JPS60124462A - 気密作業装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の技術分野］ 本発明は、例えば不活性ガス中でフラックスを用いずに
半田付けを行なう場合に使用される気密作業装置に関す
る。

［発明の技術的背景とその問題点］ 従来より、ＩＣパッケージ製造の最終工程においては、
透孔を有する金属キャップをセラミック基板上に半田付
けにより固定し、高温でニー９２２表４；、／＋＋１＼
ダム出ムを静上１か体　十も１１，１出ん不活性ガスで
置き換えるとともに、上記透孔を不活性ガス雰囲気中で
フラックスを用いることなく半田付けにより塞いでキャ
ップ内を気密にシールすることが行われている。

このような半田付は作業においては、雰囲気中に酸素が
入ると半田が酸化しシールが不完全になってしまうので
完全に大気を遮断した状態下で作業を行なう必要がある
。

従来、このような不活性ガス雰囲気中での半田付は作業
には、ガス導入口とガス送出口とを備えた気密作業ボッ
クスと、この気密作業ボックスに付属したガス置換室ど
、前記気密作業ボックスの正面に設けられた透孔の周縁
へ基部を気密に固着して挿入された作業用気密手袋とを
備えてなる気密作業＠置が用いられていた。

上述した不活性ガス雰囲気中における半田付は作業にお
いては、気密作業ボックス内に半田付けすべぎＩＣパッ
ケージと作業用基材一式とを置き、ガス導入口とガス送
出口を開放して不活性ガスを常時気密作業ボックス内に
流しながら行われ、作業終了後にはガス導入口とガス送
出口が閉じられ゛る。

しかしながら、一般にこの種の気密作業装置においては
、ガス導入口およびガス送出０各々の弁を閉じてもその
わずかな隙間や品物の搬入口ドアの隙間等からリークし
て、完璧な密閉状態に保持することは困難であり、長期
間にわたって作業を中断した場合には、気密作業ボック
ス内に大気が侵入するという難点があった。

従って次の作業時には、作業中断中に侵入した大気を追
い出すために予め気密作業ボックス内に不活性ガスを流
して気密作業ボックス内を不活性ガスで置換する必要が
あり、このとぎ大量の不活性ガスが消費されるという難
点があった。

このような不活性ガスの置換作業を不要と（るため、作
業中断時にガス送出口を閉じ、ガス導入口のみ開放して
気密作業ボックス内へ大気圧より高い圧力で不活性ガス
を充填し、かつリーク量だけ常時不活性ガスが供給され
るようにすることも考えられるが、このような方法では
、気密作業ボックス内の圧力により気密作業用手袋が外
側に飛び出し、ついには内圧により破裂してしまうおそ
れがあった。

［発明の目的］ 本発明はこのような従来の欠点を解決する１ｃめになさ
れたもので、作業中断時における気密作業ボックス内へ
の大気の侵入を防ぎ、次の作業時にもそのままの状態で
直ちに作業を開始することができ、しかもガスの消費量
が少なく、作業用気密手袋の破裂のおそれもない気密作
業装置を提供することを目的とする。

［発明の概要］ すなわち本発明の気密作業装置は、ガス導入口とガス送
出口とを備え正面に透明窓を設けた気密作業ボックスと
、この気密作業ボックスに付属されたガス置換室と、前
記気密作業ボックスの正面に設けられた透孔の周縁へ基
部を気密に固着させて挿入された作業用気密手袋と、＠
記透孔の外側に着脱自在に配館された手袋押え蓋とを備
えてなることを特徴としている。

［発明の実施例］ 以下本発明の詳細をその一実施例を示す図面によって説
明する。

第１図は本発明の一実施例の気密作業装置の手袋押え蓋
を取り外した状態を示す斜視図、第２図は第１図に示し
た気密作業装置の左手袋取付部を手袋押え蓋とともに示
す拡大斜視図である。

この実施例の気密作業装置は、第１図に示す、気密作業
ボックス１と、この気密作業ボックス１に品物を出し入
れする際、気密作業ボックス１内へ大気が流入するのを
防止するために設けたガス置換室２と、気密作業ボック
ス１内における作業を目視するためにその正面に設けた
透明窓３と、気密作業ボックス１の正面に穿設した一対
の透孔の周縁に取り付けた環状の手袋取付金具４．４へ
それぞれ基部を気密に固着された作業用気密手袋５．５
と、この作業用気密手袋５．５の外側を覆う第２図に示
す箱型の手袋押えＭ６とからその主要部分が構成されて
いる。

またガス置換室２の正面側には気密扉７が開閉自在に枢
着され、その外側がハンドル８により押えられている。

なお図示を省略したが、ガス置換室２と気密作業ボック
ス１内の作業室内とは、開閉自在の気密扉により仕切ら
れており、この気密扉は気密作業ボックス１の作業室内
側から開閉できる構造とされている。

手袋取付金具４．４の図で右側には、蝶番用軸金具９．
９が上下位置に固着され、同左側には係止金具１０が固
着されている。また手袋押えＭ６の一側縁には蝶番用軸
金具９．９と着脱自在に係合する蝶番用係止金具１１．
１１が固着されており、これと対向する側の側縁には、
係止金具１゜と係合するバックル１２が固着されている
。１３は手袋押えＮ６の内側に貼着されたクッション材
である。

上記構成の本発明の気密作業ボックスは、次のようにし
て使用される。

まず、作業開始にあたって、図示を省略したガス導入口
、ガス送出口を開ぎ不活性ガスを気密作業ボックス１お
よびガス置換室２内に流しこれらの中の雰囲気を不活性
ガスで置換するとともに、図示を省略したリーク弁によ
り大気圧よりやや高い圧力に維持し、次いで作業用気密
手袋５．５を装着して所定の作業を行なう。このとき作
業用気密手袋５．５の挿入により圧力が上昇するが、こ
れによりリーク弁から不活性ガスが放出されて所定の圧
力が維持される。

作業終了後には、作業用気密手袋５．５から手を抜き取
り、これを再び気密作業ボックス１内に挿入して手袋取
付金具４外周の蝶番用軸金具９．９に蝶番用係止金具１
１．１１を係合させ、かつ係止金具１０にバックル１２
を係合させて手袋押え蓋６を固定し、次いでガス送出口
を閉じる。

なお、このあとガス供給口からの不活性ガスの送入によ
り、作業用気密手袋５．５は、手袋押え蓋６へ内圧によ
り押し付けられるが、クッション材１３のクッション効
果により損傷が防止される。

また手袋押え蓋６により外部への膨出も押えられる。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明の気密作業装置によれば、気
密作業ボックス内のガス圧により手袋が破裂するおそれ
がないため、作業後においても気密作業装置内のガス圧
を大気圧よりも高く保ち大気の侵入を防ぐことが可能Ｃ
ある。従って、次回の作業時にはそのままの状態でただ
ちに作業を開始できるとともに、不活性ガスの置換のた
めのガスの消費を不要とすることができる。

した′がって作業開始前の準備時間を短縮し、操作コス
トを低減することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の気密作業装置の手袋押え蓋を除いた状
態を示す斜視図、第２図はその要部を示す斜視図である
。 １・・・・・・・・・・・・気密作業ボックス２・・・
・・・・・・・・・ガス置換室３・・・・・・・・・・
・・透明窓 ４・・・・・・・・・・・・手袋取付金具５・・・・・
・・・・・・・作業用気密手袋６・・・・・・・・・・
・・手袋押え蓋７・・・・・・・・・・・・気密扉 ９・・・・・・・・・・・・蝶番用軸−金具１０・・・
・・・・・・・・・係止金具１１・・・・・・・・・・
・・蝶番用係止金具１２・・・・・・・・・・・・バッ
クル１３・・・・・・・・・・・・クッションＩ代理人
弁理士　須　山〜佐　−

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ガス導入口とガス送出口とを備え正面に透明窓を設けた
   気密作業ボックスと、この気密作業ボックスに付属され
   たガス置換室と、前記気密作業ボックスの正面に設けら
   れた透孔の周縁へ基部を気密に固着させて挿入された作
   業用気密手袋と、前記透孔の外側に着脱自在に配置され
   た手袋押え蓋とを備えてなることを特徴とする気密作業
   装置。