JPH0522794Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、粉末成形品の焼結に用いられる真空
焼結炉に関するものである。

［従来の技術］ 粉末成形品の焼結に使用されるこの種炉として
は、第４図に示されるものが一般的である。

この炉は、低圧ガスフロー方式によるデワツク
ス機能を備えたもので、炉排気経路１に介設した
炉排気弁２を開にし、一端に接続した真空ポンプ
３で炉内Ｓを真空排気した後にデワツクスが開始
される。

デワツクス工程では、処理物Ｍをヒータ４で加
熱する一方、この処理物Ｍより発生するワツクス
ベーパをデワツクス排気経路５を介し前述の真空
ポンプ３で吸引除去するとともに、ガス流入経路
８よりN₂等のフローガス（不活性ガス）を少量
ずつ供給しながら行なうのであるが、ワツクスが
炉壁６やヒータ４に付着してこれらを汚染するの
を防止するため、吸引はタイトボツクス７の内側
から、フローガス流入は該タイトボツクス７の外
側からそれぞれ行なつて、常に該タイトボツクス
７の内側が外側よりも低圧となるように講じられ
る。これにより、具体的なフローガスの流れは、
第４図中太線に示すように、ガス流入経路８から
炉内Ｓに流入し、差圧によつて低圧域のタイトボ
ツクス７内にその隙間から入り込み、ここで処理
物Ｍから発生するワツクスベーパと合流して、共
に前記デワツクス排気経路５へ入り、介設したワ
ツクストラツプ１８でトラツプされた後、真空ポ
ンプ３の排気口から炉外へ排気される。

以上のようにして、フローガスの一連の流れと
ともに、処理物Ｍより発生するワツクスベーパを
好適にタイトボツクス７から除去しているもので
ある。なお、前記デワツクス排気経路５およびガ
ス流入経路８には、それぞれガス流入弁９、デワ
ツクス排気弁１０が介設されており、これらは前
述した炉排気弁２と同様、常閉の電磁弁であつ
て、給電により作動して開状態となるものであ
る。

［考案が解決しようとする問題点］ ところが、このような従来のものにおいて、万
一デワツクス中に停電等不測の外因によつて給電
がストツプした場合、真空ポンプ３の停止を始
め、ガス流入弁およびデワツクス排気弁が同時に
閉状態となつてフローガスが閉塞されることにな
る。これにより、タイトボツクス７内のワツクス
ベーパが炉内に進入する事態を招くことになる。
実際問題として、ガスの漏洩によりワツクスが炉
の内壁６等に固着すると、修復に何日もかかるば
かりでなく、再び炉内Ｓを所定の真空圧力にまで
到達させるのに相当の時間を要する。

本考案は、簡単な構成により、上述した危険性
を取除くことを目的としている。

［問題点を解決するための手段］ すなわち、本考案は、上述したガスフロー方式
によりデワツクスするようにした焼結炉におい
て、外部から前記炉内に一時的に大量のパージガ
スを供給し得るガス導入経路と、このガス導入経
路中に介設され前記真空ポンプの停止に連動して
開成するガス導入弁と、一端を前記タイトボツク
ス内に連通させ他端を外部に解放させた逃し経路
と、この逃し経路内に介設されたリリーフ弁とを
具備してなることを特徴としている。

［作用］ このような手段であれば、たとえ停電しても、
ガス導入弁が開となつてガス導入経路から一時的
に大量のパージガスが炉内に導入されタイトボツ
クス内にも流入してくるので、ワツクスベーパは
タイトボツクスの外側の炉内に漏洩することな
く、押出されて該タイトボツクスから排出され
る。そして、逃し経路にはリリーフ弁が介設され
ているので、該ガスは経路内に入つた後、この弁
を開いて外部に放出されるものとなる。

したがつて、懸念される炉内汚染を有効に回避
できるものである。

［実施例］ 以下、本考案の一実施例を図面を参照して説明
する。なお、構成的には第４図に示す従来のもの
と概ね同様であつて、共通する部分には同一符号
を付している。

第１図において、ガス流入経路８には、炉内Ｓ
への入口近傍でガス導入経路１１が接続されてい
る。このガス導入経路１１は、一端が図外のガス
供給源へ接続されており、介設したガス導入弁１
２が開かれた場合に炉内Ｓに大量のパージガス
（N₂等の不活性ガス）を導入し得るものである。
なお、前記ガス導入弁１２は常開（Normally
Open）の電磁弁で、前述した他の電磁弁
（Normally Closed）とは逆に、給電している間
は閉状態で給電がストツプすると開状態となるも
のである。

また、デワツクス排気経路５には、デワツクス
排気弁１０の上流から分岐させて逃し経路１３が
設けられている。この逃し経路１３は、途中にリ
リーフ弁１４を介設し、終端を外部に解放させた
ものである。なお、前記ガス導入経路１１には、
ガス導入弁１２の上流にガスコツク１５を設けて
おり、デワツクス中にのみ開くようにする。

次に、停電した際のこの実施例の作動を説明す
る。まず、真空ポンプ３が停止し、ガス流入弁９
とデワツクス排気弁１０が閉となる。一方、これ
と同時にガス導入弁１２が開となり、炉内Ｓに比
較的高圧のパージガスが導入される。このパージ
ガスは、差圧によつて低圧域のタイトボツクス７
内に流れ込み、ワツクスベーパと合流してデワツ
クス排気経路５へ流出する。しかるに、デワツク
ス排気弁１０は閉状態にあるので前記デワツクス
排気経路５および逃し経路１３に圧がたち、これ
が設定圧に達すると前記逃し経路１３のリリーフ
弁１４が開かれる。ここに第１図中太線に示す如
き一連のガスの流路が開通され、処理物Ｍから発
生するワツクスベーパは滞留することなく、前記
リリーフ弁１４より外部に放出されることができ
るものである。

以上のようにして、本実施例の真空焼結炉は、
停電時にも継続的なガスの流れを確保することに
より、炉内Ｓのワツクス汚染を有効に回避できる
ものである。

なおこの場合、逃し経路１３において、リリー
フ弁１４に第３図に示すものを併設すると更に優
れた効果が得られるものである。同図に示すもの
は、常開の電磁弁１６を介して真空サージタンク
１７ａが接続されたものであつて、停電と同時に
弁が開となつて吸引を開始するため、リリーフ弁
１４が開くまでの間の排気をまかなうことができ
る。また、真空サージタンク１７ｂは、第４図に
示すようなベローズ状の伸縮可能な容器で形成し
てもよい。

［考案の効果］ 本考案は、以上のような構成により、停電時の
ワツクス汚染の問題を解消した真空焼結炉を提供
できるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第３図は本考案の一実施例を示し、第
１図はシステム概要図、第２図および第３図は逃
し経路の変形例を示す回路図である。また、第４
図は従来の真空焼結炉を示すシステム概要図であ
る。 ３……真空ポンプ、７……タイトボツクス、１
１……ガス導入経路、１２……ガス導入弁、１３
……逃し経路、１４……リリーフ弁、Ｓ……炉
内、Ｍ……処理物。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 処理物を収納するタイトボツクスを配置した炉
   内にフローガスを導入するとともに、前記タイト
   ボツクスを外部の真空ポンプにより吸引して、炉
   内から前記タイトボツクス内にフローガスを流入
   させつつデワツクスするようにした炉において、 外部から前記炉内に一時的に大量のパージガス
   を供給し得るガス導入経路と、このガス導入経路
   中に介設され前記真空ポンプの停止に連動して開
   成するガス導入弁と、一端を前記タイトボツクス
   内に連通させ他端を外部に解放させた逃し経路
   と、この逃し経路に介設したリリーフ弁とを具備
   してなることを特徴とする真空焼結炉。