JP4136405B2 - 真空排気システムおよびその運転方法 - Google Patents
真空排気システムおよびその運転方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4136405B2 JP4136405B2 JP2002069725A JP2002069725A JP4136405B2 JP 4136405 B2 JP4136405 B2 JP 4136405B2 JP 2002069725 A JP2002069725 A JP 2002069725A JP 2002069725 A JP2002069725 A JP 2002069725A JP 4136405 B2 JP4136405 B2 JP 4136405B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pump
- oil diffusion
- mechanical booster
- booster pump
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空排気システムおよびその運転方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
真空排気システムとして、チャンバの内部に連通するように排気路が設けら、この排気路に、上流側から順に、メインバルブ、油拡散ポンプ、メカニカルブースタポンプおよびロータリポンプが設けられた構成を有するものがある。
【０００３】
通常、上記の構成を有する真空排気システムにおいて、チャンバ内のワークの交換、メンテナンスおよび内部の清掃を行う際には、メインバルブを閉じた状態において別途設けたリークバルブを開いてチャンバ内に大気を導入するのであるが、その場合、油拡散ポンプ、メカニカルブースタポンプおよびロータリポンプを起動させたままの状態でチャンバの扉を開け、内部を開放して作業を行う。これは、油拡散ポンプを一旦停止すると、再起動するのに長時間を要するため、通常は一旦起動させると停止させないのが作業効率上望ましく、また、油拡散ポンプの運転中は、その構造上、背圧をロータリポンプ等で所定範囲まで下げておかなければ油が上流側に逆流するという不具合を防止するためになされる措置である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
油拡散ポンプ、メカニカルブースタポンプおよびロータリポンプを起動させたままでチャンバ内を開放すると、これらのポンプは起動したまま待機することになるため、この間の機器稼働分のエネルギー（例えば電力）が浪費されることとなる。
【０００５】
チャンバ内を開放している時間が短い場合には、浪費されるエネルギーが少ないのでシステムの運転コストに与える影響は小さいが、１０分以上開放する場合には、浪費されるエネルギーの量が多くなるため、システムの運転コストの上昇につながる。特に、光通信における光合波器や光分波器に使用する光学膜フィルタ製造用の光学成膜装置に使用される真空排気システムでは、ワーク交換、メンテナンスおよび内部の清掃に時間がかかる（約１時間〜３時間程度）ため、エネルギーの浪費が大きい。
【０００６】
本発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、エネルギーの浪費を抑えることにより運転コストの低減化を図ることが可能な真空排気システムおよびその運転方法を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る真空排気システムおよびその運転方法は、扉を有するチャンバの内部に連通するように排気路が配設され、前記排気路に上流側から順に油拡散ポンプ、メカニカルブースタポンプおよびロータリポンプが配設されるとともに、少なくとも前記メカニカルブースタポンプを制御する制御装置が配設された真空排気システムであって、前記油拡散ポンプおよび前記ロータリポンプの起動中に、前記制御装置は、前記チャンバの扉が開いた状態で前記メカニカルブースタポンプを停止させるものである（請求項１，４）。
【０００８】
かかる構成によれば、チャンバの扉が開いた状態においてはメカニカルブースタポンプを停止する。通常、メカニカルブースタポンプは、停止中でも気流通路が存在するため、油拡散ポンプ下流側に必要な背圧はロータリポンプが運転し続けることによって保つことができる。したがって、メカニカルブースタポンプが停止する分、ワークの加工処理以外の操作時におけるエネルギーの浪費を抑制することが可能となる。それにより、真空排気システムの運転コストの低減化を図ることが可能となる。
【０００９】
前記油拡散ポンプの背圧を検知する真空計が前記排気路に配設され、前記制御装置は、前記真空計で検知された前記油拡散ポンプの背圧が所定範囲からはずれた場合に前記メカニカルブースタポンプを再起動させるとともに、前記背圧が所定範囲内となった場合に前記メカニカルブースタポンプを停止させることが好ましい（請求項２，５）。
【００１０】
かかる構成によれば、油拡散ポンプの背圧を所定の適正範囲内に保つことが可能となる。ところで、油拡散ポンプは、前述の通り、運転時における適正背圧の範囲が決まっており、この範囲内で使用する必要がある。このため、上記のように油拡散ポンプの背圧を所定の適正範囲内に保つことが可能であれば、支障を生じることなく油拡散ポンプを運転させることができる。
【００１１】
また、この場合には、油拡散ポンプの背圧が所定範囲から外れた際にのみメカニカルブースタポンプを起動させるため、油拡散ポンプの背圧が所定範囲の際も含めてメカニカルブースタポンプを起動させる場合に比べて、エネルギーの浪費を抑えることが可能となる。
【００１２】
前記メカニカルブースタポンプをバイパスして前記油拡散ポンプと前記ロータリポンプとを連結するバイパス経路が前記排気路に接続されてもよい（請求項３，６）。
【００１３】
かかる構成によれば、バイパス経路を通して油拡散ポンプからロータリポンプに排気を行うことが可能となるため、停止したメカニカルブースタポンプが排気の妨げとなるのを防止することが可能となる。このため、油拡散ポンプの背圧の上昇を抑制することが可能となる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。
（実施の形態１）
図１は本発明の実施の形態１に係る真空排気システムの構成を模式的に示す機能ブロック図である。
【００１５】
図１に示すように、真空排気システムは、チャンバ１と、チャンバ内真空計（ＰＩＣ）２と、油拡散ポンプ（ＤＰ）６と、排気管内真空計（ＰＩＲ）１０と、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８と、ロータリポンプ（ＲＰ）９と、制御装置２０とを主な構成要素として含んでいる。
【００１６】
チャンバ１には、リークバルブ（ＬＶＣ）３が設けられた吸気用配管３１が接続されるとともに、排気用配管３２が接続されている。この排気用配管３２は、配管３３と配管３４とに分岐している。配管３３にはラフバルブ（ＲＶ）４が設けられている。配管３４には、上流側から順にメインバルブ（ＭＶ）５、油拡散ポンプ（ＤＰ）６およびフォアラインバルブ（ＦＶ）７が設けられている。配管３３と配管３４とは合流点３５において合流し、さらに配管３６に接続されている。そして、配管３６はメカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８に接続されており、さらにメカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８にロータリポンプ（ＲＰ）９が配管３７により接続されている。
【００１７】
リークバルブ（ＬＶＣ）３、ラフバルブ（ＲＶ）４、メインバルブ（ＭＶ）５およびフォアラインバルブ（ＦＶ）７の開閉動作、ならびに油拡散ポンプ（ＤＰ）６、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８およびロータリポンプ（ＲＰ）９の起動および停止動作は、制御装置２０により制御される。
【００１８】
メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８は、ロータリポンプ（ＲＰ）９の排気時間を短縮するための加速用に用いるポンプである。ロータリポンプ（ＲＰ）９とメカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８とを起動してチャンバ１内の大気を吸引することにより、チャンバ１内がある程度の真空状態となる。このように、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８およびロータリポンプ（ＲＰ）９は、チャンバ１内の粗排気に利用される低真空ポンプである。
【００１９】
一方、油拡散ポンプ（ＤＰ）６は、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８およびロータリポンプ（ＲＰ）９によりある程度真空状態となったチャンバ１内からさらに大気を吸引し、チャンバ１内をより真空度の高い状態とするものである。このように、油拡散ポンプ（ＤＰ）６は、チャンバ１内の本排気に利用される高真空ポンプである。
【００２０】
チャンバ１は、その内部においてワークを加工するためのものであり、ワークを出し入れするための扉（図示せず）を有している。チャンバ１内のワークは、１回の加工工程（これを１バッチと呼ぶ）終了毎に交換する。また、１バッチ終了後あるいは数バッチ繰り返した後に、チャンバ１の内部の清掃やメンテナンスを行う。
【００２１】
チャンバ内真空計（ＰＩＣ）２は、チャンバ１内の圧力を検知するものである。これにより検知されたチャンバ１内の圧力情報は、制御装置２０に伝達される。
【００２２】
排気管内真空計（ＰＩＲ）１０は、油拡散ポンプ（ＤＰ）６の背圧、ここでは配管３４中の圧力を検知するものである。これにより検知された油拡散ポンプ（ＤＰ）６の背圧情報は、制御装置２０に伝達される。
【００２３】
以上のような構成を有する真空排気システムにおいては、排気用配管３２、配管３３，３６，３７、ラフバルブ（ＲＶ）４、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８およびロータリポンプ（ＲＰ）９によりチャンバ１内の粗排気を行うための排気路、すなわち低真空排気路が形成される。また、排気用配管３２、配管３４，３６，３７、メインバルブ（ＭＶ）５、油拡散ポンプ（ＤＰ）６、フォアラインバルブ（ＦＶ）７、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８およびロータリポンプ（ＲＰ）９によりチャンバ１内の本排気を行うための排気路、すなわち高真空排気路が形成される。
【００２４】
次に、以上のように構成された真空排気システムの運転方法を図２を参照しながら説明する。
【００２５】
図２は、図１の真空排気システムの制御装置２０に格納された制御プログラムの内容を示すフローチャートである。
【００２６】
真空排気システムの運転時には、まず、チャンバ１の扉を開いてチャンバ１内に加工対象たるワークを配置する。そして、図２に示すように、運転が停止した状態、すなわち全てのポンプが停止するとともに全てのバルブが閉じられた状態の真空排気システムの始動スイッチ（図示せず）をオン操作すると、制御装置２０に運転開始指令が入力され、真空排気システムの運転がスタートして以下の動作が行われる。
【００２７】
制御装置２０は、真空排気システムが始動すると、まず、ロータリポンプ（ＲＰ）９を起動し（ステップＳ１）、次いでメカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８を起動する（ステップＳ２）。次にフォアラインバルブ（ＦＶ）７を開き（ステップＳ３）、次いで油拡散ポンプ（ＤＰ）６を起動する（ステップＳ４）。油拡散ポンプ（ＤＰ）６は起動してから実際に作動するまでに時間がかかるため、このような早い段階で起動しておく必要がある。
【００２８】
このようにして起動させたロータリポンプ（ＲＰ）９、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８および油拡散ポンプ（ＤＰ）６は、後述するように、基本的には真空排気システムの運転停止指令が入力されるまで起動し続ける。
【００２９】
次に、フォアラインバルブ（ＦＶ）７を閉じ（ステップＳ５）、次いで、ラフバルブ（ＲＶ）４を開き（ステップＳ６）、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８およびロータリポンプ（ＲＰ）９を用いて低真空排気路を介してチャンバ１内の粗排気を行う。この時、チャンバ１内の圧力はチャンバ内真空計（ＰＩＣ）２で検知され、チャンバ１内の圧力情報が制御装置２０に伝達される。制御装置２０では、この情報をもとにチャンバ１内の圧力が第１のセットポイントよりも小さいか否かを判定する（ステップＳ７）。第１のセットポイントの値は任意であり、チャンバ１内の容積等によっても変わってくるが、例えば油拡散ポンプ（ＤＰ）６の性能に合わせて設定される。
【００３０】
チャンバ１内の圧力が第１のセットポイントよりも大きい場合には、チャンバ１内の粗排気が引き続き行われるとともに、ステップＳ７に戻って再度判定が行われる。一方、チャンバ１内の圧力が第１のセットポイントよりも小さいあるいは前粗排気によって小さくなった場合には、ラフバルブ（ＲＶ）４を閉じる（ステップＳ８）。
【００３１】
続いて、フォアラインバルブ（ＦＶ）７を開き（ステップＳ９）、次いでメインバルブ（ＭＶ）５を開く（ステップＳ１０）。それにより、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８およびロータリポンプ（ＲＰ）９を用いてチャンバ１内の粗排気を行う低真空排気路から、油拡散ポンプ（ＤＰ）６を用いてチャンバ１内の本排気を行う高真空排気路に切り替えが行われ、その結果、チャンバ１内の真空度がさらに高められる。
【００３２】
次に、高真空状態となったチャンバ１内においてワークの加工を行い（ステップＳ１１）、次いで、ワークの加工が終了したか否かを判定する（ステップＳ１２）。加工が終了していない場合には、ステップＳ１１に戻って引き続きワークの加工を行う。一方、加工が終了した場合には、メインバルブ（ＭＶ）５を閉じ（ステップＳ１３）、次いでリークバルブ（ＬＶＣ）３を開いてチャンバ１内に大気を導入する（ステップＳ１４）。
【００３３】
次に、真空排気システムの運転停止指令が入力されたか否かを制御装置２０が判定する（ステップＳ１５）。運転停止指令が入力された場合には、メインバルブ（ＭＶ）５を閉じて油拡散ポンプ（ＤＰ）６を停止し、その後、フォアラインバルブ（ＦＶ）７を閉めるとともに、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８およびロータリポンプ（ＲＰ）９をこの順で停止してシステムの運転停止操作を行い（ステップＳ１６Ａ）、運転を停止する。例えば、週末などにおいては、このようにして運転を停止する。
【００３４】
ところで、真空排気システムにおいては、１バッチ終了後にチャンバ１内のワークを交換し、その後、引き続きシステムを運転して繰り返しワークの加工を行うのが通常である。このように引き続きシステムを運転する場合には、運転停止指令は入力されない。この場合、リークバルブ（ＬＶＣ）３を開くことにより開くことが可能となったチャンバ１の扉を作業員が開いてワークの交換を行うとともに必要に応じてメンテナンスや清掃を行う。そして、再び扉を閉じた後、作業員が加工開始操作を行う。以下に、ワークの交換時における流れについて説明する。
【００３５】
チャンバ１の扉の開閉動作は制御装置２０により検知されており、チャンバ１の扉が開いたか否かを制御装置２０が判定する（ステップＳ１６）。チャンバ１の扉が開くと、油拡散ポンプ（ＤＰ）６およびロータリポンプ（ＲＰ）９は起動したままで待機状態となるが、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８は停止する（ステップＳ１７）。この状態で、ワークの交換、メンテナンス、清掃が行われる。なお、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８は、ロータリポンプ（ＲＰ）９の加速用のポンプであるため、停止させても支障は生じない。また、チャンバ１の扉が開いていない場合には、ステップＳ１５に戻って、再度、運転停止指令が入力されたか否かの判定が行われる。このように、本実施の形態においては、チャンバ１の扉を開けた状態において、従来は起動させていたメカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８を停止させるため、エネルギーの浪費を抑制することが可能となる。
【００３６】
上記のようにメカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８を停止してチャンバ１の扉を開いている間、油拡散ポンプ（ＤＰ）６およびロータリポンプ（ＲＰ）９は起動したままの状態である。ところで、油拡散ポンプ（ＤＰ）６は、起動時における背圧の適正範囲が決まっており、背圧をこの範囲内に保って使用する必要がある。一般に、油拡散ポンプ（ＤＰ）６の適正背圧は、０．１〜７０Ｐａの範囲である。メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８を停止させても、ロータリポンプ（ＲＰ）９が起動していれば、通常、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８には停止中でも気流通路が存在するため、油拡散ポンプ（ＤＰ）６の背圧を適正範囲内に保つことが可能である。しかしながら、ロータリポンプ（ＲＰ）９が起動していても、油拡散ポンプ（ＤＰ）６の背圧が適正範囲よりも上昇する場合がある。この場合、背圧が上記適正範囲内となるように、以下の方法により背圧を制御する。
【００３７】
ここでは、排気管内真空計（ＰＩＲ）１０により、油拡散ポンプ（ＤＰ）６の背圧を検知し、油拡散ポンプ（ＤＰ）６の背圧情報が制御装置２０に伝達される。制御装置２０では、この情報をもとに、油拡散ポンプ（ＤＰ）６の背圧が適正範囲内であるか否かを判定する（ステップＳ１８）。背圧が適正範囲内である場合には、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８を停止させたままとする。一方、背圧が適正範囲を外れる場合、例えば適正範囲よりも高くなった場合には、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８を起動させ、それにより、油拡散ポンプ（ＤＰ）６の背圧を下げる（ステップＳ１８Ａ）。メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８の起動により油拡散ポンプ（ＤＰ）６の背圧が下がったら（フローチャートでは省略）、再びステップＳ１７に戻って、再度、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８が停止する。
【００３８】
ワークの交換、メンテナンス、清掃が終了した後、作業員がチャンバ１の扉を閉じるとともに、加工開始指令を入力する。すると、チャンバ１の扉が閉じたか否かを制御装置２０が判定し（ステップＳ１９）、さらに、加工開始指令が入力されたか否かを制御装置２０が判定する（ステップＳ２０）。なお、チャンバ１の扉が閉じられていない場合および加工開始指令が入力されていない場合においては、ステップ１５に戻って、再度、運転停止指令が入力されたか否かの判定が行われる。
【００３９】
上記のようにしてチャンバ１の扉が閉じたことが確認されて加工開始操作がなされた後、リークバルブ（ＬＶＣ）３を閉じるとともに（ステップＳ２１）、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８を起動させる（ステップＳ２２）。そして、再びステップＳ５に戻り、ステップＳ５〜ステップＳ２２の動作が繰り返し行われる。
【００４０】
以上のような真空排気システムの運転方法によれば、チャンバ１の扉を開けてワーク交換、メンテナンス、清掃を行う際に、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８を停止させるため、ワークの加工処理以外における機器稼働分のエネルギーの浪費、具体的には電力の浪費を抑制することが可能となる。この場合、油拡散ポンプ（ＤＰ）６の背圧を適正範囲に保つことが可能であるため、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８を停止させることによりシステムに支障が生じることはない。したがって、この運転方法によれば、システムの運転コストの上昇を抑制することが可能となる。このような省エネルギー効果は、ワーク交換、メンテナンス、清掃にかかる時間が長いほど効果が大きく、例えば、１０分以上時間がかかる場合には効果が得られる。
（実施の形態２）
図３は、本発明の実施の形態２に係る真空排気システムの構成を模式的に示す機能ブロック図であり、図４は、図３の真空排気システムの制御装置２０に格納された制御プログラムの内容を示すフローチャートである。
【００４１】
図３に示すように、本実施の形態の真空排気システムは、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８をバイパスするように、フォアラインバルブ（ＦＶ）７下流の配管３６とロータリポンプ（ＲＰ）９上流の配管３７とにバイパス配管３８が接続されるとともに、このバイパス配管３８にバイパスバルブ（ＢＶ）１１が設けられた点を除いて、実施の形態１と同様の構成を有する。
【００４２】
図４に示すように、この真空排気システムは、実施の形態１において前述した運転方法と同様の方法により運転される。それにより、実施の形態１において前述した効果と同様の効果が得られる。
【００４３】
ところで、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８が通気性の悪い構造を有する場合、停止したメカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８は、ロータリポンプ（ＲＰ）９の排気にとって負荷となり、排気機能の妨げとなる。ロータリポンプ（ＲＰ）９の排気機能が低下すると、油拡散ポンプ（ＤＰ）６の背圧が上昇するので好ましくない。このような場合には、チャンバ１の扉を開くとともにメカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８を停止させた後、バイパスバルブ（ＢＶ）１１を開く（ステップＳ１７Ａ）。すると、バイパス配管３８を通じて、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８をバイパスしてロータリポンプ（ＲＰ）９へ排気することが可能となるため、ロータリポンプ（ＲＰ）９の排気機能の低下を防止することができ、油拡散ポンプ（ＤＰ）６の背圧の上昇を抑制することが可能となる。チャンバ１の扉を閉じて加工を開始する際には、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８を起動させた後、バイパスバルブ（ＢＶ）１１を閉じる（ステップＳ２３）。
【００４４】
次に、本発明に係る真空排気システムを用いた実施例について説明する。
（実施例）
実施例においては、図１に示す構成を有する真空排気システムを備えた光通信用光学膜フィルタ（ＮＢＰＦ）製造装置（新明和工業株式会社製）を用いた。この装置の真空排気システムは、以下のポンプを構成要素として有する。
【００４５】
・ロータリポンプ（ＲＰ）：アルバック製 VS1501 （１台）
・メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）：アルバック製 PRC-012A （１台）
・油拡散ポンプ（ＤＰ）：芝浦エレテック製 ESV-22S(L) （２台）
なお、２台の油拡散ポンプ（ＤＰ）は、並列に配置されている。
【００４６】
上記の光学膜フィルタ製造装置において、チャンバの扉を開けた状態で、１時間、実施の形態１のようにロータリポンプ（ＲＰ）および油拡散ポンプ（ＤＰ）のみを起動させメカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）を停止させた場合の消費電力と、従来のように上記３つのポンプを起動させた場合の消費電力とを比較した。ここでは、油拡散ポンプ（ＤＰ）の背圧を３０Ｐａ以下に保持した。
【００４７】
ロータリポンプ（ＲＰ）の消費電力は５．５ｋＷであり、油拡散ポンプ（ＤＰ）の消費電力は１５．０ｋＷであり、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）の消費電力は３．７ｋＷであることから、実施の形態１のようにメカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）を停止させた場合には、３つのポンプを起動させる従来の場合に比べて、消費電力が３．７／（５．５＋１５．０＋３．７）×１００＝１５．３（％）減少した。このように、実施の形態１の方法によれば、省エネルギー化が図られることが分かった。
【００４８】
【発明の効果】
本発明は、以上に説明したような形態で実施され、以下のような効果を奏する。
（１）ワークの加工処理以外の操作時におけるエネルギーの浪費を抑制することが可能となるため、真空排気システムの運転コストの低減化を図ることが可能となる。
（２）油拡散ポンプの背圧を検知する真空計が前記排気路に配設され、制御装置は、真空計で検知された油拡散ポンプの背圧が所定範囲からはずれた場合にメカニカルブースタポンプを再起動させるとともに、背圧が所定範囲内となった場合にメカニカルブースタポンプを停止させるとすると、油拡散ポンプの背圧を所定の適正範囲内に保つことが可能となり、よって、支障を生じることなく油拡散ポンプを起動させることができる。また、油拡散ポンプの背圧が所定範囲から外れた際にのみメカニカルブースタポンプを起動させるため、油拡散ポンプの背圧が所定範囲の際も含めてメカニカルブースタポンプを起動させる場合に比べて、エネルギーの浪費を抑えることが可能となる。
（３）メカニカルブースタポンプをバイパスして油拡散ポンプとロータリポンプとを連結するバイパス経路が排気路に接続されるとすると、バイパス経路を通して油拡散ポンプからロータリポンプに排気を行うことが可能となるため、停止したメカニカルブースタポンプが排気の妨げとなるのを防止することが可能となり、それゆえ、油拡散ポンプの背圧の上昇を抑制することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１にかかる真空排気システムの構成を模式的に示す機能ブロック図である。
【図２】図１の真空排気システムの制御装置に格納された制御プログラムの内容を示すフローチャートである。
【図３】本発明の実施の形態２に係る真空排気システムの構成を模式的に示す機能ブロック図である。
【図４】図３の真空排気システムの制御装置に格納された制御プログラムの内容を示すフローチャートである。
【符号の説明】
１ 真空チャンバ
２ チャンバ内真空計
３ リークバルブ
４ ラフバルブ
５ メインバルブ
６ 油拡散ポンプ
７ フォアラインバルブ
８ メカニカルブースタポンプ
９ ロータリポンプ
１０排気管内真空計
１１バイパスバルブ
２０制御装置
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空排気システムおよびその運転方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
真空排気システムとして、チャンバの内部に連通するように排気路が設けら、この排気路に、上流側から順に、メインバルブ、油拡散ポンプ、メカニカルブースタポンプおよびロータリポンプが設けられた構成を有するものがある。
【０００３】
通常、上記の構成を有する真空排気システムにおいて、チャンバ内のワークの交換、メンテナンスおよび内部の清掃を行う際には、メインバルブを閉じた状態において別途設けたリークバルブを開いてチャンバ内に大気を導入するのであるが、その場合、油拡散ポンプ、メカニカルブースタポンプおよびロータリポンプを起動させたままの状態でチャンバの扉を開け、内部を開放して作業を行う。これは、油拡散ポンプを一旦停止すると、再起動するのに長時間を要するため、通常は一旦起動させると停止させないのが作業効率上望ましく、また、油拡散ポンプの運転中は、その構造上、背圧をロータリポンプ等で所定範囲まで下げておかなければ油が上流側に逆流するという不具合を防止するためになされる措置である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
油拡散ポンプ、メカニカルブースタポンプおよびロータリポンプを起動させたままでチャンバ内を開放すると、これらのポンプは起動したまま待機することになるため、この間の機器稼働分のエネルギー（例えば電力）が浪費されることとなる。
【０００５】
チャンバ内を開放している時間が短い場合には、浪費されるエネルギーが少ないのでシステムの運転コストに与える影響は小さいが、１０分以上開放する場合には、浪費されるエネルギーの量が多くなるため、システムの運転コストの上昇につながる。特に、光通信における光合波器や光分波器に使用する光学膜フィルタ製造用の光学成膜装置に使用される真空排気システムでは、ワーク交換、メンテナンスおよび内部の清掃に時間がかかる（約１時間〜３時間程度）ため、エネルギーの浪費が大きい。
【０００６】
本発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、エネルギーの浪費を抑えることにより運転コストの低減化を図ることが可能な真空排気システムおよびその運転方法を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る真空排気システムおよびその運転方法は、扉を有するチャンバの内部に連通するように排気路が配設され、前記排気路に上流側から順に油拡散ポンプ、メカニカルブースタポンプおよびロータリポンプが配設されるとともに、少なくとも前記メカニカルブースタポンプを制御する制御装置が配設された真空排気システムであって、前記油拡散ポンプおよび前記ロータリポンプの起動中に、前記制御装置は、前記チャンバの扉が開いた状態で前記メカニカルブースタポンプを停止させるものである（請求項１，４）。
【０００８】
かかる構成によれば、チャンバの扉が開いた状態においてはメカニカルブースタポンプを停止する。通常、メカニカルブースタポンプは、停止中でも気流通路が存在するため、油拡散ポンプ下流側に必要な背圧はロータリポンプが運転し続けることによって保つことができる。したがって、メカニカルブースタポンプが停止する分、ワークの加工処理以外の操作時におけるエネルギーの浪費を抑制することが可能となる。それにより、真空排気システムの運転コストの低減化を図ることが可能となる。
【０００９】
前記油拡散ポンプの背圧を検知する真空計が前記排気路に配設され、前記制御装置は、前記真空計で検知された前記油拡散ポンプの背圧が所定範囲からはずれた場合に前記メカニカルブースタポンプを再起動させるとともに、前記背圧が所定範囲内となった場合に前記メカニカルブースタポンプを停止させることが好ましい（請求項２，５）。
【００１０】
かかる構成によれば、油拡散ポンプの背圧を所定の適正範囲内に保つことが可能となる。ところで、油拡散ポンプは、前述の通り、運転時における適正背圧の範囲が決まっており、この範囲内で使用する必要がある。このため、上記のように油拡散ポンプの背圧を所定の適正範囲内に保つことが可能であれば、支障を生じることなく油拡散ポンプを運転させることができる。
【００１１】
また、この場合には、油拡散ポンプの背圧が所定範囲から外れた際にのみメカニカルブースタポンプを起動させるため、油拡散ポンプの背圧が所定範囲の際も含めてメカニカルブースタポンプを起動させる場合に比べて、エネルギーの浪費を抑えることが可能となる。
【００１２】
前記メカニカルブースタポンプをバイパスして前記油拡散ポンプと前記ロータリポンプとを連結するバイパス経路が前記排気路に接続されてもよい（請求項３，６）。
【００１３】
かかる構成によれば、バイパス経路を通して油拡散ポンプからロータリポンプに排気を行うことが可能となるため、停止したメカニカルブースタポンプが排気の妨げとなるのを防止することが可能となる。このため、油拡散ポンプの背圧の上昇を抑制することが可能となる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。
（実施の形態１）
図１は本発明の実施の形態１に係る真空排気システムの構成を模式的に示す機能ブロック図である。
【００１５】
図１に示すように、真空排気システムは、チャンバ１と、チャンバ内真空計（ＰＩＣ）２と、油拡散ポンプ（ＤＰ）６と、排気管内真空計（ＰＩＲ）１０と、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８と、ロータリポンプ（ＲＰ）９と、制御装置２０とを主な構成要素として含んでいる。
【００１６】
チャンバ１には、リークバルブ（ＬＶＣ）３が設けられた吸気用配管３１が接続されるとともに、排気用配管３２が接続されている。この排気用配管３２は、配管３３と配管３４とに分岐している。配管３３にはラフバルブ（ＲＶ）４が設けられている。配管３４には、上流側から順にメインバルブ（ＭＶ）５、油拡散ポンプ（ＤＰ）６およびフォアラインバルブ（ＦＶ）７が設けられている。配管３３と配管３４とは合流点３５において合流し、さらに配管３６に接続されている。そして、配管３６はメカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８に接続されており、さらにメカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８にロータリポンプ（ＲＰ）９が配管３７により接続されている。
【００１７】
リークバルブ（ＬＶＣ）３、ラフバルブ（ＲＶ）４、メインバルブ（ＭＶ）５およびフォアラインバルブ（ＦＶ）７の開閉動作、ならびに油拡散ポンプ（ＤＰ）６、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８およびロータリポンプ（ＲＰ）９の起動および停止動作は、制御装置２０により制御される。
【００１８】
メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８は、ロータリポンプ（ＲＰ）９の排気時間を短縮するための加速用に用いるポンプである。ロータリポンプ（ＲＰ）９とメカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８とを起動してチャンバ１内の大気を吸引することにより、チャンバ１内がある程度の真空状態となる。このように、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８およびロータリポンプ（ＲＰ）９は、チャンバ１内の粗排気に利用される低真空ポンプである。
【００１９】
一方、油拡散ポンプ（ＤＰ）６は、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８およびロータリポンプ（ＲＰ）９によりある程度真空状態となったチャンバ１内からさらに大気を吸引し、チャンバ１内をより真空度の高い状態とするものである。このように、油拡散ポンプ（ＤＰ）６は、チャンバ１内の本排気に利用される高真空ポンプである。
【００２０】
チャンバ１は、その内部においてワークを加工するためのものであり、ワークを出し入れするための扉（図示せず）を有している。チャンバ１内のワークは、１回の加工工程（これを１バッチと呼ぶ）終了毎に交換する。また、１バッチ終了後あるいは数バッチ繰り返した後に、チャンバ１の内部の清掃やメンテナンスを行う。
【００２１】
チャンバ内真空計（ＰＩＣ）２は、チャンバ１内の圧力を検知するものである。これにより検知されたチャンバ１内の圧力情報は、制御装置２０に伝達される。
【００２２】
排気管内真空計（ＰＩＲ）１０は、油拡散ポンプ（ＤＰ）６の背圧、ここでは配管３４中の圧力を検知するものである。これにより検知された油拡散ポンプ（ＤＰ）６の背圧情報は、制御装置２０に伝達される。
【００２３】
以上のような構成を有する真空排気システムにおいては、排気用配管３２、配管３３，３６，３７、ラフバルブ（ＲＶ）４、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８およびロータリポンプ（ＲＰ）９によりチャンバ１内の粗排気を行うための排気路、すなわち低真空排気路が形成される。また、排気用配管３２、配管３４，３６，３７、メインバルブ（ＭＶ）５、油拡散ポンプ（ＤＰ）６、フォアラインバルブ（ＦＶ）７、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８およびロータリポンプ（ＲＰ）９によりチャンバ１内の本排気を行うための排気路、すなわち高真空排気路が形成される。
【００２４】
次に、以上のように構成された真空排気システムの運転方法を図２を参照しながら説明する。
【００２５】
図２は、図１の真空排気システムの制御装置２０に格納された制御プログラムの内容を示すフローチャートである。
【００２６】
真空排気システムの運転時には、まず、チャンバ１の扉を開いてチャンバ１内に加工対象たるワークを配置する。そして、図２に示すように、運転が停止した状態、すなわち全てのポンプが停止するとともに全てのバルブが閉じられた状態の真空排気システムの始動スイッチ（図示せず）をオン操作すると、制御装置２０に運転開始指令が入力され、真空排気システムの運転がスタートして以下の動作が行われる。
【００２７】
制御装置２０は、真空排気システムが始動すると、まず、ロータリポンプ（ＲＰ）９を起動し（ステップＳ１）、次いでメカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８を起動する（ステップＳ２）。次にフォアラインバルブ（ＦＶ）７を開き（ステップＳ３）、次いで油拡散ポンプ（ＤＰ）６を起動する（ステップＳ４）。油拡散ポンプ（ＤＰ）６は起動してから実際に作動するまでに時間がかかるため、このような早い段階で起動しておく必要がある。
【００２８】
このようにして起動させたロータリポンプ（ＲＰ）９、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８および油拡散ポンプ（ＤＰ）６は、後述するように、基本的には真空排気システムの運転停止指令が入力されるまで起動し続ける。
【００２９】
次に、フォアラインバルブ（ＦＶ）７を閉じ（ステップＳ５）、次いで、ラフバルブ（ＲＶ）４を開き（ステップＳ６）、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８およびロータリポンプ（ＲＰ）９を用いて低真空排気路を介してチャンバ１内の粗排気を行う。この時、チャンバ１内の圧力はチャンバ内真空計（ＰＩＣ）２で検知され、チャンバ１内の圧力情報が制御装置２０に伝達される。制御装置２０では、この情報をもとにチャンバ１内の圧力が第１のセットポイントよりも小さいか否かを判定する（ステップＳ７）。第１のセットポイントの値は任意であり、チャンバ１内の容積等によっても変わってくるが、例えば油拡散ポンプ（ＤＰ）６の性能に合わせて設定される。
【００３０】
チャンバ１内の圧力が第１のセットポイントよりも大きい場合には、チャンバ１内の粗排気が引き続き行われるとともに、ステップＳ７に戻って再度判定が行われる。一方、チャンバ１内の圧力が第１のセットポイントよりも小さいあるいは前粗排気によって小さくなった場合には、ラフバルブ（ＲＶ）４を閉じる（ステップＳ８）。
【００３１】
続いて、フォアラインバルブ（ＦＶ）７を開き（ステップＳ９）、次いでメインバルブ（ＭＶ）５を開く（ステップＳ１０）。それにより、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８およびロータリポンプ（ＲＰ）９を用いてチャンバ１内の粗排気を行う低真空排気路から、油拡散ポンプ（ＤＰ）６を用いてチャンバ１内の本排気を行う高真空排気路に切り替えが行われ、その結果、チャンバ１内の真空度がさらに高められる。
【００３２】
次に、高真空状態となったチャンバ１内においてワークの加工を行い（ステップＳ１１）、次いで、ワークの加工が終了したか否かを判定する（ステップＳ１２）。加工が終了していない場合には、ステップＳ１１に戻って引き続きワークの加工を行う。一方、加工が終了した場合には、メインバルブ（ＭＶ）５を閉じ（ステップＳ１３）、次いでリークバルブ（ＬＶＣ）３を開いてチャンバ１内に大気を導入する（ステップＳ１４）。
【００３３】
次に、真空排気システムの運転停止指令が入力されたか否かを制御装置２０が判定する（ステップＳ１５）。運転停止指令が入力された場合には、メインバルブ（ＭＶ）５を閉じて油拡散ポンプ（ＤＰ）６を停止し、その後、フォアラインバルブ（ＦＶ）７を閉めるとともに、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８およびロータリポンプ（ＲＰ）９をこの順で停止してシステムの運転停止操作を行い（ステップＳ１６Ａ）、運転を停止する。例えば、週末などにおいては、このようにして運転を停止する。
【００３４】
ところで、真空排気システムにおいては、１バッチ終了後にチャンバ１内のワークを交換し、その後、引き続きシステムを運転して繰り返しワークの加工を行うのが通常である。このように引き続きシステムを運転する場合には、運転停止指令は入力されない。この場合、リークバルブ（ＬＶＣ）３を開くことにより開くことが可能となったチャンバ１の扉を作業員が開いてワークの交換を行うとともに必要に応じてメンテナンスや清掃を行う。そして、再び扉を閉じた後、作業員が加工開始操作を行う。以下に、ワークの交換時における流れについて説明する。
【００３５】
チャンバ１の扉の開閉動作は制御装置２０により検知されており、チャンバ１の扉が開いたか否かを制御装置２０が判定する（ステップＳ１６）。チャンバ１の扉が開くと、油拡散ポンプ（ＤＰ）６およびロータリポンプ（ＲＰ）９は起動したままで待機状態となるが、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８は停止する（ステップＳ１７）。この状態で、ワークの交換、メンテナンス、清掃が行われる。なお、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８は、ロータリポンプ（ＲＰ）９の加速用のポンプであるため、停止させても支障は生じない。また、チャンバ１の扉が開いていない場合には、ステップＳ１５に戻って、再度、運転停止指令が入力されたか否かの判定が行われる。このように、本実施の形態においては、チャンバ１の扉を開けた状態において、従来は起動させていたメカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８を停止させるため、エネルギーの浪費を抑制することが可能となる。
【００３６】
上記のようにメカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８を停止してチャンバ１の扉を開いている間、油拡散ポンプ（ＤＰ）６およびロータリポンプ（ＲＰ）９は起動したままの状態である。ところで、油拡散ポンプ（ＤＰ）６は、起動時における背圧の適正範囲が決まっており、背圧をこの範囲内に保って使用する必要がある。一般に、油拡散ポンプ（ＤＰ）６の適正背圧は、０．１〜７０Ｐａの範囲である。メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８を停止させても、ロータリポンプ（ＲＰ）９が起動していれば、通常、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８には停止中でも気流通路が存在するため、油拡散ポンプ（ＤＰ）６の背圧を適正範囲内に保つことが可能である。しかしながら、ロータリポンプ（ＲＰ）９が起動していても、油拡散ポンプ（ＤＰ）６の背圧が適正範囲よりも上昇する場合がある。この場合、背圧が上記適正範囲内となるように、以下の方法により背圧を制御する。
【００３７】
ここでは、排気管内真空計（ＰＩＲ）１０により、油拡散ポンプ（ＤＰ）６の背圧を検知し、油拡散ポンプ（ＤＰ）６の背圧情報が制御装置２０に伝達される。制御装置２０では、この情報をもとに、油拡散ポンプ（ＤＰ）６の背圧が適正範囲内であるか否かを判定する（ステップＳ１８）。背圧が適正範囲内である場合には、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８を停止させたままとする。一方、背圧が適正範囲を外れる場合、例えば適正範囲よりも高くなった場合には、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８を起動させ、それにより、油拡散ポンプ（ＤＰ）６の背圧を下げる（ステップＳ１８Ａ）。メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８の起動により油拡散ポンプ（ＤＰ）６の背圧が下がったら（フローチャートでは省略）、再びステップＳ１７に戻って、再度、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８が停止する。
【００３８】
ワークの交換、メンテナンス、清掃が終了した後、作業員がチャンバ１の扉を閉じるとともに、加工開始指令を入力する。すると、チャンバ１の扉が閉じたか否かを制御装置２０が判定し（ステップＳ１９）、さらに、加工開始指令が入力されたか否かを制御装置２０が判定する（ステップＳ２０）。なお、チャンバ１の扉が閉じられていない場合および加工開始指令が入力されていない場合においては、ステップ１５に戻って、再度、運転停止指令が入力されたか否かの判定が行われる。
【００３９】
上記のようにしてチャンバ１の扉が閉じたことが確認されて加工開始操作がなされた後、リークバルブ（ＬＶＣ）３を閉じるとともに（ステップＳ２１）、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８を起動させる（ステップＳ２２）。そして、再びステップＳ５に戻り、ステップＳ５〜ステップＳ２２の動作が繰り返し行われる。
【００４０】
以上のような真空排気システムの運転方法によれば、チャンバ１の扉を開けてワーク交換、メンテナンス、清掃を行う際に、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８を停止させるため、ワークの加工処理以外における機器稼働分のエネルギーの浪費、具体的には電力の浪費を抑制することが可能となる。この場合、油拡散ポンプ（ＤＰ）６の背圧を適正範囲に保つことが可能であるため、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８を停止させることによりシステムに支障が生じることはない。したがって、この運転方法によれば、システムの運転コストの上昇を抑制することが可能となる。このような省エネルギー効果は、ワーク交換、メンテナンス、清掃にかかる時間が長いほど効果が大きく、例えば、１０分以上時間がかかる場合には効果が得られる。
（実施の形態２）
図３は、本発明の実施の形態２に係る真空排気システムの構成を模式的に示す機能ブロック図であり、図４は、図３の真空排気システムの制御装置２０に格納された制御プログラムの内容を示すフローチャートである。
【００４１】
図３に示すように、本実施の形態の真空排気システムは、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８をバイパスするように、フォアラインバルブ（ＦＶ）７下流の配管３６とロータリポンプ（ＲＰ）９上流の配管３７とにバイパス配管３８が接続されるとともに、このバイパス配管３８にバイパスバルブ（ＢＶ）１１が設けられた点を除いて、実施の形態１と同様の構成を有する。
【００４２】
図４に示すように、この真空排気システムは、実施の形態１において前述した運転方法と同様の方法により運転される。それにより、実施の形態１において前述した効果と同様の効果が得られる。
【００４３】
ところで、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８が通気性の悪い構造を有する場合、停止したメカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８は、ロータリポンプ（ＲＰ）９の排気にとって負荷となり、排気機能の妨げとなる。ロータリポンプ（ＲＰ）９の排気機能が低下すると、油拡散ポンプ（ＤＰ）６の背圧が上昇するので好ましくない。このような場合には、チャンバ１の扉を開くとともにメカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８を停止させた後、バイパスバルブ（ＢＶ）１１を開く（ステップＳ１７Ａ）。すると、バイパス配管３８を通じて、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８をバイパスしてロータリポンプ（ＲＰ）９へ排気することが可能となるため、ロータリポンプ（ＲＰ）９の排気機能の低下を防止することができ、油拡散ポンプ（ＤＰ）６の背圧の上昇を抑制することが可能となる。チャンバ１の扉を閉じて加工を開始する際には、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）８を起動させた後、バイパスバルブ（ＢＶ）１１を閉じる（ステップＳ２３）。
【００４４】
次に、本発明に係る真空排気システムを用いた実施例について説明する。
（実施例）
実施例においては、図１に示す構成を有する真空排気システムを備えた光通信用光学膜フィルタ（ＮＢＰＦ）製造装置（新明和工業株式会社製）を用いた。この装置の真空排気システムは、以下のポンプを構成要素として有する。
【００４５】
・ロータリポンプ（ＲＰ）：アルバック製 VS1501 （１台）
・メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）：アルバック製 PRC-012A （１台）
・油拡散ポンプ（ＤＰ）：芝浦エレテック製 ESV-22S(L) （２台）
なお、２台の油拡散ポンプ（ＤＰ）は、並列に配置されている。
【００４６】
上記の光学膜フィルタ製造装置において、チャンバの扉を開けた状態で、１時間、実施の形態１のようにロータリポンプ（ＲＰ）および油拡散ポンプ（ＤＰ）のみを起動させメカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）を停止させた場合の消費電力と、従来のように上記３つのポンプを起動させた場合の消費電力とを比較した。ここでは、油拡散ポンプ（ＤＰ）の背圧を３０Ｐａ以下に保持した。
【００４７】
ロータリポンプ（ＲＰ）の消費電力は５．５ｋＷであり、油拡散ポンプ（ＤＰ）の消費電力は１５．０ｋＷであり、メカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）の消費電力は３．７ｋＷであることから、実施の形態１のようにメカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）を停止させた場合には、３つのポンプを起動させる従来の場合に比べて、消費電力が３．７／（５．５＋１５．０＋３．７）×１００＝１５．３（％）減少した。このように、実施の形態１の方法によれば、省エネルギー化が図られることが分かった。
【００４８】
【発明の効果】
本発明は、以上に説明したような形態で実施され、以下のような効果を奏する。
（１）ワークの加工処理以外の操作時におけるエネルギーの浪費を抑制することが可能となるため、真空排気システムの運転コストの低減化を図ることが可能となる。
（２）油拡散ポンプの背圧を検知する真空計が前記排気路に配設され、制御装置は、真空計で検知された油拡散ポンプの背圧が所定範囲からはずれた場合にメカニカルブースタポンプを再起動させるとともに、背圧が所定範囲内となった場合にメカニカルブースタポンプを停止させるとすると、油拡散ポンプの背圧を所定の適正範囲内に保つことが可能となり、よって、支障を生じることなく油拡散ポンプを起動させることができる。また、油拡散ポンプの背圧が所定範囲から外れた際にのみメカニカルブースタポンプを起動させるため、油拡散ポンプの背圧が所定範囲の際も含めてメカニカルブースタポンプを起動させる場合に比べて、エネルギーの浪費を抑えることが可能となる。
（３）メカニカルブースタポンプをバイパスして油拡散ポンプとロータリポンプとを連結するバイパス経路が排気路に接続されるとすると、バイパス経路を通して油拡散ポンプからロータリポンプに排気を行うことが可能となるため、停止したメカニカルブースタポンプが排気の妨げとなるのを防止することが可能となり、それゆえ、油拡散ポンプの背圧の上昇を抑制することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１にかかる真空排気システムの構成を模式的に示す機能ブロック図である。
【図２】図１の真空排気システムの制御装置に格納された制御プログラムの内容を示すフローチャートである。
【図３】本発明の実施の形態２に係る真空排気システムの構成を模式的に示す機能ブロック図である。
【図４】図３の真空排気システムの制御装置に格納された制御プログラムの内容を示すフローチャートである。
【符号の説明】
１ 真空チャンバ
２ チャンバ内真空計
３ リークバルブ
４ ラフバルブ
５ メインバルブ
６ 油拡散ポンプ
７ フォアラインバルブ
８ メカニカルブースタポンプ
９ ロータリポンプ
１０排気管内真空計
１１バイパスバルブ
２０制御装置
Claims (6)
- 扉を有するチャンバの内部に連通するように排気路が配設され、前記排気路に上流側から順に油拡散ポンプ、メカニカルブースタポンプおよびロータリポンプが配設されるとともに、少なくとも前記メカニカルブースタポンプを制御する制御装置が配設された真空排気システムであって、
前記制御装置は、前記油拡散ポンプおよび前記ロータリポンプの起動中に、前記チャンバの扉が開いた状態で前記メカニカルブースタポンプを停止させることを特徴とする真空排気システム。 - 前記油拡散ポンプの背圧を検知する真空計が前記排気路に配設され、前記制御装置は、前記真空計で検知された前記油拡散ポンプの背圧が所定範囲からはずれた場合に前記メカニカルブースタポンプを再起動させるとともに、前記背圧が所定範囲内となった場合に前記メカニカルブースタポンプを停止させる請求項１記載の真空排気システム。
- 前記メカニカルブースタポンプをバイパスして前記油拡散ポンプと前記ロータリポンプとを連結するバイパス経路が前記排気路に接続された請求項１記載の真空排気システム。
- 扉を有するチャンバの内部に連通するように排気路が配設され、前記排気路に上流側から順に油拡散ポンプ、メカニカルブースタポンプおよびロータリポンプが配設されるとともに、少なくとも前記メカニカルブースタポンプを制御する制御装置が配設された真空排気システムの運転方法であって、
前記制御装置は、前記油拡散ポンプおよび前記ロータリポンプの起動中に、前記チャンバの扉が開いた状態で前記メカニカルブースタポンプを停止させることを特徴とする真空排気システムの運転方法。 - 前記油拡散ポンプの背圧を検知する真空計が前記排気路に配設され、前記制御装置は、前記真空計で検知された前記油拡散ポンプの背圧が所定範囲からはずれた場合に前記メカニカルブースタポンプを再起動させるとともに、前記背圧が所定範囲内となった場合に前記メカニカルブースタポンプを停止させる請求項４記載の真空排気システムの運転方法。
- 前記メカニカルブースタポンプをバイパスして前記油拡散ポンプと前記ロータリポンプとを連結するバイパス経路が前記排気路に接続され、前記メカニカルブースタポンプを停止した際に、前記バイパス経路を通じて前記油拡散ポンプから前記ロータリポンプへ排気を行う請求項４記載の真空排気システムの運転方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002069725A JP4136405B2 (ja) | 2002-03-14 | 2002-03-14 | 真空排気システムおよびその運転方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002069725A JP4136405B2 (ja) | 2002-03-14 | 2002-03-14 | 真空排気システムおよびその運転方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003269354A JP2003269354A (ja) | 2003-09-25 |
| JP4136405B2 true JP4136405B2 (ja) | 2008-08-20 |
Family
ID=29200485
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002069725A Expired - Fee Related JP4136405B2 (ja) | 2002-03-14 | 2002-03-14 | 真空排気システムおよびその運転方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4136405B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4811719B2 (ja) * | 2006-04-19 | 2011-11-09 | 株式会社島津製作所 | 液晶注入装置 |
| CN105971885B (zh) * | 2016-06-30 | 2017-07-25 | 中国大唐集团科学技术研究院有限公司华东分公司 | 一种水环真空泵监测控制系统及优化运行方法 |
| CN107795454B (zh) * | 2017-09-12 | 2018-11-23 | 广州嘉诺工业技术有限公司 | 一种风力发电机液体弹簧抽真空保压装置 |
-
2002
- 2002-03-14 JP JP2002069725A patent/JP4136405B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2003269354A (ja) | 2003-09-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3822675B2 (ja) | 真空室を迅速に排気するための装置 | |
| TWI503481B (zh) | A vacuum venting device and a vacuum venting method, and a substrate processing device | |
| JP2012136943A (ja) | 無給油式スクリュー圧縮機 | |
| JP2006322405A (ja) | 真空排気システム | |
| JP4136405B2 (ja) | 真空排気システムおよびその運転方法 | |
| JP2004052759A (ja) | 真空ポンプシステムとその制御方法 | |
| CN100521104C (zh) | 一种半导体刻蚀设备的控制方法 | |
| JP4443080B2 (ja) | 真空排気システムおよびその運転方法 | |
| JP3776467B2 (ja) | 排気系ネットワーク | |
| JP3982673B2 (ja) | 真空排気装置の運転方法 | |
| JP7300822B2 (ja) | ガス透過度測定装置 | |
| JP2849255B2 (ja) | 高性能半導体製造用の排気システムおよびその制御方法 | |
| JP2005139911A (ja) | 真空排気装置およびその真空引き方法 | |
| JP2826479B2 (ja) | ガス供給装置及びその操作方法 | |
| JPH0633231A (ja) | イオンスパッタリング装置 | |
| JP4169303B2 (ja) | 単結晶引上げ設備及びその操作方法 | |
| WO2024134839A1 (ja) | ドライ真空ポンプのクリーニング方法及びドライ真空ポンプのクリーニング装置 | |
| JPH11230034A (ja) | 真空排気システム及びその運転方法 | |
| CN112460285B (zh) | 真空压力计的寿命提升装置和方法 | |
| JPH07167053A (ja) | 高真空排気装置 | |
| JPH0424599Y2 (ja) | ||
| JP2678613B2 (ja) | エキシマレーザ装置 | |
| JP2009158527A (ja) | ロードロック室を有する真空チャンバー装置 | |
| JPS6325340Y2 (ja) | ||
| JP2007049028A (ja) | 真空処理装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041104 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071018 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071023 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071128 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20071128 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080527 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080603 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110613 Year of fee payment: 3 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |