JPS63111936A - 真空処理装置用着脱自在可動式被処理物搬入・搬出装置 - Google Patents
真空処理装置用着脱自在可動式被処理物搬入・搬出装置Info
- Publication number
- JPS63111936A JPS63111936A JP25463786A JP25463786A JPS63111936A JP S63111936 A JPS63111936 A JP S63111936A JP 25463786 A JP25463786 A JP 25463786A JP 25463786 A JP25463786 A JP 25463786A JP S63111936 A JPS63111936 A JP S63111936A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- container
- processing chamber
- vacuum processing
- purge
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000010926 purge Methods 0.000 claims abstract description 50
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 4
- 230000008595 infiltration Effects 0.000 abstract 1
- 238000001764 infiltration Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 230000001473 noxious effect Effects 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/03—Pressure vessels, or vacuum vessels, having closure members or seals specially adapted therefor
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Packages (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
この発明は、真空処理室に移動自在なパージ用コンテナ
を着脱自在に連設して、有害な大気が真空処理室に侵入
するのを防止する真空処理装置に関するものである。
を着脱自在に連設して、有害な大気が真空処理室に侵入
するのを防止する真空処理装置に関するものである。
［従来の技術］
従来の真空処理装置は、真空処理室に真空ポンプ、電源
およびその他の付帯装置を備えた排気設備と、パージ用
ガスを導入するパージ用ガス導入設備とを接続し、この
真空処理室の側壁の開口部に真空バルブを設け、この真
空バルブの開けて、被処理物を真空処理室内に壜入しな
りあるいは真空処理室より搬出するように構成されてい
るが、真空バルブの開閉時に有害な大気が真空処理室内
、に侵入するのを防止するための工夫がなされていなか
った。
およびその他の付帯装置を備えた排気設備と、パージ用
ガスを導入するパージ用ガス導入設備とを接続し、この
真空処理室の側壁の開口部に真空バルブを設け、この真
空バルブの開けて、被処理物を真空処理室内に壜入しな
りあるいは真空処理室より搬出するように構成されてい
るが、真空バルブの開閉時に有害な大気が真空処理室内
、に侵入するのを防止するための工夫がなされていなか
った。
［発明が解決しようとする問題点コ
従来の真空処理装置では、上記のように真空バルブの開
閉時に有害な大気が真空処理室内に侵入するのを防止す
るための工夫がなされていないため、真空バルブを開閉
する際に、有害な大気が真空処理室内に侵入し、真空処
理室内の被処理物を酸化させ、被処理物に悪影響を与え
る等の問題点を有していた。
閉時に有害な大気が真空処理室内に侵入するのを防止す
るための工夫がなされていないため、真空バルブを開閉
する際に、有害な大気が真空処理室内に侵入し、真空処
理室内の被処理物を酸化させ、被処理物に悪影響を与え
る等の問題点を有していた。
この発明は、上記のような従来のもののもつ問題点を解
決して、有害な大気が真空処理室内に侵入するのを防止
できると共に、種々の形状、重量の被処理物を取り扱う
ことのできる真空処理装置を提供することを目的として
いる。
決して、有害な大気が真空処理室内に侵入するのを防止
できると共に、種々の形状、重量の被処理物を取り扱う
ことのできる真空処理装置を提供することを目的として
いる。
［問題点を解決するための手段］
この発明に係わる真空処理装置は、側壁の被処理物搬入
・搬出口に開閉自在な真空バルブを設けた真空処理室と
、二つの開口の一方に大気の侵入を防止するフレキシブ
ルカーテンを設けた移動自在なパージ用コンテナと、こ
のパージ用コンテナ内に配設し、パレット上に被処理物
を載置して搬送する昇降および回動自在な搬送設備と、
上記パージ用コンテナに内蔵したパージ用ガス放出設備
とを有し、上記真空バルブが上記パージ用コンテナの他
方の開口内に位置するように、上記真空処理室と上記パ
ージ用コンテナとを着脱自在に連設したことを特徴とし
ている。
・搬出口に開閉自在な真空バルブを設けた真空処理室と
、二つの開口の一方に大気の侵入を防止するフレキシブ
ルカーテンを設けた移動自在なパージ用コンテナと、こ
のパージ用コンテナ内に配設し、パレット上に被処理物
を載置して搬送する昇降および回動自在な搬送設備と、
上記パージ用コンテナに内蔵したパージ用ガス放出設備
とを有し、上記真空バルブが上記パージ用コンテナの他
方の開口内に位置するように、上記真空処理室と上記パ
ージ用コンテナとを着脱自在に連設したことを特徴とし
ている。
［実 施 例］
以下、この発明の実施例について添付図面を参照しなが
ら説明する。
ら説明する。
第１図はこの発明の実施例の概略構成図であり、真空処
理室１には、真空ポンプ、電源およびその他の付帯装置
を備えた排気設備２と、パージ用ガス導入設備３とが接
続されている。真空処理室１の側壁には被処理物（図示
せず）の搬入・搬出口１ａが形成され、この搬入・搬出
口１ａには開閉自在な真空バルブ４が設けられている。
理室１には、真空ポンプ、電源およびその他の付帯装置
を備えた排気設備２と、パージ用ガス導入設備３とが接
続されている。真空処理室１の側壁には被処理物（図示
せず）の搬入・搬出口１ａが形成され、この搬入・搬出
口１ａには開閉自在な真空バルブ４が設けられている。
パージ用コンテナ５の側壁には二つの開口５ａ、５ｂが
形成され、一方の開口５ａには第２図に示すような大気
の侵入を防止するのれん式のプラスチック製のフレキシ
ブルカーテン６が設けられているが、他方の開口５ｂに
は何も設けられていない。パージ用コンテナ５は台車７
を備え、移動自在に構成されている。パージ用コンテナ
５の内部にはパレット８上に被処理物を載置して搬送す
る昇降および回動自在な搬送設備９が配設されている。
形成され、一方の開口５ａには第２図に示すような大気
の侵入を防止するのれん式のプラスチック製のフレキシ
ブルカーテン６が設けられているが、他方の開口５ｂに
は何も設けられていない。パージ用コンテナ５は台車７
を備え、移動自在に構成されている。パージ用コンテナ
５の内部にはパレット８上に被処理物を載置して搬送す
る昇降および回動自在な搬送設備９が配設されている。
またパージ用コンテナ５の内部にはパージ用ガス放出設
備１０が内蔵され、このパージ用ガス放出設備１０はパ
ージ用ガスを放出して、パージ用コンテナ５の内部の大
気を放出したガスで置換している。
備１０が内蔵され、このパージ用ガス放出設備１０はパ
ージ用ガスを放出して、パージ用コンテナ５の内部の大
気を放出したガスで置換している。
真空処理室１とパージ用コンテナ５とは、真空バルブ４
がパージ用コンテナ５の何も設けてない他方の開口５ｂ
内に位置するようにしてシール１１を介して着脱自在に
連設されており、第３図に真空処理室１とパージ用コン
テナ５とのシール部分の詳細が拡大して示されている。
がパージ用コンテナ５の何も設けてない他方の開口５ｂ
内に位置するようにしてシール１１を介して着脱自在に
連設されており、第３図に真空処理室１とパージ用コン
テナ５とのシール部分の詳細が拡大して示されている。
１２はパージガスのモニタ圧力計である。
次に、６図示装置の動作について説明する。
パージ用コンテナ５のフレキシブルカーテン６を通して
被処理物をパレット８上に載置した後、パージ用ガス放
出設備１０よりガスを放出してパージ用コンテナ５の内
部の大気を放出したガスで置換する。その後、真空処理
室１に設けられた真空バルブ４を開き、搬送膜＠９を昇
降および回動させてパージ用コンテナ５内のパレット８
上の被処理物を、搬入・搬出口１ａを通って真空処理室
１内に搬入する。しかる後、真空バルブ４を閉じ、真空
処理室１内を排気設備２により所要の真空状態にしてか
ら、真空処理室１内で被処理物を処理する。こうして被
処理物を処理した後、真空処理室１内を真空でない状態
にしてから、真空バルブ４を開き、搬送設備９を昇降お
よび回動させて被処理物を真空処理室１内よりパージ用
コンテナ５に飛出する。被処理物の搬出中、パージ用ガ
ス放出設備１０によりガスを放出して、パージ用コンテ
ナ５の内部に大気が侵入するのを防止するようにされる
。その後、被処理物はフレキシブルカーテン６を通過さ
せて大気中に取り出される。
被処理物をパレット８上に載置した後、パージ用ガス放
出設備１０よりガスを放出してパージ用コンテナ５の内
部の大気を放出したガスで置換する。その後、真空処理
室１に設けられた真空バルブ４を開き、搬送膜＠９を昇
降および回動させてパージ用コンテナ５内のパレット８
上の被処理物を、搬入・搬出口１ａを通って真空処理室
１内に搬入する。しかる後、真空バルブ４を閉じ、真空
処理室１内を排気設備２により所要の真空状態にしてか
ら、真空処理室１内で被処理物を処理する。こうして被
処理物を処理した後、真空処理室１内を真空でない状態
にしてから、真空バルブ４を開き、搬送設備９を昇降お
よび回動させて被処理物を真空処理室１内よりパージ用
コンテナ５に飛出する。被処理物の搬出中、パージ用ガ
ス放出設備１０によりガスを放出して、パージ用コンテ
ナ５の内部に大気が侵入するのを防止するようにされる
。その後、被処理物はフレキシブルカーテン６を通過さ
せて大気中に取り出される。
なお、上記実施例では、真空処理室１とパージ用コンテ
ナ５とを連設しているが、これらを切り離す場合には、
パージ用コンテナ５における台車７を動かしてパージ用
コンテナ５を動かせばよい。
ナ５とを連設しているが、これらを切り離す場合には、
パージ用コンテナ５における台車７を動かしてパージ用
コンテナ５を動かせばよい。
ところで、上記実施例において、フレキシブルカーテン
６としてのれん式のものを使用しているが、大気を遮断
できるものであればよく、例えば第４図に示すような放
射式のもの等であってもよい。また、フレキシブルカー
テン６はプラスチック製のものであるが、その代わりに
、百（熱布製のものを使用してもよい。さらに、上記実
施例では、フレキシブルカーテン６は真空処理室１側と
反対側の開口５ａにのみ設けられているが、真空バルブ
側の開口５ｂにフレキシブルカーテン６と同様な構造の
遮蔽手段を設けることもできる。さらにまた、フレキシ
ブルカーテン６の設けられた開口５ａの内側に、パージ
用コンテナ５の内部と大気とを遮断するためのバルブま
たは蓋を設けてもよい。
６としてのれん式のものを使用しているが、大気を遮断
できるものであればよく、例えば第４図に示すような放
射式のもの等であってもよい。また、フレキシブルカー
テン６はプラスチック製のものであるが、その代わりに
、百（熱布製のものを使用してもよい。さらに、上記実
施例では、フレキシブルカーテン６は真空処理室１側と
反対側の開口５ａにのみ設けられているが、真空バルブ
側の開口５ｂにフレキシブルカーテン６と同様な構造の
遮蔽手段を設けることもできる。さらにまた、フレキシ
ブルカーテン６の設けられた開口５ａの内側に、パージ
用コンテナ５の内部と大気とを遮断するためのバルブま
たは蓋を設けてもよい。
［発明の効果］
この発明は、上記のようにパージ用ガス放出設備より放
出したガスでパージ用コンテナ内部の大気を置換するよ
うにしているので、有害な大気が真空処理室の内部に侵
入するのを防止することができる。また、この発明は、
上記のように真空処理室とパージ用コンテナとを着脱自
在に連設しているので、真空処理室の大きさに応じた種
々の形状、重量の被処理物を取り汲うことができるよう
になる。
出したガスでパージ用コンテナ内部の大気を置換するよ
うにしているので、有害な大気が真空処理室の内部に侵
入するのを防止することができる。また、この発明は、
上記のように真空処理室とパージ用コンテナとを着脱自
在に連設しているので、真空処理室の大きさに応じた種
々の形状、重量の被処理物を取り汲うことができるよう
になる。
第１図はこの発明の一実施例を示す概略構成線図、第２
図は第１図の装置に使用されたのれん式のグラスチック
類のフレキシブルカーテンを示す拡大斜視図、第３図は
第１図のＡ部の拡大詳細断面図、第４図は第１図の装置
に使用されるフレキシブルカーテンの別の実施例を示す
立面図である。 図中 １・・・・・・・・・真空処理室 １ａ・・・・・・・・・被処理物の搬入・搬出口４・・
・・・・・・・真空バルブ ５・・・・・・・・・パージ用コンテナ５ａ、５ｂ・・
・開口 ６・・・・・・・・・フレキシブルカーテン８・・・・
・・・・・パレット ９・・・・・・・・・搬送設備 １０・・・・・・・・・パージ用ガス放出設備第１図
図は第１図の装置に使用されたのれん式のグラスチック
類のフレキシブルカーテンを示す拡大斜視図、第３図は
第１図のＡ部の拡大詳細断面図、第４図は第１図の装置
に使用されるフレキシブルカーテンの別の実施例を示す
立面図である。 図中 １・・・・・・・・・真空処理室 １ａ・・・・・・・・・被処理物の搬入・搬出口４・・
・・・・・・・真空バルブ ５・・・・・・・・・パージ用コンテナ５ａ、５ｂ・・
・開口 ６・・・・・・・・・フレキシブルカーテン８・・・・
・・・・・パレット ９・・・・・・・・・搬送設備 １０・・・・・・・・・パージ用ガス放出設備第１図
Claims (1)
- 側壁の被処理物搬入・搬出口に開閉自在な真空バルブを
設けた真空処理室と、二つの開口の一方に大気の侵入を
防止するフレキシブルカーテンを設けた移動自在なパー
ジ用コンテナと、このパージ用コンテナ内に配設し、パ
レット上に被処理物を載置して搬送する昇降および回動
自在な搬送設備と、上記パージ用コンテナに内蔵したパ
ージ用ガス放出設備とを有し、上記真空バルブが上記パ
ージ用コンテナの他方の開口内に位置するように、上記
真空処理室と上記パージ用コンテナとを着脱自在に連設
したことを特徴とする真空処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61254637A JPH0815544B2 (ja) | 1986-10-28 | 1986-10-28 | 真空処理装置用着脱自在可動式被処理物搬入・搬出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61254637A JPH0815544B2 (ja) | 1986-10-28 | 1986-10-28 | 真空処理装置用着脱自在可動式被処理物搬入・搬出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63111936A true JPS63111936A (ja) | 1988-05-17 |
| JPH0815544B2 JPH0815544B2 (ja) | 1996-02-21 |
Family
ID=17267784
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61254637A Expired - Lifetime JPH0815544B2 (ja) | 1986-10-28 | 1986-10-28 | 真空処理装置用着脱自在可動式被処理物搬入・搬出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0815544B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61106024U (ja) * | 1984-12-19 | 1986-07-05 |
-
1986
- 1986-10-28 JP JP61254637A patent/JPH0815544B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61106024U (ja) * | 1984-12-19 | 1986-07-05 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0815544B2 (ja) | 1996-02-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |