JPS6224063Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、真空システムに関し、特に、粗引か
ら本引への切換えを自動的に行うようにした真空
システムに関する。

電子顕微鏡等においては、被排気室を最初に粗
引し、その後、該被排気室が所定の圧力までに排
気された後、該被排気室を本引するようにしてい
るが、最近では、被排気室内の圧力を常に監視
し、該被排気室の圧力が所定の圧力以下となつた
際に、自動的に粗引モードから本引モードに移行
するような真空システムが採用されている。この
ようなシステムは最初に被排気室内の圧力が高
く、真空計によつて測定された圧力もそれに応じ
て高い場合には何の問題もなく動作する。しかし
ながら、該被排気室の圧力が低く、本引状態にあ
る時に該被排気室に連通したリーク弁を開いて空
気を導入し、更にその途中において該空気の導入
を停止し、再び被排気室の排気を行おうとする
と、真空計の応答速度が遅いために実際の圧力は
粗引すべき圧力であるにも拘わらず、真空計は本
引の圧力を示す場合がある。この場合には、当然
のことながら、真空計の示す圧力値によつて排気
モードが決るために被排気室は高真空ポンプによ
つて本引されることになる。その結果、高真空ポ
ンプが油拡散ポンプの場合には該ポンプから被排
気室内への油の逆流が生じ、又、高真空ポンプが
ターボモレキユラーポンプの場合には、潤滑用油
の逆流が生じ、被排気室が汚染されてしまう。更
に又、高真空ポンプを不適正な圧力下で稼働させ
るため、効率の良い排気を行なうことができな
い。

本考案は上述した如き点に鑑みてなされたもの
で、空気の導入途中から再び排気を行う場合に
も、正常に所望の動作を行ない得る真空システム
を提供する。

本考案に基づく真空ポンプは、被排気室１内を
夫々弁２，４を介して排気するための粗引用真空
ポンプ３及び本引用高真空ポンプ５と、該被排気
室内の圧力を測定するための真空計６と、該測定
された圧力と予め設定された基準圧力とを比較
し、該測定された圧力が基準圧力以上の時は該粗
引用真空ポンプによつて該被排気室を粗引し、該
測定圧力が基準圧力以下の時は該被排気室を該高
真空ポンプによつて自動的に本引するように各弁
を制御する制御器７と、該制御器の動作を開始さ
せるための排気指令信号を発生する排気指令信号
発生回路１０と、該排気指令信号発生回路からの
信号によつて閉じられる該被排気室のリーク弁８
と、該排気指令信号発生回路と制御器との間に設
けられ、該排気指令信号を一定時間遅延させて該
制御手段に供給するようにした遅延回路１１とを
備えたことを特徴としている。

以下本考案の一実施例を添付図面に基づき詳述
する。

第１図において、１は被排気室であり、該被排
気室１は粗引弁２を介して油回転ポンプ３によつ
て粗引され、高真空排気弁４を介して高真空ポン
プ、例えば、油拡散ポンプ５によつて本引され
る。６は該被排気室１内の真空度を測定する、例
えば、ピラニ・ゲージの如き真空計であり、該真
空計６の測定信号はマイクロコンピユータの如き
制御器７に供給される。８は該被排気室１内に空
気を導入するためのリーク弁であり、該リーク弁
８、粗引弁２、高真空排気弁４の夫々の開閉は該
制御器７からの制御信号によつて行われる。９及
び１０はスイツチであり、該スイツチ９は該被排
気室１内に空気を導入する際に使用され、該スイ
ツチ９からの信号に基づいて、該制御器７は空気
導入に必要な制御信号を発生する。スイツチ１０
はそのオン操作により被排気室１内の排気を指令
する信号を発生する回路であり、該スイツチ１０
からの信号は遅延回路１１を介して該制御器７に
供給されると共に、該リーク弁８にも供給され
る。尚、図中１２は該油拡散ポンプ５の背圧側を
排気するための油回転ポンプである。

上述した如き構成において、該被排気室の排気
を開始する時には、スイツチ１０がオンとされ、
リーク弁８が閉じられる。又、最初の状態におい
ては、制御器７からの信号によつて粗引弁２のみ
が開けられ、高真空排気弁４が閉じられているた
め、該被排気室１は油回転ポンプ３によつて粗引
される。該被排気室１の排気を行い、該被排気室
１の圧力が制御器７内に予め記憶されている基準
圧力Ｐ以下となつた際には、真空計６からの信号
に基づき、該制御器７からの制御信号により、高
真空排気弁４が開けられ、油拡散ポンプ５による
本引が開始される。ここで、本引状態（高真空状
態）から時刻T₁においてスイツチ９をオンと
し、該被排気室１に空気を導入するモードにする
と、真空ポンプと被排気室との間の弁は閉じら
れ、その後僅かな時間経過後にリーク弁８が開け
られる。その結果、第２図に実線で示す如く、該
被排気室１内の圧力は急上昇するが、真空計６の
示す圧力値は該真空計の応答速度が遅いために、
図中点線で示す如く、被排気室１内の真の圧力か
ら掛離れたものである。尚、第２図の横軸は時
間、縦軸は圧力を示す。ここで、第２図における
時刻T₂においてスイツチ１０をオンとし、再び
該被排気室１内の排気を開始しようとすると、そ
の時の真の圧力値と真空計６で測定された圧力値
とは著しく相異しており、この状態で制御器７に
よつて粗引か本引かの選択を行うと、実際には真
の圧力は粗引の圧力になつているにも拘わらず、
該真空計６の示す圧力値が基準圧力Ｐよりも低く
なつているために本引が行われてしまうことは既
に述べた通りである。本考案においては、該スイ
ツチ１０をオンとすると、該スイツチからの信号
によつて直ちにリーク弁８は閉じられるが、該ス
イツチ１０から制御器７に供給される信号は遅延
回路１１によつて一定時間ｔ遅延させられた後
に、該制御器７に供給される。該遅延時間ｔは該
被排気室１の容量、該リーク弁８のリーク流量、
該真空計６の応答速度によつて決定されるが、通
常、この時間ｔは５秒前後であれば良い。該スイ
ツチ１０からの信号は該遅延回路１１によつてｔ
時間遅らされて時刻T₃に制御器７に供給され、
その時点で真空計６からの信号と基準圧力Ｐとの
比較が開始され、所定の制御が行われる。この時
刻T₃においては、該真空計の示す圧力値と真の
圧力値とは接近しており、該制御器７によつて略
正確な粗引か本引かの選択を行うことが可能とな
る。従つて、該被排気室１内の圧力が高い時に、
誤つて油拡散ポンプ等の高真空ポンプによる本引
が行われることは防止され、効率の良い排気がな
されると共に、油拡散ポンプから被排気室への油
の逆流も生じることはない。

以上詳述した如く本考案においては、排気指令
信号発生回路と制御器との間に排気指令信号を一
定時間遅延させる遅延回路を配置し、この遅延回
路を介して排気指令信号を制御器に供給するよう
にしたため、被排気室のリークを行なつた直後に
排気を開始してしまつた場合でも、真空計の応答
の遅れに起因して誤つて高真空ポンプによる本引
きが行なわれることが防止できるため、高真空ポ
ンプから被排気室内への排気用油や潤滑用油の逆
流を防止することができ、被排気室の汚染を防ぐ
ことができる。

更に又、常に高真空ポンプを適正な圧力の下で
使用できるため、前述した誤つた選択に基づく高
真空ポンプの使用による排気効率の低下を防ぐこ
とができる。

尚、本考案は上述した実施例に限定されること
なく幾多の変形が可能である。例えば、２つのス
イツチによつて真空排気モードと空気導入モード
との選択を行うようにしたが、１つのスイツチを
用い、スイツチのオンによつて一方のモードを選
択し、該スイツチのオフによつて他方のモードの
選択を行うように構成しても良い。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す図、第２図は
被排気室の圧力変化を示す図である。 １……被排気室、２……粗引弁、３，１２……
油回転ポンプ、４……高真空排気弁、５……油拡
散ポンプ、６……真空計、７……制御器、８……
リーク弁、９，１０……スイツチ、１１……遅延
回路。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 被排気室１内を夫々弁２，４を介して排気する
   ための粗引用真空ポンプ３及び本引用高真空ポン
   プ５と、該被排気室内の圧力を測定するための真
   空計６と、該測定された圧力と予め設定された基
   準圧力とを比較し、該測定された圧力が基準圧力
   以上の時は該粗引用真空ポンプによつて該被排気
   室を粗引し、該測定圧力が基準圧力以下の時は該
   被排気室を該高真空ポンプによつて自動的に本引
   するように各弁を制御する制御器７と、該制御器
   の動作を開始させるための排気指令信号を発生す
   る排気指令信号発生回路１０と、該排気指令信号
   発生回路からの信号によつて閉じられる該被排気
   室のリーク弁８と、該排気指令信号発生回路と制
   御器との間に設けられ、該排気指令信号を一定時
   間遅延させて該制御器に供給するようにした遅延
   回路１１とを備えた真空システム。