JPS63111938A - 真空処理装置 - Google Patents
真空処理装置Info
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- JPS63111938A JPS63111938A JP25463986A JP25463986A JPS63111938A JP S63111938 A JPS63111938 A JP S63111938A JP 25463986 A JP25463986 A JP 25463986A JP 25463986 A JP25463986 A JP 25463986A JP S63111938 A JPS63111938 A JP S63111938A
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- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 12
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 66
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 11
- 230000008595 infiltration Effects 0.000 abstract 2
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- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
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- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/03—Pressure vessels, or vacuum vessels, having closure members or seals specially adapted therefor
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、真空処理室に移動自在なパージ用コンテナ
から成る被処理物搬入・搬出装置を着脱口栓に連設して
、有害な大気が真空処理室に侵入するのを防止する真空
処理装置に関するものである。
から成る被処理物搬入・搬出装置を着脱口栓に連設して
、有害な大気が真空処理室に侵入するのを防止する真空
処理装置に関するものである。
［従来の技術］
従来の真空処理装置は、真空処理室に真空ポンプ、電源
およびその他の付帯装置を備えた排気設備と、パージ用
ガスを導入するパージ用ガス導入設備とを接続し、この
真空処理室の側壁の開口部に真空バルブを設け、この真
空バルブの開けて、被処理物を真空処理室内に搬入した
りあるいは真空処理室より搬出するように構成されてい
るが、真空バルブの開閉時に有害な大気が真空処理室内
に侵入するのを防止するための工夫がなされていなかっ
た。
およびその他の付帯装置を備えた排気設備と、パージ用
ガスを導入するパージ用ガス導入設備とを接続し、この
真空処理室の側壁の開口部に真空バルブを設け、この真
空バルブの開けて、被処理物を真空処理室内に搬入した
りあるいは真空処理室より搬出するように構成されてい
るが、真空バルブの開閉時に有害な大気が真空処理室内
に侵入するのを防止するための工夫がなされていなかっ
た。
［発明が解決しようとする問題点］
従来の真空処理装置では、上記のように真空バルブの開
閉時に有害な大気が真空処理室内に侵入するのを防止す
るための工夫がなされていないため、真空バルブを開閉
する際に、有害な大気が真空処理室内に侵入し、真空処
理室内の被処理物を酸化させ、被処理物に悪影響を与え
る等の問題点を有していた。
閉時に有害な大気が真空処理室内に侵入するのを防止す
るための工夫がなされていないため、真空バルブを開閉
する際に、有害な大気が真空処理室内に侵入し、真空処
理室内の被処理物を酸化させ、被処理物に悪影響を与え
る等の問題点を有していた。
この発明は、上記のような従来のもののもつ問題点を解
決して、有害な大気が真空処理室内に侵入するのを防止
できると共に、単一パージ用ガス供給系統で真空処理室
および被処理物搬入・搬出機構との両方のパージ操作を
行なうことができるようにした空処理装置を提供するこ
とを目的としている。
決して、有害な大気が真空処理室内に侵入するのを防止
できると共に、単一パージ用ガス供給系統で真空処理室
および被処理物搬入・搬出機構との両方のパージ操作を
行なうことができるようにした空処理装置を提供するこ
とを目的としている。
［問題点を解決するための手段］
上記の目的を達成するために、この発明に係わる真空処
理装置は、側壁の被処理物搬入・搬出口に開閉自在な真
空バルブを設けた真空処理室と、上記真空処理室の被処
理物搬入・搬出口に対して着脱自在に連接でき、二つの
開口の一方に大気の侵入を防止するフレキシブルカーテ
ンを備え、内部をパージ用ガスで置換できる移動自在な
パージ用コンテナから成る被処理物搬入・搬出装置とを
有し、上記真空処理室と上記被処理物搬入・搬出装置と
の連接時にのみ自動的に上記真空処理室内部石上記被処
理物搬入・搬出装置内部とを連通させてパージ用ガスを
上記被処理物搬入・搬出装置内部から上記真空処理室内
部へ導入できる自在継手式の連通機構を設けたことを特
徴としている。
理装置は、側壁の被処理物搬入・搬出口に開閉自在な真
空バルブを設けた真空処理室と、上記真空処理室の被処
理物搬入・搬出口に対して着脱自在に連接でき、二つの
開口の一方に大気の侵入を防止するフレキシブルカーテ
ンを備え、内部をパージ用ガスで置換できる移動自在な
パージ用コンテナから成る被処理物搬入・搬出装置とを
有し、上記真空処理室と上記被処理物搬入・搬出装置と
の連接時にのみ自動的に上記真空処理室内部石上記被処
理物搬入・搬出装置内部とを連通させてパージ用ガスを
上記被処理物搬入・搬出装置内部から上記真空処理室内
部へ導入できる自在継手式の連通機構を設けたことを特
徴としている。
［作 用］
このように構成したこの発明の真空処理装置においては
、真空処理室内へ被処理物を搬入したり真空処理室内か
ら被処理物を搬出するために、内部をパージ用ガスで置
換した移動自在なパージ用コンテナから成る被処理物搬
入・搬出装置を真空外ＪＶ！室に連接すると、自在継手
式の連通機構を介して真空処理室内部と被処理物搬入・
搬出装置内部とが連通し、真空処理室内部へパージ用ガ
スが流入し、自動的にパージ操作が行われ得る。
、真空処理室内へ被処理物を搬入したり真空処理室内か
ら被処理物を搬出するために、内部をパージ用ガスで置
換した移動自在なパージ用コンテナから成る被処理物搬
入・搬出装置を真空外ＪＶ！室に連接すると、自在継手
式の連通機構を介して真空処理室内部と被処理物搬入・
搬出装置内部とが連通し、真空処理室内部へパージ用ガ
スが流入し、自動的にパージ操作が行われ得る。
［実 施 例］
以下、この発明の実施例について添付図面を参照しなが
ら説明する。
ら説明する。
第１図＋ｉこの発明の実施例の概略構成図であり、真空
処理室１には、真空ポンプ、電源およびその他の付帯装
置を備えた排気設備２が接続されている。真空処理室１
の側壁には被処理物（図示せず）の搬入・振出口１ａが
形成され、この搬入・搬出口１ａには開閉自在な真空バ
ルブ３が設けられている。
処理室１には、真空ポンプ、電源およびその他の付帯装
置を備えた排気設備２が接続されている。真空処理室１
の側壁には被処理物（図示せず）の搬入・振出口１ａが
形成され、この搬入・搬出口１ａには開閉自在な真空バ
ルブ３が設けられている。
パージ用コンテナ４の側壁には二つの開口４ａ、４ｂが
形成され、一方の開口４ａには第２図に示すような大気
の侵入を防止するのれん式のプラスチック製のフレキシ
ブルカーテン５得が設けられてい名。パージ用コンテナ
４は台車６を備え、移動自在に構成されている。パージ
用コンテナ４の内部にはパレット７上に被処理物を載置
して搬送する昇降および回動自在な撤退設備８が配設さ
れている。
形成され、一方の開口４ａには第２図に示すような大気
の侵入を防止するのれん式のプラスチック製のフレキシ
ブルカーテン５得が設けられてい名。パージ用コンテナ
４は台車６を備え、移動自在に構成されている。パージ
用コンテナ４の内部にはパレット７上に被処理物を載置
して搬送する昇降および回動自在な撤退設備８が配設さ
れている。
また９はパージ用ガス供給設備で、パージ用コンテナ４
のガス導入口１０に連結され、パージ用コンテナ４の内
部にパージ用ガスを供給して、パージ用コンテナ４の内
部の大気を放出したガスで置換する。
のガス導入口１０に連結され、パージ用コンテナ４の内
部にパージ用ガスを供給して、パージ用コンテナ４の内
部の大気を放出したガスで置換する。
真空処理室１とパージ用コンテナ４とは、真空バルブ３
がパージ用コンテナ４の他方の開口４ｂ内に位置するよ
うにしてシール１１を介して着脱自在に連設されており
、第３図に真空処理室１とパージ用コンテナ５とのシー
ル部分の詳細が拡大して示されている。１２はパージガ
スのモニタ圧力計である。
がパージ用コンテナ４の他方の開口４ｂ内に位置するよ
うにしてシール１１を介して着脱自在に連設されており
、第３図に真空処理室１とパージ用コンテナ５とのシー
ル部分の詳細が拡大して示されている。１２はパージガ
スのモニタ圧力計である。
また第３図に示すように、真空処理室１の室壁には自在
継手式の連通機構１３が設けられ、この連通機ｆＦ１１
３は真空処理室１の内部に連通した弁室１３ａと、弁本
体１３ｂと、真空処理室１の側壁と一体的に形成された
シール壁１ｂの開口部１Ｃの周囲内面に対して弁本体１
３ｂを押圧するばね１３ｃとを備え、弁本体１３ｂはパ
ージ用コンテナ４のシール壁４Ｃに形成された突出開口
部１４によって真空処理室１とパージ用コンテナ４との
連接時にばね１３ｃに抗して押し開けられるように構成
されている。突出開口部１４はガスを通すための横孔１
４ａを備えている。
継手式の連通機構１３が設けられ、この連通機ｆＦ１１
３は真空処理室１の内部に連通した弁室１３ａと、弁本
体１３ｂと、真空処理室１の側壁と一体的に形成された
シール壁１ｂの開口部１Ｃの周囲内面に対して弁本体１
３ｂを押圧するばね１３ｃとを備え、弁本体１３ｂはパ
ージ用コンテナ４のシール壁４Ｃに形成された突出開口
部１４によって真空処理室１とパージ用コンテナ４との
連接時にばね１３ｃに抗して押し開けられるように構成
されている。突出開口部１４はガスを通すための横孔１
４ａを備えている。
このように構成した図示装置の動作について説明する。
パージｍコンテナ４のフレキシブルカーテン５を通して
被処理物をパレット７上に載置した後、パージ用ガス供
給設備９からガスを導入してパージ用コンテナ４の内部
の大気を導入したガスで置換し、そしてパージ用コンテ
ナ４を真空処理室１に連接し、突出開口部１４および自
在継手式の連通機構１３を介してパージ用コンテナ４内
部を真空処理室１の内部に連通させ、真空処理室１内を
パージ用コンテナ４内からのガスでパージする。その後
、真空処理室１に設けられた真空バルブ３を開き、搬送
設備８を昇降および回動させてパージ用コンテナ４内の
パレット７上の被処理物を、搬入・振出口１ａを通−つ
で真空処理室１内に搬入する。
被処理物をパレット７上に載置した後、パージ用ガス供
給設備９からガスを導入してパージ用コンテナ４の内部
の大気を導入したガスで置換し、そしてパージ用コンテ
ナ４を真空処理室１に連接し、突出開口部１４および自
在継手式の連通機構１３を介してパージ用コンテナ４内
部を真空処理室１の内部に連通させ、真空処理室１内を
パージ用コンテナ４内からのガスでパージする。その後
、真空処理室１に設けられた真空バルブ３を開き、搬送
設備８を昇降および回動させてパージ用コンテナ４内の
パレット７上の被処理物を、搬入・振出口１ａを通−つ
で真空処理室１内に搬入する。
しかる後、真空バルブ３を閉じ、自在継手式の連通機構
１３を遮断し、真空処理室１内を排気設備２により所要
の真空状態にしてから、゛真空処理室１内で被処理物を
処理する。こうして被処理物を処理した後、再び自在継
手式の連通機ｆｆ１１３を介してガスを流入させて真空
処理室１内を真空でない状態にしてから、真空バルブ３
を開き、搬送設ｍ８を昇降および回動させて被処理物を
真空処理室１内よりパージ用コンテナ４に搬出する。被
処理物の搬出中、パージ用ガス供給設備９によりガスを
導入して、パージ用コンテナ４の内部に大気が侵入する
のを防止するようにされる。その後、被処理物はフレキ
シブルカーテン５を通過させて大気中に取り出される。
１３を遮断し、真空処理室１内を排気設備２により所要
の真空状態にしてから、゛真空処理室１内で被処理物を
処理する。こうして被処理物を処理した後、再び自在継
手式の連通機ｆｆ１１３を介してガスを流入させて真空
処理室１内を真空でない状態にしてから、真空バルブ３
を開き、搬送設ｍ８を昇降および回動させて被処理物を
真空処理室１内よりパージ用コンテナ４に搬出する。被
処理物の搬出中、パージ用ガス供給設備９によりガスを
導入して、パージ用コンテナ４の内部に大気が侵入する
のを防止するようにされる。その後、被処理物はフレキ
シブルカーテン５を通過させて大気中に取り出される。
なお、上記実施例では、真空処理室１とパージ用コンテ
ナ４とを連設しているが、これらを切り離す場合には、
パージ用コンテナ４における台軍、６を動かしてパージ
用コンテナ４を動かせばよい。
ナ４とを連設しているが、これらを切り離す場合には、
パージ用コンテナ４における台軍、６を動かしてパージ
用コンテナ４を動かせばよい。
ところで、上記実施例において、フレキシブルカーテン
５としてのれん式のものを使用しているが、大気を遮断
できるものであればよく、例えば第１１図に示すような
放射式のもの等であってもよい。また、フレキシブルカ
ーテン５はプラスチッ・り製のものであるが、その代わ
りに、耐熱布製のものを使用してもよい。さらに、上記
実施例では、フレキシブルカーテン５は真空処理室１側
と反対側の開口４ａにのみ設けられているが、真空バル
ブ側の開口４ｂにフレキシブルカーテン５と同様な構造
の遮蔽手段を設けることもできる。さらにまた、フレキ
シブルカーテン５の設けられた開口４ａの内側に、パー
ジ用コンテナ４の内部と大気とを遮断するためのバルブ
または蓋を設けてもよい。
５としてのれん式のものを使用しているが、大気を遮断
できるものであればよく、例えば第１１図に示すような
放射式のもの等であってもよい。また、フレキシブルカ
ーテン５はプラスチッ・り製のものであるが、その代わ
りに、耐熱布製のものを使用してもよい。さらに、上記
実施例では、フレキシブルカーテン５は真空処理室１側
と反対側の開口４ａにのみ設けられているが、真空バル
ブ側の開口４ｂにフレキシブルカーテン５と同様な構造
の遮蔽手段を設けることもできる。さらにまた、フレキ
シブルカーテン５の設けられた開口４ａの内側に、パー
ジ用コンテナ４の内部と大気とを遮断するためのバルブ
または蓋を設けてもよい。
なお、この発明の実施例において、自在継手式の連通機
１１１３はパージ用コンテナ４を真空処理室１に連接し
た際に両者の内部を連通し、切り離し時には遮断できる
構造のものであればいかなる形式のカップリング機構も
用いることができる。まなこの発明はパージ用コンテナ
４内にパージ用ガス供給源を設けた形式の装置にも同様
にして実施しできる。
１１１３はパージ用コンテナ４を真空処理室１に連接し
た際に両者の内部を連通し、切り離し時には遮断できる
構造のものであればいかなる形式のカップリング機構も
用いることができる。まなこの発明はパージ用コンテナ
４内にパージ用ガス供給源を設けた形式の装置にも同様
にして実施しできる。
［発明の効果］
以上説明してきたように、この発明は、パージ用ガス供
給設備より導入したガスでパージ用コンテナ内部の大気
を置換すると共に真空処理室内のパージも行なうように
しているので、有害な大気が真空処理室の内部に侵入す
るのを防止することができるだけでなく、パージ操作が
簡単となる。
給設備より導入したガスでパージ用コンテナ内部の大気
を置換すると共に真空処理室内のパージも行なうように
しているので、有害な大気が真空処理室の内部に侵入す
るのを防止することができるだけでなく、パージ操作が
簡単となる。
また、この発明は、上記のように真空処理室とパージ用
コンテナとの着脱操作だけで真空処理室の内油のパージ
ングを自動的に行なうことができ、装置の運転操作を簡
略化することができる。
コンテナとの着脱操作だけで真空処理室の内油のパージ
ングを自動的に行なうことができ、装置の運転操作を簡
略化することができる。
第１図はこの発明の一実施例を示す概略構成線図、第２
図は第１図の装置に使用されたのれん式のプラスチック
製のフレキシブルカーテンを示す拡大斜視図、第３図は
第１図のＡ部の拡大詳細断面図、第４図は第１図の装置
に使用されるフレキシブルカーテンの別の実施例を示す
立面図であるや 図 中 １・・・・・・・・・真空処理室 １ａ・・・・・・・・・被処理物の搬入・搬出口３・・
・・・・・・・真空バルブ ４・・・・・・・・・パージ用コンテナ４ａ、４ｂ・・
・開口 ５・・・・・・・・・フレキシブルカーテン９・・・・
・・・・・パージ用ガス供給設備１３・・・・・・・・
・自在継手式の連通機構１４・・・・・・・・・突出開
口部 第１図 第２図
図は第１図の装置に使用されたのれん式のプラスチック
製のフレキシブルカーテンを示す拡大斜視図、第３図は
第１図のＡ部の拡大詳細断面図、第４図は第１図の装置
に使用されるフレキシブルカーテンの別の実施例を示す
立面図であるや 図 中 １・・・・・・・・・真空処理室 １ａ・・・・・・・・・被処理物の搬入・搬出口３・・
・・・・・・・真空バルブ ４・・・・・・・・・パージ用コンテナ４ａ、４ｂ・・
・開口 ５・・・・・・・・・フレキシブルカーテン９・・・・
・・・・・パージ用ガス供給設備１３・・・・・・・・
・自在継手式の連通機構１４・・・・・・・・・突出開
口部 第１図 第２図
Claims (1)
- 側壁の被処理物搬入・搬出口に開閉自在な真空バルブを
設けた真空処理室と、上記真空処理室の被処理物搬入・
搬出口に対して着脱自在に連設でき、二つの開口の一方
に大気の侵入を防止するフレキシブルカーテンを備え、
内部をパージ用ガスで置換できる移動自在なパージ用コ
ンテナから成る被処理物搬入・搬出装置とを有する真空
処理装置において、上記真空処理室と上記被処理物搬入
・搬出装置との連設時にのみ自動的に上記真空処理室内
部と上記被処理物搬入・搬出装置内部とを連通させてパ
ージ用ガスを上記被処理物搬入・搬出装置内部から上記
真空処理室内部へ導入できる自在継手式の連通機構を設
けたことを特徴とする真空処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25463986A JPH0815546B2 (ja) | 1986-10-28 | 1986-10-28 | 真空処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25463986A JPH0815546B2 (ja) | 1986-10-28 | 1986-10-28 | 真空処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63111938A true JPS63111938A (ja) | 1988-05-17 |
| JPH0815546B2 JPH0815546B2 (ja) | 1996-02-21 |
Family
ID=17267811
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25463986A Expired - Lifetime JPH0815546B2 (ja) | 1986-10-28 | 1986-10-28 | 真空処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0815546B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6562749B1 (en) | 1995-11-27 | 2003-05-13 | Shell Oil Company | Process for the preparation of a catalyst or catalyst precursor |
-
1986
- 1986-10-28 JP JP25463986A patent/JPH0815546B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6562749B1 (en) | 1995-11-27 | 2003-05-13 | Shell Oil Company | Process for the preparation of a catalyst or catalyst precursor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0815546B2 (ja) | 1996-02-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |