JP2781877B2 - ボンベ付ガス供給装置 - Google Patents
ボンベ付ガス供給装置Info
- Publication number
- JP2781877B2 JP2781877B2 JP13824490A JP13824490A JP2781877B2 JP 2781877 B2 JP2781877 B2 JP 2781877B2 JP 13824490 A JP13824490 A JP 13824490A JP 13824490 A JP13824490 A JP 13824490A JP 2781877 B2 JP2781877 B2 JP 2781877B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cylinder
- gas supply
- gas
- supply line
- line
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はボンベ付ガス供給装置、特にキャビネットに
内蔵せしめたボンベ付ガス供給装置に関するものであ
る。
内蔵せしめたボンベ付ガス供給装置に関するものであ
る。
（従来の技術） 第２図は従来のボンベ付半導体材料ガス供給機構を示
し、1a,1bは夫々シラン，ホスフィン等の半導体材料ガ
スのボンベ、２はガス供給口、3a,3bは夫々上記ボンベ1
a,1bとガス供給口２間を連通するガス供給ライン、4a,4
b及び5a,5bは夫々上記ガス供給ライン3a,3bに介挿した
ボンベ側高圧開閉弁及びガス供給口側低圧開閉弁、６は
パージ用N2ガス源、7a,7bは夫々このN2ガス源６と上記
ガス供給ライン3a,3bのボンベ接続部分間を連通するパ
ージライン、8a,8bは夫々上記パージライン7a,7bに介挿
された開閉弁、９はベント口、10a,10bは夫々このベン
ト口９と上記ガス供給ライン3a,3b内の高圧開閉弁4a,4b
のボンベ側開口間を連通するベントライン、11a,11bは
夫々上記ベントライン10a,10bに介挿された開閉弁、12
は上記ベント口９に真空を作用せしめるためのエゼクタ
ー、13はこのエゼクター12にエゼグター作用を生ぜしめ
るために流す高圧N2ガスのガス源、14はその供給ライ
ン、16は扉15a,15bを有し上記ボンベ付ガス供給機構を
収納するキャビネット、17a,17bはボンベ接続用口金、1
8a,18bは夫々ボンベ1a,1bのボンベ口金開閉弁である。
し、1a,1bは夫々シラン，ホスフィン等の半導体材料ガ
スのボンベ、２はガス供給口、3a,3bは夫々上記ボンベ1
a,1bとガス供給口２間を連通するガス供給ライン、4a,4
b及び5a,5bは夫々上記ガス供給ライン3a,3bに介挿した
ボンベ側高圧開閉弁及びガス供給口側低圧開閉弁、６は
パージ用N2ガス源、7a,7bは夫々このN2ガス源６と上記
ガス供給ライン3a,3bのボンベ接続部分間を連通するパ
ージライン、8a,8bは夫々上記パージライン7a,7bに介挿
された開閉弁、９はベント口、10a,10bは夫々このベン
ト口９と上記ガス供給ライン3a,3b内の高圧開閉弁4a,4b
のボンベ側開口間を連通するベントライン、11a,11bは
夫々上記ベントライン10a,10bに介挿された開閉弁、12
は上記ベント口９に真空を作用せしめるためのエゼクタ
ー、13はこのエゼクター12にエゼグター作用を生ぜしめ
るために流す高圧N2ガスのガス源、14はその供給ライ
ン、16は扉15a,15bを有し上記ボンベ付ガス供給機構を
収納するキャビネット、17a,17bはボンベ接続用口金、1
8a,18bは夫々ボンベ1a,1bのボンベ口金開閉弁である。
このような従来のボンベ付ガス供給機構においては、
例えばボンベ1a内のガスが消耗したとき、これを検知し
て自動的にガス供給ラインを3aから3bに切り替えてボン
ベ1bを使用し、ボンベ1bを使用している間にボンベ1aを
新しいボンベに交換するようにしている。
例えばボンベ1a内のガスが消耗したとき、これを検知し
て自動的にガス供給ラインを3aから3bに切り替えてボン
ベ1bを使用し、ボンベ1bを使用している間にボンベ1aを
新しいボンベに交換するようにしている。
このボンベ1aの交換に際してはガス供給ライン3a内に
残存する有害な又は危険性のあるガスが外部に漏れるの
を防ぐためボンベ1a切り離しに先立って制御系（図示せ
ず）によってガス供給ライン3a内の高圧及び低圧開閉弁
4a,5aを閉じ、パージライン7a内の開閉弁8a及びベント
ライン10a内の開閉弁11aを開いてパージ用N2ガス源６か
らパージ用N2ガスをパージライン7a、ボンベ側のガス供
給ライン3a及びベントライン10aを介してベント口９か
ら排出せしめ、この際エゼクター12による真空排気作用
が上記排気を促進し、ボンベ側のガス供給ライン3a内か
ら有害又は危険性のあるガスが完全にベントガス処理機
構（図示せず）内に排出処理されるようにしている。
残存する有害な又は危険性のあるガスが外部に漏れるの
を防ぐためボンベ1a切り離しに先立って制御系（図示せ
ず）によってガス供給ライン3a内の高圧及び低圧開閉弁
4a,5aを閉じ、パージライン7a内の開閉弁8a及びベント
ライン10a内の開閉弁11aを開いてパージ用N2ガス源６か
らパージ用N2ガスをパージライン7a、ボンベ側のガス供
給ライン3a及びベントライン10aを介してベント口９か
ら排出せしめ、この際エゼクター12による真空排気作用
が上記排気を促進し、ボンベ側のガス供給ライン3a内か
ら有害又は危険性のあるガスが完全にベントガス処理機
構（図示せず）内に排出処理されるようにしている。
（発明が解決しようとする課題） 然しながら上記のような従来のボンベ付ガス供給機構
においてはボンベ切り替え後に行う、ボンベ交換作業に
おいては、各ボンベ1a,1bのガス供給ラインが互いに開
閉弁4a,5a（4b,5b）でしきられているとは言え、配管ラ
インの一方ではガスが供給されている状態であり、その
ガス供給中のラインに接続されているラインの一部、す
なわちボンベ交換側の配管3a（3b）とボンベ接続口17a
（17b）を開放しなければならず、もし万が一ボンベ交
換側のラインの開閉弁が開く事があれば作業中の作業員
の面前に有害ガスが噴出することとなり危険である。
においてはボンベ切り替え後に行う、ボンベ交換作業に
おいては、各ボンベ1a,1bのガス供給ラインが互いに開
閉弁4a,5a（4b,5b）でしきられているとは言え、配管ラ
インの一方ではガスが供給されている状態であり、その
ガス供給中のラインに接続されているラインの一部、す
なわちボンベ交換側の配管3a（3b）とボンベ接続口17a
（17b）を開放しなければならず、もし万が一ボンベ交
換側のラインの開閉弁が開く事があれば作業中の作業員
の面前に有害ガスが噴出することとなり危険である。
従来は、このような危険作業時に想定される誤操作な
いしは機械的故障による危険性に対する対策は全くなさ
れていない。
いしは機械的故障による危険性に対する対策は全くなさ
れていない。
本発明は上記の問題を解決するものである。
（課題を解決するための手段） 本発明のボンベ付ガス供給装置は共通のガス供給口と
複数のボンベ間を夫々切替可能なガス供給ラインによっ
て連通し、ボンベ交換に際しこれに関連するガス供給ラ
イン内のガスをパージ用ガスによってベントラインを介
して排気するようにしたボンベ付ガス供給機構と、上記
ガス供給ラインの開閉弁を開閉制御する制御系と、上記
ボンベ付ガス供給機構を内蔵するキャビネットと、この
キャビネット内の排気機構と、上記複数のボンベの配置
位置に対応して夫々上記キャビネットに設けた複数の扉
と、この複数の扉の開を検知し、開かれた扉に対応する
ボンベに関連する上記ガス供給ラインの開閉弁を上記制
御系から切り離し閉じたまゝにする機構とより成ること
を特徴とする。
複数のボンベ間を夫々切替可能なガス供給ラインによっ
て連通し、ボンベ交換に際しこれに関連するガス供給ラ
イン内のガスをパージ用ガスによってベントラインを介
して排気するようにしたボンベ付ガス供給機構と、上記
ガス供給ラインの開閉弁を開閉制御する制御系と、上記
ボンベ付ガス供給機構を内蔵するキャビネットと、この
キャビネット内の排気機構と、上記複数のボンベの配置
位置に対応して夫々上記キャビネットに設けた複数の扉
と、この複数の扉の開を検知し、開かれた扉に対応する
ボンベに関連する上記ガス供給ラインの開閉弁を上記制
御系から切り離し閉じたまゝにする機構とより成ること
を特徴とする。
（作 用） 本発明のボンベ付ガス供給装置においてはキャビネッ
トの扉開放によってこれに対応するボンベに関連するガ
ス供給ライン中の開閉弁が自動的に制御系より分離さ
れ、扉開放後のボンベ交換作業等の進行中に誤操作ない
しは、不測の制御系のトラブルによって開閉弁が開く等
の事故が生じない。
トの扉開放によってこれに対応するボンベに関連するガ
ス供給ライン中の開閉弁が自動的に制御系より分離さ
れ、扉開放後のボンベ交換作業等の進行中に誤操作ない
しは、不測の制御系のトラブルによって開閉弁が開く等
の事故が生じない。
（実 施 例） 以下図面によって本発明の実施例を説明する。
本発明においては第２図に示すようなボンベ付ガス供
給機構を収納する２枚の扉15a,15bを有するキャビネッ
ト16内の雰囲気を常時排気機構（図示せず）によってベ
ントガス処理機構に排出しせめると共に、上記扉15a,15
bの位置に夫々上記ボンベ1a,1bを配置し、例えばボンベ
1aは左側の扉15aを開けないとボンベの交換はもとよ
り、そのボンベ1aの接続用口金17aを外すこともできな
いようにし、又ボンベ1bは右側の扉15bを開けないと同
様にボンベの交換及び接続用口金17bの取り外しができ
ないように構成する。更に、上記扉15a,15bに、その開
閉によって作動するボンベ開放状態検知機構（図示せ
ず）を設け、これによって開放した扉に対応するボンベ
に関する供給ライン中の開閉弁（第２図中で、左扉15a
を開いた場合には第１図のボンベ1aの口金開閉弁18aと
上記各開閉弁4a,5a,8a,11a、右扉15bを開いた場合に
は、ボンベ1bの口金開閉弁18bと上記各開閉弁4b,5b,8b,
11b）を、それを開閉制御する制御系（図示せず）より
自動的に切り離すことにより、扉開放時にその扉に対応
する供給ラインの開閉弁が開かないようにする。
給機構を収納する２枚の扉15a,15bを有するキャビネッ
ト16内の雰囲気を常時排気機構（図示せず）によってベ
ントガス処理機構に排出しせめると共に、上記扉15a,15
bの位置に夫々上記ボンベ1a,1bを配置し、例えばボンベ
1aは左側の扉15aを開けないとボンベの交換はもとよ
り、そのボンベ1aの接続用口金17aを外すこともできな
いようにし、又ボンベ1bは右側の扉15bを開けないと同
様にボンベの交換及び接続用口金17bの取り外しができ
ないように構成する。更に、上記扉15a,15bに、その開
閉によって作動するボンベ開放状態検知機構（図示せ
ず）を設け、これによって開放した扉に対応するボンベ
に関する供給ライン中の開閉弁（第２図中で、左扉15a
を開いた場合には第１図のボンベ1aの口金開閉弁18aと
上記各開閉弁4a,5a,8a,11a、右扉15bを開いた場合に
は、ボンベ1bの口金開閉弁18bと上記各開閉弁4b,5b,8b,
11b）を、それを開閉制御する制御系（図示せず）より
自動的に切り離すことにより、扉開放時にその扉に対応
する供給ラインの開閉弁が開かないようにする。
（発明の効果） 上記のように本発明のボンベ付ガス供給装置によれば
扉を開けた状態でしか行えないボンベ交換作業中（この
時にはボンベと配管の接続部が一時的に開放されている
状態で危険な状態といえる）に誤操作や制御系のトラブ
ルが発生したとしても、その扉に対応する供給ラインの
開閉弁は開く事がないため、配管系の残存ガスとか、開
けた扉と反対の供給系（これはガスを供給中ですべての
開閉弁が開いている状態）からガスが逆流して、ビンベ
交換のために開放された接続用口金17a（17b）より、危
険性ガスが噴出するといった危険がなくなり、ボンベ交
換が極めて安全になし得る大きな利益がある。
扉を開けた状態でしか行えないボンベ交換作業中（この
時にはボンベと配管の接続部が一時的に開放されている
状態で危険な状態といえる）に誤操作や制御系のトラブ
ルが発生したとしても、その扉に対応する供給ラインの
開閉弁は開く事がないため、配管系の残存ガスとか、開
けた扉と反対の供給系（これはガスを供給中ですべての
開閉弁が開いている状態）からガスが逆流して、ビンベ
交換のために開放された接続用口金17a（17b）より、危
険性ガスが噴出するといった危険がなくなり、ボンベ交
換が極めて安全になし得る大きな利益がある。
第１図は本発明のボンベ付ガス供給装置におけるキャビ
ネットの正面図、第２図は従来のボンベ付ガス供給機構
の構成図である。 1a,1b……ボンベ、２……ガス供給口、3a,3b,14……ガ
ス供給ライン、4a,4b……高圧開閉弁、5a,5b……低圧開
閉弁、6,13……N2ガス源、7a,7b……パージライン、8a,
8b,11a,11b……開閉弁、９……ベント口、10a,10b……
ベントライン、12……エゼクター、15a,15b……扉、16
……キャビネット、17a,17b……ボンベ接続用口金、18
a,18b……ボンベ用口金開閉弁。
ネットの正面図、第２図は従来のボンベ付ガス供給機構
の構成図である。 1a,1b……ボンベ、２……ガス供給口、3a,3b,14……ガ
ス供給ライン、4a,4b……高圧開閉弁、5a,5b……低圧開
閉弁、6,13……N2ガス源、7a,7b……パージライン、8a,
8b,11a,11b……開閉弁、９……ベント口、10a,10b……
ベントライン、12……エゼクター、15a,15b……扉、16
……キャビネット、17a,17b……ボンベ接続用口金、18
a,18b……ボンベ用口金開閉弁。
Claims (1)
- 【請求項１】共通のガス供給口と複数のボンベ間を夫々
切替可能なガス供給ラインによって連通し、ボンベ交換
に際しこれに関連するガス供給ライン内のガスをパージ
用ガスによってベントラインを介して排気するようにし
たボンベ付ガス供給機構と、上記ガス供給ラインの開閉
弁を開閉制御する制御系と、上記ボンベ付ガス供給機構
を内蔵するキャビネットと、このキャビネット内の排気
機構と、上記複数のボンベの配置位置に対応して夫々上
記キャビネットに設けた複数の扉と、この複数の扉の開
を検知し、開かれた扉に対応するボンベに関連する上記
ガス供給ラインの開閉弁を上記制御系から切り離し閉じ
たまゝにする機構とより成ることを特徴とするボンベ付
ガス供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13824490A JP2781877B2 (ja) | 1990-05-30 | 1990-05-30 | ボンベ付ガス供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13824490A JP2781877B2 (ja) | 1990-05-30 | 1990-05-30 | ボンベ付ガス供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0434300A JPH0434300A (ja) | 1992-02-05 |
| JP2781877B2 true JP2781877B2 (ja) | 1998-07-30 |
Family
ID=15217443
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13824490A Expired - Fee Related JP2781877B2 (ja) | 1990-05-30 | 1990-05-30 | ボンベ付ガス供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2781877B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2594032Y2 (ja) * | 1992-08-06 | 1999-04-19 | ミノルタ株式会社 | 一眼レフカメラのファインダー視野枠切り換え機構 |
-
1990
- 1990-05-30 JP JP13824490A patent/JP2781877B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0434300A (ja) | 1992-02-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2813856B2 (ja) | シリンダ付ガス供給装置 | |
| US6039770A (en) | Semiconductor device manufacturing system having means for reducing a pressure difference between loadlock and processing chambers | |
| JPH054666A (ja) | 通気孔を設けた半導体ウエーハ用真空カセツト | |
| JP3363408B2 (ja) | 処理装置 | |
| JP2781877B2 (ja) | ボンベ付ガス供給装置 | |
| AU687641B2 (en) | Connecting system for a pressurised gas bottle | |
| JP2781876B2 (ja) | ボンベ付ガス供給装置 | |
| JP2781874B2 (ja) | ボンベ付ガス供給装置 | |
| JP2958382B2 (ja) | ボンベ付ガス供給装置 | |
| EP1333187B1 (en) | Exhaust apparatus with control means for a multistage labyrinth seal of a hydrostatic bearing used in vacuum | |
| JP3961677B2 (ja) | 内視鏡滅菌用オートクレーブ装置 | |
| JPH076598B2 (ja) | ボンベ付ガス供給装置におけるボンベ収納キャビネット | |
| JP2958381B2 (ja) | ボンベ付ガス供給装置 | |
| JPH0831369A (ja) | ガス供給装置 | |
| JP3607950B2 (ja) | ガス供給設備 | |
| JPS58184433A (ja) | グロ−ブボツクス及び同様な設備用の換気装置 | |
| JPH10185098A (ja) | エアチューブ接続状態検知装置 | |
| KR100732006B1 (ko) | 진공파괴용 체적이 구비된 진공발생유니트 | |
| CN219673972U (zh) | 新型气体汇流排及新型气体汇流排系统 | |
| JP2586208B2 (ja) | ガスシリンダキャビネット | |
| KR102456550B1 (ko) | 에어척의 공작물 이탈방지 시스템 | |
| KR20230154675A (ko) | 잉크 공급장치 및 이를 이용한 잉크 공급방법 | |
| JP3822134B2 (ja) | 生産ラインの圧縮空気供給制御装置及びこれを用いた生産ラインの圧縮空気供給制御システム | |
| JPH0522794Y2 (ja) | ||
| JPS63111938A (ja) | 真空処理装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |