JPH0314773Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0314773Y2 JPH0314773Y2 JP17160783U JP17160783U JPH0314773Y2 JP H0314773 Y2 JPH0314773 Y2 JP H0314773Y2 JP 17160783 U JP17160783 U JP 17160783U JP 17160783 U JP17160783 U JP 17160783U JP H0314773 Y2 JPH0314773 Y2 JP H0314773Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- power source
- vacuum
- drive power
- evacuated
- ion pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 108010083687 Ion Pumps Proteins 0.000 claims description 15
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 102000006391 Ion Pumps Human genes 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案はイオンポンプ等を使用した電子顕微鏡
等の排気装置に関する。
等の排気装置に関する。
従来のイオンポンプ等を使用した電子顕微鏡等
の排気装置の構成を第１図に示す。図中１は鏡体
等で代表される被排気系、２は弁３を介して被排
気系１に接続される油回転ポンプ（以下RPと略
す）である。４は弁５を介して被排気系１に接続
される油拡散ポンプ（以下DPと略す）であり、
DP４にはRP６が接続されている。又、被排気系
１には弁７を介してイオンポンプ（以下IPと略
す）８が接続されている。９はIP８を駆動する
ための駆動電源であり、１０は該駆動電源９より
IP８に供給される電流を検出するための電流検
出手段で表示機能を有している。１１は被排気系
１に取り付けられた１〜10-3Torr程度の圧力を
測定するピラニゲージであり、１２は同じく被排
気系１に取り付けられた10-3〜10-6Torr程度の
圧力を測定するためのペニングゲージである。
の排気装置の構成を第１図に示す。図中１は鏡体
等で代表される被排気系、２は弁３を介して被排
気系１に接続される油回転ポンプ（以下RPと略
す）である。４は弁５を介して被排気系１に接続
される油拡散ポンプ（以下DPと略す）であり、
DP４にはRP６が接続されている。又、被排気系
１には弁７を介してイオンポンプ（以下IPと略
す）８が接続されている。９はIP８を駆動する
ための駆動電源であり、１０は該駆動電源９より
IP８に供給される電流を検出するための電流検
出手段で表示機能を有している。１１は被排気系
１に取り付けられた１〜10-3Torr程度の圧力を
測定するピラニゲージであり、１２は同じく被排
気系１に取り付けられた10-3〜10-6Torr程度の
圧力を測定するためのペニングゲージである。
この様に構成された従来の排気装置において、
被排気系１を例えば10-7Torr以下の超高真空に
すためには、先ず、予めRP２を駆動させ弁３を
開状態として被排気系１を粗引する。次に、被排
気系１がピラニゲージ１１により10-3Torr程度
まで排気されたことが確認できたら、DP４及び
DP６を駆動し弁３を閉状態、弁５を開状態とし
て排気を続け、被排気系１がペニングゲージ１２
により10-5Torr程度まで排気されたことを確認
する。そして、この時点でIP８に駆動電源９よ
り高電圧を印加して駆動させ被排気系１を
10-7Torr以下の超高真空に排気する。
被排気系１を例えば10-7Torr以下の超高真空に
すためには、先ず、予めRP２を駆動させ弁３を
開状態として被排気系１を粗引する。次に、被排
気系１がピラニゲージ１１により10-3Torr程度
まで排気されたことが確認できたら、DP４及び
DP６を駆動し弁３を閉状態、弁５を開状態とし
て排気を続け、被排気系１がペニングゲージ１２
により10-5Torr程度まで排気されたことを確認
する。そして、この時点でIP８に駆動電源９よ
り高電圧を印加して駆動させ被排気系１を
10-7Torr以下の超高真空に排気する。
ところで、被排気系１の圧力を測定するための
真空計として、低真空から超高真空までの全範囲
を測定できる真空計はない。そのため、真空計と
しては被排気系１内の圧力が１〜10-3Torr程度
迄の範囲はピラニゲージを、又10-3〜10-6Torr
程度はペニングゲージを使用し、10-6Torr以下
の圧力は電流検出手段１０によつて電流を測定
し、その電圧値を圧力に換算して被排気系１の圧
力を測定していた。それ故、被排気系１を排気す
る場合は、これらの真空計又は電流検出手段１０
で被排気系１の圧力をその都度確認しながら真空
ポンプの駆動停止及び弁の開閉操作を行つてい
た。そのため、これらの操作が繁雑であり又真空
計をピラニゲージ，ペニングゲージと２台取り付
けなければならず装置が高価になる欠点があつ
た。
真空計として、低真空から超高真空までの全範囲
を測定できる真空計はない。そのため、真空計と
しては被排気系１内の圧力が１〜10-3Torr程度
迄の範囲はピラニゲージを、又10-3〜10-6Torr
程度はペニングゲージを使用し、10-6Torr以下
の圧力は電流検出手段１０によつて電流を測定
し、その電圧値を圧力に換算して被排気系１の圧
力を測定していた。それ故、被排気系１を排気す
る場合は、これらの真空計又は電流検出手段１０
で被排気系１の圧力をその都度確認しながら真空
ポンプの駆動停止及び弁の開閉操作を行つてい
た。そのため、これらの操作が繁雑であり又真空
計をピラニゲージ，ペニングゲージと２台取り付
けなければならず装置が高価になる欠点があつ
た。
本考案は以上の欠点を解決するためになされた
もので、被排気系をイオンポンプを含む複数の真
空ポンプにより排気される装置において、該イオ
ンポンプを駆動するための駆動電源と、該駆動電
源の出力を高電圧出力又は低電圧出力に切り換え
るための切り換え手段と、該駆動電源よりイオン
ポンプに供給される電流を検出するための電流検
出手段と、被排気系に設けられた真空計と、該真
空計及び電流検出手段よりの信号によつて前記切
り換え手段及び駆動電源を制御する制御手段を備
えたことを特徴としている。
もので、被排気系をイオンポンプを含む複数の真
空ポンプにより排気される装置において、該イオ
ンポンプを駆動するための駆動電源と、該駆動電
源の出力を高電圧出力又は低電圧出力に切り換え
るための切り換え手段と、該駆動電源よりイオン
ポンプに供給される電流を検出するための電流検
出手段と、被排気系に設けられた真空計と、該真
空計及び電流検出手段よりの信号によつて前記切
り換え手段及び駆動電源を制御する制御手段を備
えたことを特徴としている。
一般にイオンポンプは高電圧を印加して駆動す
る方式となつているが、本考案においては、低真
空（10-3〜10-5Torr）においても作動させるよ
うにするため、イオンポンプに低電圧を印加して
イオンポンプの各セルに流れる電流を少して損傷
を防ぐと共に、低真空での駆動とイオンポンプに
流れる電流を検出て被排気系内の低真空での真空
度を測定するようにしている。
る方式となつているが、本考案においては、低真
空（10-3〜10-5Torr）においても作動させるよ
うにするため、イオンポンプに低電圧を印加して
イオンポンプの各セルに流れる電流を少して損傷
を防ぐと共に、低真空での駆動とイオンポンプに
流れる電流を検出て被排気系内の低真空での真空
度を測定するようにしている。
以下本考案の一実施例を添付図面により説明す
る。
る。
第２図は本考案の一実施例装置の構成図であ
り、第１図と同一構成要素には同一番号を付して
その説明を省略する。図において、１３はピラニ
ゲージ１１よりの信号によつて駆動電源９を制御
するための制御回路であり、該制御回路１３によ
つて駆動電源９は始動する。１４は駆動電源９の
出力を高電圧又は低電圧に切り換えるための高電
圧／低電圧出力切り換え回路である。巨高電圧／
低電圧切り換え回路１４は電流検出手段１０及び
制御回路１３によつて制御される。又弁３，５，
７は制御回路１３によつて開閉される。
り、第１図と同一構成要素には同一番号を付して
その説明を省略する。図において、１３はピラニ
ゲージ１１よりの信号によつて駆動電源９を制御
するための制御回路であり、該制御回路１３によ
つて駆動電源９は始動する。１４は駆動電源９の
出力を高電圧又は低電圧に切り換えるための高電
圧／低電圧出力切り換え回路である。巨高電圧／
低電圧切り換え回路１４は電流検出手段１０及び
制御回路１３によつて制御される。又弁３，５，
７は制御回路１３によつて開閉される。
この様に構成された装置において、被排気系１
を超高真空に排気する場合について説明する。
を超高真空に排気する場合について説明する。
先ず、弁３を開状態としてRP２を駆動して被
排気系１を粗引する。RP２によつて被排気系１
が10-3Torr程度迄排気されると、弁５を開状態
（弁３は閉状態）としてDP４及びRP６を駆動し
更に排気を続ける。この時、ピラニゲージ１１よ
りの信号によつて制御回路１３は高電圧／低電圧
出力切り換え回路１４の出力を低電圧出力に切り
換えると共に駆動電源９を駆動させる。これによ
り、IP８は低電圧で運転されるがこの状態では
DP４とIP８の両方の真空ポンプで被排気系１は
排気される。IP８が低電圧で運転されるとIP８
に供給される電流は電流検出手段１０によつて測
定され、制御回路１３はこのIP８に流れる電流
値を圧力に換算して被排気系１の圧力を測定す
る。そして、被排気系１が10-5Torr程度迄排気
されると、該制御回路１３は切り換え回路１４の
出力を低電圧出力から高電圧出力に切り換える
（この状態で弁５を閉状態とする）。以後、IP８
のみで排気を続行し被排気系１の圧力を電流検出
手段１０からの信号に基づいて測定しながら
10-7Torr以下の超高真空に排気する。そのため、
従来装置の様に被排気系１の圧力をピラニゲー
ジ，ペニングゲージと２台の真空計で測定しその
都度確認しながら真空ポンプ及び弁の操作をする
必要はなる、ピラニゲージよりの信号と電流検出
手段１０よりの信号によつて自動的にIP８を駆
動するため、操作が簡単であり、又電流検出手段
１０の電流値に基づいて10-3〜Torr以下の圧力
も測定することができる。このため、真空計もピ
ラニゲージ１台ですみ装置が廉価になる。
排気系１を粗引する。RP２によつて被排気系１
が10-3Torr程度迄排気されると、弁５を開状態
（弁３は閉状態）としてDP４及びRP６を駆動し
更に排気を続ける。この時、ピラニゲージ１１よ
りの信号によつて制御回路１３は高電圧／低電圧
出力切り換え回路１４の出力を低電圧出力に切り
換えると共に駆動電源９を駆動させる。これによ
り、IP８は低電圧で運転されるがこの状態では
DP４とIP８の両方の真空ポンプで被排気系１は
排気される。IP８が低電圧で運転されるとIP８
に供給される電流は電流検出手段１０によつて測
定され、制御回路１３はこのIP８に流れる電流
値を圧力に換算して被排気系１の圧力を測定す
る。そして、被排気系１が10-5Torr程度迄排気
されると、該制御回路１３は切り換え回路１４の
出力を低電圧出力から高電圧出力に切り換える
（この状態で弁５を閉状態とする）。以後、IP８
のみで排気を続行し被排気系１の圧力を電流検出
手段１０からの信号に基づいて測定しながら
10-7Torr以下の超高真空に排気する。そのため、
従来装置の様に被排気系１の圧力をピラニゲー
ジ，ペニングゲージと２台の真空計で測定しその
都度確認しながら真空ポンプ及び弁の操作をする
必要はなる、ピラニゲージよりの信号と電流検出
手段１０よりの信号によつて自動的にIP８を駆
動するため、操作が簡単であり、又電流検出手段
１０の電流値に基づいて10-3〜Torr以下の圧力
も測定することができる。このため、真空計もピ
ラニゲージ１台ですみ装置が廉価になる。
以上の様に本考案は被排気系が複数の真空ポン
プにより排気される装置において、操作が簡単で
廉価な排気装置を提供する。
プにより排気される装置において、操作が簡単で
廉価な排気装置を提供する。
第１図は従来装置を説明するための構成図、第
２図は本考案の一実施例を説明するための構成図
である。 １：被排気系、２，６：油回転ポンプ、３，
５，７：弁、４：油拡散ポンプ、８：イオンポン
プ、９：駆動電源、１０：電流検出手段、１１：
ピラニケージ、１２：ペニングゲージ、１３：制
御回路、１４：低電圧／高電圧出力切り換え回
路。
２図は本考案の一実施例を説明するための構成図
である。 １：被排気系、２，６：油回転ポンプ、３，
５，７：弁、４：油拡散ポンプ、８：イオンポン
プ、９：駆動電源、１０：電流検出手段、１１：
ピラニケージ、１２：ペニングゲージ、１３：制
御回路、１４：低電圧／高電圧出力切り換え回
路。
Claims (1)
- 被排気系をイオンポンプを含む複数の真空ポン
プにより排気する装置において、該イオンポンプ
を駆動するための駆動電源と、該駆動電源の出力
を高電圧出力又は低電圧出力に切り換えるための
切り換え手段と、該駆動電源よりイオンポンプに
供給される電流を検出するための電流検出手段
と、被排気系に設けられた真空計と、該真空計及
び電流検出手段よりの信号によつて前記切り換え
手段及び駆動電源を制御する制御手段を備えたこ
とを特徴とする電子顕微鏡等の排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17160783U JPS6078564U (ja) | 1983-11-05 | 1983-11-05 | 電子顕微鏡等の排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17160783U JPS6078564U (ja) | 1983-11-05 | 1983-11-05 | 電子顕微鏡等の排気装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6078564U JPS6078564U (ja) | 1985-05-31 |
| JPH0314773Y2 true JPH0314773Y2 (ja) | 1991-04-02 |
Family
ID=30374307
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17160783U Granted JPS6078564U (ja) | 1983-11-05 | 1983-11-05 | 電子顕微鏡等の排気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6078564U (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5460012B2 (ja) * | 2008-10-03 | 2014-04-02 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 真空排気方法、及び真空装置 |
-
1983
- 1983-11-05 JP JP17160783U patent/JPS6078564U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6078564U (ja) | 1985-05-31 |
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