JP2005216911A - エピタキシャル成長装置の排ガス処理システム - Google Patents
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Abstract
複数のエピタキシャル成長装置の運転を安全に行う。
【解決手段】
各エピタキシャル成長ユニット1には、エピタキシャル成長装置10とこのエピタキシャル成長装置10に対応する酸素濃度計30が設けられる。酸素濃度計30には酸素センサ31が設けられる。チャンバ13から排出される排ガスの一部は抽出管路43、抽出ガス制御弁47、抽出管路44を介して酸素センサ31に導入される。酸素センサ31では排ガス中の酸素濃度が検知される。こうして各チャンバ13内の酸素濃度は、対応する酸素濃度計30の酸素センサ31でそれぞれ検知される。
【選択図】 図1
Description
チャンバを有する複数のエピタキシャル成長装置と、各エピタキシャル成長装置のチャンバから排出される排ガスを処理する排ガス処理手段と、を備えたエピタキシャル成長装置の排ガス処理システムにおいて、
各エピタキシャル成長装置毎に、チャンバから排出される排ガス中の酸素濃度を検知する検知手段を備えたこと
を特徴とする。
各エピタキシャル成長装置毎に、前記検知手段の検知結果に応じて対応するチャンバ内での自然発火を回避する処理を行う発火回避手段を備えたこと
を特徴とする。
前記発火回避手段は、前記検知手段の検知結果が所定値を超えた場合に、警告音を発生させること
を特徴とする。
前記発火回避手段は、前記検知手段の検知結果が所定値を超えた場合に、対応するエピタキシャル成長装置の運転を停止させること
を特徴とする。
各エピタキシャル成長装置毎に、チャンバから排出される排ガスの一部を前記検知手段に導入する排ガス導入管路と、
排ガスが塩素系ガスである場合に、前記排ガス導入管路を遮断する遮断手段と、を備えたこと
を特徴とする。
さらに、前記排ガス導入管路及び前記検知手段にパージガスを供給すること
を特徴とする。
本発明によれば、エピタキシャル成長装置毎に排ガス中の酸素濃度を検知できるため、チャンバ又は管路に空気が混入しているエピタキシャル成長装置を特定することができる。したがって水素の自然発火を未然に防止できる。特に第2〜第4発明のように自然発火回避処理を行うことによって水素の自然発火を確実に防止できる。
本発明は、複数のエピタキシャル成長装置を備えた排ガス処理システムにおいて、エピタキシャル成長装置毎に対応する酸素濃度計を設け、エピタキシャル成長装置のチャンバから排出される排出ガス中の酸素濃度を個々に検知するものである。図1でその一構成例を示す。
酸素濃度計30には、酸素センサ31と酸素検知警報器32とエアエゼクタ33と流量計34と圧力調整弁35が設けられる。
図3は各弁の開閉動作を示すタイムチャートであり、1サイクルのエピタキシャル成長処理を示している。同図3において、時間T1(T1∋t0〜t4)の間にエピタキシャル成長処理前のリークチェックが行われ、時間T2(T2∋t5〜t14)の間にエピタキシャル成長処理が行われる。
コントローラ11からN2制御弁21への動作信号はオンとされ、N2制御弁21は開放される。またコントローラ11から第1エア制御弁52への動作信号はオフとされ、第1エア制御弁52は閉鎖される。またコントローラ11から開閉弁26への動作信号はオフとされ、開閉弁26は開放される。
時刻t1〜時刻t4でエピタキシャル成長装置10のガス系統のリークチェックが行われる。
時刻t1の時点でコントローラ11からH2制御弁22、第1エア制御弁52、第2エア制御弁54への動作信号はオンとされ、H2制御弁22、第1エア制御弁52、第2エア制御弁54は開放される。
時刻t4後、時刻t5前にチャンバ13内にエピタキシャル成長用のウェーハが収容され、エピタキシャル成長装置10によるエピタキシャル成長処理が行われる。
チャンバ13内へのウェーハの収容の際に、チャンバ13内に空気が混入する場合がある。そこでエピタキシャル成長処理の初期段階、すなわち時刻t5〜時刻t7でチャンバ13から排出されるガス中の酸素チェックが行われる。
コントローラ11からH2制御弁22、第1エア制御弁52への動作信号はオンとされ、H2制御弁22、第1エア制御弁52は開放される。コントローラ11から第2エア制御弁54への動作信号はオフとされ、第2エア制御弁54は閉鎖される。またコントローラ11から開閉弁26への動作信号はオフとされ、開閉弁26は開放される。
本実施形態によれば、エピタキシャル成長装置毎に排ガス中の酸素濃度を検知できるため、チャンバ又は管路に空気が混入しているエピタキシャル成長装置を特定することができる。したがって水素の自然発火を未然に防止できる。特に自然発火回避処理を行うことによって水素の自然発火を確実に防止できる。
3 開放系スクラバー
4 密閉系スクラバー
5、6 共通管路
7、8 分岐管路
10 エピタキシャル成長装置
11 コントローラ
12 切換弁
13 チャンバ
14 排出管路
30 酸素濃度計
31 酸素センサ
32 酸素検知警報器
40、41 パージ管路
43、44 抽出管路
47 抽出ガス制御弁
48 パージガス制御弁
50 エア源
52 第1エア制御弁
54 第2エア制御弁
Claims (6)
- チャンバを有する複数のエピタキシャル成長装置と、各エピタキシャル成長装置のチャンバから排出される排ガスを処理する排ガス処理手段と、を備えたエピタキシャル成長装置の排ガス処理システムにおいて、
各エピタキシャル成長装置毎に、チャンバから排出される排ガス中の酸素濃度を検知する検知手段を備えたこと
を特徴とするエピタキシャル成長装置の排ガス処理システム。 - 各エピタキシャル成長装置毎に、前記検知手段の検知結果に応じて対応するチャンバ内での自然発火を回避する処理を行う発火回避手段を備えたこと
を特徴とする請求項1記載のエピタキシャル成長装置の排ガス処理システム。 - 前記発火回避手段は、前記検知手段の検知結果が所定値を超えた場合に、警告音を発生させること
を特徴とする請求項2記載のエピタキシャル成長装置の排ガス処理システム。 - 前記発火回避手段は、前記検知手段の検知結果が所定値を超えた場合に、対応するエピタキシャル成長装置の運転を停止させること
を特徴とする請求項2記載のエピタキシャル成長装置の排ガス処理システム。 - 各エピタキシャル成長装置毎に、チャンバから排出される排ガスの一部を前記検知手段に導入する排ガス導入管路と、
排ガスが塩素系ガスである場合に、前記排ガス導入管路を遮断する遮断手段と、を備えたこと
を特徴とする請求項1記載のエピタキシャル成長装置の排ガス処理システム。 - さらに、前記排ガス導入管路及び前記検知手段にパージガスを供給すること
を特徴とする請求項5記載のエピタキシャル成長装置の排ガス処理システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004018311A JP2005216911A (ja) | 2004-01-27 | 2004-01-27 | エピタキシャル成長装置の排ガス処理システム |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004018311A JP2005216911A (ja) | 2004-01-27 | 2004-01-27 | エピタキシャル成長装置の排ガス処理システム |
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ID=34902871
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2004018311A Pending JP2005216911A (ja) | 2004-01-27 | 2004-01-27 | エピタキシャル成長装置の排ガス処理システム |
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- 2004-01-27 JP JP2004018311A patent/JP2005216911A/ja active Pending
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