JPH0815546B2 - 真空処理装置 - Google Patents
真空処理装置Info
- Publication number
- JPH0815546B2 JPH0815546B2 JP25463986A JP25463986A JPH0815546B2 JP H0815546 B2 JPH0815546 B2 JP H0815546B2 JP 25463986 A JP25463986 A JP 25463986A JP 25463986 A JP25463986 A JP 25463986A JP H0815546 B2 JPH0815546 B2 JP H0815546B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum processing
- processing chamber
- vacuum
- loading
- purging
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/03—Pressure vessels, or vacuum vessels, having closure members or seals specially adapted therefor
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、真空処理室に移動自在なパージ用コンテ
ナから成る被処理物搬入・搬出装置を着脱自在に連設し
て、有害な大気が真空処理室に侵入するのを防止する真
空処理装置に関するものである。
ナから成る被処理物搬入・搬出装置を着脱自在に連設し
て、有害な大気が真空処理室に侵入するのを防止する真
空処理装置に関するものである。
［従来の技術］ 従来の真空処理装置は、真空処理室に真空ポンプ、電
源およびその他の付帯装置を備えた排気設備と、パージ
用ガスを導入するパージ用ガス導入設備とを接続し、こ
の真空処理室の側壁の開口部に真空バルブを設け、この
真空バルブを開けて、被処理物の真空処理室内に搬入し
たりあるいは真空処理室より搬出するように構成されて
いるが、真空バルブの開閉時に有害な大気が真空処理室
内に侵入するのを防止するための工夫がなされていなか
った。
源およびその他の付帯装置を備えた排気設備と、パージ
用ガスを導入するパージ用ガス導入設備とを接続し、こ
の真空処理室の側壁の開口部に真空バルブを設け、この
真空バルブを開けて、被処理物の真空処理室内に搬入し
たりあるいは真空処理室より搬出するように構成されて
いるが、真空バルブの開閉時に有害な大気が真空処理室
内に侵入するのを防止するための工夫がなされていなか
った。
［発明が解決しようとする問題点］ 従来の真空処理装置では、上記のように真空バルブの
開閉時に有害な大気が真空処理室内に侵入するのを防止
するための工夫がなされていないため、真空バルブを開
閉する際に、有害な大気が真空処理室内に侵入し、真空
処理室内の被処理物を酸化させ、被処理物に悪影響を与
える等の問題点を有していた。
開閉時に有害な大気が真空処理室内に侵入するのを防止
するための工夫がなされていないため、真空バルブを開
閉する際に、有害な大気が真空処理室内に侵入し、真空
処理室内の被処理物を酸化させ、被処理物に悪影響を与
える等の問題点を有していた。
この発明は、上記のような従来のもののもつ問題点を
解決して、有害な大気が真空処理室内に侵入するのを防
止できると共に、単一パージ用ガス供給系統で真空処理
室および被処理物搬入・搬出機構とを両方のパージ操作
を行なうことができるようにした真空処理装置を提供す
ることを目的としている。
解決して、有害な大気が真空処理室内に侵入するのを防
止できると共に、単一パージ用ガス供給系統で真空処理
室および被処理物搬入・搬出機構とを両方のパージ操作
を行なうことができるようにした真空処理装置を提供す
ることを目的としている。
［問題点を解決するための手段］ 上記の目的を達成するために、この発明に係わる真空
処理装置は、側壁の被処理物搬入・搬出口に開閉自在な
真空バルブを設けた真空処理室と、上記真空処理室の被
処理物搬入・搬出口に対して着脱自在に連設でき、二つ
の開口の一方に大気の侵入を防止するフレキシブルカー
テンを備え、内部をパージ用ガスで置換できる移動自在
なパージ用コンテナから成る被処理物搬入・搬出装置と
を有し、接続時に開弁し、切り放し時に開弁する弁機構
を有する受部と突出した開口を有する挿入部からなる着
脱自在な連通機構の受部を真空処理装置室に設けると共
に、上記挿入部を上記被処理物搬入・搬出装置に設ける
ことにより、上記真空処理室と上記被処理物搬入・搬出
装置との連設時にのみ自動的に上記真空処理室内部と上
記被処理物搬入・搬出装置内部とを連通させてパージ用
ガスを上記被処理物搬入・搬出装置内部から上記真空処
理室内部へ導入できるようにしたことを特徴としてい
る。
処理装置は、側壁の被処理物搬入・搬出口に開閉自在な
真空バルブを設けた真空処理室と、上記真空処理室の被
処理物搬入・搬出口に対して着脱自在に連設でき、二つ
の開口の一方に大気の侵入を防止するフレキシブルカー
テンを備え、内部をパージ用ガスで置換できる移動自在
なパージ用コンテナから成る被処理物搬入・搬出装置と
を有し、接続時に開弁し、切り放し時に開弁する弁機構
を有する受部と突出した開口を有する挿入部からなる着
脱自在な連通機構の受部を真空処理装置室に設けると共
に、上記挿入部を上記被処理物搬入・搬出装置に設ける
ことにより、上記真空処理室と上記被処理物搬入・搬出
装置との連設時にのみ自動的に上記真空処理室内部と上
記被処理物搬入・搬出装置内部とを連通させてパージ用
ガスを上記被処理物搬入・搬出装置内部から上記真空処
理室内部へ導入できるようにしたことを特徴としてい
る。
［作用］ このように構成したこの発明の真空処理装置において
は、真空処理室内へ被処理物を搬入したり真空処理室内
から被処理物を搬出するために、内部をパージ用ガスで
置換した移動自在なパージ用コンテナから成る被処理物
搬入・搬出装置を真空処理室に連接すると、着脱自在な
連通機構を介して真空処理室内部と被処理物搬入・搬出
装置内部とが連通し、真空処理室内部へパージ用ガスが
流入し、自動的にパージ操作が行われ得る。
は、真空処理室内へ被処理物を搬入したり真空処理室内
から被処理物を搬出するために、内部をパージ用ガスで
置換した移動自在なパージ用コンテナから成る被処理物
搬入・搬出装置を真空処理室に連接すると、着脱自在な
連通機構を介して真空処理室内部と被処理物搬入・搬出
装置内部とが連通し、真空処理室内部へパージ用ガスが
流入し、自動的にパージ操作が行われ得る。
［実施例］ 以下、この発明の実施例について添付図面を参照しな
がら説明する。
がら説明する。
第１図はこの発明の実施例の概略構成図であり、真空
処理室１には、真空ポンプ、電源およびその他の付帯装
置を備えた排気設備２が接続されている。真空処理室１
の側壁には被処理物（図示せず）の搬入・搬出口1aが形
成され、この搬入・搬出口1aには開閉自在な真空バルブ
３が設けられている。
処理室１には、真空ポンプ、電源およびその他の付帯装
置を備えた排気設備２が接続されている。真空処理室１
の側壁には被処理物（図示せず）の搬入・搬出口1aが形
成され、この搬入・搬出口1aには開閉自在な真空バルブ
３が設けられている。
パージ用コンテナ４の側壁には二つの開口4a、4bが形
成され、一方の開口4aには第２図に示すような大気の侵
入を防止するのれん式のプラスチック製のフレキシブル
カーテン５が設けられている。パージ用コンテナ４は台
車６を備え、移動自在に構成されている。パージ用コン
テナ４の内部にはパレット７上に被処理物を載置して搬
送する昇降および回動自在な搬送設備８が配設されてい
る。
成され、一方の開口4aには第２図に示すような大気の侵
入を防止するのれん式のプラスチック製のフレキシブル
カーテン５が設けられている。パージ用コンテナ４は台
車６を備え、移動自在に構成されている。パージ用コン
テナ４の内部にはパレット７上に被処理物を載置して搬
送する昇降および回動自在な搬送設備８が配設されてい
る。
また９はパージ用ガス供給設備で、パージ用コンテナ
４のガス導入口10に連結され、パージ用コンテナ４の内
部にパージ用ガスを供給して、パージ用コンテナ４の内
部の大気を放出したガスで置換する。
４のガス導入口10に連結され、パージ用コンテナ４の内
部にパージ用ガスを供給して、パージ用コンテナ４の内
部の大気を放出したガスで置換する。
真空処理室１とパージ用コンテナ４とは、真空バルブ
３がパージ用コンテナ４の他方の開口4b内に位置するよ
うにしてシール11を介して着脱自在に連設されており、
第３図に真空処理室１とパージ用コンテナ５とのシール
部分の詳細が拡大して示されている。12はパージガスの
モニタ圧力計である。
３がパージ用コンテナ４の他方の開口4b内に位置するよ
うにしてシール11を介して着脱自在に連設されており、
第３図に真空処理室１とパージ用コンテナ５とのシール
部分の詳細が拡大して示されている。12はパージガスの
モニタ圧力計である。
また第３図に示すように、真空処理室１の室壁には着
脱自在な連通機構の受部13が設けられ、この連通機構の
受部13は真空処理室１の内部に連通した弁室13aと、弁
本体13bと、真空処理室１の側壁と一体的に形成された
シール壁1bの開口部1cの周囲内面に対して弁本体13bを
押圧するばね13cとを備え、弁本体13bはパージ用コンテ
ナ４のシール壁4cに形成された連通機構の挿入部となる
突出開口部14によつて真空処理室１とパージ用コンテナ
４との連接時にばね13cに抗して押し開けられるように
構成されている。突出開口部14はガスを通すための横孔
14aを備えている。
脱自在な連通機構の受部13が設けられ、この連通機構の
受部13は真空処理室１の内部に連通した弁室13aと、弁
本体13bと、真空処理室１の側壁と一体的に形成された
シール壁1bの開口部1cの周囲内面に対して弁本体13bを
押圧するばね13cとを備え、弁本体13bはパージ用コンテ
ナ４のシール壁4cに形成された連通機構の挿入部となる
突出開口部14によつて真空処理室１とパージ用コンテナ
４との連接時にばね13cに抗して押し開けられるように
構成されている。突出開口部14はガスを通すための横孔
14aを備えている。
このように構成した図示装置の動作について説明す
る。
る。
パージ用コンテナ４のフレキシブルカーテン５を通し
て被処理物をパレット７上に載置した後、パージ用ガス
供給設備９からガスを導入してパージ用コンテナ４の内
部の大気を導入したガスで置換し、そしてパージ用コン
テナ４を真空処理室１に連接し、着脱自在な連通機構の
突出開口部14および受部13を介してパージ用コンテナ４
内部を真空処理室１の内部に連通させ、真空処理室１内
をパージ用コンテナ４内からのガスでパージする。その
後、真空処理室１に設けられた真空バルブ３を開き、搬
送設備８を昇降および回動させてパージ用コンテナ４内
のパレット７上の被処理物を、搬入・搬出口1aを通って
真空処理室１内に搬入する。しかる後、真空バルブ３を
閉じ、パージ用コンテナ４を移動して着脱自在な連通機
構を遮断し、真空処理室１内を排気設備２により所要の
真空状態にしてから、真空処理室１内で被処理物を処理
する。この間パージ用コンテナ４は他の真空処理室の被
処理物の搬入・搬出に使用できる。こうして被処理物を
処理した後、再びパージ用コンテナ４を真空処理室１に
連設し、着脱自在な連通機構13を介してガスを流入させ
て真空処理室１内を真空でない状態にしてから、真空バ
ルブ３を開き、搬送設備８を昇降および回動させて被処
理物を真空処理室１内よりパージ用コンテナ４に搬出す
る。被処理物の搬出中、パージ用ガス供給設備９により
ガスを導入して、パージ用コンテナ４の内部に大気が侵
入するのを防止するようにされる。その後、被処理物は
フレキシブルカーテン５を通過させて大気中に取り出さ
れる。
て被処理物をパレット７上に載置した後、パージ用ガス
供給設備９からガスを導入してパージ用コンテナ４の内
部の大気を導入したガスで置換し、そしてパージ用コン
テナ４を真空処理室１に連接し、着脱自在な連通機構の
突出開口部14および受部13を介してパージ用コンテナ４
内部を真空処理室１の内部に連通させ、真空処理室１内
をパージ用コンテナ４内からのガスでパージする。その
後、真空処理室１に設けられた真空バルブ３を開き、搬
送設備８を昇降および回動させてパージ用コンテナ４内
のパレット７上の被処理物を、搬入・搬出口1aを通って
真空処理室１内に搬入する。しかる後、真空バルブ３を
閉じ、パージ用コンテナ４を移動して着脱自在な連通機
構を遮断し、真空処理室１内を排気設備２により所要の
真空状態にしてから、真空処理室１内で被処理物を処理
する。この間パージ用コンテナ４は他の真空処理室の被
処理物の搬入・搬出に使用できる。こうして被処理物を
処理した後、再びパージ用コンテナ４を真空処理室１に
連設し、着脱自在な連通機構13を介してガスを流入させ
て真空処理室１内を真空でない状態にしてから、真空バ
ルブ３を開き、搬送設備８を昇降および回動させて被処
理物を真空処理室１内よりパージ用コンテナ４に搬出す
る。被処理物の搬出中、パージ用ガス供給設備９により
ガスを導入して、パージ用コンテナ４の内部に大気が侵
入するのを防止するようにされる。その後、被処理物は
フレキシブルカーテン５を通過させて大気中に取り出さ
れる。
ところで、上記実施例において、フレキシブルカーテ
ン５としてのれん式のものを使用しているが、大気を遮
断できるものであればよく、例えば第４図に示すような
放射式のもの等であってもよい。また、フレキシブルカ
ーテン５はプラスチック製のものであるが、その代わり
に、耐熱布製のものを使用してもよい。さらに、上記実
施例では、フレキシブルカーテン５は真空処理室１側と
反対側の開口4aにのみ設けられているが、真空バルブ側
の開口4bにフレキシブルカーテン５と同様な構造の遮蔽
手段を設けることもできる。さらにまた、フレキシブル
カーテン５の設けられた開口4aの内側に、パージ用コン
テナ４の内部と大気とを遮断するためのバルブまたは蓋
を設けてもよい。
ン５としてのれん式のものを使用しているが、大気を遮
断できるものであればよく、例えば第４図に示すような
放射式のもの等であってもよい。また、フレキシブルカ
ーテン５はプラスチック製のものであるが、その代わり
に、耐熱布製のものを使用してもよい。さらに、上記実
施例では、フレキシブルカーテン５は真空処理室１側と
反対側の開口4aにのみ設けられているが、真空バルブ側
の開口4bにフレキシブルカーテン５と同様な構造の遮蔽
手段を設けることもできる。さらにまた、フレキシブル
カーテン５の設けられた開口4aの内側に、パージ用コン
テナ４の内部と大気とを遮断するためのバルブまたは蓋
を設けてもよい。
なお、この発明の実施例において、着脱自在な連通機
構13はパージ用コンテナ４真空処理室１に連接した際に
両者の内部を連通し、切り離し時には遮断できる構造の
ものであればいかなる形式のカップリング機構も用いる
ことができる。またこの発明はパージ用コンテナ４内に
パージ用ガス供給源を設けた形式の装置にも同様にして
実施できる。
構13はパージ用コンテナ４真空処理室１に連接した際に
両者の内部を連通し、切り離し時には遮断できる構造の
ものであればいかなる形式のカップリング機構も用いる
ことができる。またこの発明はパージ用コンテナ４内に
パージ用ガス供給源を設けた形式の装置にも同様にして
実施できる。
［発明の効果］ 以上説明してきたように、この発明は、パージ用ガス
供給設備より導入したガスでパージ用コンテナ内部の大
気を置換すると共に真空処理室内のパージも行なうよう
にしているので、有害な大気が真空処理室の内部に侵入
するのを防止することができるだけでなく、パージ操作
が簡単となる。また、この発明は、上記のように真空処
理室とパージ用コンテナとの着脱操作だけで真空処理室
の内部のパージ操作を自動的に行なうことができ、１台
のパージ用コンテナで複数の真空処理室のパージ操作が
できる。
供給設備より導入したガスでパージ用コンテナ内部の大
気を置換すると共に真空処理室内のパージも行なうよう
にしているので、有害な大気が真空処理室の内部に侵入
するのを防止することができるだけでなく、パージ操作
が簡単となる。また、この発明は、上記のように真空処
理室とパージ用コンテナとの着脱操作だけで真空処理室
の内部のパージ操作を自動的に行なうことができ、１台
のパージ用コンテナで複数の真空処理室のパージ操作が
できる。
第１図はこの発明の一実施例を示す概略構成線図、第２
図は第１図の装置に使用されたのれん式のプラスチック
製のフレキシブルカーテンを示す拡大斜視図、第３図は
第１図のＡ部の拡大詳細断面図、第４図は第１図の装置
に使用されるフレキシブルカーテンの別の実施例を示す
立面図である。 図中 １……真空処理室 1a……被処理物の搬入・搬出口 ３……真空バルブ ４……パージ用コンテナ 4a、4b……開口 ５……フレキシブルカーテン ９……パージ用ガス供給設備 13……着脱自在な連通機構の受部 14……着脱自在な連通機構の挿入部となる突出開口部
図は第１図の装置に使用されたのれん式のプラスチック
製のフレキシブルカーテンを示す拡大斜視図、第３図は
第１図のＡ部の拡大詳細断面図、第４図は第１図の装置
に使用されるフレキシブルカーテンの別の実施例を示す
立面図である。 図中 １……真空処理室 1a……被処理物の搬入・搬出口 ３……真空バルブ ４……パージ用コンテナ 4a、4b……開口 ５……フレキシブルカーテン ９……パージ用ガス供給設備 13……着脱自在な連通機構の受部 14……着脱自在な連通機構の挿入部となる突出開口部
Claims (1)
- 【請求項１】側壁の被処理物搬入・搬出口に開閉自在な
真空バルブを設けた真空処理室と、上記真空処理室の被
処理物搬入・搬出口に対して着脱自在に連設でき、二つ
の開口の一方に大気の侵入を防止するフレキシブルカー
テンを備え、内部をパージ用ガスで置換できる移動自在
なパージ用コンテナから成る被処理物搬入・搬出装置と
を有する真空処理装置において、 接続時に開弁し、切り放し時に開弁する弁機構を有する
受部と突出した開口を有する挿入部からなる着脱自在な
連通機構の上記受部を上記真空処理装置室に設けると共
に、上記挿入部を上記被処理物搬入・搬出装置に設ける
ことにより、 上記真空処理装置と上記被処理物搬入・搬出装置との連
設時に自動的に上記真空処理室内部と上記被処理物搬入
・搬出装置内部とを連通させてパージ用ガスを上記被処
理物搬入・搬出装置内部から上記真空処理室内部に導入
できるようにしたことを特徴とする真空処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25463986A JPH0815546B2 (ja) | 1986-10-28 | 1986-10-28 | 真空処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25463986A JPH0815546B2 (ja) | 1986-10-28 | 1986-10-28 | 真空処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63111938A JPS63111938A (ja) | 1988-05-17 |
| JPH0815546B2 true JPH0815546B2 (ja) | 1996-02-21 |
Family
ID=17267811
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25463986A Expired - Lifetime JPH0815546B2 (ja) | 1986-10-28 | 1986-10-28 | 真空処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0815546B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| PE51997A1 (es) | 1995-11-27 | 1997-12-29 | Shell Int Research | Procedimiento para la preparacion de un catalizador o precursor catalitico |
-
1986
- 1986-10-28 JP JP25463986A patent/JPH0815546B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63111938A (ja) | 1988-05-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |