배관으로 이송되는 잔류가스의 흐름을 오픈 또는 클로즈 제어하는 제 2 밸브;를 더 포함하여 구성될 수 있다.
또한, 제 2 배관으로 향하는 제 1 바이패스관과 제 2 배관으로 향하는 제 2 바이패스관이 상호 머지되어 제 2 배관에 연통 연결되는 가스집합관; 가스집합관에 장착되어 제 1 바이패스관과 제 2 바이패스관으로부터 제 2 배관으로 이송되는 잔류가스의 흐름을 오픈 또는 클로즈 제어하는 바이패스 밸브;를 더 포함하여 구성될 수 있다.
다른 한편, 제 1 배관의 하부, 진공펌프, 가스공급탱크로부터 연장되는 플러싱 배관, 잔류가스 바이패스관, 제 2 배관, 스크러버가 각각 외부와 차폐될 수 있도록 제 1 배관의 하부, 진공펌프, 가스공급탱크로부터 연장되는 플러싱 배관, 잔류가스 바이패스관, 제 2 배관, 스크러버를 감싸는 커버;를 더 포함하여 구성될 수 있다.
본 발명은 공정챔버와 진공펌프를 잇는 배관 주변의 구성을 교체해야 하는 상황에서 그 배관 내부의 잔류가스를 외부로부터 제공되는 희석용가스를 퍼지하여 스크러버가 위치하는 배관으로 안전하게 배기함에 따라 그 교체작업을 하는 작업자가 잔류가스에 노출됨을 방지하는 장점을 나타낸다.
또한, 본 발명은 제 1 배관의 상/하부, 진공펌프, 가스공급탱크로부터 연장되는 플러싱 배관, 잔류가스 바이패스관, 제 2 배관, 스크러버가 외부와 차폐되도록 제 1 배관의 상/하부, 진공펌프, 가스공급탱크로부터 연장되는 플러싱 배관, 잔류가스 바이패스관, 제 2 배관을 감싸는 커버를 구비함에 따라 제 1 배관 상/하부 주변의 구성을 교체할 때 일부 누출되는 잔류가스가 외부로 확산되는 것을 방지하는 장점도 나타낸다.
[도 1]은 공정챔버로부터 발생되는 배기가스를 스크러버로 이동시키기 위한 배기가스 처리시스템의 구성을 개략적으로 도시한 예시도,
[도 2]는 본 발명에 따른 잔류가스 배기 장치의 개략적인 구성을 나타낸 예시도,
[도 3]은 [도 2]의 일부분을 발췌하여 확대한 도면,
[도 4]는 [도 3]을 통해 제 1 배관 내의 잔류가스가 퍼지되는 과정을 나타낸 예시도이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.
[도 2]는 본 발명에 따른 잔류가스 배기장치의 개략적인 구성을 나타낸 예시도이고, [도 3]은 [도 2]의 일부분을 발췌하여 확대한 도면이고, [도 4]는 [도3]을 통해 제 1 배관 내의 잔류가스가 퍼지되는 과정을 나타낸 예시도이다.
[도 2]와 [도 3]을 참조하면, 본 발명은 진공펌프(21), 제 1 배관(22), 스크러버(24), 제 2 배관(25), 게이트밸브(23)를 구비하는 배기가스 처리시스템에서 제 1 배관(22) 내의 잔류가스를 제 2 배관(25)으로 바이패스시키는 잔류가스 배기 장치이다.
여기서, 진공펌프(21)는 반도체의 공정챔버(10)에 연통 연결되어 공정챔버(10) 내의 배기가스를 펌핑하여 흡입한 후 제 2 배관(25)을 통해 스크러버(24)로 배기시킨다.
제 1 배관(22)은 공정챔버(10)와 진공펌프(21)를 연통 연결시키고, 스크러버(24)는 제 2 배관(25)을 통해 진공펌프(21)에 연통 연결되어 진공펌프(21)로부터 배기되는 배기가스를 처리한 후 외부로 배기시킨다.
제 2 배관(25)은 진공펌프(21)와 스크러버(24)를 연통 연결시키고, 게이트밸브(23)는 제 1 배관(22)을 제 1 상부배관(22a)과 제 1 하부배관(22b)으로 구획하는 제 1 배관(22)의 소정 위치에 연결되어 제 1 배관(22) 내의 배기가스 흐름을 통제한다.
이때, 제 1 배관(22) 내의 잔류가스를 제 2 배관(25)으로 바이패스시키기 위해, 본 발명은 [도 2]에서와 같이 잔류가스 바이패스관(100), 플러싱 배관(200),상부 체크밸브(310), 하부 체크밸브(320), 제 1 밸브(410), 제 2 밸브(420), 가스집합관(510), 바이패스 밸브(520), 커버(700)를 포함하여 구성될 수 있다.
잔류가스 바이패스관(100)은 [도 2]에서와 같이 상단부가 제 1 배관(22)에 관통 연결되고 하단부는 제 2 배관(25)에 관통 연결된다.
그 결과, 진공펌프(21)에 연결되는 배관 내 잔류가스는 바이패스 상하단부를 통해 제 2 배관(25)으로 바이패스한다.
플러싱 배관(200)은 [도 2]와 [도 3]에서와 같이 외부의 가스공급탱크(30)로부터 연장 연결되어 제 1 배관(22)에 관통 연결된다.
그 결과, 플러싱 배관(200)은 가스공급탱크(30)로부터 공급되는 희석용가스를 제 1 배관(22)에 주입시킴에 따라 제 1 배관(22) 내의 잔류가스를 잔류가스 바이패스관(100)으로 이송시킨다.
여기서, 잔류가스 바이패스관(100)과 플러싱 배관(200)의 구성을 상세하게 살펴 보면 다음과 같다.
먼저, 잔류가스 바이패스관(100)은 제 1 바이패스관(110)과 제 2 바이패스관(120)으로 구성될 수 있다.
바이패스관은 게이트밸브 기준으로 구분되며 게이트밸브 위쪽은 상단부 게이트밸브 아랫쪽을 하단부로 지칭한다. 이 바이패스관은 머지되어 제 2 배관에 관통 연결된다
그 결과, 상부에 위치한 제 1 바이패스관은 제 1 상부배관(22a) 내의 잔류가스를 제 2 배관(25)으로 바이패스한다.
예컨대, 제 1 상부배관(22a)의 상부에서 일부 구성을 교체해야 하는 경우 그일부 구성을 제 1 상부배관(22a)으로부터 탈거하기 전에 제 1 상부배관(22a) 내에 남아 있는 잔류가스를 제 2 배관(25)으로 배기시키는 것이다.
제 2 바이패스관(120)은 [도 1]에서와 같이 상단부가 게이트밸브(23)와 진공펌프(21) 사이에 위치하는 제 1 하부배관(22b)에 관통 연결되고 하단부는 제 2 배관(25)을 관통 연결된다.
그 결과, 진공펌프(21)에 연결되는 제 1 하부배관(22b)의 제 2 바이패스관(120)은 제 1 하부배관(22b) 내의 잔류가스를 제 2 배관(25)으로 바이패스한다.
예컨대, 제 1 하부배관(22b)의 하부에서 진공펌프(21)를 교체해야 하는 경우 그 진공펌프(21)를 제 1 하부배관(22b)으로부터 탈거하기 전에 제 1 하부배관(22b) 내에 남아 있는 잔류가스를 제 2 배관(25)으로 배기시키는 것이다.
그리고, 플러싱 배관(200)은 상부 플러싱 배관(210)과 하부 플러싱 배관(220)을 포함하여 구성될 수 있다.
상부 플러싱 배관(210)은 외부의 가스공급탱크(30)로부터 연장되어 제 1 상부배관(22a)에 관통 연결된다.
그 결과, 상부 플러싱 배관(210)은 [도 4]에서의 화살표가 나타내는 바와 같이 가스공급탱크(30)로부터 공급되는 희석용가스를 제 1 상부배관(22a)에 주입시킴에 따라 제 1 상부배관(22a) 내의 잔류가스를 제 1 바이패스관(110)으로 이송시킨다.
하부 플러싱 배관(220)은 외부의 가스공급탱크(30)로부터 연장되어 제 1 하부배관(22b)에 관통 연결된다.
그 결과, 하부 플러싱 배관(220)은 [도 4]의 화살표가 나타내는 바와 같이 가스공급탱크(30)로부터 공급되는 희석용가스를 제 1 하부배관(22b)에 주입시킴에 따라 제 1 하부배관(22b) 내의 잔류가스를 제 2 바이패스관(120)으로 이송시킨다.
한편, 상부 체크밸브(310)는 제 1 상부배관(22a)에 인접하는 상부 플러싱 배관(210)에 장착되어 상부 플러싱 배관(210)을 통해 제 1 상부배관(22a)으로 유입되는 잔류가스가 역류됨을 차단한다.
하부 체크밸브(320)는 제 1 하부배관(22b)에 인접하는 하부 플러싱 배관(220)에 장착되어 하부 플러싱 배관(220)을 통해 제 1 하부배관(22b)으로 유입되는 잔류가스가 역류됨을 차단한다.
그리고, 제 1 밸브(410)는 제 1 상부배관(22a)에 인접하는 제 1 바이패스관(110)에 장착되어 제 1 상부배관(22a)으로부터 제 2 배관(25)으로 이송되는 잔류가스의 흐름을 오픈 또는 클로즈 제어한다.
제 2 밸브(420)는 제 1 하부배관(22b)에 인접하는 제 2 바이패스관(120)에 장착되어 제 1 하부배관(22b)으로부터 제 2 배관(25)으로 이송되는 잔류가스의 흐름을 오픈 또는 클로즈 제어한다.
여기서, 상기 내용과 같은 배기 또는 플러싱의 동작은 메인 제어부 컨트롤러(미도시)의 제어로 오픈/클로즈 컨트롤되며 이 상태를 통신 전송할 수 있다.
또한, 가스집합관(510)은 제 2 배관(25)으로 향하는 제 1 바이패스관(110)과 제 2 바이패스관(120)은 서로 머지하여 제 2 배관(25)에 연결된다.
바이패스 밸브(520)는 가스집합관(510)에 장착되어 제 1바이패스관(110)과 제 2 바이패스관(120)으로부터 제 2 배관(25)으로 이송되는 잔류가스의 흐름을 오픈 또는 클로즈 제어한다.
이와 같은 구성요소들을 통해 잔류가스 배기 장치로 배기가 원할하게 이루어질 수 있는 구조가 이루어진다. 또한, 기성 제품(hot n2, ERM-P, ERM-L, Silencer 등)을 호환 장착할 수 있다.
다른 한편, 커버(700)는 [도 2]에서와 같이 제 1 배관(22)의 하부, 진공펌프(21), 가스공급탱크(30)로부터 연장되는 플러싱 배관(200), 잔류가스 바이패스관(100), 제 2 배관(25)을 감싸는 형태로 배치됨에 따라 제 1 배관(22)의 하부, 진공펌프(21), 가스공급탱크(30)로부터 연장되는 플러싱 배관(200), 잔류가스 바이패스관(100), 제 2 배관(25)을 각각 외부와 차폐시킨다.
이를 통해, 제 1 배관(22) 주변의 일부 구성을 교체할 때 일부 누출될 수 있는 잔류가스가 커버(700)의 차폐로 인해 외부로 확산되지 않고 커버(700)의 내에 갇히게 된다.
이때, 커버(700) 내측에 존재하는 일부 잔류가스는 별도의 석션장치를 통해 외부로 안전하게 배출할 수 있다.
다른 한편, 본 발명은 압력센서(610)와 차압게이지(620)를 더 포함하여 구성될 수도 있다.
압력센서(610)는 [도 2]와 [도 3]에서와 같이 제 1 배관(22)에 장착되어 제 1 배관(22) 내의 잔류가스에 의한 압력을 감지하며, 차압게이지(620)는 커버 내.외 압력의 차이를 수치로 표시한다.
다른 한편, 본 발명은 이상과 같인 나열되어진 배기 혹은 플러싱 관의 동작을 오픈 또는 클로즈 컨트롤하는 메인제어부 컨트롤러(미도시)를 더 포함하여 구성될 수 있다. 이와 같은 오픈 또는 클로즈 상태는 유무선 통신수단을 통하여 메인제어부 컨트롤러와 다른 구성요소들 상호간에 송수신될 수 있다.
10 : 공정챔버
21 : 진공펌프
22 : 제 1 배관
22a : 제 1 상부배관
22b : 제 1 하부배관
23 : 게이트밸브
24 : 스크러버
25 : 제 2 배관
30 : 가스공급탱크
100 : 잔류가스 바이패스관
110 : 제 1 바이패스관
120 : 제 2 바이패스관
200 : 플러싱 배관
210 : 상부 플러싱 배관
220 : 하부 플러싱 배관
310 : 상부 체크밸브
320 : 하부 체크밸브
410 : 제 1 밸브
420 : 제 2 밸브
510 : 가스집합관
520 : 바이패스 밸브
610 : 압력센서
620 : 차압게이지
700 : 커버

Claims (7)

  1. 반도체의 공정챔버에 연통 연결되어 그 공정챔버 내에 발생하는 배기가스를 흡입한 후 배기하는 진공펌프와, 상기 공정챔버와 상기 진공펌프를 잇는 제 1 배관과, 상기 진공펌프에 연결되어 상기 진공펌프로부터 배기되는 배기가스를 처리한 후 외부로 배기시키는 스크러버와, 상기 진공펌프와 상기 스크러버로 연결되는 제 2 배관과, 상기 제 1 배관을 상부의 제 1 상부배관과 하부의 제 1 하부배관으로 구획하는 상기 제1 배관의 소정 위치에 연결되어 상기 제 1 배관 내의 배기가스 흐름을 통제하는 게이트밸브를 구비한 반도체 공정의 배기가스 처리시스템에서 상기 제 1 배관 내의 잔류가스를 상기 제 2 배관으로 바이패스시키는 잔류가스 배기 장치로서,
    상기 제 1 상부배관에 자신의 일단부가 관통 연결되고 자신의 타단부는 상기 제 2 배관에 관통 연결됨에 따라 상기 게이트밸브가 차단된 경우 상기 제 1 상부배관 내의 잔류가스를 상기 제 2 배관으로 바이패스하는 제 1 바이패스관(110)과, 상기 제 1 하부배관에 자신의 일단부가 관통 연결되고 자신의 타단부는 상기 제 2 배관에 관통 연결됨에 따라 상기 게이트밸브가 차단된 경우 상기 제 1 하부배관 내의 잔류가스를 상기 제 2 배관으로 바이패스하는 제 2 바이패스관(120)을 구비하는 잔류가스 바이패스관(100);
    외부의 가스공급탱크로부터 연장되어 상기 제 1 상부배관에 관통 연결되며 상기 가스공급탱크로부터 공급되는 희석용가스를 상기 제 1 상부배관에 주입시킴에 따라 상기 제 1 상부배관 내의 잔류가스를 상기 제 1 바이패스관으로 이송시키는 상부 플러싱 배관(210)과, 상기 가스공급탱크로부터 연장되어 상기 제 1 하부배관에 관통 연결되며 상기 가스공급탱크로부터 공급되는 상기 희석용가스를 상기 제 1 하부배관에 주입시킴에 따라 상기 제 1 하부배관 내의 잔류가스를 상기 제 2 바이패스관으로 이송시키는 하부 플러싱 배관(220)을 구비하는 플러싱 배관(200);
    상기 제 1 상부배관에 인접하는 상기 상부 플러싱 배관에 장착되어 상기 상부 플러싱 배관을 통해 상기 제 1 상부배관으로 유입되는 잔류가스가 역류됨을 차단하는 상부 체크밸브(310);
    상기 제 1 하부배관에 인접하는 상기 하부 플러싱 배관에 장착되어 상기 하부 플러싱 배관을 통해 상기 제 1 하부배관으로 유입되는 잔류가스가 역류됨을 차단하는 하부 체크밸브(320);
    를 포함하여 구성되는 잔류가스 배기 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 제 1 상부배관에 인접하는 상기 제 1 바이패스관에 장착되어 상기 제 1 상부배관으로부터 상기 제 2 배관으로 이송되는 잔류가스의 흐름을 오픈 또는 클로즈 제어하는 제 1 밸브(410);
    상기 제 1 하부배관에 인접하는 상기 제 2 바이패스관에 장착되어 상기 제 1 하부배관으로부터 상기 제 2 배관으로 이송되는 잔류가스의 흐름을 오픈 또는 클로즈 제어하는 제 2 밸브(420);
    를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 잔류가스 배기 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 제 2 배관으로 향하는 상기 제 1 바이패스관과 상기 제 2 배관으로 향하는 상기 제 2 바이패스관이 상호 머지되어 상기 제 2 배관에 연통 연결되는 가스집합관(510);
    상기 가스집합관에 장착되어 상기 제 1 바이패스관과 상기 제 2 바이패스관으로부터 상기 제 2 배관으로 이송되는 잔류가스의 흐름을 오픈 또는 클로즈 제어하는 바이패스 밸브(520);
    를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 잔류가스 배기 장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 제 1 배관의 하부, 상기 진공펌프, 상기 가스공급탱크로부터 연장되는 상기 플러싱 배관, 상기 잔류가스 바이패스관, 상기 제 2 배관, 상기 스크러버가 각각 외부와 차폐될 수 있도록 상기 제 1 배관의 하부, 상기 진공펌프, 상기 가스공급탱크로부터 연장되는 상기 플러싱 배관, 상기 잔류가스 바이패스관, 상기 제 2 배관, 상기 스크러버를 감싸는 커버(700);
    를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 잔류가스 배기 장치.
  7. 삭제
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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