JP2958381B2 - ボンベ付ガス供給装置 - Google Patents
ボンベ付ガス供給装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はボンベ付ガス供給装置、特に安全装置を有す
るボンベ付ガス供給装置に関するものである。
るボンベ付ガス供給装置に関するものである。
（従来の技術） 第３図は従来のボンベ付半導体材料ガス供給装置を示
し、1a,1bは夫々シラン，ホスフィン等の半導体材料ガ
スのボンベ、２はガス供給口、3a,3bは夫々上記ボンベ1
a,1bとガス供給口２間を連通するガス供給ライン、4a,4
b及び5a,5bは夫々上記ガス供給ライン3a,3bに介挿した
ボンベ側高圧開閉弁及びガス供給口側低圧開閉弁、６は
パージ用N2ガス源、7a,7bは夫々このN2ガス源６と上記
ガス供給ライン3a,3bのボンベ接続部分間を連通するパ
ージライン、8a,8bは夫々上記パージライン7a,7bに介挿
された開閉弁、９はベント口、10a,10bは夫々このベン
ト口９と上記ガス供給ライン3a,3b内の高圧開閉弁4a,4b
のボンベ側開口間を連通するベントライン、11a,11bは
夫々上記ベントライン10a,10bに介挿された開閉弁、12
は上記ベント口９に真空を使用せしめるためのエゼクタ
ー、13はこのエゼクター12にエゼクター作用の生ぜしめ
るために流す高圧N2ガスのガス源、14はその供給ライン
である。
し、1a,1bは夫々シラン，ホスフィン等の半導体材料ガ
スのボンベ、２はガス供給口、3a,3bは夫々上記ボンベ1
a,1bとガス供給口２間を連通するガス供給ライン、4a,4
b及び5a,5bは夫々上記ガス供給ライン3a,3bに介挿した
ボンベ側高圧開閉弁及びガス供給口側低圧開閉弁、６は
パージ用N2ガス源、7a,7bは夫々このN2ガス源６と上記
ガス供給ライン3a,3bのボンベ接続部分間を連通するパ
ージライン、8a,8bは夫々上記パージライン7a,7bに介挿
された開閉弁、９はベント口、10a,10bは夫々このベン
ト口９と上記ガス供給ライン3a,3b内の高圧開閉弁4a,4b
のボンベ側開口間を連通するベントライン、11a,11bは
夫々上記ベントライン10a,10bに介挿された開閉弁、12
は上記ベント口９に真空を使用せしめるためのエゼクタ
ー、13はこのエゼクター12にエゼクター作用の生ぜしめ
るために流す高圧N2ガスのガス源、14はその供給ライン
である。
このような従来のボンベ付ガス供給装置においては、
例えばボンベ1a内のガスが消耗したとき、これを検知し
て自動的にガス供給ラインを3aから3bに切り替えてボン
ベ1bを使用し、ボンベ1bを使用している間にボンベ1aを
新しいボンベに交換するようにしている。
例えばボンベ1a内のガスが消耗したとき、これを検知し
て自動的にガス供給ラインを3aから3bに切り替えてボン
ベ1bを使用し、ボンベ1bを使用している間にボンベ1aを
新しいボンベに交換するようにしている。
このボンベ1aの交換に際してはガス供給ライン3a内に
残存する有害な又は危険性のあるガスが外部に漏れるの
を防ぐためボンベ1a切り離しに先立ってガス供給ライン
3a内の高圧及び低圧開閉弁4a,5aを閉じ、パージライン7
a内の開閉弁8a及びベントライン10a内の開閉弁11aを開
いてパージ用N2ガス源６からパージ用N2ガスをパージラ
イン7a、ボンベ側のガス供給ライン3a及びベントライン
10aを介してベント口９から排出せしめ、この際エゼク
ター12による真空排気作用が上記排気を促進し、ボンベ
側のガス供給ライン3a内から有害又は危険性のあるガス
が完全にベントガス処理機構（図示せず）内に排出処理
されるようにしている。
残存する有害な又は危険性のあるガスが外部に漏れるの
を防ぐためボンベ1a切り離しに先立ってガス供給ライン
3a内の高圧及び低圧開閉弁4a,5aを閉じ、パージライン7
a内の開閉弁8a及びベントライン10a内の開閉弁11aを開
いてパージ用N2ガス源６からパージ用N2ガスをパージラ
イン7a、ボンベ側のガス供給ライン3a及びベントライン
10aを介してベント口９から排出せしめ、この際エゼク
ター12による真空排気作用が上記排気を促進し、ボンベ
側のガス供給ライン3a内から有害又は危険性のあるガス
が完全にベントガス処理機構（図示せず）内に排出処理
されるようにしている。
又上記従来のボンベ付ガス供給装置においてはベント
ガス処理機構として湿式（スクラバー型）除害筒を用い
ている。
ガス処理機構として湿式（スクラバー型）除害筒を用い
ている。
（発明が解決しようとする課題） 然しながら湿式除害筒はその取り扱いが面倒であり、
このため乾式除害筒を用いることが考えられるが、この
ような乾式除害筒では一度に大量のベントガスを処理す
ることは出来ない。
このため乾式除害筒を用いることが考えられるが、この
ような乾式除害筒では一度に大量のベントガスを処理す
ることは出来ない。
然るに一般にボンベからの供給ガスは100kg/cm2程度
と高いためベントラインの開閉弁を開いたときは一度に
大量のガスがベントラインに流れ込み、ベントガスの処
理が不可能となるおそれがあった。
と高いためベントラインの開閉弁を開いたときは一度に
大量のガスがベントラインに流れ込み、ベントガスの処
理が不可能となるおそれがあった。
本発明は上記の欠点を除くようにしたものである。
（課題を解決するための手段） 本発明のボンベ付ガス供給装置はガス供給口とボンベ
間をガス供給ラインによって連通し、ボンベ交換に際し
ガス供給ライン内のガスをパージ用ガスによってベント
ラインを介して排気するようにしたボンベ付ガス供給装
置において、上記ベントラインに介挿した開閉弁を徐々
に開き、ベントラインが所定圧以上になった後はこの
開，閉を繰り返すように制御する制御機構を設けたこと
を特徴とする。
間をガス供給ラインによって連通し、ボンベ交換に際し
ガス供給ライン内のガスをパージ用ガスによってベント
ラインを介して排気するようにしたボンベ付ガス供給装
置において、上記ベントラインに介挿した開閉弁を徐々
に開き、ベントラインが所定圧以上になった後はこの
開，閉を繰り返すように制御する制御機構を設けたこと
を特徴とする。
（作 用） 本発明のボンベ付ガス供給装置においてはベントライ
ンに高圧ガスが僅かづつ流れ込むようになる。
ンに高圧ガスが僅かづつ流れ込むようになる。
（実 施 例） 以下図面によって本発明の実施例を説明する。
本発明においては第１図に示すようにベントライン10
a,10b内の開閉弁11a,11bを開，閉操作するためのエアを
ソレノイド制御操作弁15、ニードル弁16及びソレノイド
制御流路切替弁17を介して上記開閉弁11a,11bに加えて
これを開，閉制御するようにし、この際第２図に示すよ
うに上記ソレノイド制御流路切替弁17は開いたまゝと
し、上記ソレノイド制御操作弁15は開いた後ベントライ
ンの圧力が所定値以上となってからは僅かな時間間隔で
開，閉の繰り返すようにする。
a,10b内の開閉弁11a,11bを開，閉操作するためのエアを
ソレノイド制御操作弁15、ニードル弁16及びソレノイド
制御流路切替弁17を介して上記開閉弁11a,11bに加えて
これを開，閉制御するようにし、この際第２図に示すよ
うに上記ソレノイド制御流路切替弁17は開いたまゝと
し、上記ソレノイド制御操作弁15は開いた後ベントライ
ンの圧力が所定値以上となってからは僅かな時間間隔で
開，閉の繰り返すようにする。
本発明のボンベ付ガス供給装置は上記のような構成で
あるからベントライン10a,10b内の開閉弁11a,11bを開く
ためソレノイド制御操作弁15及びソレノイド制御流路切
替弁17を開いた場合、ニードル弁16の作用によってエア
ー圧が直ちに開閉弁を開く値には上昇せず、この間エゼ
クター12の作用によってベントラインは第２図に示すよ
うに例えば−0.6kg/cm2以下の減圧状態を維持してい
る。
あるからベントライン10a,10b内の開閉弁11a,11bを開く
ためソレノイド制御操作弁15及びソレノイド制御流路切
替弁17を開いた場合、ニードル弁16の作用によってエア
ー圧が直ちに開閉弁を開く値には上昇せず、この間エゼ
クター12の作用によってベントラインは第２図に示すよ
うに例えば−0.6kg/cm2以下の減圧状態を維持してい
る。
時間の経過と共に開閉弁が開き始め、これによってベ
ントラインにガス供給ライン内の例えば100kg/cm2の高
圧ガスの一部が入り込み、これによってベントラインの
ガス圧が上昇するようになる。本発明においてはベント
ラインのガス圧が例えば2kg/cm2になった後は上記ソレ
ノイ制御操作弁15が僅かな時間間隔で開，閉を繰り返す
ためベントラインのガス圧は大きく上昇することなく、
ボンベ側ガス供給ラインに残存していた高圧ガスを徐々
にベントラインに導入することが出来る。
ントラインにガス供給ライン内の例えば100kg/cm2の高
圧ガスの一部が入り込み、これによってベントラインの
ガス圧が上昇するようになる。本発明においてはベント
ラインのガス圧が例えば2kg/cm2になった後は上記ソレ
ノイ制御操作弁15が僅かな時間間隔で開，閉を繰り返す
ためベントラインのガス圧は大きく上昇することなく、
ボンベ側ガス供給ラインに残存していた高圧ガスを徐々
にベントラインに導入することが出来る。
（発明の効果） 上記のように本発明のボンベ付ガス供給装置によれば
一度に大量の高圧ガスがベントラインに流入することを
極めて簡単，容易に阻止出来る大きな利益がある。
一度に大量の高圧ガスがベントラインに流入することを
極めて簡単，容易に阻止出来る大きな利益がある。
第１図は本発明のボンベ付ガス供給装置における開閉弁
制御機構の説明図、第２図はその動作説明用線図、第３
図は従来のボンベ付ガス供給装置の構成図である。 1a,1b……ボンベ、２……ガス供給口、3a,3b,14……ガ
ス供給ライン、4a,4b……高圧開閉弁、5a,5b……低圧開
閉弁、6,13……N2ガス源、7a,7b……パージライン、8a,
8b,11a,11b……開閉弁、９……ベント口、10a,10b……
ベントライン、12……エゼクター、15……ソレノイド制
御操作弁、16……ニードル弁、17……ソレノイド制御流
路切替弁。
制御機構の説明図、第２図はその動作説明用線図、第３
図は従来のボンベ付ガス供給装置の構成図である。 1a,1b……ボンベ、２……ガス供給口、3a,3b,14……ガ
ス供給ライン、4a,4b……高圧開閉弁、5a,5b……低圧開
閉弁、6,13……N2ガス源、7a,7b……パージライン、8a,
8b,11a,11b……開閉弁、９……ベント口、10a,10b……
ベントライン、12……エゼクター、15……ソレノイド制
御操作弁、16……ニードル弁、17……ソレノイド制御流
路切替弁。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−287277（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−101739（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−203998（ＪＰ，Ａ) 実開 昭59−153799（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭57−132900（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭57−96896（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) F17C 13/00 - 13/10 302
Claims (2)
- 【請求項１】ガス供給口とボンベ間をガス供給ラインに
よって連通し、ボンベ交換に際しガス供給ライン内のガ
スをパージ用ガスによってベントラインを介して排気す
るようにしたボンベ付ガス供給装置において、上記ベン
トラインに介挿した開閉弁を徐々に開き、ベントライン
が所定圧以上になった後はこの開，閉を繰り返すように
制御する制御機構を設けたことを特徴とするボンベ付ガ
ス供給装置。 - 【請求項２】上記制御機構は上記開閉弁にこれを開くた
めのエアをニードル弁を介して加えるための操作弁と、
上記ベントラインの圧力上昇に応じて短い時間間隔で上
記操作弁の開，閉を繰り返す手段とより成る請求項１記
載のボンベ付ガス供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9410990A JP2958381B2 (ja) | 1990-04-11 | 1990-04-11 | ボンベ付ガス供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9410990A JP2958381B2 (ja) | 1990-04-11 | 1990-04-11 | ボンベ付ガス供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03292496A JPH03292496A (ja) | 1991-12-24 |
| JP2958381B2 true JP2958381B2 (ja) | 1999-10-06 |
Family
ID=14101270
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9410990A Expired - Fee Related JP2958381B2 (ja) | 1990-04-11 | 1990-04-11 | ボンベ付ガス供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2958381B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3284942B2 (ja) | 1997-09-17 | 2002-05-27 | ヤマハ株式会社 | ガスリーク検査方法と装置及び記録媒体 |
| JP5106987B2 (ja) * | 2007-10-30 | 2012-12-26 | 日本エア・リキード株式会社 | 液化ガス供給システム |
-
1990
- 1990-04-11 JP JP9410990A patent/JP2958381B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03292496A (ja) | 1991-12-24 |
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