KR20160004974A - 배출가속기 및 이를 구비한 로드 포트 - Google Patents

배출가속기 및 이를 구비한 로드 포트 Download PDF

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Abstract

본 발명은 배출가속기 및 이를 구비한 로드 포트에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 내부의 유로를 유동하는 배출 유체의 배출을 가속화하는 배출가속기로서, 배출가속기의 내부로 공급 유체를 공급하는 적어도 하나 이상의 공급관을 구비한 유체 공급부와, 유체 공급부를 통해 공급되는 공급 유체가 유동하는 유체 유동부 및 유체 유동부에 구비되어 유체 유동부를 유동하는 공급 유체가 배출가속기의 내부의 유로로 유입되도록 하는 유체 주입부를 포함하되, 공급관은 배출가속기의 배출 유체의 유로 상의 중심축을 기준으로 편심 배치된 것을 특징으로 하는 배출가속기에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 로드 포트에 탑재된 풉에서 웨이퍼에 잔존하는 잔존가스인 퓸 제거의 효율을 높이기 위한 배출가속기를 통해 유지 보수 및 전력 소비량 측면에서 향상된 효과가 있다.

Description

배출가속기 및 이를 구비한 로드 포트{Exhaust and load port having therof}
본 발명은 배출가속기에 관한 것으로, 특히 웨이퍼에 잔존하는 잔존 가스인 퓸(fume)의 배출 속도를 향상할 수 있는 배출가속기 및 이를 구비한 로드 포트에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조설비는 공정 모듈, 로드 포트 및 설비 전후 모듈(Equipment Front End Module : EFEM)을 포함하여 구성된다.
여기서 공정 모듈은 웨이퍼의 반도체 제조공정이 수행되는 모듈이며, 로드 포트는 다수의 웨이퍼가 탑재된 풉(Front Opening Universal Pod : FOUP)이 로딩 되는 부분이며, 설비 전후 모듈은 공정 모듈과 로드 포트 사이에 구비되어 청정 공간을 제공하며, 내부에 이송 모듈을 구비하여 풉과 공정 모듈 사이에 다수의 웨이퍼를 이송시키는 역할을 한다.
한편, 공정 모듈은 웨이퍼의 처리 또는 가공을 공정 가스를 채운 상태에서 진행한다.
이때, 상기 공정 가스 중 대부분은 공정 중 배기 처리되지만 일부는 웨이퍼 표면에 잔존하여 웨이퍼를 손상시키거나 공정에 사용되는 다른 장치들이 오염되는 문제가 있다.
이를 해결하고자, 종래기술인 일본 공개특허공보 제2006-086308호 "반도체 제조 장치"는 불활성 가스 충전 및 이를 배기할 수 있는 로드 포트를 개시하고 있다.
그러나, 상기 종래기술의 경우 풉 내부에 불활성 가스를 충전하는 기능에 그칠 뿐 웨이퍼 표면의 잔존 가스 제거에는 실효성이 없는 문제가 있다.
일본 공개특허공보 제2006-086308호(2006년 03월 30일 공개)
상술한 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명의 과제는, 웨이퍼에 잔존하는 잔존 가스인 퓸(fume) 제거를 위한 퓸의 배출 속도 및 배출 효율을 향상시킬 수 있는 배출가속기 및 이를 구비한 로드 포트를 제공하는 데 있다.
상기 과제를 달성하기 위해 안출된 본 발명은, 내부의 유로를 유동하는 배출 유체의 배출을 가속화하는 배출가속기로서, 상기 배출가속기의 내부로 공급 유체를 공급하는 유체 공급부; 상기 유체 공급부와 연통되는 유체 유동부; 및 상기 유체 유동부에 구비되는 유체 주입부;를 포함하되, 상기 유체 유동부는 상기 유체 공급부를 통해 공급된 공급 유체의 진행에 따라 유동 가능한 통로가 좁아지도록 형성되되, 상기 유체 유동부와 상기 유체 공급부가 맞닿는 부분의 통로의 높이가 상기 유체 공급부와 떨어져 위치하는 부분의 통로의 높이보다 더 크게 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 유체 공급부에 공급관이 구비되고, 상기 공급관은 상기 배출가속기의 배출 유체의 유로 상의 중심축을 기준으로 편심 배치된 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 웨이퍼가 적재되는 풉을 포함하는 로드 포트로서, 상기 풉에 퍼지 가스를 공급하는 퍼지가스 공급부; 상기 풉 내부의 퍼지가스 및 퓸을 배출하는 배출가스 배출부; 및 상기 배출가스 배출부에 구비되어 상기 배출가스 배출부를 통해 배출되는 퍼지가스 및 퓸의 배출을 가속화하는 배출가속기를 포함하며, 상기 배출가속기는, 상기 배출가속기의 내부로 공급 유체를 공급하는 유체 공급부; 상기 유체 공급부와 연통되는 유체 유동부; 및 상기 유체 유동부에 구비되는 유체 주입부;를 포함하되, 상기 유체 유동부는 상기 유체 공급부를 통해 공급된 공급 유체의 진행에 따라 유동 가능한 통로가 좁아지도록 형성되되, 상기 유체 유동부와 상기 유체 공급부가 맞닿는 부분의 통로의 높이가 상기 유체 공급부와 떨어져 위치하는 부분의 통로의 높이보다 더 크게 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 로드 포트에 탑재된 풉에서 웨이퍼에 잔존하는 잔존가스인 퓸 제거의 효율을 높이기 위한 배출가속기를 통해 유지 보수 및 전력 소비량 측면에서 향상된 효과가 있다.
본 명세서에서 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어서 해석되어서는 아니 된다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 배출가속기를 나타낸 단면 사시도,
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 배출가속기를 나타낸 평면도,
도 3은 본 발명의 제2실시예에 따른 배출가속기를 나타낸 평면도,
도 4는 본 발명의 제3실시예에 따른 배출가속기를 나타낸 단면 사시도,
도 5는 본 발명의 제4실시예에 따른 배출가속기를 나타낸 단면 사시도,
도 6은 본 발명의 제5실시예에 따른 배출가속기를 나타낸 단면 사시도,
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 로드 포트를 나타낸 사시도,
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 로드 포트를 나타낸 구성도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 배출가속기의 바람직한 실시예에 대해 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 배출가속기를 나타낸 단면 사시도 이고, 도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 배출가속기를 나타낸 평면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 배출가속기(100)는 유체 공급부(110), 유체 유동부(120), 유체 주입부(130) 및 확관부(140)를 포함하는 구성요소로 이루어지며, 이를 상세히 설명하면 다음과 같다.
상기 유체 공급부(110)는 배출가속기(100)에 공급 유체를 공급하는 역할을 한다.
이때, 상기 공급 유체는 압축 공기일 수 있으나 이에 제한되는 것은 아니다. 유체 공급부(110)를 통해 공급된 공급 유체는 후술할 유체 유동부(120)를 유동하게 된다.
상기 유체 공급부(110)는 공급관(111)을 구비한다. 상기 공급관(111)은 유체 유동부(120)와 연통 되며, 내부에 형성되는 관로를 통해 상기 유체 유동부(120)에 공급 유체를 공급한다.
이때, 상기 공급관(111)은 배출가속기(100)의 배출 유체의 유로 상의 중심축(f)을 기준으로 편심 배치될 수 있다. 이는 유체 유동부(120)를 따라 유동하는 유체의 회전속도 및 회전효율을 높이기 위함이다.
상기 유체 유동부(120)는 유체 공급부(110)로부터 공급된 공급 유체가 유동한다.
상기 유체 유동부(120)는 배출 유체의 진행방향으로 본 단면의 형상이 환형일 수 있으나 이에 제한되는 것은 아니다.
상기 유체 유동부(120)의 내측에는 후술할 유체 주입부(130)가 형성된다. 상기 유체 주입부(130)는 유체 유동부(120)에 구비되어 유체 유동부(120)를 유동하는 공급 유체가 배출가속기(100)의 내부의 유로(153)로 유입되도록 한다.
상기 유체 주입부(130)는 환형의 단면 형상을 갖는 유체 유동부(120)의 내주연을 빙둘러 형성될 수 있다.
이 경우, 유체 유동부(120)를 유동하는 공급 유체는 유체 주입부(130)의 특정부분으로 편중되지 않고 배출가속기(100)의 내부의 유로(153)로 유입될 수 있다.
여기서, 상기 유체 주입부(130)는 공급 유체의 주입 간극이 약 0.1 내지 0.5mm, 바람직하게는 약 0.2mm로 형성될 수 있다.
이는 상기 유체 주입부(130)를 통한 공급 유체의 주입 간극이 약 0.1mm 미만이거나, 약 0.5mm를 초과하게 되면, 유체의 코안다 효과(Coanda effect)가 저하되고, 약 0.2mm이면 코안다 효과가 가장 좋기 때문이다.
상기 확관부(140)는 배출가속기(100)의 내부의 유로(153)에 형성되며 내경이 점진적으로 확대되어 형성될 수 있다.
상기 확관부(140)는 유체 주입부(130)를 통해 주입되는 공급 유체의 진행방향으로 갈수록 점진적으로 내경이 확대되도록 구비될 수 있다.
또한, 상기 배출가속기(100)는 제1바디(151) 및 제2바디(152)로 이루어질 수 있다.
즉, 배출가속기(100)는 2개 이상의 부재에 의해 결합 되어 형성될 수 있으나 이에 제한되는 것은 아니며 일체의 부재에 의해 형성될 수도 있다.
상기 제1바디(151)는 도 1에 도시된 바와 같이 제2바디(152)의 상부(배출 유체가 공급되는 측을 상부, 배출 유체가 배출되는 측을 하부로 칭한다)에 결합 될 수 있다.
여기서, 상기 배출 유체의 유입측 내경 : 토출측 내경 = 1 : 1.3 내지 2.5의 비율, 바람직하게는 1: 1.9의 비율일 수 있다.
한편 제1바디(151)와 제2바디(152) 사이에는 공간이 형성되는데, 이 공간이 공급유체가 유동하는 유체 유동부(120)로 제공될 수 있다.
상기 유체 공급관(111)은 제1바디(151)에 형성될 수 있으나 이에 제한되는 것은 아니다.
상기 제1바디(151)와 제2바디(152)는 배출가속기(100)의 외경을 형성하는 부분에서는 완전히 밀폐되어 공급 유체가 외부로 새어나가는 현상을 방지하지만, 내경을 형성하는 부분에서는 소정 간격 이격 되어 유체 주입부(130)를 형성할 수 있다.
이하에서는 본 발명의 실시예에 따른 배출가속기의 작동을 도 1을 참조하여 상세히 설명한다.
먼저, 배출가속기(100)에 유체 공급부(110)를 통해 공급 유체가 공급된다(a).
이때, 공급 유체는 앞서 살핀 바와 같이 압축공기일 수 있다. 이후, 상기 유체 공급부(110)에 의해 공급된 공급 유체는 유체 유동부(120)에 도달하여 유체 유동부(120)를 유동한다(b).
이때, 공급 유체는 유체 주입부(130)를 통해 점진적으로 배출가속기(100) 내부의 유로(153)로 유입된다(c).
한편, 배출가속기(100) 내부의 유로(153)로 유입된 공급 유체는 진행방향으로 갈수록 내경이 확장되는 확관부(140)에 의해 유동 속도가 빨라지게 된다.
이는, 상대적으로 내경이 작은 부분에서의 기체의 압력이 상대적으로 내경이 큰 부분에서의 기체의 압력보다 크기 때문이다.
한편, 배출가속기(100)와 연통 되는 공간에 위치한 배출 유체는 공급 유체의 유동에 의해 발생한 기류에 의해 배출가속기(100) 내부의 유로(153)를 유동하도록 유입된다(d).
이와 같이 배출가속기(100) 내부의 유로(153)로 유입된 배출 유체는 유체 주입부(130)를 통해 배출가속기(100) 내부의 유로(153)로 유입된 공급 유체와 함께 배출가속기(100) 외부로 배출된다(e).
도 3은 본 발명의 제2실시예에 따른 배출가속기를 나타낸 평면도이다. 도 3을 참조하면, 상기 유체 공급부(110)는 공급관(112)을 더 구비할 수 있다.
상기 유체 공급부(110)가 상기 배출가속기(100)의 배출 유체의 유로 상의 중심축을 기준으로 편심 배치된 한 쌍의 공급관(111, 112)으로 이루어질 수 있는데, 내부의 유로(153)의 직경이 확장되어 유체 유동부(120)를 따라 유동하는 유체의 유동 구간이 길어지거나, 유동 구간의 부피가 커질 경우, 유체의 회전속도 및 회전효율을 더욱 향상시킬 수 있다.
도 4는 본 발명의 제3실시예에 따른 배출가속기를 나타낸 단면 사시도 이다. 도 4를 참조하면, 상기 유체 유동부(120)의 일측이 상기 배출가속기(100)의 내측을 향해 볼록한 곡률로 형성될 수 있다.
즉, 내부의 유로(153)의 내경을 좁게 함으로써, 압력차를 더욱 크게 하여 내부의 유로(153)를 지나는 배출 유로의 속도를 더욱 증가시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
그리고, 내부의 유로(153)의 형상이 직선으로 이루어진 것에 비해, 볼록한 곡률의 곡선인 경우 코안다 효과를 더욱 증대시킬 수 있다.
덧붙여, 확관부에 의해 확산 되는 배출 유체의 확산각도(θ)가 약 15 내지 25도인 것이 바람직하다.
도 5는 본 발명의 제4실시예에 따른 배출가속기를 나타낸 단면 사시도 이다. 도 5를 참조하면, 유체 주입부(130)의 상부가 상기 배출가속기(100)의 내부의 유로(153)로 유입되는 유체를 가이드 하기 위해 하방으로 연장된 돌기(154)가 형성될 수 있다. 이러한 구조는 유체의 코안다 효과(Coanda effect)와 더불어 벤츄리 효과(Venturi effect)를 더 포함할 수 있게 된다.
도 6은 본 발명의 제5실시예에 따른 배출가속기를 나타낸 단면 사시도 이다.
도 6을 참조하면, 제5실시예에 따른 배출가속기(100)의 유체 유동부(120)는 유체 공급부(110)를 통해 공급된 공급 유체의 진행에 따라 유동가능한 통로가 좁아지도록 구비될 수 있다.
다시 말해, 유체 유동부(120)와 유체 공급부(110)가 맞닿는 부분의 통로의 높이(d1)가 상기 유체 공급부(110)와 떨어져 위치하는 부분의 통로의 높이(d2) 보다 크게 구비될 수 있다.
이와 같은 구조를 통해, 유체 유동부(120) 내부는 공급 유체가 진행에 따라 유체 주입부(130)를 통해 소정의 양씩 배출되더라도 일정한 내압이 유지될 수 있다.
즉, 제5실시예에 따른 배출가속기(100)는 유체 유동부(120)를 통해 배출가속기(100)의 내부의 유로(153)로 유입되는 공급 유체의 유입량이 상기 유로(153)의 원주를 따라 균일하게 배출될 수 있는 장점을 갖는다.
또한, 제5실시예에 따른 배출가속기(100)의 작동은 앞선 실시예들에 따른 배출가속기(100)의 작동에 대한 설명이 유추 적용될 수 있으며, 앞선 실시예와 비교하여 본 실시예에서는 배출가속기(100)의 내부의 유로(153)로 유입되는 공급 유체의 유입량이 상기 유로(153)의 원주를 따라 더욱 균일하게 배출되므로 배출가속기(100)를 통해 배출되는 배출 유체의 와류 발생이 최소화되는 장점이 있다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 로드 포트를 나타낸 사시도 이고, 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 로드 포트를 나타낸 구성도이다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 로드 포트는 본(10), 풉(20), 도어(30) 및 인터페이스부(40)를 포함하는 구성요소로 이루어지며, 이를 상세히 설명하면 다음과 같다.
상기 본체(10)는 로드 포트의 외관을 형성하며 내부에 제어부 및 상술한 배출가속기를 통한 배출 유체 배출 구조를 구비할 수 있다.
상기 풉(20)은 상기 본체(10)에 장착되며, 내부에 다수의 웨이퍼가 적층될 수 있다.
여기서, 상기 풉(20)은 상기 본체(10)에 장착된 상태에서 도어(30)의 개폐에 따라 EFEM(미도시)과 연통될 수 있다.
즉, 상기 도어(30)가 오픈 되는 경우, EFEM의 이송암(미도시)은 풉(20) 내부의 웨이퍼를 반도체 공정 모듈로 이송할 수 있다.
이와 반대로 EFEM의 이송 암은 반도체 공정 모듈에서 공정이 완료된 웨이퍼를 풉(20)으로 이송할 수 있다.
이때, 웨이퍼의 표면에 잔존하는 공정가스(퓸(fume))를 앞서 살핀 배출가속기(100)를 포함하는 배출 유체 배출 구조를 통해 제거하는 것이다.
상기 인터페이스부(40)는 로드 포트의 작동상태 등을 출력하는 디스플레이부 및 로드 포트를 조작하는 조작부를 포함할 수 있으며, 디스플레이부가 터치스크린으로 구비되어 조작부의 기능을 함께 수행할 수도 있다.
도 8을 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 로드 포트는 배출가속기(100), 퍼지가스 공급부(200) 및 배출가스 배출부(300)를 포함할 수 있다.
상기 배출가속기(100)에 대해서는 앞선 설명이 그대로 적용될 수 있다.
상기 퍼지가스 공급부(200)는, 풉(20)에 퍼지 가스를 공급하는 역할을 한다. 상기 퍼지가스는 질소(N2) 가스일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
상기 퍼지가스 공급부(200)는 퍼지가스 공급유로(210)를 포함할 수 있다.
상기 퍼지가스 공급유로(210)는 퍼지가스가 공급되는 유로로서, 제1유로(211), 제2유로(212) 및 제3유로(213)를 포함할 수 있다.
즉, 퍼지가스 공급유로(210)는 다수의 유로로 분지 되어 풉(20)에 연결될 수 있다.
도 8에 도시된 바와 같이 제1유로(211)는 제1퍼지가스 유입구(21), 제2유로(212)는 제2퍼지가스 유입구(22), 제3유로(213)는 제3퍼지가스 유입구(23)와 연통될 수 있다.
상기 퍼지가스 공급부(200)는 사용자에 의해 수동조작되어 퍼지가스 공급여부를 제어하는 수동조작 밸브(230) 및 퍼지가스를 필터링하는 필터(240)를 포함할 수 있다.
또한, 퍼지가스 공급부(200)는 각각의 분지유로인 제1유로(211), 제2유로(212), 제3유로(213) 상에 퍼지가스의 압력을 제어하는 레귤레이터(250), 퍼지가스의 유동량을 감지하는 플로우 미터(260), 퍼지가스의 유동량을 제어하는 공압 밸브(280)를 구비할 수 있다.
이때, 퍼지가스 유동량의 제어를 공압 밸브(280)에 의하는 것으로 설명하였으나 이에 제한되는 것은 아니다.
또한, 제1유로(211), 제2유로(212), 제3유로(213) 각각에 구비되는 플로우 미터(260)의 감지 값을 리딩하는 제어부(270)가 별도로 구비될 수 있다.
상기 제어부(270)는 플로우 미터(260)의 감지 값에 따라 공압 밸브(280) 등의 구성을 제어하여 풉(20)으로 공급되는 퍼지가스의 양을 제어할 수 있다.
상기 배출가스 배출부(300)는 풉(20) 내부의 퍼지가스 및 퓸(fume)(웨이퍼 표면에 잔존하는 공정가스)을 배출하는 역할을 한다.
상기 배출가스 배출부(300)는 일례로서 배출가스 배출유로(310) 및 공급 유체 공급유로(320)를 포함할 수 있다.
상기 배출가스 배출유로(310)를 통해서는 풉(20)으로부터 외부로 배출가스가 배출되며, 상기 공급 유체 공급유로(320)를 통해서는 공급 유체가 배출가속기(100)로 공급될 수 있다.
상기 배출가스 배출유로(310)에는 배출가속기(100)가 구비될 수 있다.
즉, 배출가속기(100)는 배출가스 배출유로(310) 상에 구비되어 풉(20) 내부의 퍼지가스 및 퓸을 외부로 배출할 수 있다.
또한, 배출가스 배출유로(310)에는 산소의 농도를 측정하는 제1센서(410) 및 습도를 측정하는 제2센서(420)가 구비될 수 있다.
이를 통해, 본 발명의 실시예에 따른 로드 포트는 측정된 산소의 농도 및 습도에 따라 퍼지가스 및 퓸의 배기 시간 및 배기 유량을 제어할 수 있는 장점이 있다.
상기 공급 유체 공급유로(320)에는 수동조작 밸브(330), 레귤레이터(340) 및 투포트 솔레노이드 밸브(350)가 구비될 수 있다.
상기 사동조작 밸브(330)는 공급 유체의 공급량를 제어하기 위해 사용자에 의해 수동조작될 수 있다. 상기 레귤레이터(340)는 공급 유체의 압력을 제어할 수 있다.
*상기 투포트 솔레노이드 밸브(350)는 개도 제어를 통해 공급유체 공급유로(320)를 통해 공급되는 공급유체의 양을 제어할 수 있다.
이하에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 로드 포트의 작동을 도 8을 참조하여 상세히 설명한다.
풉(20) 내부에 다수의 층으로 적재된 웨이퍼의 표면에 잔존하는 공정가스(퓸)를 제거하기 위해 다수의 퍼지가스 유입구(21, 22, 23)를 통해 퍼지가스가 유입된다(a).
한편, 공급 유체 공급유로(320)를 통해 공급 유체가 배출가속기(100)로 공급된다(b).
상기 배출가속기(100)로 공급된 공급 유체는 배출가속기(100) 내부의 유로로 유입되어 기류를 형성한다.
상기 배출가속기(100) 내부의 유로에서 형성된 기류에 의해 풉(20) 내부의 퍼지가스와 퓸은 배출가속기(100) 내부의 유로로 유입되고 배출된다(c).
이때, 공급 유체 공급유로(320)를 통해 공급되는 공급 유체의 속도 및/또는 공급유체의 양이 제어되면 배출가속기(100)에 의해 배출되는 배출 유체(퍼지가스 및 퓸)의 속도 및 양도 제어될 수 있다.
특히, 본 발명에 따른 배출가속기(100)를 대신하여 모터를 갖는 펌프가 구비된 경우와 비교하면 향상된 작용효과를 갖는다.
모터를 갖는 펌프의 경우 작동시 진동이 발생하고 고장 시 고가의 웨이퍼까지도 손상되며 전력 소모량이 많다는 문제점을 가지지만, 본 발명에 따른 배출가속기(100)는 작동시에도 진동이 발생하지 않고, 고장 시에도 웨이퍼의 손상은 발생되지 않으며 전력 소모량이 상대적으로 적다는 장점을 갖는다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 배출가속기가 적용된 로드 포트는 배출가속기 내부에서 발생 될 수 있는 와류의 발생을 최소화하여 동일한 전력 소비를 통해서 더욱 많은 양의 배출가스(퍼지가스 및 퓸)를 빠르게 배출할 수 있다는 장점을 갖는다.
이상에서는 본 발명을 바람직한 실시예에 의거하여 설명하였으나, 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정되지 아니하고 청구항에 기재된 범위 내에서 변형이나 변경 실시가 가능함은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백한 것이며, 그러한 변형이나 변경은 첨부된 특허청구범위에 속한다 할 것이다.
100: 배출가속기
110: 유체 공급부
111, 112 : 공급관
120: 유체 유동부
130: 유체 주입부
140: 확관부
200: 퍼지가스 공급부
300: 배출가스 배출부

Claims (3)

  1. 내부의 유로를 유동하는 배출 유체의 배출을 가속화하는 배출가속기로서,
    상기 배출가속기의 내부로 공급 유체를 공급하는 유체 공급부;
    상기 유체 공급부와 연통되는 유체 유동부; 및
    상기 유체 유동부에 구비되는 유체 주입부;를 포함하되,
    상기 유체 유동부는 상기 유체 공급부를 통해 공급된 공급 유체의 진행에 따라 유동 가능한 통로가 좁아지도록 형성되되, 상기 유체 유동부와 상기 유체 공급부가 맞닿는 부분의 통로의 높이가 상기 유체 공급부와 떨어져 위치하는 부분의 통로의 높이보다 더 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 배출 가속기.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 유체 공급부에 공급관이 구비되고,
    상기 공급관은 상기 배출가속기의 배출 유체의 유로 상의 중심축을 기준으로 편심 배치된 것을 특징으로 하는 배출가속기.
  3. 웨이퍼가 적재되는 풉을 포함하는 로드 포트로서,
    상기 풉에 퍼지 가스를 공급하는 퍼지가스 공급부;
    상기 풉 내부의 퍼지가스 및 퓸을 배출하는 배출가스 배출부; 및
    상기 배출가스 배출부에 구비되어 상기 배출가스 배출부를 통해 배출되는 퍼지가스 및 퓸의 배출을 가속화하는 배출가속기를 포함하며,
    상기 배출가속기는,
    상기 배출가속기의 내부로 공급 유체를 공급하는 유체 공급부;
    상기 유체 공급부와 연통되는 유체 유동부; 및
    상기 유체 유동부에 구비되는 유체 주입부;를 포함하되,
    상기 유체 유동부는 상기 유체 공급부를 통해 공급된 공급 유체의 진행에 따라 유동 가능한 통로가 좁아지도록 형성되되, 상기 유체 유동부와 상기 유체 공급부가 맞닿는 부분의 통로의 높이가 상기 유체 공급부와 떨어져 위치하는 부분의 통로의 높이보다 더 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 로드 포트.
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