JPH03292496A - ボンベ付ガス供給装置 - Google Patents
ボンベ付ガス供給装置Info
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- 238000010926 purge Methods 0.000 claims abstract description 11
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 58
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N Phosphine Chemical compound P XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229910000073 phosphorus hydride Inorganic materials 0.000 description 1
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F17C5/06—Methods or apparatus for filling containers with liquefied, solidified, or compressed gases under pressures for filling with compressed gases
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F17C2205/0323—Valves
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- General Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はボンベ付ガス供給装置、特に安全装置を有する
ボンベ付ガス供給装置に関するものである。
ボンベ付ガス供給装置に関するものである。
（従来の技術）
第３図は従来のボンベ付半導体材料ガス供給装置を示し
、ｌａ、ｌｂは夫々シラン、ホスフィン等の半導体材料
ガスのボンベ、２はガス供給口、３ａ、３ｂは夫々上記
ボンベｌａ、ｌｂとガス供給口２間を連通ずるガス供給
ライン、４ａ、４ｂ及び５ａ、５ｂは夫々上記ガス供給
ライン３ａ。
、ｌａ、ｌｂは夫々シラン、ホスフィン等の半導体材料
ガスのボンベ、２はガス供給口、３ａ、３ｂは夫々上記
ボンベｌａ、ｌｂとガス供給口２間を連通ずるガス供給
ライン、４ａ、４ｂ及び５ａ、５ｂは夫々上記ガス供給
ライン３ａ。
３ｂに介挿したボンベ側高圧開閉弁及びガス供給口側低
圧開閉弁、６はパージ用Ｎ、ガス源、？ａ。
圧開閉弁、６はパージ用Ｎ、ガス源、？ａ。
７ｂは夫々このＮ２ガス源６と上記ガス供給ライン３ａ
、３ｂのボンベ接続部分間を連通ずるパージライン、８
ａ、８ｂは夫々上記パージライン７ａ、７ｂに介挿され
た開閉弁、９はベントロ、１０ａ、１０ｂは夫々このベ
ントロ９と上記ガス供給ライン３ａ、３ｂ内の高圧開閉
弁４ａ、４ｂのボンベ側開口間を連通ずるベントライン
、１）ａ。
、３ｂのボンベ接続部分間を連通ずるパージライン、８
ａ、８ｂは夫々上記パージライン７ａ、７ｂに介挿され
た開閉弁、９はベントロ、１０ａ、１０ｂは夫々このベ
ントロ９と上記ガス供給ライン３ａ、３ｂ内の高圧開閉
弁４ａ、４ｂのボンベ側開口間を連通ずるベントライン
、１）ａ。
１）ｂは夫々上記ベントライン１０ａ、１０ｂに介挿さ
れた開閉弁、１２は上記ベントロ９に真空を作用せしめ
るためのエゼクタ−１）３はこのエゼクタ−１２にエゼ
クタ−作用を生ぜしめるために流す高圧Ｎ２ガスのガス
源、１４はその供給ラインである。
れた開閉弁、１２は上記ベントロ９に真空を作用せしめ
るためのエゼクタ−１）３はこのエゼクタ−１２にエゼ
クタ−作用を生ぜしめるために流す高圧Ｎ２ガスのガス
源、１４はその供給ラインである。
このような従来のボンベ付ガス供給装置においては、例
えばボンベ１ａ切のガスが消耗したとき、これを検知し
て自動的にガス供給ラインを３ａから３ｂに切り替えて
ボンベ】ｂを使用し、ボンベ１ｂを使用している間にボ
ンベ１ａを新しいボンベに交換するようにしている。
えばボンベ１ａ切のガスが消耗したとき、これを検知し
て自動的にガス供給ラインを３ａから３ｂに切り替えて
ボンベ】ｂを使用し、ボンベ１ｂを使用している間にボ
ンベ１ａを新しいボンベに交換するようにしている。
このボンベ１ａの交換に際してはガス供給ライン３ａ内
に残存する有害な又は危険性のあるガスが外部に漏れる
のを防ぐためボンベ１ａ切り離しに先立ってガス供給ラ
イン３ａ内の高圧及び低圧開閉弁４ａ、５ａを閉じ、パ
ージライン７ａ内の開閉弁８ａ及びベントラインＩＯａ
内の開閉弁１）ａを開いてパージ用Ｎ２ガス源６がらパ
ージ用Ｎ２ガスをパージライン７ａ、ボンベ側のガス供
給ライン３ａ及びベントライン１０ａを介してベントロ
９から排出せしめ、この際エゼクタ−１２による真空排
気作用が上記排気を促進し、ボンベ側のガス供給ライン
３ａ内から有害又は危険性のあるガスが完全にベントガ
ス処理機構（図示せず）内に排出処理されるようにして
いる。
に残存する有害な又は危険性のあるガスが外部に漏れる
のを防ぐためボンベ１ａ切り離しに先立ってガス供給ラ
イン３ａ内の高圧及び低圧開閉弁４ａ、５ａを閉じ、パ
ージライン７ａ内の開閉弁８ａ及びベントラインＩＯａ
内の開閉弁１）ａを開いてパージ用Ｎ２ガス源６がらパ
ージ用Ｎ２ガスをパージライン７ａ、ボンベ側のガス供
給ライン３ａ及びベントライン１０ａを介してベントロ
９から排出せしめ、この際エゼクタ−１２による真空排
気作用が上記排気を促進し、ボンベ側のガス供給ライン
３ａ内から有害又は危険性のあるガスが完全にベントガ
ス処理機構（図示せず）内に排出処理されるようにして
いる。
父上記従来のボンベ付ガス供給装置においてはベントガ
ス処理機構として湿式（スクラバー型）除害筒を用いて
いる。
ス処理機構として湿式（スクラバー型）除害筒を用いて
いる。
（発明が解決しようとする課題）
然しながら湿式除害筒はその取り扱いが面倒であり、こ
のため乾式除害筒を用いることが考えられるが、このよ
うな乾式除害筒では一度に大量のベントガスを処理する
ことは出来ない。
のため乾式除害筒を用いることが考えられるが、このよ
うな乾式除害筒では一度に大量のベントガスを処理する
ことは出来ない。
然るに一般にボンベからの供給ガスは１００Ｋｇ／ａｍ
”程度と高いためベントラインの開閉弁を開いたときは
一度に大量のガスがベントラインに流れ込み、ベントガ
スの処理が不可能となるおそれがあった。
”程度と高いためベントラインの開閉弁を開いたときは
一度に大量のガスがベントラインに流れ込み、ベントガ
スの処理が不可能となるおそれがあった。
本発明は上記の欠点を餘くようにしたものであ（課題を
解決するための手段） 本発明のボンベ付ガス供給装置はガス供給口とボンベ間
をガス供給ラインによって連通し、ボンベ交換に際しガ
ス供給ライン内のガスをパージ用ガスによってベントラ
インを介して排気するようにしたボンベ付ガス供給装置
において、上記ベントラインに介挿した開閉弁を徐々に
開き、ベントラインが所定圧以上になった後はこの開、
閉を繰り返すように制御する制’ａｍ横を設けたことを
特徴とする。
解決するための手段） 本発明のボンベ付ガス供給装置はガス供給口とボンベ間
をガス供給ラインによって連通し、ボンベ交換に際しガ
ス供給ライン内のガスをパージ用ガスによってベントラ
インを介して排気するようにしたボンベ付ガス供給装置
において、上記ベントラインに介挿した開閉弁を徐々に
開き、ベントラインが所定圧以上になった後はこの開、
閉を繰り返すように制御する制’ａｍ横を設けたことを
特徴とする。
（作 用）
本発明のボンベ付ガス供給装置においてはベントライン
に高圧ガスが僅かづつ流れ込むようになる。
に高圧ガスが僅かづつ流れ込むようになる。
（実 施 例）
以下図面によって本発明の詳細な説明する。
本発明においては第１図に示すようにベントライン１０
ａ、１０ｂ内の開閉弁１）ａ、１）ｂを開、閉操作する
ためのエアをソレノイド制御操作弁１５、ニードル弁１
６及びソレノイド制御流路切替弁１７を介して上記開閉
弁１）ａ、ｌｌｂに加えてこれを開、閉制御するように
し、この際第２図に示すように上記ソレノイド制御流路
切替弁１７は開いたま＼とし、上記ソレノイド制御操作
弁１５は開いた後ベントラインの圧力が所定値以上とな
ってからは僅かな時間間隔で開、閉を繰り返すようにす
る。
ａ、１０ｂ内の開閉弁１）ａ、１）ｂを開、閉操作する
ためのエアをソレノイド制御操作弁１５、ニードル弁１
６及びソレノイド制御流路切替弁１７を介して上記開閉
弁１）ａ、ｌｌｂに加えてこれを開、閉制御するように
し、この際第２図に示すように上記ソレノイド制御流路
切替弁１７は開いたま＼とし、上記ソレノイド制御操作
弁１５は開いた後ベントラインの圧力が所定値以上とな
ってからは僅かな時間間隔で開、閉を繰り返すようにす
る。
本発明のボンベ付ガス供給装置は上記のような構成であ
るからベントライン１０ａ、１０ｂ内の開閉弁１）ａ、
ｌｌｂを開くためソレノイド制御操作弁１５及びソレノ
イド制御流路切替弁１７を開いた場合、ニードル弁１６
の作用によってエアー圧が直ちに開閉弁を開く値には上
昇せず、この間エゼクタ−１２の作用によってベントラ
インは第２図に示すように例えば−０，６Ｋｇ／ｃｍ”
以下の減圧状態を維持している。
るからベントライン１０ａ、１０ｂ内の開閉弁１）ａ、
ｌｌｂを開くためソレノイド制御操作弁１５及びソレノ
イド制御流路切替弁１７を開いた場合、ニードル弁１６
の作用によってエアー圧が直ちに開閉弁を開く値には上
昇せず、この間エゼクタ−１２の作用によってベントラ
インは第２図に示すように例えば−０，６Ｋｇ／ｃｍ”
以下の減圧状態を維持している。
時間の経過と共に開閉弁が開き始め、これによってベン
トラインにガス供給ライン内の例えば１００ Ｋｇ／ｃ
ｍ”の高圧ガスの一部が入り込み、これによってベント
ラインのガス圧が上昇するようになる。本発明において
はベントラインのガス圧が例えば’ｌ Ｋｇ７ｃｍ”に
なった後は上記ソレノイド制御操作弁１５が僅かな時間
間隔で開、閉を繰り返すためベントラインのガス圧は大
きく上昇することなく、ボンベ側ガス供給ラインに残存
していた高圧ガスを徐々にベントラインに導入すること
が出来る。
トラインにガス供給ライン内の例えば１００ Ｋｇ／ｃ
ｍ”の高圧ガスの一部が入り込み、これによってベント
ラインのガス圧が上昇するようになる。本発明において
はベントラインのガス圧が例えば’ｌ Ｋｇ７ｃｍ”に
なった後は上記ソレノイド制御操作弁１５が僅かな時間
間隔で開、閉を繰り返すためベントラインのガス圧は大
きく上昇することなく、ボンベ側ガス供給ラインに残存
していた高圧ガスを徐々にベントラインに導入すること
が出来る。
（発明の効果）
上記のように本発明のボンベ付ガス供給装置によれば一
度に大量の高圧ガスがベントラインに流入することを極
めて簡単、容易に阻止出来る大きな利益がある。
度に大量の高圧ガスがベントラインに流入することを極
めて簡単、容易に阻止出来る大きな利益がある。
３ａ、３ｂ、１４−ガス供給ライン、４ａ。
４ｂ・・・高圧開閉弁、５ａ、５ｂ・・・低圧開閉弁、
６．１３・・・ＮＺガス源、１ａ、１ｂ−・・パージラ
イン、８ａ、８ｂ、ｌｌａ、ｌｌｂ・・・開閉弁、９・
・・ベントロ、１０ａ、１０ｂ・・・ベントライン、１
２・・・エゼクタ−１５・・・ソレノイド制御操作弁、
１６・・・−一ドル弁、１７・・・ソレノイド制御流路
切替弁。
６．１３・・・ＮＺガス源、１ａ、１ｂ−・・パージラ
イン、８ａ、８ｂ、ｌｌａ、ｌｌｂ・・・開閉弁、９・
・・ベントロ、１０ａ、１０ｂ・・・ベントライン、１
２・・・エゼクタ−１５・・・ソレノイド制御操作弁、
１６・・・−一ドル弁、１７・・・ソレノイド制御流路
切替弁。
第１図は本発明のボンベ付ガス供給装置における開閉弁
制御機構の説明図、第２図はその動作説明用線図、第３
図は従来のボンベ付ガス供給装置の構成図である。 ｌａ、ｌｂ・・・ボンベ、２・・・ガス供給口、Ｌコ ト
制御機構の説明図、第２図はその動作説明用線図、第３
図は従来のボンベ付ガス供給装置の構成図である。 ｌａ、ｌｂ・・・ボンベ、２・・・ガス供給口、Ｌコ ト
Claims (2)
- （１）ガス供給口とボンベ間をガス供給ラインによって
連通し、ボンベ交換に際しガス供給ライン内のガスをパ
ージ用ガスによってベントラインを介して排気するよう
にしたボンベ付ガス供給装置において、上記ベントライ
ンに介挿した開閉弁を徐々に開き、ベントラインが所定
圧以上になった後はこの開、閉を繰り返すように制御す
る制御機構を設けたことを特徴とするボンベ付ガス供給
装置。 - （２）上記制御機構は上記開閉弁にこれを開くためのエ
アをニードル弁を介して加えるための操作弁と、上記ベ
ントラインの圧力上昇に応じて短い時間間隔で上記操作
弁の開、閉を繰り返す手段とより成る請求項１記載のボ
ンベ付ガス供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9410990A JP2958381B2 (ja) | 1990-04-11 | 1990-04-11 | ボンベ付ガス供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9410990A JP2958381B2 (ja) | 1990-04-11 | 1990-04-11 | ボンベ付ガス供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03292496A true JPH03292496A (ja) | 1991-12-24 |
| JP2958381B2 JP2958381B2 (ja) | 1999-10-06 |
Family
ID=14101270
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9410990A Expired - Fee Related JP2958381B2 (ja) | 1990-04-11 | 1990-04-11 | ボンベ付ガス供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2958381B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6167749B1 (en) | 1997-09-17 | 2001-01-02 | Yamaha Corporation | Method and apparatus for automatically detecting gas leak, and recording medium for leak detection |
| JP2009108925A (ja) * | 2007-10-30 | 2009-05-21 | Air Liquide Japan Ltd | 液化ガス供給システム |
-
1990
- 1990-04-11 JP JP9410990A patent/JP2958381B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6167749B1 (en) | 1997-09-17 | 2001-01-02 | Yamaha Corporation | Method and apparatus for automatically detecting gas leak, and recording medium for leak detection |
| JP2009108925A (ja) * | 2007-10-30 | 2009-05-21 | Air Liquide Japan Ltd | 液化ガス供給システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2958381B2 (ja) | 1999-10-06 |
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