JP5460012B2 - 真空排気方法、及び真空装置 - Google Patents
真空排気方法、及び真空装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5460012B2 JP5460012B2 JP2008257942A JP2008257942A JP5460012B2 JP 5460012 B2 JP5460012 B2 JP 5460012B2 JP 2008257942 A JP2008257942 A JP 2008257942A JP 2008257942 A JP2008257942 A JP 2008257942A JP 5460012 B2 JP5460012 B2 JP 5460012B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- gauge
- degree
- vacuum gauge
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
2 試料室
3 真空ポンプ
4 予備排気室
5 ピラニ真空計
6 ペニング真空計
7 真空排気制御装置
8 陽極
9 陰極
10,19 電流計
11 高電圧源
12 磁場
13 フィラメント
14 フィラメント電圧源
15 グリッド
16 コレクタ
17 グリッド電圧源
18 コレクタ電圧源
Claims (5)
- 真空室内の雰囲気を低真空用の真空計と高真空用の真空計による真空度計測を行いつつ、真空排気する真空排気方法において、
真空排気を行いつつ、前記低真空用の真空計による真空度の計測を行い、当該低真空用の真空計の時間経過に対する真空度の変位から、所定の真空度に到達する到達時間を計算し、当該到達時間に達したときに、前記高真空用の真空計の動作を開始することを特徴とする真空排気方法。 - 真空室と、当該真空室を排気する真空ポンプと、当該真空室に設けられ、真空室内の真空度を測定する真空計を備えた真空装置において、
第1の真空計と、当該第1の真空計より高い真空度の真空測定を行う第2の真空計と、前記真空計を制御する制御装置を備え、当該制御装置は、前記第1の真空計の時間経過に対する真空度の変位から、所定の真空度に到達する到達時間を計算し、当該到達時間に達したときに、前記第2の真空計の動作を開始させることを特徴とする真空装置。 - 請求項2において、
前記所定の真空度は、前記第1の真空計で計測可能な真空度より高いことを特徴とする真空装置。 - 請求項2において、
前記第1の真空計は、ピラニ真空計、或いは隔膜真空計であることを特徴とする真空装置。 - 請求項2において、
前記第2の真空計は、電離真空計であることを特徴とする真空装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008257942A JP5460012B2 (ja) | 2008-10-03 | 2008-10-03 | 真空排気方法、及び真空装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008257942A JP5460012B2 (ja) | 2008-10-03 | 2008-10-03 | 真空排気方法、及び真空装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010086926A JP2010086926A (ja) | 2010-04-15 |
JP5460012B2 true JP5460012B2 (ja) | 2014-04-02 |
Family
ID=42250669
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008257942A Active JP5460012B2 (ja) | 2008-10-03 | 2008-10-03 | 真空排気方法、及び真空装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5460012B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5865125B2 (ja) | 2012-03-02 | 2016-02-17 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
GB2543716B (en) * | 2014-09-03 | 2021-11-24 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | Lithium metal composite oxide powder |
KR102502871B1 (ko) * | 2022-10-27 | 2023-02-23 | 주식회사 볼크 | 상하차장치의 제어 방법 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6078564U (ja) * | 1983-11-05 | 1985-05-31 | 日本電子株式会社 | 電子顕微鏡等の排気装置 |
JPS62218834A (ja) * | 1986-03-20 | 1987-09-26 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 気体圧力計 |
JPH0565051U (ja) * | 1992-02-03 | 1993-08-27 | 日本電子株式会社 | 真空排気装置 |
JPH06124676A (ja) * | 1992-10-14 | 1994-05-06 | Jeol Ltd | 真空装置 |
JP2003217493A (ja) * | 2002-01-28 | 2003-07-31 | Canon Inc | 電子線照射装置及び走査電子顕微鏡装置 |
JP2005016648A (ja) * | 2003-06-26 | 2005-01-20 | Jeol Ltd | 排気バルブ |
-
2008
- 2008-10-03 JP JP2008257942A patent/JP5460012B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010086926A (ja) | 2010-04-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5054226B2 (ja) | 酸素の検出方法,空気リークの判別方法,ガス成分検出装置,及び真空処理装置 | |
JP5728728B2 (ja) | 高圧力動作用に設計された動作パラメータと形状とを有する電離真空計 | |
JP5016031B2 (ja) | 質量分析ユニット | |
JP5455700B2 (ja) | 電界放出電子銃及びその制御方法 | |
TWI296828B (ja) | ||
JP2007207758A (ja) | 所定の最終真空圧力を有する粒子光学装置 | |
JP4628807B2 (ja) | 真空処理装置および真空処理方法 | |
JP5460012B2 (ja) | 真空排気方法、及び真空装置 | |
US20080048663A1 (en) | Apparatus for and method of measuring composition and pressure of the discharged gas from ion gauge using residual gas analyzer | |
Stutzman et al. | Characterization of the CEBAF 100 kV DC GaAs photoelectron gun vacuum system | |
JPH10213509A (ja) | 圧力測定装置 | |
JP4830260B2 (ja) | 膜厚検出方法 | |
JP2003217897A (ja) | プラズマ測定装置、測定方法及びセンサプローブ | |
JP5255974B2 (ja) | 真空室内のガス成分測定方法、及び真空装置 | |
JPH07272671A (ja) | ガス分析装置及びガス分析方法 | |
JP2014146486A (ja) | 荷電粒子線装置 | |
JP2023122422A (ja) | 真空度判定装置、真空度判定方法、真空度判定プログラムおよび質量分析装置 | |
CN112210764B (zh) | 反应溅射装置以及成膜方法 | |
JP5148104B2 (ja) | 真空測定方法および真空計 | |
JP2010033833A (ja) | 電界放出型電子銃装置及びその駆動方法 | |
JP2002060935A (ja) | ターゲットエロージョン計測を可能としたスパッタリング装置 | |
JP6138471B2 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
JP5806851B2 (ja) | 酸素検出計 | |
JP2005172611A (ja) | 荷電粒子線装置および荷電粒子線装置の圧力測定方法 | |
JPH06124676A (ja) | 真空装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110223 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110223 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120801 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121225 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131217 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140114 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5460012 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |