JP2005172611A - 荷電粒子線装置および荷電粒子線装置の圧力測定方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 荷電粒子銃付近の真空圧力を測定することができる荷電粒子線装置および荷電粒子線装置の圧力測定方法を提供する。
【解決手段】 加速管３と排気管６とイオンポンプ７のコンダクタンスに相当する値Ｒ_１〜Ｒ_８と、加速管３と排気管６の放出ガス量に相当する値Ｉ_２〜Ｉ_８が、オペレータにより入力手段２３上において入力される。イオンポンプ７に流れるイオン電流値ｉ_０、Ｖｓとして演算手段１８に取り込まれる。真空ゲージ９で測定された真空圧力値Ｐ_０は、Ｖｇとして演算手段１８に取り込まれる。放出ガス量演算手段１９は、データ（Ｖｇ、Ｖｓ、Ｒ_７、Ｒ_８、Ｉ_２〜Ｉ_８）を用いて演算を行って、電子銃１付近の放出ガス量（Ｉ_１）を求める。そのデータ（Ｉ_１）と前記データ（Ｖｇ、Ｒ_１〜Ｒ_６、Ｉ_２〜Ｉ_６）を受け取った圧力演算手段２０は、演算を行って、電子銃１付近の真空圧力値（Ｖｔ）を求める。
【選択図】 図２

Description

本発明は、電子顕微鏡や電子ビーム露光装置やイオンビーム加工装置などの荷電粒子線装置に関し、荷電粒子銃付近の真空圧力を測定するための荷電粒子線装置およびその圧力測定方法に関する。

図１は、従来の透過電子顕微鏡を説明するために示した図である。
図１において１は電子銃（荷電粒子銃）であり、電子銃１はフィラメント１ａとウェネルト１ｂを有している。電子銃１は電子銃容器２に収容されており、電子銃容器２は加速管３に接続されている。
加速管３は電子銃１からの電子を加速するために設けられており、この例における加速管３は、５つの加速電極（４ａ〜４ｅ）を有した５段の多段加速管である。隣り合う加速電極間には高電圧碍子５が配置されている。なお、加速管３の電子銃側端部から加速電極４ａ間を「１段目の加速管」、加速電極４ａから加速電極４ｂ間を「２段目の加速管」、加速電極４ｂから加速電極４ｃ間を「３段目の加速管」、加速電極４ｃから加速電極４ｄ間を「４段目の加速管」、加速電極４ｄから加速電極４ｅ間を「５段目の加速管」とする（図１参照）。
そして、加速管３には排気管６が接続されており、排気管６にはイオンポンプ（排気手段）７が接続されている。このイオンポンプ７は、排気管６、加速管３および電子銃容器２を排気するために設けられている。すなわち、上述した電子銃１部分は、加速管２および排気管６を介してイオンポンプ７により高真空に排気される。このような排気系は、たとえば特開平１１−２９７２４８号公報（特許文献１）に記載されている。なお、イオンポンプ７には、イオンポンプ７に流れるイオン電流を測定する電流計８が設けられている。また、排気管６には真空ゲージ９が取り付けられている。
さらに図１に示すように、真空容器１０が排気管６に接続されており、真空容器１０の内部は図示しない排気装置によって高真空に排気されている。この真空容器１０の内部には上から順に、集束レンズ１１、対物レンズ１２、中間レンズ１３、投影レンズ１４、蛍光板１５の電子光学的構成要素が配置されており、試料１６は集束レンズ１１と対物レンズ１２間に配置されている。
このような構成において、電子銃１から射出された電子は加速管３により加速され、電子線通過孔APを通過した電子線は集束レンズ１１で集束されて試料１６を照射する。そして、その電子線照射によって試料１６を透過した電子線は、対物レンズ１２と中間レンズ１３と投影レンズ１４によって結像拡大され、試料１６の透過電子顕微鏡像が蛍光板１５上に投影される。
さて、図１の透過電子顕微鏡においては、電子銃１と電子銃容器２と加速管３と排気管６とイオンポンプ７と電流計８と真空ゲージ９によって、「電子銃−多段加速管の真空排気システム」が構成されている。この真空排気システムにおける真空ゲージ９は、真空ゲージ付近の排気管６の真空圧力を測定することができる。また、電流計８は、イオンポンプ７に流れるイオン電流を測定して、イオンポンプ７の場所の真空圧力を測定することができる。そこで従来においては、真空ゲージ９で測定された圧力値や、電流計８で測定された圧力値を、前記「電子銃−多段加速管の真空排気システム」の圧力値としていた。

特開平１１−２９７２４８号公報

しかしながら、前記「電子銃−多段加速管の真空排気システム」においてオペレータが本当に知りたい真空圧力は、電子銃１近傍の真空圧力である。なぜなら、電子銃１近傍の真空圧力を知ることができれば、電子銃１のフィラメント１ａに高電圧の加速電圧を印加する場合、電子銃１近傍の真空状態が良くなった時点でフィラメント１ａに高電圧の加速電圧を印加することができ、真空状態が悪い状態で加速電圧を印加することによって発生する微小放電などのトラブルを防ぐことができるからである。
また、電子銃１近傍の真空圧力を知ることができれば、電子銃１のフィラメント１ａにフィラメント加熱電流を流す場合、電子銃１近傍の真空状態が良くなった時点でフィラメント１ａにフィラメント加熱電流を流すことができ、フィラメント１ａの寿命を長くすることができる。これに反し、電子銃１近傍の真空状態が悪いときにフィラメント加熱電流を流してしまうと、フィラメント１ａの寿命が短くなってしまう。
それならば、電子銃１付近に真空圧力ゲージを取り付ければ良いと考えられるが、電子銃１は高電圧が印加されるため、その真空圧力ゲージを制御する回路を高電圧に浮かせる必要がある。さらに、その高電圧に浮いた真空圧力ゲージ制御回路に電力を伝送する手段も必要となる。したがって、電子銃１付近に真空圧力ゲージを取り付けようとすると、装置が大型化してしまい、また複雑になってしまう。

本発明はこのような点に鑑みて成されたものであり、その目的は、荷電粒子銃付近の真空圧力を測定することができる荷電粒子線装置および荷電粒子線装置の圧力測定方法を提供することにある。

上記目的を達成する本発明の荷電粒子線装置は、荷電粒子を射出させる荷電粒子銃と、前記荷電粒子銃からの荷電粒子を加速するための加速管と、排気手段と、前記加速管と排気手段とを接続する排気管と、前記排気管に取り付けられ、排気管内の真空圧力を測定するための圧力測定手段とを備え、前記荷電粒子銃部分は、前記加速管および排気管を介して前記排気手段により排気されるように構成された荷電粒子線装置において、次の（１）〜（７）に基づき、前記荷電粒子銃部分の真空圧力を算出する圧力演算手段を備えたことを特徴としている
（１）前記加速管におけるコンダクタンス
（２）前記排気管におけるコンダクタンス
（３）前記排気手段におけるコンダクタンス
（４）前記加速管における放出ガス量
（５）前記排気管における放出ガス量
（６）前記排気手段の真空圧力値
（７）前記圧力測定手段の真空圧力値。

したがって本発明によれば、荷電粒子銃付近の真空圧力を測定することができる荷電粒子線装置および荷電粒子線装置の圧力測定方法を提供することができる。

以下、図面を用いて本発明の実施の形態について説明する。

図２は、本発明の一例を示した図であり、本発明が適用された透過電子顕微鏡を示した図である。図２において、前記図１と同じ構成要素に対しては図１と同じ番号が付与されており、その構成要素の説明は省略する。

図２において、１７は中央制御装置であり、中央制御装置１７は演算手段１８を備えている。この演算手段１８は、放出ガス量演算手段１９と圧力演算手段２０を備えている。

また、演算手段１８は、ＡＤ変換器２１を介して前記電流計８に電気的に接続されていると共に、ＡＤ変換器２２を介して前記真空ゲージ９に電気的に接続されている。さらに演算手段１８は、キーボードやマウスなどで構成された入力手段２３と、モニタ（表示手段）２４に電気的に接続されている。

以上、図２の装置構成について説明したが、図２の透過電子顕微鏡は、図１の透過電子顕微鏡に上記構成要素（１７〜２４）が更に追加された構成となっている。

さて、図２の透過電子顕微鏡においては、上述したように、電子銃１と電子銃容器２と加速管３と排気管６とイオンポンプ７と電流計８と真空ゲージ９によって「電子銃−多段加速管の真空排気システム」が構成されている。この「電子銃−多段加速管の真空排気システム」は、各部のコンダクタンスの逆数を抵抗（Ｒ_１〜Ｒ_８）に、各部の放出ガスを電流源（Ｉ_１〜Ｉ_８）に、イオンポンプ７の真空圧力値を電圧源（Ｖｓ）にモデル化すると、図３に示すような電気回路モデルに置き換えることができる。

図３において、Ｒ_１は前記「１段目の加速管」のコンダクタンスに相当する抵抗値、Ｒ_２は前記「２段目の加速管」のコンダクタンスに相当する抵抗値、Ｒ_３は前記「３段目の加速管」のコンダクタンスに相当する抵抗値、Ｒ_４は前記「４段目の加速管」のコンダクタンスに相当する抵抗値、Ｒ_５は前記「５段目の加速管」のコンダクタンスに相当する抵抗値である。抵抗値Ｒ_１は、加速電極４ａの電子線通過孔の形状より求められるコンダクタンスの逆数（定数）である。同様に、各抵抗値Ｒ_２〜Ｒ_５は、各加速電極（４ｂ〜４ｅ）の電子線通過孔の形状より求められるコンダクタンスの逆数（定数）である。これらの抵抗値Ｒ_１〜Ｒ_５は、オペレータが容易に求めることができる値である。

また、図３においてＲ_６は、図２の場所６ａにおけるコンダクタンスに相当する抵抗値である。すなわち抵抗値Ｒ_６は、真空ゲージ９より加速管側排気管の流れコンダクタンスの逆数（定数）である。図３においてＲ_７は、図２の場所６ｂにおけるコンダクタンスに相当する抵抗値である。すなわち抵抗値Ｒ_７は、真空ゲージ９よりイオンポンプ側排気管の流れコンダクタンスの逆数（定数）である。図３においてＲ_８は、イオンポンプ７のコンダクタンスに相当する抵抗値であり、イオンポンプ７の排気速度の逆数（定数）である。これらの抵抗値Ｒ_６〜Ｒ_８は、オペレータが容易に求めることができる値である。

また、図３において、Ｉ_１は前記「１段目の加速管」と電子銃容器２内（電子銃１を含む）における放出ガス量に相当する電流値、Ｉ_２は前記「２段目の加速管」における放出ガス量に相当する電流値、Ｉ_３は前記「３段目の加速管」における放出ガス量に相当する電流値、Ｉ_４は前記「４段目の加速管」における放出ガス量に相当する電流値、Ｉ_５は前記「５段目の加速管」における放出ガス量に相当する電流値である。これらの電流値のうち、電流値Ｉ_２〜Ｉ_５は、各段の材質、内部表面積、洗浄処理内容、ベーク処理（熱処理）内容、イオンポンプ７による排気時間などから、オペレータが計算により容易に求めることができる値（定数）である。一方、電子銃１の形状や材質は複雑であるため、前記電流値Ｉ_１をオペレータが計算により求めることは大変面倒な作業である。そこで本発明の図２の装置は、この電流値Ｉ_１を演算により求めるように構成されている。詳しくは後述する。

また、図３においてＩ_６は、図２の場所６ａにおける放出ガス量に相当する電流値である。すなわち電流値Ｉ_６は、真空ゲージ９より加速管側排気管の放出ガス量に相当する電流値である。図３においてＩ_７は、図２の場所６ｃにおける放出ガス量に相当する電流値である。すなわち電流値Ｉ_７は、真空ゲージ９付近の排気管の放出ガス量に相当する電流値である。図３においてＩ_８は、図２の場所６ｂにおける放出ガス量に相当する電流値である。すなわち電流値Ｉ_８は、真空ゲージ９よりイオンポンプ側排気管の放出ガス量に相当する電流値である。これらの電流値Ｉ_６〜Ｉ_８は、各部の材質、内部表面積、洗浄処理内容、ベーク処理（熱処理）内容、イオンポンプ７による排気時間などから、オペレータが計算により容易に求めることができる値（定数）である。

また、図３において、Ｖｓはイオンポンプ７の真空圧力値に相当する電圧値（定数）、Ｖｇは真空ゲージ９の真空圧力値に相当する電圧値（定数）、Ｖｔは電子銃１付近の真空圧力値に相当する電圧値である。この電圧値Ｖｔを求めることが本発明の目的であり、本発明の図２の装置は、この電圧値Ｖｔを演算により求めるように構成されている。詳しくは後述する。

さて、図３に示した「電子銃−多段加速管の真空排気システム」の電気回路モデルにおいては、以下の式が成り立つ。

Ｖｇ＝Ｖｓ＋Ｒ_８（Ｉ_１＋Ｉ_２＋Ｉ_３＋Ｉ_４＋Ｉ_５＋Ｉ_６＋Ｉ_７＋Ｉ_８）
＋Ｒ_７（Ｉ_１＋Ｉ_２＋Ｉ_３＋Ｉ_４＋Ｉ_５＋Ｉ_６＋Ｉ_７） …式（１）
Ｖｔ＝Ｖｇ＋Ｒ_６（Ｉ_１＋Ｉ_２＋Ｉ_３＋Ｉ_４＋Ｉ_５＋Ｉ_６）
＋Ｒ_５（Ｉ_１＋Ｉ_２＋Ｉ_３＋Ｉ_４＋Ｉ_５）
＋Ｒ_４（Ｉ_１＋Ｉ_２＋Ｉ_３＋Ｉ_４）＋Ｒ_３（Ｉ_１＋Ｉ_２＋Ｉ_３）
＋Ｒ_２（Ｉ_１＋Ｉ_２）＋Ｒ_１（Ｉ_１） …式（２）
そして、本発明の図２の装置においては、上記式（２）が前記圧力演算手段２０に記憶されている。さらに図２の装置においては、放出ガス量演算手段１９は、上記式（１）を下記式（３）の形で記憶している。

Ｉ_１＝（Ｖｇ−Ｖｓ−Ｒ_８（Ｉ_２＋Ｉ_３＋Ｉ_４＋Ｉ_５＋Ｉ_６＋Ｉ_７＋Ｉ_８）
−Ｒ_７（Ｉ_２＋Ｉ_３＋Ｉ_４＋Ｉ_５＋Ｉ_６＋Ｉ_７））／（Ｒ_８＋Ｒ_７） …式（３）
以下、図２の装置の動作説明を行う。なお、図２の装置の現状は、イオンポンプ７による排気がある時間連続して行われている状態であって、フィラメント１ａへの加速電圧印加やフィラメント加熱は行われていない状態とする。

このような状態においてオペレータは、予め求めた前記Ｒ_１〜Ｒ_８と前記Ｉ_２〜Ｉ_８を、定数として入力手段２３に入力する。すると、それらの入力値を表すデータ（Ｒ_１〜Ｒ_８、Ｉ_２〜Ｉ_８）は演算手段１８に取り込まれる。
また、イオンポンプ７に流れるイオン電流ｉ_０は電流計８で測定される。電流計８で測定されたイオン電流値ｉ_０はイオンポンプ７の真空圧力値に対応しており、そのイオン電流値ｉ_０は、ＡＤ変換器２１を介し、前記Ｖｓとして演算手段１８に取り込まれる。さらに、真空ゲージ９で測定された真空圧力値Ｐ_０は、ＡＤ変換器２２を介し、前記Ｖｇとして演算手段１８に取り込まれる。
こうして各データ（Ｖｇ、Ｖｓ、Ｒ_１〜Ｒ_８、Ｉ_２〜Ｉ_８）が演算手段１８に取り込まれると、演算手段１８は、それらのデータのうちデータ（Ｖｇ、Ｖｓ、Ｒ_７、Ｒ_８、Ｉ_２〜Ｉ_８）を放出ガス量演算手段１９に送ると共に、データ（Ｖｇ、Ｒ_１〜Ｒ_６、Ｉ_２〜Ｉ_６）を圧力演算手段２０に送る。
すると、データ（Ｖｇ、Ｖｓ、Ｒ_７、Ｒ_８、Ｉ_２〜Ｉ_８）を受け取った放出ガス量演算手段１９は、上記式（３）の演算を行って前記Ｉ_１を求める。こうして、電子銃１付近の放出ガス量（Ｉ_１）が求められる。このように本発明においては、電子銃１の形状や材質が複雑なためにオペレータが求めることが面倒な値Ｉ_１、すなわち電子銃１付近の放出ガス量（Ｉ_１）は、装置側において演算により求められる。
そして放出ガス量演算手段１９は、求めたＩ_１を表すデータ（Ｉ_１）を圧力演算手段２０に送る。すると、そのデータ（Ｉ_１）と前記データ（Ｖｇ、Ｒ_１〜Ｒ_６、Ｉ_２〜Ｉ_６）を受け取った圧力演算手段２０は、上記式（２）の演算を行って前記Ｖｔを求める。こうして、電子銃１付近の真空圧力値（Ｖｔ）が求められる。
そして圧力演算手段２０は、求めたＶｔを表す表示データ（Ｖｔ）を作成し、その表示データ（Ｖｔ）をモニタ２４に供給する。この結果、モニタ２４の画面上には、電子銃１付近の真空圧力値（Ｖｔ）が表示される。したがってオペレータは、電子銃１付近の現在の真空圧力値（Ｖｔ）を知ることができる。このため、オペレータはフィラメント１ａに加速電圧を印加するタイミングを間違えることがなくなり、真空状態が悪い状態で加速電圧を印加することによって発生する微小放電などのトラブルを防ぐことができる。
また、オペレータは電子銃１付近の現在の真空圧力値を知ることができるので、フィラメント１ａにフィラメント加熱電流を流す場合、電子銃１近傍の真空状態が良くなった時点でフィラメント１ａにフィラメント加熱電流を流すことができる。このため、フィラメント１ａの寿命を延ばすことができる。
また、図２の装置においては、放出ガス量演算手段１９の演算は連続して繰り返し行われる。その演算結果はイオンポンプ７の真空圧力値（Ｖｓ）と真空ゲージ９の真空圧力値（Ｖｇ）の変化に伴って変化し、そして、それらの真空圧力値（Ｖｓ、Ｖｇ）は電子銃１付近の放出ガス量（Ｉ_１）の変化に伴って変化する。このため、フィラメント加熱電流を流したことによって電子銃１付近の放出ガス量が増加した場合でも、そのときの電子銃１付近の放出ガス量（Ｉ_１）は放出ガス量演算手段１９によって迅速に求められる。
同様に図２の装置においては、圧力演算手段２０の演算は連続して繰り返し行われる。その演算結果は、真空ゲージ９の真空圧力値（Ｖｇ）と、上述した放出ガス量演算手段１９の演算値（Ｉ_１）の変化に伴って変化する。このため、図２の装置においては、電子銃１付近の放出ガス量が変化した場合でも、電子銃１付近の真空圧力値（Ｖｔ）は圧力演算手段２０によって迅速に求められる。
以上、本発明の一例を図２および図３を用いて説明したが、本発明はこの例に限定されるものではない。
たとえば、上記例では電子銃１付近の真空圧力値（Ｖｔ）を圧力演算手段２０で求めるようにしているが、２段目の加速管（図３のＲ_１とＲ_２の接続部）や３段目の加速管（図３のＲ_２とＲ_３の接続部）などの真空圧力値を圧力演算手段２０で求めるようにしてもよい。その場合、図３のＲ_１とＲ_２の接続部の電圧値Ｖ_１２を以下の計算式から求めることによって、２段目の加速管の真空圧力値（Ｖ_１２）が求められる。
Ｖ_１２＝Ｖｇ＋Ｒ_６（Ｉ_１＋Ｉ_２＋Ｉ_３＋Ｉ_４＋Ｉ_５＋Ｉ_６）
＋Ｒ_５（Ｉ_１＋Ｉ_２＋Ｉ_３＋Ｉ_４＋Ｉ_５）＋Ｒ_４（Ｉ_１＋Ｉ_２＋Ｉ_３＋Ｉ_４）
＋Ｒ_３（Ｉ_１＋Ｉ_２＋Ｉ_３）＋Ｒ_２（Ｉ_１＋Ｉ_２）
なお、他の部分の電圧値も計算により求めることができる（計算式は省略）。そして、計算により求めた各部の電圧値を、その各部の真空圧力値として前記モニタ２４上に表示するようにすれば、この真空排気システム全体の真空圧力分布を表示することができる。

また、上記例では、求められた真空圧力値をモニタ上に数値で表示するようにしたが、その真空圧力値に応じた長さを持つ「圧力バー」をモニタ上に表示させるようにしてもよい。その場合、真空圧力が低い場合には長い「圧力バー」をモニタ上に表示させ、真空圧力値が高い場合には短い「圧力バー」をモニタ上に表示させるようにすればよい。

また、上記電流値Ｉ_２〜Ｉ_８を、装置が置かれている場所の室温なども考慮して求めるようにしてもよい。また、ベーク処理中における電流値Ｉ_２〜Ｉ_８を求め、ベーク処理中における真空圧力値を求めるようにしてもよい。

また、上記例では、５段の加速管を備えた装置について説明したが、その段数は５段に限定されるものではなく、何段であっても構わない。

また、本発明は透過電子顕微鏡に限定されるものではなく、走査電子顕微鏡や電子ビーム露光装置、またはイオン銃を備えたイオンビーム加工装置などに適用することも可能である。

従来の透過電子顕微鏡を説明するために示した図である。 本発明の一例を示した図であり、透過電子顕微鏡を示した図である。 図２の加速管真空排気系の電気回路モデルを示した図である。

符号の説明

１…電子銃、１ａ…フィラメント、１ｂ…ウェネルト、２…電子銃容器、３…加速管、４ａ〜４ｅ…加速電極、５…高電圧碍子、６…排気管、７…イオンポンプ、８…電流計、９…真空ゲージ、１０…真空容器、１１…集束レンズ、１２対物レンズ、１３…中間レンズ、１４…投影レンズ、１５…蛍光板、１６…試料、１７…中央制御装置、１８…演算手段、１９…放出ガス量演算手段、２０…圧力演算手段、２１…ＡＤ変換器、２２…ＡＤ変換器、２３…入力手段、２４…モニタ

Claims (8)

1. 荷電粒子を射出させる荷電粒子銃と、
   前記荷電粒子銃からの荷電粒子を加速するための加速管と、
   排気手段と、
   前記加速管と排気手段とを接続する排気管と、
   前記排気管に取り付けられ、排気管内の真空圧力を測定するための圧力測定手段とを備え、前記荷電粒子銃部分は、前記加速管および排気管を介して前記排気手段により排気されるように構成された荷電粒子線装置において、
   次の（１）〜（７）に基づき、前記荷電粒子銃部分の真空圧力を算出する圧力演算手段を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置
   （１）前記加速管におけるコンダクタンス
   （２）前記排気管におけるコンダクタンス
   （３）前記排気手段におけるコンダクタンス
   （４）前記加速管における放出ガス量
   （５）前記排気管における放出ガス量
   （６）前記排気手段の真空圧力値
   （７）前記圧力測定手段の真空圧力値。
2. 荷電粒子を射出させる荷電粒子銃と、
   前記荷電粒子銃からの荷電粒子を加速するための加速管と、
   排気手段と、
   前記加速管と排気手段とを接続する排気管と、
   前記排気管に取り付けられ、排気管内の真空圧力を測定するための圧力測定手段とを備え、前記荷電粒子銃部分は、前記加速管および排気管を介して前記排気手段により排気されるように構成された荷電粒子線装置において、
   次の（１）〜（６）に基づき、前記荷電粒子銃部分の放出ガス量を算出する放出ガス量演算手段を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置
   （１）前記排気管におけるコンダクタンス
   （２）前記排気手段におけるコンダクタンス
   （３）前記加速管における放出ガス量
   （４）前記排気管における放出ガス量
   （５）前記排気手段の真空圧力値
   （６）前記圧力測定手段の真空圧力値。
3. 各コンダクタンスおよび各放出ガス量は、予め計算により求められた値であることを特徴とする請求項１または請求項２記載の荷電粒子線装置。
4. 前記加速管における放出ガス量は、加速管の材質、加速管内部の表面積、加速管の洗浄処理、加速管のベーク処理、加速管の排気時間に基づき、予め計算により求められた値であることを特徴とする請求項３記載の荷電粒子線装置。
5. 前記排気管における放出ガス量は、排気管の材質、排気管内部の表面積、排気管の洗浄処理、排気管のベーク処理、排気管の排気時間に基づき、予め計算により求められた値であることを特徴とする請求項３記載の荷電粒子線装置。
6. 前記排気手段はイオンポンプであり、前記排気手段の真空圧力値は、イオンポンプに流れるイオン電流を測定する電流測定手段によって測定されることを特徴とする請求項１または請求項２記載の荷電粒子線装置。
7. 荷電粒子を射出させる荷電粒子銃と、
   前記荷電粒子銃からの荷電粒子を加速するための加速管と、
   排気手段と、
   前記加速管と排気手段とを接続する排気管と、
   前記排気管に取り付けられ、排気管内の真空圧力を測定するための圧力測定手段とを備え、前記荷電粒子銃部分は、前記加速管および排気管を介して前記排気手段により排気されるように構成された荷電粒子線装置において、
   次の（１）〜（７）に基づき、前記荷電粒子銃部分の真空圧力を算出するようにしたことを特徴とする荷電粒子線装置の圧力測定方法
   （１）前記加速管におけるコンダクタンス
   （２）前記排気管におけるコンダクタンス
   （３）前記排気手段におけるコンダクタンス
   （４）前記加速管における放出ガス量
   （５）前記排気管における放出ガス量
   （６）前記排気手段の真空圧力値
   （７）前記圧力測定手段の真空圧力値。
8. 荷電粒子を射出させる荷電粒子銃と、
   前記荷電粒子銃からの荷電粒子を加速するための加速管と、
   排気手段と、
   前記加速管と排気手段とを接続する排気管と、
   前記排気管に取り付けられ、排気管内の真空圧力を測定するための圧力測定手段とを備え、前記荷電粒子銃部分は、前記加速管および排気管を介して前記排気手段により排気されるように構成された荷電粒子線装置において、
   次の（１）〜（６）に基づき、前記荷電粒子銃部分の放出ガス量を算出するようにしたことを特徴とする荷電粒子線装置の圧力測定方法
   （１）前記排気管におけるコンダクタンス
   （２）前記排気手段におけるコンダクタンス
   （３）前記加速管における放出ガス量
   （４）前記排気管における放出ガス量
   （５）前記排気手段の真空圧力値
   （６）前記圧力測定手段の真空圧力値。
   

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