JPS63111937A - 真空処理装置用着脱自在可動式被処理物搬入・搬出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ この発明は、真空処理室に移動自在なパージ用コンテナ
を着脱自在に連設して、有害な大気が真空処理室に侵入
するのを防止する真空処理装置に間するものである。

［従来の技術］ 従来の真空処理装置は、真空処理室に真空ポンプ、電源
およびその他の付帯装置を備えた排気設備と、パージ用
ガスを導入するパージ用ガス導入設備とを接続し、この
真空処理室の側壁の開口部に真空バルブを設け、この真
空バルブの開けて、被処理物を真空処理室内に搬入した
りあるいは真空処理室より搬出するように構成されてい
るが、真空′バルブの開閉時に有害な大気が真空処理室
内に侵入するのを防止するための工夫がなされていなか
った。

［発明が解決しようとする問題点コ 従来の真空処理装置では、上記のように真空バルブのｒ
Ｍ開閉時有害な大気が真空処理室内に侵入するのを防り
するための二人がなされていないなめ、真空バルブを開
閉する際に、有害な大気が真空処理室内に侵入し、真空
処理室内の被処理物を酸化させ、被処理物に悪影響を与
える等の問題点を有していた。

この発明は、上記のような従来のもののもつ問題点を解
決して、有害な大気が真空処理室内に侵入するのを防止
できると共に、種々の形状、重量の被処理物を取り扱う
ことのできる真空処理装置を提供することを目的として
いる。

［問題点を解決するための手段］ この発明に係わる真空処理装置は、側壁の被処理物搬入
・搬出口に開閉自在な真空バルブを設けた真空処理室と
、二つの開口の一方に大気の侵入を防止するフレキシブ
ルカーテンを設けた移動自在なパージ用コンテナと、こ
のパージ用コンテナ内に配設し、パレット上に被処理物
をａ置して搬送する昇降および回動自在な搬送設備と、
上記真空処理室側に設け、上記パージ用コンテナに設け
たガス導入口に連結してパージ用ガスを上記パージ用コ
ンテナ内に供給するパージ用ガス供給設備とを有し、上
記真空バルブが上記パージ用コンテナの他方の開口内に
位置するように、上記真空処理室と上記パージ用コンテ
ナとを着脱自在に連設したことを特徴としている。

［実　　施　　例］ 以下、この発明の実施列について添付図面を参照しなが
ら説明する。

第１図はこの発明の実施例の概略摺成図であり、真空処
理室ｌには、Ｅ空ポンプ、電源およびその、他の付帯装
置を偏えた排気設備２と、パージ用ガ不尊大：Ｊ、備３
とが接続されている。真空処理室１の側壁には被処理Ｏ
Ｊ（図示せず）の搬入・１殻１＋口１ａが形成され、こ
の搬入・搬出口１ａには開閉自在な真空バルブ４が設け
られている。

パージ用コンテナ５の側壁には二つの開口５ａ、５ｂが
形成され、一方の開口５ａには第２図に示すような大気
の侵入を防止するのれん式のプラスチック製のフレキシ
ブルカーテン６が設けられているが、他方の開口５ｂに
は何も設けられていない、パージ用コンテナ５は台車７
を備え、移動自在にｍ成されている。パージ用コンテナ
５の内部にはパレット８上に被処理物を載置して搬送す
る昇降およびＩ？Ｊ動自在な搬送設備９が配設されてい
る。またパージ用コンテナ５にはその内部にパージ用ガ
スを導入するためのパージ用ガス導入口１０が設けられ
ており、このパージ用ガス尋人口１０は真空処理室１に
固定または近接して配置されたパージ用ガス供給ｆ５ｊ
儒１１（ガス供給配Ｆ：１１ａとこのガス供給配管１１
ａにパージ用ガス導入口１０を連結する自在連結部１１
ｂとを儒えている）に連結されて、このパージ用ガス供
給設備１１からのパージ用ガスをパージ用コンテナ５内
に導入し、導入したガスでパージ用コンテナ５の内部の
大気を置換する。

真空外１’！ｌ！室１とパージ用コンテナ５とは、真空
バルブ４がパージ用コンテナ５の何も設けてない他方の
開口５ｂ内に位置するようにしてシール１２を介して着
脱自在に連設されており、第３図に真空処理室１とパー
ジ用コンテナ５とのシール部分の詳細が拡大して示され
ている。１３はパージガスのモニタ圧力計である。

次に、図示装置の動作について説明する。

パージ用コンテナ５のフレキシブルカーテン６を通して
被処理物をパレット８上にａ置した後、パージｍガス供
給設備１１よりパージ用ガス尋人口１０を介してガスを
導入してパージ用コンテナ５の内部の大気を導入したガ
スで７７換する。その後、真空処理室１に設けられた真
空バルブ４を開き、搬送設備９を昇降および回動させて
ノ５−ジ用コンテナ５内のパレット８上の被処理物を、
搬入・搬出口１ａを通って真空処理室１内に搬入する。

しかる陵、真空バルブ４を閉じ、真空処理室１内を排気
設備２により所要の真空状態にしてから、真空処理室１
内で被処理物を処理する。こうして被処理物を処理した
後、真空処理室１内を真空でない状態にしてから、真空
バルブ４を開き、搬送設備９を昇降および回動させて被
処理物を真空処理室１内よりパージ用コンテナ５に搬出
する。被処理物の搬出中、パージ用ガス導入口１０を介
してパージ用ガス供給設備１１からのガスを導入して、
パージ用コンテナ５の内部に大気が侵入するのを防止す
る。その後、被処理物はフレキシブルカーテン６を通過
させて大気中に取り出される。

なお、上記実施例では、真空処理室１とパージ用コンテ
ナ５とを連設しているが、これらを切り照す場合には、
パージ用コンテナ５における台車７を動かしてパージ用
コンテナ５を動かせばよい。

ところで、」ユ記実施例において、フレキシブルカーテ
ン６としてのれん式のものを使用しているが、大気を遮
断できるものであればよく、例えば第４図に示すような
放射式のもの等であってもよい、また、フレキシブルカ
ーテン６はプラスチック製のものであるが、その代わり
に、耐熱布製のものを使用してもよい、さらに、上記実
施例では、フレキシブルカーテン６は真空処理室１側と
反対側の開口５ａにのみ設けられているが、真空バルブ
１則の開口５ｂにフレキシブルカーテン６と同様な構造
の遮蔽手段を設けることもできる。さらにまた、フレキ
シブルカーテン６の設けられ−た開口５ａの内側に、パ
ージ用コンテナ５の内部と大気とを遮断するためのバル
ブまたは器を設けてもよい。

なお、図面には示してないが、当然パージ用ガス供給設
備１１をパージ用ガス導入設備３と共通のパージ用ガス
供給源に連結するように構成することもできる。

［発明の効果］ この発明は、上記のようにパージ用ガス供給設偏から導
入したガスでパージ用コンテナ内部の大気を置換するよ
うにしているので、有害な大気が真空処理室の内部に侵
入するのを防止することができると共に真空処理室側に
設けたパージ用ガス供給設偏によりパージ操作を行なう
ため操作性および制御性が向上することになる。また、
この発明は、上記のように真空処理室とパージ用コンテ
ナとを着脱自在に連晟しているので、真空処理室の大き
さに応じな毬々の形状、重量の被処理物を取り扱うこと
ができるようになる。′さらに、この発明は、復数ｍの
真空処理室が各々並列運転を目的として設置されている
１％合に一台の被処理物搬入、搬出機構で被処理物の用
人、１投出作業を賄うことができ、これにより作業スペ
ースをより大きく取れしかも設備８は少なくて済むこと
になる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す概略構成線図、第２
図は第１図の装置に使用されたのれん式のプラスチック
製のフレキシブルカーテンを示す拡大斜視図、第３図は
第１図のＡ部の拡大詳細断面図、第４図は第１図の装置
に使用されるフレキシブルカーテンの別の実施例を示す
立面図である。 図中 １・・・・・・・・・真空処理室 １ａ・・・・・・・・・被処理物の搬入・搬出口４・・
・・・・・・・真空バルブ ラ・・・・・・・・・パージ用コンテナ５ａ、５ｂ・・
・開口 ６・・・・・・・・・フレキシブルカーテン８・・・・
・・・・・パレット ９・・・・・・・・・搬送設備

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 側壁の被処理物搬入・搬出口に開閉自在な真空バルブを
   設けた真空処理室と、二つの開口の一方に大気の侵入を
   防止するフレキシブルカーテンを設けた移動自在なパー
   ジ用コンテナと、このパージ用コンテナ内に配設し、パ
   レット上に被処理物を載置して搬送する昇降および回動
   自在な搬送設備と、上記真空処理室側に設け、上記パー
   ジ用コンテナに設けたガス導入口に連結してパージ用ガ
   スを上記パージ用コンテナ内に供給するパージ用ガス供
   給設備とを有し、上記真空バルブが上記パージ用コンテ
   ナの他方の開口内に位置するように、上記真空処理室と
   上記パージ用コンテナとを着脱自在に連設したことを特
   徴とする真空処理装置。