JPH04159918A - 真空容器用搬出入方法とその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は真空容器用搬出入方法とその装置に関する。

（従来の技術） 成膜装置のような真空容器から、被成膜体である基板を
搬出するのに、従来では真空容器に附属している予備室
に基板を移送し、次にその予備室を大気圧に戻してから
開放し、その開放面から基板を取り出す。

また真空容器に基板を搬入するのには、まず予備室に基
板を搬入してからその予備室を真空とし、そのあと基板
を真空容器内に移送する。

（発明が解決しようとする課題） しかしこのような従来方法では、基板を予備室から取り
出した時点で、その基板は大気に触れることになる。そ
のため折角クリーンな環境で成膜しても、大気中の水分
その他で汚染されてしまい、膜質が低下してしまう。

この発明は、基板を大気に曝すことなく、真空容器に対
する搬出入を可能にすることを目的としており、またそ
の搬出入に際してその取り扱いが容易な搬出入装置を提
供することを目的する。

（課題を解決するための手段） この発明は、基板の搬出に際しては、真空化されている
予備室内に設けた搬送台に基板を搭載し、その搬送台を
搬送用のケース本体で閉塞してから、予備室を大気圧に
開放し、搬送台をケース本体もろとも予備室から取り出
し、また真空容器内に搬入するときは、大気圧とされて
いる予備室に搬送台をケース本体もろとも搬送し、その
予備室を真空化してから、搬送台をケース本体から分離
する。

そして搬送台の基板を真空容器内に移送するようにした
ことを特徴とするものである６ またこの搬出入するのに使用する搬出入装置としては、
予備室に設けた搬送台と、これを昇降させる昇降機構と
、予備室の開放面を閉塞している開閉蓋に取り付けられ
であるケース本体とによって構成したことを特徴とする
ものである。

（作用） 基板を搭載した搬送台をケース本体で閉塞してから、予
備室を大気圧に戻しても、ケース本体の内部は真空状態
を維持しているので、内部の基板が大気に曝されること
はない。

真空容器内に搬入するときは、内部が真空化されている
ケース本体を大気圧とされている予備室内に搬送し、そ
のあとその予備室を真空化してがら、搬送台をケース本
体から分離するので、この場合も基板が大気に曝される
ことはない。

ケース本体は予備室を真空封入可能な開閉蓋に取り付け
られてあり、搬送台は昇降機構によって昇降自在である
。この昇降によって搬送台はケース本体と一体となり５
または分離する。一体とされたケース本体は開閉蓋とと
もに予備室から取り外され、運搬されるし、あるいは予
備室に着装される。

（実施例） この発明の実施例を図によって説明する。第１図におい
て予備室１は真空容器（図示しない。）に連通されてお
り、真空容器に対して独立して真空化ならびに大気圧化
が可能とされている。

予備室１内には搬送台２が装備されてあり、ここには基
板３を搭載する搭載機４が設置されである。またこの搬
送台２は昇降機構５によって昇降自在とされている０図
示する昇降機構５はベローズ６と昇降棒７とによって構
成されている。

８はケース本体で、搬送台２に被せられることによって
搬送用のケース９が完成する。ケース本体８は、予備室
１の開口面を気密に閉塞する開閉蓋１０に、一体的にま
たは脱着自在に取り付けである。１１はその気密用のガ
スケット、１２は把手である。

昇降機構５は、搬送台２を、ケース本体８の閉塞位置と
真空容器への搬送位置との間にわたって昇降させる。

基板の真空容器からの搬出は次のようにして行なう。当
初予備室１は通路１３を介して真空容器に連通している
。基板の搬出にあたり、真空容器から基板が予備室１内
に搬送され、そのとき搬送位置で待機している搬送台２
上の搭載機４に搭載される。

そのあと予備室１と真空容器とはゲートバルブなどによ
って遮断されるとともに、昇降機構５によって搬送台２
は上昇され、ケース本体８と気密に合体する。１４はそ
の気密用のガスケットである。この合体状態ではケース
９内は真空である。

そのあと予備室１内に窒素ガスなどを送り込むなどして
大気圧に戻す。このとき予備室１と真空容器とは遮断さ
れているので、真空容器内の真空が破られることはない
。

そしてここで開閉蓋１０を取り外すと、ケース９が開閉
蓋１０もろともに取り出される。この状態で他の部署た
とえば他の真空容器に運搬される。

この状態を示したのが第２図である。なおこの運搬の際
、開閉蓋１０をケース９から取り外しておいてもよい。

この状態ではケース９内は真空であるため、その内部に
収納されている基板が大気に触れることはない。

ケース９内に収納されている基板を真空容器内に搬入す
る動作を、第３図によって説明する。当初は予備室１は
真空容器との連通が断たれている状態にあり、また開閉
蓋１０が除去されているものとする。

ここでケース９と一体とされた開閉蓋１０を予備室１の
開口面に取り付け、ついで昇降機構５を上昇させ、その
駆動棒７の上端の台を、搬送台２の底面に当てる。

次に予備室１内を真空ポンプなどを利用して真空排気す
る。するとケース９内の圧力と予備室１内の圧力との差
による力と、搬送台２（搭載橿４および基板３の重量を
含む。）の重量がほぼ同じとなったとき、搬送台２はケ
ース本体８から離れ。

昇降機構５の上に載る。

二二で基板がケース９から外にでるのであるが、このと
きの予備室１内は真空化されているので。

その基板が大気に触れることはない。

なおこのとき、搬送台２がケース本体８から遊離しにく
い場合のために、第４図に示すようにケース本体８の開
口縁と搬送台２の周縁にテーパーエツジ１５を設けてお
くとともに、予備室１に取外し用の治具１６を外部から
進退自在に、たとえば回転具１７によって回転すること
によって進退自在となるように設置しておく。

ここで治具１６を前方に押し出すことによって。

その先端をテーパーエツジ１５に押し付ければ。

搬送台２はケース本体８から簡単に分離されるようにな
る。

前記のようにケース本体８から離れた搬送台２は、昇降
機構５によって下降される。その下降状態を示したのが
第３図である。そして予備室１の下部の、真空容器への
搬送位置まで送られる。そのあとここから真空容器内に
搬入される。

（発明の効果） この発明は１以上詳述したように構成されているので、
以下に記載するような効果を奏する。

真空容器に対して基板を搬送するとき、その過程でなん
ら大気に触れることなく、その搬出入が可能となる。

またケース本体が予備室の開閉蓋とともに予備室に取出
し、または着装できるようになり、したがってその搬出
入に際してその取り扱いが容易な搬出入装置が得られる
。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の実施例を示すもので、搬出状態を示
す断面図、第２図は搬出されたケースの断面図、第３図
は搬入状態を示す断面図、第４図は一部の拡大断面図で
ある。 １・・・予備室、２・・・搬送台、３・・・基板、５・
・・昇降機構、８・・・ケース本体、９・・・ケース、
１０・・・開閉蓋。 ゛−゛江

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）真空容器内の基板を、真空化されている予備室内
   に設けた搬送台に搭載する工程と、前記搬送台を搬送用
   のケース本体で気密に閉塞する工程と、前記予備室を大
   気圧に開放し、前記搬送台を前記ケース本体もろとも予
   備室から取出す工程とからなる搬出工程、ならびに 大気圧とされている予備室に搬送台をケース本体もろと
   も搬送する工程と、前記予備室を真空化してから、搬送
   台をケース本体から分離する工程と、前記搬送台に搭載
   されている基板を真空容器内に移送する工程とからなる
   搬入工程 よりなる真空容器用搬出入方法。
2. （２）真空容器に連通されている予備室と、前記予備室
   に設けられてあって、基板を搭載する搬送台と、前記予
   備室の開放面を気密にかつ開閉自在に閉塞している開閉
   蓋と、前記開閉蓋に取り付けられてあって、前記搬送台
   の表面を気密に閉塞自在とされ、この閉塞によって搬送
   用のケースとされるケース本体と、前記搬送台を前記ケ
   ース本体の閉塞位置と前記真空容器への搬送位置との間
   を昇降させる昇降機構とを備えた 真空容器用搬出入装置。