JP4584015B2 - 電界放射型電子銃を用いた電子線装置 - Google Patents
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Description
なお図2の構成例では、サーマルタイプのFEGのためエミッタ加熱電源2が構成されているが、コールドタイプのFEGでは不要である。また、実際の電子線装置では、引出電極4の他にも種々のレンズ電極や、電圧発生回路、電子線を細く集束するための電子レンズなどを備えるが省略している。
Vacc=Va+Ie×Re …(1)
となり、エミッション電流を計測することによって、エミッタに印加する所望の加速電圧Vaに対して、実際の加速電圧は検出抵抗5による電圧降下分(Ie×Re)だけ変化してしまう。エミッタに印加される加速電圧は負の値であるので、加速電圧の絶対値は小さくなる。これを避けようとして抵抗値Reを小さくすると、電圧降下すなわちIeの測定誤差が大きくなるという問題がある。
図3において、エミッタ1aから放射された電子は、引出電極3に流れ込む電子(電流Ie)とそれ以外の電極や試料を通ってグランドに流れ込む電子に分かれる。電流Ieと抵抗値Reによる電圧降下分をIe計測回路6で計測することによりIeを計測することができる。検出抵抗5は加速電圧電源9とエミッタ1a間の回路外に位置しているため、Ie計測回路6で計測される電圧降下分は加速電圧に影響を及ぼさない。
エミッタ及び各種電極を備える電界放射型電子銃と、前記エミッタに所望の加速電圧を印加するための所定の増幅率を持つ加速電圧電源と、前記所望の加速電圧に応じて前記加速電圧電源に必要な基準電圧を与えるための基準電圧電源とを備える電子線装置において、
前記エミッタと前記加速電圧電源の間に配置されて前記エミッタに流れる全電流を検出するための検出手段と、前記検出手段から得られる検出出力に基づいて求めた補正電圧と前記基準電圧との加算値を前記加速電圧電源に入力する入力手段を備えたことを特徴とする。
前記電位差と加速電圧電源の出力電圧を加算した電圧を、実際のエミッタに印加される所望の加速電圧とすることができる。そのため、エミッタに印加する所望の加速電圧に誤差を生ずることなく、エミッタ電流を正確に計測できるので、エミッタの動作状態を常に正しく把握することが可能となり、エミッタの保護、装置の立ち上げなどがやり易くなった。また所望の加速電圧に正しく設定して試料の観察・分析等が行えるので、データの信頼性が向上した。
図1において、図2に示した従来構成例に、加算器11、演算回路12が加えられ、アイソレータ7の出力電圧が演算回路12を介して加算器11に入力されるように構成されている。
Va=K×Vr …(2)
で与えられる。次に、補正電圧Veが加算器11に加えられた時の加速電圧電源9からの出力電圧をVaeとおくと、
Vae=K×(Vr−Ve) …(3)
である。式(3)において、補正電圧Veは基準電圧Vrと逆極性の電圧を加算することを意味している。またこの時、検出抵抗5による電圧降下分が加算されるので、実際にエミッタ1aに印加される加速電圧Vaccは、
Vacc=Vae+Ie×Re …(4)
である。ここで、式(4)で与えられる電圧が所望の加速電圧となるようにVeを決めれば良い。すなわち、式(3)のVaeを式(4)に代入し、式(2)のVaと式(4)のVaccが等しいとおけば、
K×Vr=K×(Vr−Ve)+Ie×Re …(5)
が得られる。式(5)をVeについて解けば、
Ve=Ie×Re/K …(6)
となる。従って、補正電圧Veは、エミッション電流計測回路6からアイソレータ7を経て送られてきた検出抵抗5の電圧降下分Ie×Reに基づき、演算回路12により式(6)のように設定すれば良い。
EB 電子線
1 電子銃(FEG) 1a エミッタ
2 エミッタ加熱電源 3 引出電極
4 引出電極電源 5 検出抵抗(Re)
6 エミッション電流計測回路 7 アイソレータ
8 エミッション電流表示装置 9 加速電圧電源
10 基準電圧電源 11 加算器
12 演算回路
Claims (4)
- エミッタ及び各種電極を備える電界放射型電子銃と、前記エミッタに所望の加速電圧を印加するための所定の増幅率を持つ加速電圧電源と、前記所望の加速電圧に応じて前記加速電圧電源に必要な基準電圧を与えるための基準電圧電源とを備える電子線装置において、
前記エミッタと前記加速電圧電源の間に配置されて前記エミッタに流れる全電流を検出するための検出手段と、前記検出手段から得られる検出出力に基づいて求めた補正電圧と前記基準電圧との加算値を前記加速電圧電源に入力する入力手段を備えた、ことを特徴とする電子線装置。 - 前記検出手段は、前記エミッタに流れる全エミッション電流を検出するための検出抵抗と、前記検出抵抗の両端間に電圧降下により生じる電位差を検出するためのエミッション電流計測回路である、ことを特徴とする請求項1に記載の電子線装置。
- 前記入力手段は、前記補正電圧と前記基準電圧を加算するために前記加速電圧電源と前記基準電圧電源との間に配置された加算器と、前記電位差に基づいて前記補正電圧を求めるために前記検出手段と前記加算器との間に配置された演算回路を備える、ことを特徴とする請求項1乃至2に記載の電子線装置。
- 前記検出抵抗の両端間に電圧降下により生じる電位差を前記加速電圧電源の所定の増幅率で除した値を前記補正電圧として前記演算回路によって求める、ことを特徴とする請求項1乃至3に記載の電子線装置。
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JP2005130650A JP4584015B2 (ja) | 2005-04-28 | 2005-04-28 | 電界放射型電子銃を用いた電子線装置 |
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JP2006164622A (ja) * | 2004-12-03 | 2006-06-22 | Shimadzu Corp | 電子銃の加速電圧補正方法、及び電子銃制御装置 |
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