JPH076598B2 - ボンベ付ガス供給装置におけるボンベ収納キャビネット - Google Patents
ボンベ付ガス供給装置におけるボンベ収納キャビネットInfo
- Publication number
- JPH076598B2 JPH076598B2 JP7070393A JP7070393A JPH076598B2 JP H076598 B2 JPH076598 B2 JP H076598B2 JP 7070393 A JP7070393 A JP 7070393A JP 7070393 A JP7070393 A JP 7070393A JP H076598 B2 JPH076598 B2 JP H076598B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cylinder
- gas supply
- gas
- storage cabinet
- valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Assembled Shelves (AREA)
- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はボンベ付ガス供給装置に
おけるボンベ収納キャビネットに関するものである。
おけるボンベ収納キャビネットに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は、従来のボンベ付半導体材料ガス
供給機構を示し、１ａ，１ｂは夫々シラン，ホスフィン
等の半導体材料ガスのボンベ、２はガス供給口、３ａ，
３ｂは夫々上記ボンベ１ａ，１ｂとガス供給口２間を連
通するガス供給ライン、４ａ，４ｂ及び５ａ，５ｂは夫
々上記ガス供給ライン３ａ，３ｂに介挿したボンベ側高
圧開閉弁及びガス供給口側低圧開閉弁、６はパージ用Ｎ
2 ガス源、７ａ，７ｂは夫々このＮ2 ガス源６と上記ガ
ス供給ライン３ａ，３ｂのボンベ接続部分間を連通する
パージライン、８ａ，８ｂは夫々上記パージライン ７
ａ，７ｂに介挿された開閉弁、９はベント口、１０ａ，
１０ｂは夫々このベント口９と上記ガス供給ライン３
ａ，３ｂ内の高圧開閉弁４ａ，４ｂのボンベ側開口間を
連通するベントライン、１１ａ，１１ｂは夫々上記ベン
トライン１０ａ，１０ｂに介挿された開閉弁、１２は上
記ベント口９に真空を作用せしめるためのエゼクター、
１３はこのエゼクター１２にエゼクター作用を生ぜしめ
るために流す高圧Ｎ2 ガスのガス源、１４はその供給ラ
イン、１７ａ，１７ｂはボンベ接続用口金、１８ａ，１
８ｂは夫々ボンベ１ａ，１ｂのボンベ口金開閉弁であ
る。
供給機構を示し、１ａ，１ｂは夫々シラン，ホスフィン
等の半導体材料ガスのボンベ、２はガス供給口、３ａ，
３ｂは夫々上記ボンベ１ａ，１ｂとガス供給口２間を連
通するガス供給ライン、４ａ，４ｂ及び５ａ，５ｂは夫
々上記ガス供給ライン３ａ，３ｂに介挿したボンベ側高
圧開閉弁及びガス供給口側低圧開閉弁、６はパージ用Ｎ
2 ガス源、７ａ，７ｂは夫々このＮ2 ガス源６と上記ガ
ス供給ライン３ａ，３ｂのボンベ接続部分間を連通する
パージライン、８ａ，８ｂは夫々上記パージライン ７
ａ，７ｂに介挿された開閉弁、９はベント口、１０ａ，
１０ｂは夫々このベント口９と上記ガス供給ライン３
ａ，３ｂ内の高圧開閉弁４ａ，４ｂのボンベ側開口間を
連通するベントライン、１１ａ，１１ｂは夫々上記ベン
トライン１０ａ，１０ｂに介挿された開閉弁、１２は上
記ベント口９に真空を作用せしめるためのエゼクター、
１３はこのエゼクター１２にエゼクター作用を生ぜしめ
るために流す高圧Ｎ2 ガスのガス源、１４はその供給ラ
イン、１７ａ，１７ｂはボンベ接続用口金、１８ａ，１
８ｂは夫々ボンベ１ａ，１ｂのボンベ口金開閉弁であ
る。
【０００３】又図４において１６は前面に扉１５ａ，１
５ｂを有し、内部に上記ボンベを収納するキャビネット
である。
５ｂを有し、内部に上記ボンベを収納するキャビネット
である。
【０００４】このような従来のボンベ付ガス供給機構に
おいては、例えばボンベ１ａ内のガスが消耗したとき、
これを検知して自動的にガス供給ラインを３ａから３ｂ
に切り替えてボンベ１ｂを使用し、ボンベ１ｂを使用し
ている間にボンベ１ａを新しいボンベに交換するように
している。
おいては、例えばボンベ１ａ内のガスが消耗したとき、
これを検知して自動的にガス供給ラインを３ａから３ｂ
に切り替えてボンベ１ｂを使用し、ボンベ１ｂを使用し
ている間にボンベ１ａを新しいボンベに交換するように
している。
【０００５】このボンベ１ａの交換に際してはガス供給
ライン３ａ内に残存する有害な又は危険性のあるガスが
外部に漏れるのを防ぐためボンベ１ａ切り離しに先立っ
て制御系（図示せず）によってガス供給ライン３ａ内の
高圧及び低圧開閉弁４ａ，５ａを閉じ、パージライン７
ａ内の開閉弁８ａ及びベントライン１０ａ内の開閉弁１
１ａを開いてパージ用Ｎ2 ガス源６からパージ用Ｎ2 ガ
スをパージライン７ａ、ボンベ側のガス供給ライン３ａ
及びベントライン１０ａを介してベント口９から排出せ
しめ、この際エゼクター１２による真空排気作用が上記
排気を促進し、ボンベ側のガス供給ライン３ａ内から有
害又は危険性のあるガスが完全にベントガス処理機構
（図示せず）内に排出処理されるようにしている。
ライン３ａ内に残存する有害な又は危険性のあるガスが
外部に漏れるのを防ぐためボンベ１ａ切り離しに先立っ
て制御系（図示せず）によってガス供給ライン３ａ内の
高圧及び低圧開閉弁４ａ，５ａを閉じ、パージライン７
ａ内の開閉弁８ａ及びベントライン１０ａ内の開閉弁１
１ａを開いてパージ用Ｎ2 ガス源６からパージ用Ｎ2 ガ
スをパージライン７ａ、ボンベ側のガス供給ライン３ａ
及びベントライン１０ａを介してベント口９から排出せ
しめ、この際エゼクター１２による真空排気作用が上記
排気を促進し、ボンベ側のガス供給ライン３ａ内から有
害又は危険性のあるガスが完全にベントガス処理機構
（図示せず）内に排出処理されるようにしている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】然しながら上記のよう
な従来のボンベ付ガス供給機構においてはボンベ収納キ
ャビネット内に空気が混入すると爆発するガスが充満し
た場合、このガスの爆発によって扉が前方に飛散し、ボ
ンベ交換作業員を傷つけ、又は作業員の面前に有害なガ
スが噴出する危険があった。
な従来のボンベ付ガス供給機構においてはボンベ収納キ
ャビネット内に空気が混入すると爆発するガスが充満し
た場合、このガスの爆発によって扉が前方に飛散し、ボ
ンベ交換作業員を傷つけ、又は作業員の面前に有害なガ
スが噴出する危険があった。
【０００７】本発明は上記の問題を解決するものであ
る。
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明のボンベ付ガス供
給装置におけるボンベ収納キャビネットは前面に設けた
複数の扉と、上面に設けたリリーフ弁とを有し、このリ
リーフ弁が前記扉を破壊せしめる内圧より小さい内圧で
開かれる弁であることを特徴とする。
給装置におけるボンベ収納キャビネットは前面に設けた
複数の扉と、上面に設けたリリーフ弁とを有し、このリ
リーフ弁が前記扉を破壊せしめる内圧より小さい内圧で
開かれる弁であることを特徴とする。
【０００９】本発明のボンベ付ガス供給装置におけるボ
ンベ収納キャビネットにおいてはキャビネットが爆発し
た際、前面扉よりも前にリリーフ弁が開き、前面扉の破
壊が防がれる。
ンベ収納キャビネットにおいてはキャビネットが爆発し
た際、前面扉よりも前にリリーフ弁が開き、前面扉の破
壊が防がれる。
【００１０】
【実施例】以下図面によって本発明の実施例を説明す
る。
る。
【００１１】本発明においては図４に示すようなボンベ
を収納する２枚の扉１５ａ，１５ｂを有するキャビネッ
ト１６において、上面に破壊板や開閉扉等より成るリリ
ーフ弁１９ａ，１９ｂを設け、このリリーフ弁１９ａ，
１９ｂはキャビネット１６内のガスが爆発した際これに
よって生じた内圧が扉１５ａ，１５ｂを破壊する大きさ
に達する前の低い内圧で開かれ、この開かれたリリーフ
弁を介して内圧が抜けるようにする。このリリーフ弁
は、例えば開口と、この開口を塞ぐよう開口の一端に開
閉自在に枢支した蓋とを有し、この蓋の自重と、蓋が受
ける受圧面積との関係で開かれるときの圧力が定められ
るようにした、従来既知のものを用いる。
を収納する２枚の扉１５ａ，１５ｂを有するキャビネッ
ト１６において、上面に破壊板や開閉扉等より成るリリ
ーフ弁１９ａ，１９ｂを設け、このリリーフ弁１９ａ，
１９ｂはキャビネット１６内のガスが爆発した際これに
よって生じた内圧が扉１５ａ，１５ｂを破壊する大きさ
に達する前の低い内圧で開かれ、この開かれたリリーフ
弁を介して内圧が抜けるようにする。このリリーフ弁
は、例えば開口と、この開口を塞ぐよう開口の一端に開
閉自在に枢支した蓋とを有し、この蓋の自重と、蓋が受
ける受圧面積との関係で開かれるときの圧力が定められ
るようにした、従来既知のものを用いる。
【００１２】
【発明の効果】上記のように本発明のボンベ付ガス供給
装置におけるボンベ収納キャビネットによればたとえキ
ャビネットが爆発してもリリーフ弁が開くため内圧は扉
が破壊される大きさに上昇せず、従って作業員が扉によ
って損傷を受けたり、ガスが作業員に向かって噴出する
危険性を防ぐことができる大きな利益がある。
装置におけるボンベ収納キャビネットによればたとえキ
ャビネットが爆発してもリリーフ弁が開くため内圧は扉
が破壊される大きさに上昇せず、従って作業員が扉によ
って損傷を受けたり、ガスが作業員に向かって噴出する
危険性を防ぐことができる大きな利益がある。
【００１３】尚上記リリーフ弁をキャビネットの背面に
設けた場合にはリリーフ弁を介して抜けたガス圧によっ
てキャビネットが前方に押し出されるおそれがあり好ま
しく無い。
設けた場合にはリリーフ弁を介して抜けたガス圧によっ
てキャビネットが前方に押し出されるおそれがあり好ま
しく無い。
【図１】本発明のボンベ付ガス供給装置におけるボンベ
収納キャビネットの正面図である。
収納キャビネットの正面図である。
【図２】本発明のボンベ付ガス供給装置におけるボンベ
収納キャビネットの平面図である。
収納キャビネットの平面図である。
【図３】従来のボンベ付ガス供給機構の構成図である。
【図４】従来のキャビネットの正面図である。
１ａ ボンベ １ｂ ボンベ ２ ガス供給口 ３ａ ガス供給ライン ３ｂ ガス供給ライン ４ａ 高圧開閉弁 ４ｂ 高圧開閉弁 ５ａ 低圧開閉弁 ５ｂ 低圧開閉弁 ６ Ｎ2 ガス源 ７ａ パージライン ７ｂ パージライン ８ａ 開閉弁 ８ｂ 開閉弁 ９ ベント口 １０ａ ベントライン １０ｂ ベントライン １１ａ 開閉弁 １１ｂ 開閉弁 １２ エゼクター １３ Ｎ2 ガス源 １４ ガス供給ライン １５ａ 扉 １５ｂ 扉 １６ キャビネット １７ａ ボンベ接続用口金 １７ｂ ボンベ接続用口金 １８ａ ボンベ用口金開閉弁 １８ｂ ボンベ用口金開閉弁 １９ａ リリーフ弁 １９ｂ リリーフ弁
Claims (1)
- 【請求項１】 前面に設けた複数の扉と、上面に設けた
リリーフ弁とを有し、このリリーフ弁が前記扉を破壊せ
しめる内圧より小さい内圧で開かれる弁であることを特
徴とするボンベ付ガス供給装置におけるボンベ収納キャ
ビネット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7070393A JPH076598B2 (ja) | 1993-03-08 | 1993-03-08 | ボンベ付ガス供給装置におけるボンベ収納キャビネット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7070393A JPH076598B2 (ja) | 1993-03-08 | 1993-03-08 | ボンベ付ガス供給装置におけるボンベ収納キャビネット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0642700A JPH0642700A (ja) | 1994-02-18 |
| JPH076598B2 true JPH076598B2 (ja) | 1995-01-30 |
Family
ID=13439232
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7070393A Expired - Lifetime JPH076598B2 (ja) | 1993-03-08 | 1993-03-08 | ボンベ付ガス供給装置におけるボンベ収納キャビネット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH076598B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102011082580A1 (de) * | 2011-09-13 | 2013-03-14 | Siemens Aktiengesellschaft | HF-Resonator und Teilchenbeschleuniger mit HF-Resonator |
| JP7142828B2 (ja) * | 2020-07-28 | 2022-09-28 | 株式会社タツノ | ガス充填装置 |
| JP7142827B2 (ja) * | 2020-07-28 | 2022-09-28 | 株式会社タツノ | ガス充填装置 |
-
1993
- 1993-03-08 JP JP7070393A patent/JPH076598B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0642700A (ja) | 1994-02-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5217053A (en) | Vented vacuum semiconductor wafer cassette | |
| US5137063A (en) | Vented vacuum semiconductor wafer cassette | |
| US5509248A (en) | Method for filling and packing insulating powder in the walls of a cabinet body | |
| CA2482975A1 (en) | Hose direct canister lid | |
| KR900014606A (ko) | 기밀실내로 고압 및 고속으로 가스를 주입하고 회수하기 위한 장치 | |
| JPH076598B2 (ja) | ボンベ付ガス供給装置におけるボンベ収納キャビネット | |
| JP2548659B2 (ja) | ベント式射出成形機 | |
| JP2781877B2 (ja) | ボンベ付ガス供給装置 | |
| JP2781874B2 (ja) | ボンベ付ガス供給装置 | |
| WO2005124269A3 (en) | Purging an airlock of an explosion containment chamber | |
| JP3772640B2 (ja) | 遠心機 | |
| JP2781875B2 (ja) | ボンベ付ガス供給装置 | |
| JP2958382B2 (ja) | ボンベ付ガス供給装置 | |
| JP2958381B2 (ja) | ボンベ付ガス供給装置 | |
| JPH0434299A (ja) | ボンベ付ガス供給装置 | |
| JP2858689B2 (ja) | グローブボックス | |
| KR102694418B1 (ko) | 가스켓 폐기 모듈 | |
| JPS6317842Y2 (ja) | ||
| JP2822992B2 (ja) | ベント機構 | |
| KR200324406Y1 (ko) | 진공용기 | |
| CN208809308U (zh) | 一种选位阀装置 | |
| JP2829523B2 (ja) | 高圧ガス・低圧ガス選択取出し用容器弁 | |
| JP2000141227A (ja) | エヤーブラスト用加圧タンク装置 | |
| EP1058008A3 (de) | Verfahren und Vakuumfüller zum Abfüllen einer pastösen Masse | |
| JPS5926564B2 (ja) | 穀類冬眠貯蔵用真空包装方法 |