JP2006322405A - 真空排気システム - Google Patents
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Abstract
【課題】 真空排気装置からの油の逆流を防止しつつ真空排気装置を停止することができる真空排気システムを提供すること。
【解決手段】 ワーク10と真空ポンプ210とを接続する吸引管路220に、ワーク10側から作動バルブ240、真空タンク230、メインバルブ250、第2の真空計260の順に設け、真空タンク230に第1の真空計231を設け、メインバルブ250と真空ポンプ210との間の吸引管路220から分岐し、一端が大気開放された分岐管路221にリークバルブ270を設けてなる真空排気システム200であって、作動バルブ240を閉状態とした後に第1の真空計231の検出圧力が所定圧力以下となった時点でメインバルブ250を閉状態とし、次いでリークバルブ270を開状態にするとともに、第2の真空計260の検出圧力が大気圧と略等しくなった時点で真空ポンプ210を一時停止状態とするようにした。
【選択図】 図5
【解決手段】 ワーク10と真空ポンプ210とを接続する吸引管路220に、ワーク10側から作動バルブ240、真空タンク230、メインバルブ250、第2の真空計260の順に設け、真空タンク230に第1の真空計231を設け、メインバルブ250と真空ポンプ210との間の吸引管路220から分岐し、一端が大気開放された分岐管路221にリークバルブ270を設けてなる真空排気システム200であって、作動バルブ240を閉状態とした後に第1の真空計231の検出圧力が所定圧力以下となった時点でメインバルブ250を閉状態とし、次いでリークバルブ270を開状態にするとともに、第2の真空計260の検出圧力が大気圧と略等しくなった時点で真空ポンプ210を一時停止状態とするようにした。
【選択図】 図5
Description
本発明は、真空排気装置を備え、排気対象内に真空雰囲気を形成する真空排気システムに関するものである。
従来、吸引管路を介して真空チャンバや連続的に供給されるワーク等の排気対象に接続された真空排気装置を備え、排気対象内に真空雰囲気を形成する真空排気システムが知られている。このような真空排気システムにおいては、真空排気装置からの油の逆流を防ぐために、通常、排気対象内に真空雰囲気を形成しない期間であっても、真空排気装置を継続運転させている。
それに対し、特許文献1においては、排気対象としての半導体装置(真空容器)の運転状態と連動して、真空排気装置(真空ポンプ)の運転状態を、定常状態と定常状態よりも回転数を落としたアイドリング状態との間で切り替える構成が開示されている。これにより、油等の汚染物質の逆流を防止しつつ省エネを図っている。
特開2004−3503号公報
しかしながら、特許文献1に示す構成では、アイドリング状態であっても真空排気装置から油が逆流しない必要最低限の真空排気状態を確保する必要がある。すなわち、省エネに対する効果は不十分である。
本発明は上記問題点に鑑み、真空排気装置からの油の逆流を防止しつつ真空排気装置を停止することができる真空排気システムを提供することを目的とする。
上記目的を達成する為に、請求項1に記載の発明は、駆動モータにより駆動されて、排気対象内に真空雰囲気を形成する真空排気装置と、排気対象と真空排気装置とを接続する吸引管路と、吸引管路に設けられた第1の開閉弁と、第1の開閉弁と真空排気装置との間の吸引管路内の圧力を検出する圧力検出手段と、第1の開閉弁と真空排気装置との間の吸引管路から分岐し、第2の開閉弁を介して大気開放された分岐管路と、を備え、排気対象内に真空雰囲気を形成しない期間においては、第1の開閉弁を閉状態とした後に第2の開閉弁を開状態とするとともに、圧力検出手段の検出圧力が大気圧と略等しくなった時点以降で駆動モータを停止状態とし、排気対象内に真空雰囲気を形成する期間においては、第2の開閉弁を閉状態とするとともに駆動モータを運転状態とし、圧力検出手段の検出圧力が所定の真空度となった時点以降で第1の開閉弁を開状態とするようにしたことを特徴とする。
このように本発明によると、排気対象内に真空雰囲気を形成しない期間においては、第1の開閉弁を閉状態とした後に第2の開閉弁を開状態とするとともに、圧力検出手段の検出圧力が大気圧と略等しくなった時点以降で駆動モータを停止状態とするので、簡素な構成でありながら、真空排気装置からの油の逆流を防止しつつ真空排気装置を停止することができる。
また、排気対象内に真空雰囲気を形成する期間においては、第2の開閉弁を閉状態とするとともに駆動モータを運転状態とし、圧力検出手段の検出圧力が所定の真空度となった時点以降で第1の開閉弁を開状態とするので、真空排気装置を起動(例えば停止からの再起動)させる際の立ち上がり時間を短縮することができる。
第1の開閉弁及び第2の開閉弁の開閉状態と駆動モータの駆動状態は、マニュアル操作によって切り替えても良い。しかしながら、請求項2に記載のように、駆動モータの駆動状態を制御する制御手段をさらに備え、制御手段が、排気対象内に真空雰囲気を形成する期間か否かの可否信号と圧力検出手段からの検出信号に基づき、駆動モータの駆動状態と第1の開閉弁及び第2の開閉弁の開閉状態を制御する構成とすると、自動で切り替えられるので、真空排気装置を停止するまでの時間及び立ち上がり時間をより短縮することができる。
請求項3に記載の発明は、駆動モータにより駆動されて、排気対象内に真空雰囲気を形成する真空排気装置と、排気対象と真空排気装置とを接続する吸引管路と、吸引管路に設けられた真空タンクと、真空タンク内の圧力を検出する第1の圧力検出手段と、排気対象と真空タンクとの間の吸引管路に設けられた第1の開閉弁と、真空タンクと真空排気装置との間の吸引管路に設けられた第2の開閉弁と、第2の開閉弁と真空排気装置との間の吸引管路内の圧力を検出する第2の圧力検出手段と、第2の開閉弁と真空排気装置との間の吸引管路から分岐し、第3の開閉弁を介して大気開放された分岐管路と、を備え、排気対象内に真空雰囲気を形成しない期間においては、第1の開閉弁を閉状態とした後に第1の圧力検出手段の検出圧力が所定の真空度となった時点で第2の開閉弁を閉状態とし、次いで第3の開閉弁を開状態にするとともに、第2の圧力検出手段の検出圧力が大気圧と略等しくなった時点以降で駆動モータを停止状態とし、排気対象内に真空雰囲気を形成する期間においては、第3の開閉弁を閉状態とするとともに駆動モータを運転状態とし、第2の圧力検出手段の検出圧力が所定の真空度となった時点以降で第2の開閉弁を開状態とし、次いで第1の開閉弁を開状態とするようにしたことを特徴とする。
このように本発明によると、請求項1に記載の発明の作用効果に加え、排気対象と真空排気装置との間に真空タンクを備え、第2の開閉弁(請求項1の第1の開閉弁に相当)と真空排気装置との間の吸引管路が短いので、請求項1に記載の発明の作用効果に加え、請求項1に記載の構成よりも、真空排気装置を停止するまでの時間及び立ち上がり時間をより短縮することができる。
また、例えば順次(連続的に)排気対象となるワークが供給される構成のように、ワークによって真空度が低下する場合であっても、真空タンクにて緩衝することができるので、立ち上がり時間をより短縮することができる。
第1の開閉弁、第2の開閉弁、及び第3の開閉弁の開閉状態と駆動モータの駆動状態は、マニュアル操作によって切り替えられても良い。しかしながら、請求項4に記載のように、駆動モータの駆動状態を制御する制御手段を備え、制御手段は、排気対象内に真空雰囲気を形成する期間か否かの可否信号と第1圧力検出手段及び第2の圧力検出手段からの検出信号に基づき、駆動モータの駆動状態と、第1の開閉弁、第2の開閉弁、及び第3の開閉弁の開閉状態を制御する構成とすると、自動で切り替えられるので、真空排気装置を停止するまでの時間及び立ち上がり時間をより短縮することができる。
尚、請求項1〜4いずれかの発明において、排気対象としては、特に限定されるものではない。例えば製造装置の真空チャンバ、真空雰囲気を必要とする炉、その内部に真空室を形成するワーク等がある。
また、排気対象内に真空雰囲気を形成しない期間とは、真空雰囲気を形成しない時間が所定時間以上経過してからの期間であり、例えば排気対象が順次(連続的に)供給される場合、真空排気システムの前後設備のトラブルから、真空排気システムへの排気対象の搬入又は真空排気システムからの真空雰囲気形成後の排気対象の搬出が所定時間以上滞る場合(所謂チョコ停)を含むものとする。
例えば排気対象が順次供給される場合には、請求項5に記載のように、排気対象の有無を検出する検出手段と、検出手段からの検出信号とこの検出信号を受けてからの経過時間によって、排気対象内に真空雰囲気を形成する期間か否かを判定し、排気対象内に真空雰囲気を形成するかどうかの可否信号を生成する判定手段と、をさらに備える構成とすれば、駆動モータの駆動状態を自動で切り替えることができる。
請求項6に記載のように、制御手段はインバータを有し、駆動モータの回転速度を制御する構成としても良い。通常、真空排気装置は、その定格回転速度に応じて一定の吸引力を発揮する。しかしながら、インバータを用いて駆動モータの回転速度を制御することで、必要とされる真空雰囲気の真空度が異なっても、真空度の調整を図ることができる。また回転速度の低下による消費電力の削減も可能となる。
真空排気装置としては、その使用条件によって適宜選択することができる。例えば請求項7に記載のように、排気対象の側から、メカニカルブースタポンプと粗引き真空ポンプの順で直列に設けてなる構成とすることが好ましい。
メカニカルブースタポンプを大気圧で作動できる粗引き真空ポンプの前段側に接続することで、粗引き真空ポンプの排気速度が低下する圧力領域(1〜1000Pa)において、その排気速度を向上することができる。すなわち、真空雰囲気形成のサイクルタイムを短縮することができる。
粗引き真空ポンプとしては、例えば請求項8に記載のように、油回転式ポンプを適用することができる。油回転式ポンプは、大気圧から1pa程度まで排気でき、ドライポンプよりも小型で、消費電力も小さい。尚、粗引き真空ポンプは油回転式ポンプに限定されるものではない。例えば、油回転式ポンプだと油が劣化しやすい場合(例えば半導体製造プロセス)においてはドライポンプを適用し、低真空で凝縮性ガスを多量に排気する場合には水封式ポンプを適用すると良い。
請求項9に記載のように、メカニカルブースタポンプとして、大気圧駆動型を適用すると、粗引き真空ポンプとの同時起動が可能であるので、排気時間を短縮することができる。すなわち、真空雰囲気形成のサイクルタイムをより短縮することができる。
以下、本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。
(第1の実施形態)
図1は、本実施形態における真空排気システム100の概略構成を示す図である。
(第1の実施形態)
図1は、本実施形態における真空排気システム100の概略構成を示す図である。
本実施形態においては、排気対象として、真空排気システム100に順次(連続的に)供給されるワーク10を例にとり説明する。順次(連続的に)供給されるワーク10としては、例えばセンサやアクチュエータ等の真空室を要するハウジングがあり、本実施形態のワーク10は、オイル注入前のABSアクチュエータのハウジングである。
図1に示すように、真空排気システム100は、真空ポンプ110と、ワーク10と真空ポンプ110とを接続する吸引管路120と、吸引管路120に設けられたメインバルブ130と、メインバルブ130と真空ポンプ110との間の吸引管路120内の圧力を検出する真空計140と、メインバルブ130と真空ポンプ110との間の吸引管路120から分岐し、一端が大気開放された分岐管路121に設けられたリークバルブ150と、を備えている。
真空ポンプ110は、駆動モータにより駆動されて、ワーク10内に真空雰囲気を形成する真空排気装置であり、その使用条件に応じて適宜選択し、使用することができる。本実施形態におけるワーク10は、650Pa程度の真空引き条件であり、半導体製造装置のように、油が劣化しやすい条件や、凝縮性ガスを多量に排気する条件ではないので、ワーク10側からメカニカルブースタポンプ111と油回転式ポンプ112の順で直列に設けてなる真空ポンプ110を適用している。具体的には、0.75kWのメカニカルブースタポンプ111と1.5kWの油回転式ポンプ112とを組み合わせてなる最大排気速度290m3/h(60Hz)、到達圧力0.4Paの真空ポンプ110を適用している。
油回転式ポンプは、大気圧から1Pa程度まで排気でき、ドライポンプよりも小型で、消費電力も小さい。また、メカニカルブースタポンプ111を大気圧で差動できる粗引き真空ポンプとしての油回転式ポンプ112の前段側に接続することで、油回転式ポンプ112の排気速度が低下する圧力領域(1〜1000Pa)において、その排気速度を向上することができる。すなわち、ワーク10を真空引きするサイクルタイムを短縮することができる。
また、メカニカルブースタポンプ111として、大気圧駆動型を適用した。従って、油回転式ポンプ112との同時起動が可能であり、排気時間を短縮することができる。すなわち、ワーク10を真空引きするサイクルタイムをさらに短縮することができる。
これらのメカニカルブースタポンプ111と油回転式ポンプ112は、いずれも駆動モータを有しており、インバータ160を用いて給電周波数を可変することにより、その回転速度を所望に制御することができる。通常、真空ポンプ110は、その定格回転速度に応じて一定の吸引力を発揮するが、インバータ160を用いて駆動モータの回転速度を制御することで、必要とされる真空雰囲気の真空度が異なっても、真空度の調整を図ることができる。また回転速度の低下による消費電力の削減も可能となる。インバータ160はコントローラ170に接続されており、このコントローラ170はインバータ160を制御する制御回路を有している。
尚、真空計140は、メインバルブ130と真空ポンプ110との間の吸引管路120内の圧力(真空度)を検出し、その検出信号を、コントローラ170に出力する。また、ワーク10は、図示されないワーク搬送装置により、吸引管路120の一端に接続されるように真空排気システム100に対して搬入され、真空引き完了後に真空排気システム100から排出されるように構成されており、ワーク搬送装置が搬入・排出信号をコントローラ170に出力する。また、コントローラ170はインバータ160の作動を制御するほかに、メインバルブ130及びリークバルブ150の開閉状態を制御する機能も有している。
このように構成される真空排気システム100によれば、例えば真空排気システム100の前後工程において設備トラブル等が発生し、真空排気システム100によるワーク10の真空引きが一時停止(例えば10分以上)するような所謂チョコ停において、真空ポンプ110の駆動状態を停止状態とすることが可能である。
図2に示すように、メインバルブ130を閉状態とした後にリークバルブ150を開状態とする。そして、真空計140の検出圧力が大気圧と略等しくなった時点で真空ポンプ110を停止状態(駆動モータを停止状態)とすれば、簡素な構成でありながら、真空ポンプ110からの油の逆流を防止しつつ真空ポンプ110を停止することができる。このように本実施形態に示す真空排気システム100によれば、チョコ停が発生した際に、真空ポンプ110を一次停止させることができるので、消費電力を低減することができる。尚、図2は、各バルブ130,150の開閉状態と真空ポンプ110の駆動状態を示すタイミングチャートである。
また、真空引きを再開する場合には、リークバルブ150を閉状態とするとともに真空ポンプ110(駆動モータ)を運転状態とする。これらは同時でも良いし、いずれかを先に実施しても良い。そして、真空計140の検出圧力が所定の真空度(例えば700Pa)となった時点でメインバルブ130を開状態とするので、一次停止後の真空ポンプ110の立ち上がり時間を短縮することができる。
尚、本実施形態においては、コントローラ170が、ワーク搬送装置からの搬入・排出信号と真空計140からの検出信号に基づき、メインバルブ130及びリークバルブ150の開閉状態と、真空ポンプ110の駆動モータの回転速度を制御するインバータ160を制御する。従って、自動で各バルブ130,150の開閉と真空ポンプ110の駆動状態が切り替わるので、真空ポンプ110を停止するまでの時間と立ち上がり時間をより短縮することができる。
さらに、本実施形態に示す真空ポンプ110は、大気圧駆動型のメカニカルブースタポンプ110と、油回転式ポンプから構成されている。従って、真空ポンプ110を停止するまでの時間と立ち上がり時間をより短縮することができる。
尚、真空排気システム100の動作フローの一例を図3,4に示す。図4は、図3に示す再起動処理の内容を示すものである。
設備トラブル等がなく、ワーク10が順次真空排気システム100に供給されている状態にあっては、ワーク10の真空引きが完了して搬出され、次のワーク10が搬入されるまでの間、真空ポンプ110が運転状態、リークバルブ150が閉状態、メインバルブ130が閉状態にある。この状態で、メインバルブ130以下の吸引管路120内の圧力が所定の圧力以下となる(すなわち所定の真空度を確保する)ように、真空計140からの検出信号を受けたコントローラ170はインバータ160を制御する。
この状態で、次ワーク10が真空排気システム100に供給されると、ワーク搬送装置からの搬入信号を受けたコントローラ170は、メインバルブ130に開信号を出力し、メインバルブ130が閉状態から開状態となる(S110)。これにより、ワーク10が吸引管路120を介して真空ポンプ110により真空引きされる。
真空引き完了後(S111)、コントローラ170は、メインバルブ130に閉信号を出力し、メインバルブ130が開状態から閉状態となる(S112)。これにより、ワーク10が真空排気システム100から搬出可能となる。尚、真空引き完了は、ワーク10内の真空度を検出するセンサからの信号や、S110にてメインバルブ130に開信号を出力してからの経過時間によって、コントローラ170が真空引き完了と判断する。
次いで、コントローラ170は、メインバルブ130に閉信号を出力してから予め設定された所定時間t0以内に、次のワーク10が搬入されたかどうかを判定する(S113)。例えば、所定時間t0以内にワーク搬送装置からの搬入信号を受けた場合、再度S110に戻って、ワーク10の真空引きが実施される。このように、順次ワーク10が供給される間は、連続的に真空引きが実施される。
それに対し、例えば前工程において設備トラブルが発生し、所定時間t0以内に真空排気システム100に次のワーク10が搬入されない(コントローラ170にワーク搬送装置からの搬入信号が出力されない)場合、コントローラ170はリークバルブ150に閉信号を出力し、リークバルブ150が閉状態から開状態となる(S114)。すなわち、メインバルブ130以下の吸引管路120が大気開放される。
コントローラ170は、真空計140の検出信号に基づいて、検出圧力Pが大気圧と略等しいかどうか判定し(S115)、検出圧力Pが大気圧と略等しいと判定した場合に、インバータ160に駆動モータの停止指令を出力する。これにより、真空ポンプ110が運転状態から停止状態となる(S116)。以上が、真空ポンプ110を一次停止させるまでのフローである。
尚、前工程において設備トラブルが解消され、次のワーク10が真空排気システム100に搬入される(コントローラ170にワーク搬送装置からの搬入信号が出力される)と(S117)、所定の再起動処理(S118)が実行される。
S118に示す再起動処理は、図4に示すように、コントローラ170にワーク搬送装置からの搬入信号が出力されると、コントローラ170は、リークバルブ150に閉信号を出力し、リークバルブ150が開状態から閉状態となる(S120)。また、それとともに、インバータ160に駆動モータの運転指令を出力し、真空ポンプ110が停止状態から運転状態となる(S121)。尚、S120,S121のいずれかの処理を先に実施しても良い。メカニカルブースタポンプ111が大気圧駆動型でない場合には、油回転式ポンプ112を先に運転状態として所定の圧力状態としてから、メカニカルブースタポンプ111を駆動させれば良い。
そして、コントローラ170は、真空計140の検出信号に基づいて、検出圧力Pが所定の圧力以下であるかどうか(所定の真空度が確保されているかどうか)判定し(S122)、検出圧力Pが所定の圧力以下であると判定した場合に、再起動処理が完了し、コントローラ170は、メインバルブ130に開信号を出力し、メインバルブ130が閉状態から開状態となる(S110)。以後、生産終了後に電源をOFFされるまで、上述したフローを繰り返す。
(第2の実施形態)
次に、本発明の第2の実施形態を、図5〜6に基づいて説明する。図5は、本実施形態における真空排気システムの概略構成を示す図である。図6は、各バルブの開閉状態と真空ポンプの駆動状態を示すタイミングチャートである。
次に、本発明の第2の実施形態を、図5〜6に基づいて説明する。図5は、本実施形態における真空排気システムの概略構成を示す図である。図6は、各バルブの開閉状態と真空ポンプの駆動状態を示すタイミングチャートである。
第2の実施形態における真空排気システムは、第1の実施形態によるものと共通するところが多いので、以下、共通部分については詳しい説明は省略し、異なる部分を重点的に説明する。
本実施形態における真空排気システムは、第1実施形態に示す真空排気システム100において、ワーク10とメインバルブ130との間に、作動バルブを介して真空タンクを設け、真空タンク内の圧力を検出する真空計を設けた点が異なっている。
具体的には、図5に示すように、真空排気システム200は、真空ポンプ210と、ワーク10と真空ポンプ210とを接続する吸引管路220と、吸引管路220に設けられた真空タンク230と、真空タンク230内の圧力を検出する第1の真空計231と、ワーク10と真空タンク230との間の吸引管路220に設けられた作動バルブ240と、真空タンク230と真空ポンプ210との間の吸引管路220に設けられたメインバルブ250と、メインバルブ250と真空ポンプ210との間の吸引管路220内の圧力を検出する第2の真空計260と、メインバルブ250と真空ポンプ210との間の吸引管路220から分岐し、一端が大気開放された分岐管路221に設けられたリークバルブ270と、を備えている。
真空ポンプ210は、第1実施形態同様、ワーク10側からメカニカルブースタポンプ211と油回転式ポンプ212の順で直列に設けてなるものを適用している。また、これらのメカニカルブースタポンプ211と油回転式ポンプ212は、いずれも駆動モータを有しており、インバータ280を用いて給電周波数を可変することにより、その回転速度を所望に制御することができる。インバータ280はコントローラ290に接続されており、このコントローラ290はインバータ280を制御する制御回路を有している。
尚、第1の真空計231と第2の真空計260は、その検出信号を、コントローラ290に出力し、真空排気システム200に対してワーク10を搬入し、真空引き後のワーク10を搬出するワーク搬送装置は、その搬入・排出信号をコントローラ290に出力するように構成されている。また、コントローラ290はインバータ280の作動を制御するほかに、作動バルブ240、メインバルブ250、及びリークバルブ270の開閉状態を制御する機能も有している。
このように構成される本実施形態に示す真空排気システム200によっても、例えば真空排気システム200の前後工程において設備トラブル等が発生し、真空排気システム200によるワーク10の真空引きが一時停止(例えば10分以上)するような所謂チョコ停において、真空ポンプ210の駆動状態を停止状態とすることが可能である。
図6に示すように、作動バルブ240を閉状態とした後にメインバルブ250を閉状態とし、次いでリークバルブ270を開状態とする。そして、第2の真空計260の検出圧力が大気圧と略等しくなった時点で真空ポンプ210を停止状態(駆動モータを停止状態)とすれば、簡素な構成でありながら、真空ポンプ210からの油の逆流を防止しつつ真空ポンプ210を停止することができる。このように本実施形態に示す真空排気システム2100によれば、チョコ停が発生した際に、真空ポンプ210を一次停止させることができるので、消費電力を低減することができる。尚、図5は、各バルブ230,250,270の開閉状態と真空ポンプ210の駆動状態を示すタイミングチャートである。
また、真空引きを再開する場合には、リークバルブ270を閉状態とするとともに真空ポンプ210(駆動モータ)を運転状態とする。これらは同時でも良いし、いずれかを先に実施しても良い。そして、第2の真空計260の検出圧力が所定の真空度(例えば700Pa)となった時点でメインバルブ250を開状態と、次いで作動バルブ240を開状態とするので、一次停止後の真空ポンプ210の立ち上がり時間を短縮することができる。
尚、本実施形態においても、コントローラ290によって、各バルブ230,250,270の開閉状態と真空ポンプ210の駆動モータの回転速度を制御するインバータ280を制御する。従って、真空ポンプ210を停止するまでの時間と立ち上がり時間をより短縮することができる。また、本実施形態に示す真空ポンプ210も、大気圧駆動型のメカニカルブースタポンプ211と、油回転式ポンプ212から構成されている。従って、真空ポンプ210を停止するまでの時間と立ち上がり時間をより短縮することができる。
さらに、本実施形態においては、真空タンク230を設けることで、メインバルブ250と真空ポンプ210との間の吸引管路220を、第1実施形態に示す構成よりも短くしている。従って、真空ポンプ210を停止するまでの時間及び立ち上がり時間をより短縮することができる。
また、例えばワーク10が入れ替わると、ワーク10内の真空引きする空間内の大気によって吸引管路内の真空度が一時的低下するが、本実施形態においては真空タンク230を設けているので、この落ち込みを緩衝し、立ち上がり時間をより短縮することができる。
尚、真空排気システム200の動作フローの一例を図7,8に示す。図8は、図7に示す再起動処理の内容を示すものである。
設備トラブル等がなく、ワーク10が順次真空排気システム200に供給されている状態にあっては、ワーク10の真空引きが完了して搬出され、次のワーク10が搬入されるまでの間、真空ポンプ210が運転状態、リークバルブ270が閉状態、メインバルブ250が開状態、作動バルブ240が閉状態にある。この状態で、作動バルブ240以下の吸引管路220内の圧力及び真空タンク230内の圧力が、所定の圧力以下となるように、第1の真空計231及び第2の真空計260からの検出信号を受けたコントローラ290はインバータ280を制御する。
この状態で、次ワーク10が真空排気システム200に供給されると、ワーク搬送装置からの搬入信号を受けたコントローラ290は、作動バルブ240に開信号を出力し、作動バルブ240が閉状態から開状態となる(S210)。これにより、ワーク10が吸引管路220を介して真空ポンプ210により真空引きされる。
真空引き完了後(S211)、コントローラ290は、作動バルブ240に閉信号を出力し、作動バルブ240が開状態から閉状態となる(S212)。これにより、ワーク10が真空排気システム200から搬出可能となる。尚、真空引き完了は、ワーク10内の真空度を検出するセンサからの信号や、S210にて作動バルブ240に開信号を出力してからの経過時間によって、コントローラ290が真空引き完了と判断する。
次いで、コントローラ290は、作動バルブ240に閉信号を出力してから予め設定された所定時間t0以内に、次のワーク10が搬入されたかどうかを判定する(S213)。例えば、所定時間t0以内にワーク搬送装置からの搬入信号を受けた場合、再度S110に戻って、ワーク10の真空引きが実施される。このように、順次ワーク10が供給される間は、連続的に真空引きが実施される。
それに対し、例えば前工程において設備トラブルが発生し、所定時間t0以内に真空排気システム200に次のワーク10が搬入されない(コントローラ290にワーク搬送装置からの搬入信号が出力されない)場合、コントローラ290は、第1の真空計231の検出信号に基づいて、検出圧力Pが所定の圧力α以下であるかどうか判定し(S214)、検出圧力Pが所定の圧力α以下であると判定した場合に、メインバルブ250に閉信号を出力し(S215)、次いでリークバルブ270に閉信号を出力する(S216)。これにより、メインバルブ250が閉状態から開状態となり、リークバルブ270が閉状態から開状態となる。すなわち、作動バルブ240以下の吸引管路220が大気開放される。尚、S215とS216は同時でも良い。
次いで、コントローラ290は、第2の真空計260の検出信号に基づいて、検出圧力Pが大気圧と略等しいかどうか判定し(S217)、検出圧力Pが大気圧と略等しいと判定した場合に、インバータ280に駆動モータの停止指令を出力する。これにより、真空ポンプ210が運転状態から停止状態となる(S218)。以上が、真空ポンプ210を一次停止させるまでのフローである。
尚、前工程において設備トラブルが解消され、次のワーク10が真空排気システム200に搬入される(コントローラ290にワーク搬送装置からの搬入信号が出力される)と(S219)、所定の再起動処理(S220)が実行される。
S220に示す再起動処理は、図8に示すように、コントローラ290にワーク搬送装置からの搬入信号が出力されると、コントローラ290は、リークバルブ270に閉信号を出力し、リークバルブ270が開状態から閉状態となる(S221)。また、それとともに、インバータ280に駆動モータの運転指令を出力し、真空ポンプ210が停止状態から運転状態となる(S222)。尚、S221,S222のいずれかの処理を先に実施しても良い。メカニカルブースタポンプ211が大気圧駆動型でない場合には、油回転式ポンプ212を先に運転状態として所定の圧力状態としてから、メカニカルブースタポンプ211を駆動させれば良い。
そして、コントローラ290は、第2の真空計260の検出信号に基づいて、検出圧力Pが所定の圧力β以下であるかどうか(所定の真空度が確保されているかどうか)判定し(S223)、検出圧力Pが所定の圧力β以下であると判定した場合に、メインバルブ250に開信号を出力し、メインバルブ250が閉状態から開状態となる(S224)。
メインバルブ250を開状態とした後、コントローラ290は、第1の真空計231の検出信号に基づいて、検出圧力Pが所定の圧力α以下であるかどうか(所定の真空度が確保されているかどうか)判定する(S225)。検出圧力Pが所定の圧力α以下であると判定した場合に、再起動処理が完了し、コントローラ290は、作動バルブ240に開信号を出力し、作動バルブ240が閉状態から開状態となる(S210)。以後、生産終了後に電源をOFFされるまで、上述したフローを繰り返す。
以上本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態のみに限定されず、種々変更して実施することができる。
尚、本実施形態においては、排気対象として、順次供給されるワーク10の例を示した。しかしながら、排気対象は上記例に限定されるものではない。例えば製造装置の真空チャンバ、真空雰囲気を必要とする炉等にも、本実施形態に示した真空排気システム100を適用することができる。
10・・・ワーク(排気対象)
100・・・真空排気システム
110・・・真空ポンプ
111・・・メカニカルブースタポンプ
120・・・吸引管路
121・・・分岐管路
130・・・メインバルブ(第1の開閉弁)
140・・・真空計(圧力検出手段)
150・・・リークバルブ(第2の開閉弁)
160・・・インバータ
170・・・コントローラ(制御手段)
100・・・真空排気システム
110・・・真空ポンプ
111・・・メカニカルブースタポンプ
120・・・吸引管路
121・・・分岐管路
130・・・メインバルブ(第1の開閉弁)
140・・・真空計(圧力検出手段)
150・・・リークバルブ(第2の開閉弁)
160・・・インバータ
170・・・コントローラ(制御手段)
Claims (9)
- 駆動モータにより駆動されて、排気対象内に真空雰囲気を形成する真空排気装置と、
前記排気対象と前記真空排気装置とを接続する吸引管路と、
前記吸引管路に設けられた第1の開閉弁と、
前記第1の開閉弁と前記真空排気装置との間の前記吸引管路内の圧力を検出する圧力検出手段と、
前記第1の開閉弁と前記真空排気装置との間の前記吸引管路から分岐し、第2の開閉弁を介して大気開放された分岐管路と、を備え、
前記排気対象内に真空雰囲気を形成しない期間においては、前記第1の開閉弁を閉状態とした後に前記第2の開閉弁を開状態とするとともに、前記圧力検出手段の検出圧力が大気圧と略等しくなった時点以降で前記駆動モータを停止状態とし、
前記排気対象内に真空雰囲気を形成する期間においては、前記第2の開閉弁を閉状態とするとともに前記駆動モータを運転状態とし、前記圧力検出手段の検出圧力が所定の真空度となった時点以降で前記第1の開閉弁を開状態とするようにしたことを特徴とする真空排気システム。 - 前記駆動モータの駆動状態を制御する制御手段を備え、
前記制御手段は、前記排気対象内に真空雰囲気を形成する期間か否かの可否信号と前記圧力検出手段からの検出信号に基づき、前記駆動モータの駆動状態と前記第1の開閉弁及び前記第2の開閉弁の開閉状態を制御することを特徴とする請求項1に記載の真空排気システム。 - 駆動モータにより駆動されて、排気対象内に真空雰囲気を形成する真空排気装置と、
前記排気対象と前記真空排気装置とを接続する吸引管路と、
前記吸引管路に設けられた真空タンクと、
前記真空タンク内の圧力を検出する第1の圧力検出手段と、
前記排気対象と前記真空タンクとの間の前記吸引管路に設けられた第1の開閉弁と、
前記真空タンクと前記真空排気装置との間の前記吸引管路に設けられた第2の開閉弁と、
前記第2の開閉弁と前記真空排気装置との間の前記吸引管路内の圧力を検出する第2の圧力検出手段と、
前記第2の開閉弁と前記真空排気装置との間の前記吸引管路から分岐し、第3の開閉弁を介して大気開放された分岐管路と、を備え、
前記排気対象内に真空雰囲気を形成しない期間においては、前記第1の開閉弁を閉状態とした後に前記第1の圧力検出手段の検出圧力が所定の真空度となった時点で前記第2の開閉弁を閉状態とし、次いで前記第3の開閉弁を開状態とするとともに、前記第2の圧力検出手段の検出圧力が大気圧と略等しくなった時点以降で前記駆動モータを停止状態とし、
前記排気対象内に真空雰囲気を形成する期間においては、前記第3の開閉弁を閉状態とするとともに前記駆動モータを運転状態とし、前記第2の圧力検出手段の検出圧力が所定の真空度となった時点以降で前記第2の開閉弁を開状態とし、次いで前記第1の開閉弁を開状態とするようにしたことを特徴とする真空排気システム。 - 前記駆動モータの駆動状態を制御する制御手段を備え、
前記制御手段は、前記排気対象内に真空雰囲気を形成する期間か否かの可否信号と前記第1圧力検出手段及び前記第2の圧力検出手段からの検出信号に基づき、前記駆動モータの駆動状態と、前記第1の開閉弁、前記第2の開閉弁、及び前記第3の開閉弁の開閉状態を制御することを特徴とする請求項3に記載の真空排気システム。 - 前記排気対象は、順次供給されるものであり、
前記排気対象の有無を検出する検出手段と、前記検出手段からの検出信号とこの検出信号を受けてからの経過時間によって、前記排気対象内に真空雰囲気を形成する期間か否かを判定し、前記排気対象内に真空雰囲気を形成するかどうかの可否信号を生成する判定手段と、を備えることを特徴とする請求項2又は請求項4に記載の真空排気システム。 - 前記制御手段はインバータを有し、前記駆動モータの回転速度を制御することを特徴とする請求項1〜5いずれか1項に記載の真空排気システム。
- 前記真空排気装置は、前記排気対象の側から、メカニカルブースタポンプと粗引き真空ポンプの順で直列に設けてなることを特徴とする請求項1〜6いずれか1項に記載の真空排気システム。
- 前記粗引き真空ポンプは油回転式ポンプであることを特徴とする請求項7に記載の真空排気システム。
- 前記メカニカルブースタポンプは、大気圧駆動型であることを特徴とする請求項7又は請求項8に記載の真空排気システム。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005147190A JP2006322405A (ja) | 2005-05-19 | 2005-05-19 | 真空排気システム |
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