JP3925918B2 - Foup内ガス置換装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造で使用される300mmウェハーの収納容器であるFOUP(Front Opening Unified Pot)内の雰囲気を不活性ガスあるいはドライエア(以下、両者を不活性ガスと総称する)に置換するFOUP内ガス置換装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図1は従来のガス置換方法を示す。FOUP1内のウェハー5の表面酸化を防ぐため、FOUP1内に不活性ガスを封入することが有効である。FOUP1内に不活性ガスを封入するには、FOUP1のパージポート4(通常は2ヶ所)の一方を不活性ガス供給源31に接続し、そのパージポート4からFOUP1内に不活性ガスを導入するとともに、他方のパージポート4からFOUP1内の雰囲気と不活性ガスの混合気体を排出する。FOUP1内の不活性ガスの濃度が一定レベルに達したところで不活性ガスの導入を停止し、パージポートの栓17でパージポート4を封じる。なお、2はFOUPボックス、3はFOUPドアである。
【0003】
また、FOUP1内のガス置換は生産ラインから外れて、個別に行われているのが現状である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の方法では、FOUP1内に高い濃度の不活性ガスを得るためには多量の不活性ガスを長時間流し続けなければならない。FOUP1内の雰囲気を直接真空排気し、不活性ガスを封入する方法が効率的であるが、FOUP1は大気圧のもとで使用することを前提として製造されており、FOUP1内外の大きな圧力差には耐えられない構造である。したがって、FOUP1内を直接真空排気することはできない。
本発明は、FOUPを真空容器に入れ、真空容器とFOUP内を連通させ圧力差が生じないようにした上で、真空排気および不活性ガス導入により、FOUP内の雰囲気を、真空容器の容積とほぼ等しい消費量と不活性ガス供給源とほぼ等しい濃度の不活性ガスに置換することができるFOUP内ガス置換装置を提供することを目的とする。
【0005】
さらに本発明は、ガス置換するFOUPのハンドリングが自動化可能であるFOUP内ガス置換装置を提供することを目的とする。
【0006】
さらに本発明は、FOUP内のウェハーの出し入れに引き続いてガス置換するFOUPのハンドリングが自動化可能であるFOUP内ガス置換装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項1に係る本発明は、
封じ栓を開閉することによって開閉可能なパージポートを持つFOUP内の雰囲気を、不活性ガスまたはドライエアに置換するFOUP内ガス置換装置であって、
FOUPを収容可能な真空容器と、
前記真空容器内にFOUPを収容した際に当該FOUPのパージポートの封じ栓を開閉することができる、パージポートの封じ栓の開閉機構と、
前記真空容器内に不活性ガスまたはドライエアを導入するガス導入手段と、
前記真空容器内を真空排気する真空排気手段と
を備えている。
【0008】
請求項2に係る本発明は、前記真空容器の前面フランジを開閉する前面フランジ開閉機構、及び前記真空容器の背面フランジを開閉する背面フランジ開閉機構の少なくとも一方を備えたものである。
【0009】
請求項3に係る本発明は、前記真空容器に、前記真空容器内に収容された前記FOUPのドアを開閉するFOUPドア開閉機構を付加したものである。
【0010】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.実施の形態1を図2a)、b)に基づいて説明する。図2a)において、真空容器6は真空容器本体7と開閉可能な前面フランジ8および背面フランジ9で構成される。真空容器本体7にはFOUP置き台12とFOUP固定機構11とパージポートの封じ栓の開閉機構10が取り付けられている。さらに、真空容器本体7には真空排気用の排気バルブ13と不活性ガス導入用のガス導入バルブ14および大気圧開放用の大気開放バルブ15が取り付けられ、それぞれ真空排気系30と不活性ガス供給源31および大気と連結し取り付けられている。また、真空容器6内の圧力を検知するための圧力センサー16が取り付けられている。
【0011】
FOUP1内のガス置換を行なうには、前面フランジ8を開け、真空容器6内にFOUP1を、FOUP1のパージポート4とパージポートの封じ栓の開閉機構10とが勘合できる位置に入れ、FOUP固定機構11でFOUP1を固定し前面フランジ8を閉じる。図2a)はその状態を示す。次いで図2b)で示すように、パージポートの封じ栓の開閉機構10でパージポートの封じ栓17を開け、真空容器6とFOUP1内を連通させ、排気バルブ13を開け、真空排気する。低い圧力に設定された低圧側圧力センサー16aの設定圧力で排気バルブ13を閉じ、真空排気を止める。次いでガス導入バルブ14を開け、不活性ガスを導入し、大気圧近辺の高い圧力に設定された大気圧側圧力センサー16bの設定圧力で不活性ガスの導入を止め、パージポートの封じ栓17を閉じ、真空容器6とFOUP1内との連通を断つ。図2a)の状態に戻り、FOUPI内の雰囲気は真空容器6とほぼ等しい容積の、不活性ガス供給源31とほぼ等しい濃度の不活性ガスで置換される。
【0012】
実施の形態2.実施の形態2を図3に基づいて説明する。前面フランジ8に水平方向に移動させる機構と上下方向に移動させる機構からなる前面フランジ開閉機構18を付加する。前面フランジ8を開ける場合はまず水平方向の真空容器本体7から離れる方向に移動し、次いで下方に移動する。前面フランジ8を閉じる場合は前面フランジ8を上昇させ、次いで水平方向の真空容器本体7に密接する方向に移動する。背面フランジ9も同様に開閉機構を付加することができる。前面フランジ8または背面フランジ9を開けた状態で図示しない半導体工場内の自動搬送機器または図示しない半導体工場内のFOUPストッカーの搬送ロボットと本発明のFOUP内ガス置換装置間でFOUP1の受け渡しが可能となる。
【0013】
実施の形態3.実施の形態3を図4,5に基づいて説明する。真空容器6内にFOUP1を前後に移動させるFOUP前後移動機構25と背面フランジ9にFOUPドア開閉機構27を付加する。FOUP前後移動機構25は連結板26によりFOUP1を搭載したスライドステージ23と連結し、スライドステージ23はガイドレール24上を前後に移動する構成である。FOUPドア開閉機構27にはFOUPドア3のラッチを解除およびロックするのラッチキー開閉機構20とレジストレーションピン21とFOUPドア3を吸引固定するための吸着パッド22が取り付けられている。図4はその構成を示す。真空容器6内に置かれたFOUP1のFOUPドア3を開けるには、FOUP1を搭載したスライドステージ23をFOUP前後移動機構25で前進させ背面フランジ9と密着させる。次いで吸着パッド22でFOUPドア3を吸引固定し、ラッチキー開閉機構20でラッチを解除する。次いで背面フランジ9を開ける。FOUP1は図示しないウェハー搬送ロボットによりウェハーの出し入れができる。図5はウェハー搬送ロボットによりウェハーの出し入れができる状態を示す。ウェハーの出し入れ完了後、背面フランジ9を閉じ、FOUPドア3を閉じ、前面フランジ8を閉じ、FOUP1をガス置換可能な位置に戻し、FOUP固定機構11でFOUP1を固定する。図4はFOUP1をガス置換可能な位置に戻した状態を示す。次いでFOUPパージポートの封じ栓の開閉機構10によりFOUPのパージポートの封じ栓17を開け、真空排気および不活性ガスによるガス置換を行い、FOUPのパージポートの封じ栓17を封じればFOUP1内は不活性ガスで置換される。前面フランジ8を開ければ、図示しない半導体工場内の自動搬送機器またはFOUPストッカーの搬送ロボットと本発明のFOUP内ガス置換装置間でFOUP1の受け渡しが可能となる。
【0014】
本発明が上記実施形態に限定されず、本発明の技術思想の範囲内において、各実施形態は適宜変更され得ることは明らかである。また上記構成機構、部材の数、位置、形状等は上記実施の形態に限定されず、本発明を実施する上で好適な数、位置、形状等にすることができる。
【0015】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明のFOUP内ガス置換装置によれば、半導体生産ラインで使用されるFOUP内の雰囲気を真空容器とほぼ等しい容積の、不活性ガス供給源とほぼ等しい濃度の不活性ガスに置換することができる。排気速度の大きい真空排気系を用いることにより短時間で真空容器内の排気ができるので、短時間でガス置換を行なうことができる。
【0016】
本発明のFOUP内ガス置換装置によれば、不活性ガスで置換するFOUPのハンドリングが容易になり、自動搬送ラインに組み込む手段を提供することができる。
【0017】
また、本発明のFOUP内ガス置換装置によれば、不活性ガスで置換するFOUPの、FOUP内のウェハーの出し入れに引き続いてガス置換するFOUPのハンドリングが容易になり、自動搬送ラインに組み込む手段を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来のガス置換方法を示す概略断面図である。
【図2】本発明の実施の形態1を説明するための、a)FOUPを真空容器に入れた状態およびガス置換を終了した状態、b)真空容器とFOUPを真空排気および不活性ガス導入の状態を示す概略断面図である。
【図3】本発明の実施の形態2のFOUPのハンドリング可能な状態を示す概略断面図である。
【図4】本発明の実施の形態3のFOUPを真空容器に入れた状態およびガス置換を終了した状態を示す概略断面図である。
【図5】本発明の実施の形態3のFOUPドアを開けた状態の概略断面図である。
【符号の説明】
1 FOUP
2 FOUPボックス
3 FOUPドア
4 パージポート
5 ウェハー
6 真空容器
7 真空容器本体
8 前面フランジ
9 背面フランジ
10 パージポートの封じ栓の開閉機構
11 FOUP固定機構
12 FOUP置き台
13 排気バルブ
14 ガス導入バルブ
15 大気開放バルブ
16 圧力センサー
16a 低圧側圧力センサー
16b 大気圧側圧力センサー
17 パージポートの封じ栓
18 前面フランジ開閉機構
19 背面フランジ開閉機構
20 ラッチキー開閉機構
21 レジストレーションピン
22 吸着パッド
23 スライドステージ
24 ガイドレール
25 FOUP前後移動機構
26 連結板
27 FOUPドア開閉機構
30 真空排気系
31 不活性ガス供給源
Claims (3)
- 封じ栓を開閉することによって開閉可能なパージポートを持つFOUP内の雰囲気を、不活性ガスまたはドライエアに置換するFOUP内ガス置換装置であって、
FOUPを収容可能な真空容器と、
前記真空容器内にFOUPを収容した際に当該FOUPのパージポートの封じ栓を開閉することができる、パージポートの封じ栓の開閉機構と、
前記真空容器内に不活性ガスまたはドライエアを導入するガス導入手段と、
前記真空容器内を真空排気する真空排気手段と
を備えたことを特徴とするFOUP内ガス置換装置。 - 前記真空容器の前面フランジを開閉する前面フランジ開閉機構、及び前記真空容器の背面フランジを開閉する背面フランジ開閉機構の少なくとも一方を備えている請求項1に記載のFOUP内ガス置換装置。
- 前記真空容器に、前記真空容器内に収容された前記FOUPのドアを開閉するFOUPドア開閉機構が付加されている請求項2に記載のFOUP内ガス置換装置。
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