JPH11224624A - Ｘ線管、ｘ線発生装置及び検査システム - Google Patents
Ｘ線管、ｘ線発生装置及び検査システムInfo
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- JPH11224624A JPH11224624A JP10025878A JP2587898A JPH11224624A JP H11224624 A JPH11224624 A JP H11224624A JP 10025878 A JP10025878 A JP 10025878A JP 2587898 A JP2587898 A JP 2587898A JP H11224624 A JPH11224624 A JP H11224624A
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- rays
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- H05G1/00—X-ray apparatus involving X-ray tubes; Circuits therefor
- H05G1/02—Constructional details
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
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- H01J2235/16—Vessels
- H01J2235/163—Vessels shaped for a particular application
Abstract
(57)【要約】
【課題】 被検査物を接近させてＸ線の照射を可能とし
たＸ線管及びＸ線発生装置を提供すること。 【解決手段】 Ｘ線を出射するＸ線管３であって、Ｘ線
の出射窓５４を有する頂面５３を有しその頂面５３の出
射窓５４の周辺にＸ線の出射方向に対して傾斜するテー
パ面５６、５６が形成されている。
たＸ線管及びＸ線発生装置を提供すること。 【解決手段】 Ｘ線を出射するＸ線管３であって、Ｘ線
の出射窓５４を有する頂面５３を有しその頂面５３の出
射窓５４の周辺にＸ線の出射方向に対して傾斜するテー
パ面５６、５６が形成されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、Ｘ線を出射するＸ
線管、Ｘ線発生装置及びそれらを用いた被検査物の検査
システムに関するものである。
線管、Ｘ線発生装置及びそれらを用いた被検査物の検査
システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のＸ線管として、特開平７−２９６
７５１号公報に記載されるように、電子を放出する電子
銃及びその電子を受けてＸ線を発生させるターゲットを
内蔵したものが知られている。また、従来のＸ線発生装
置として、特開平７−２９５３２号公報に記載されるよ
うに、Ｘ線管及びそのＸ線管の駆動回路等を内蔵したも
のが知られている。
７５１号公報に記載されるように、電子を放出する電子
銃及びその電子を受けてＸ線を発生させるターゲットを
内蔵したものが知られている。また、従来のＸ線発生装
置として、特開平７−２９５３２号公報に記載されるよ
うに、Ｘ線管及びそのＸ線管の駆動回路等を内蔵したも
のが知られている。
【０００３】これらのＸ線管及びＸ線発生装置は、特開
平６−３１５１５２号公報に記載されるように、主に、
物体の内部構造の非破壊・被接触観察などに用いられて
いる。例えば、Ｘ線管及びＸ線発生装置から出射された
Ｘ線を被検査物に照射し、被検査物を透過したＸ線をＸ
線蛍光増倍管（イメージインテンシファイア管：Ｉ．
Ｉ．管）などで検出する。そして、被検査物の拡大透視
画像を観察することにより、被検査物の内部構造の非破
壊・被接触検査が可能となる。
平６−３１５１５２号公報に記載されるように、主に、
物体の内部構造の非破壊・被接触観察などに用いられて
いる。例えば、Ｘ線管及びＸ線発生装置から出射された
Ｘ線を被検査物に照射し、被検査物を透過したＸ線をＸ
線蛍光増倍管（イメージインテンシファイア管：Ｉ．
Ｉ．管）などで検出する。そして、被検査物の拡大透視
画像を観察することにより、被検査物の内部構造の非破
壊・被接触検査が可能となる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
被検査物の検査において、特開平６−９４６５０号公報
及び特開平６−１８４５０号公報に記載されるように、
一般に、Ｘ線の照射方向に対し直交する軸を中心に被検
査物を回転させ被検査物の向きを変えることにより、不
具合箇所を的確に特定する手法が採られている。
被検査物の検査において、特開平６−９４６５０号公報
及び特開平６−１８４５０号公報に記載されるように、
一般に、Ｘ線の照射方向に対し直交する軸を中心に被検
査物を回転させ被検査物の向きを変えることにより、不
具合箇所を的確に特定する手法が採られている。
【０００５】一方、これらの被検査物の検査において、
透視画像の拡大率は、Ｘ線管装置内のＸ線発生点（Ｘ線
管の焦点位置）から被検査物の位置までの距離（Ａ）
と、被検査物の位置からＩ．Ｉ．管のＸ線入射面までの
距離（Ｂ）との比で決まる。すなわち、拡大率Ｍは、 Ｍ＝（Ａ＋Ｂ）／Ａ …（１） である。通常は、Ａ《Ｂなので、 Ｍ＝Ｂ／Ａ …（２） と表すことができる。
透視画像の拡大率は、Ｘ線管装置内のＸ線発生点（Ｘ線
管の焦点位置）から被検査物の位置までの距離（Ａ）
と、被検査物の位置からＩ．Ｉ．管のＸ線入射面までの
距離（Ｂ）との比で決まる。すなわち、拡大率Ｍは、 Ｍ＝（Ａ＋Ｂ）／Ａ …（１） である。通常は、Ａ《Ｂなので、 Ｍ＝Ｂ／Ａ …（２） と表すことができる。
【０００６】すなわち、大きな拡大率を得るには、Ａを
小さくすること、又は、Ｂを大きくすることが考えられ
る。しかし、Ｂを大きくすると、Ｘ線検査装置全体が大
きくなるとともに、Ｘ線の外部への漏れを防ぐための鉛
シールドの量が増えるなど重量の増大が著しい。
小さくすること、又は、Ｂを大きくすることが考えられ
る。しかし、Ｂを大きくすると、Ｘ線検査装置全体が大
きくなるとともに、Ｘ線の外部への漏れを防ぐための鉛
シールドの量が増えるなど重量の増大が著しい。
【０００７】このため、少しでもＡを小さくすることが
望ましいが、前述のように、被検査物の向きを変える手
法を採る場合、Ａを小さくすると、被検査物を載せるた
めのサンプルホルダなどがＸ線管の出射面に接触してし
まう。このため、透視画像の拡大率を増加には、一定の
制限がある。従って、拡大率の大きい透視画像を観察し
ながら、的確な被検査物の状態の検査を行うことは困難
であった。
望ましいが、前述のように、被検査物の向きを変える手
法を採る場合、Ａを小さくすると、被検査物を載せるた
めのサンプルホルダなどがＸ線管の出射面に接触してし
まう。このため、透視画像の拡大率を増加には、一定の
制限がある。従って、拡大率の大きい透視画像を観察し
ながら、的確な被検査物の状態の検査を行うことは困難
であった。
【０００８】そこで本発明は、以上のような問題点を解
決するためになされたものであって、被検査物を接近さ
せてＸ線の照射を可能としたＸ線管、Ｘ線発生装置及び
検査システムを提供することを目的とする。
決するためになされたものであって、被検査物を接近さ
せてＸ線の照射を可能としたＸ線管、Ｘ線発生装置及び
検査システムを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明に係る
Ｘ線管は、Ｘ線を出射するＸ線管であって、Ｘ線の出射
窓を有する先端面を有しその先端面の出射窓の周辺にＸ
線の出射方向に対して傾斜するテーパ面が形成されてい
ることを特徴とする。
Ｘ線管は、Ｘ線を出射するＸ線管であって、Ｘ線の出射
窓を有する先端面を有しその先端面の出射窓の周辺にＸ
線の出射方向に対して傾斜するテーパ面が形成されてい
ることを特徴とする。
【００１０】この発明によれば、Ｘ線を被検査物に照射
しその被検査物を透過するＸ線を検出することにより被
検査物の内部構造などを検査する検査システムに用いら
れる場合、被検査物をＸ線の出射窓に近接させて配置し
ながらその被検査物を出射方向と交差する軸を中心に回
動させても、テーパ面の形成により被検査物が先端面に
当接することを回避できる。このため、被検査物をＸ線
の出射位置に近接させて配置しながら、その被検査物の
向きを変えることが可能である。従って、被検査物の拡
大率の大きい拡大透視画像が得られると共に、被検査物
の向きを変えて被検査物の内部構造などを詳細に確認す
ることができる。
しその被検査物を透過するＸ線を検出することにより被
検査物の内部構造などを検査する検査システムに用いら
れる場合、被検査物をＸ線の出射窓に近接させて配置し
ながらその被検査物を出射方向と交差する軸を中心に回
動させても、テーパ面の形成により被検査物が先端面に
当接することを回避できる。このため、被検査物をＸ線
の出射位置に近接させて配置しながら、その被検査物の
向きを変えることが可能である。従って、被検査物の拡
大率の大きい拡大透視画像が得られると共に、被検査物
の向きを変えて被検査物の内部構造などを詳細に確認す
ることができる。
【００１１】また本発明に係るＸ線発生装置は、Ｘ線を
出射するＸ線出射手段を備えたＸ線発生装置であって、
Ｘ線出射手段が前述のＸ線管であることを特徴とする。
出射するＸ線出射手段を備えたＸ線発生装置であって、
Ｘ線出射手段が前述のＸ線管であることを特徴とする。
【００１２】また本発明に係るＸ線発生装置は、Ｘ線を
出射するＸ線出射手段を備えたＸ線発生装置であって、
構成部品を収容する筐体を備え、Ｘ線出射手段の出射窓
が設けられる筐体の表面にＸ線の出射方向に対して傾斜
するテーパ面が形成されていることを特徴とする。
出射するＸ線出射手段を備えたＸ線発生装置であって、
構成部品を収容する筐体を備え、Ｘ線出射手段の出射窓
が設けられる筐体の表面にＸ線の出射方向に対して傾斜
するテーパ面が形成されていることを特徴とする。
【００１３】また本発明に係るＸ線発生装置は、前述の
筐体の表面の一方に片寄る位置に出射窓が設けられ、表
面の他方側にはテーパ面が形成されていることを特徴と
する。
筐体の表面の一方に片寄る位置に出射窓が設けられ、表
面の他方側にはテーパ面が形成されていることを特徴と
する。
【００１４】これらの発明によれば、Ｘ線を被検査物に
照射しその被検査物を透過するＸ線を検出することによ
り被検査物の内部構造などを検査する検査システムに用
いられる場合、被検査物をＸ線の出射窓に近接させて配
置しながらその被検査物を出射方向と交差する軸を中心
に回動させても、テーパ面の形成により被検査物が先端
面に当接することを回避できる。このため、被検査物を
Ｘ線の出射位置に近接させて配置しながら、その被検査
物の向きを変えることが可能である。従って、被検査物
の拡大率の大きい拡大透視画像が得られると共に、被検
査物の向きを変えて被検査物の内部構造などを詳細に確
認することができる。
照射しその被検査物を透過するＸ線を検出することによ
り被検査物の内部構造などを検査する検査システムに用
いられる場合、被検査物をＸ線の出射窓に近接させて配
置しながらその被検査物を出射方向と交差する軸を中心
に回動させても、テーパ面の形成により被検査物が先端
面に当接することを回避できる。このため、被検査物を
Ｘ線の出射位置に近接させて配置しながら、その被検査
物の向きを変えることが可能である。従って、被検査物
の拡大率の大きい拡大透視画像が得られると共に、被検
査物の向きを変えて被検査物の内部構造などを詳細に確
認することができる。
【００１５】また本発明に係る検査システムは、Ｘ線を
被検査物に照射しその被検査物を透過するＸ線を検出す
ることにより被検査物の状態を検査する検査システムで
あって、Ｘ線を出射する前述のＸ線発生装置と、被検査
物をＸ線の出射方向に対し交差する軸を中心に回動させ
る回動手段と、Ｘ線の出射方向であって被検査物の後方
に配置され被検査物を透過するＸ線を検出するＸ線検出
手段とを備えたことを特徴とする。
被検査物に照射しその被検査物を透過するＸ線を検出す
ることにより被検査物の状態を検査する検査システムで
あって、Ｘ線を出射する前述のＸ線発生装置と、被検査
物をＸ線の出射方向に対し交差する軸を中心に回動させ
る回動手段と、Ｘ線の出射方向であって被検査物の後方
に配置され被検査物を透過するＸ線を検出するＸ線検出
手段とを備えたことを特徴とする。
【００１６】この発明によれば、被検査物をＸ線の出射
窓に近接させて配置しながらその被検査物を出射方向と
交差する軸を中心に回動させても、テーパ面の形成によ
り被検査物が先端面に当接することを回避できる。この
ため、被検査物をＸ線の出射位置に近接させて配置しな
がら、その被検査物の向きを変えることが可能である。
従って、被検査物の拡大率の大きい拡大透視画像が得ら
れると共に、被検査物の向きを変えて被検査物の内部構
造などを詳細に確認することができる。
窓に近接させて配置しながらその被検査物を出射方向と
交差する軸を中心に回動させても、テーパ面の形成によ
り被検査物が先端面に当接することを回避できる。この
ため、被検査物をＸ線の出射位置に近接させて配置しな
がら、その被検査物の向きを変えることが可能である。
従って、被検査物の拡大率の大きい拡大透視画像が得ら
れると共に、被検査物の向きを変えて被検査物の内部構
造などを詳細に確認することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、添付図面に基づき、本発明
の実施形態について説明する。尚、各図において同一要
素には同一符号を付して説明を省略する。また、図面の
寸法比率は説明のものと必ずしも一致していない。
の実施形態について説明する。尚、各図において同一要
素には同一符号を付して説明を省略する。また、図面の
寸法比率は説明のものと必ずしも一致していない。
【００１８】（第一実施形態）図１に本実施形態に係る
Ｘ線発生装置及びＸ線管を示す。図１に示すように、Ｘ
線発生装置１は、Ｘ線を出射する装置であって、駆動回
路などの構成部品を収容する筐体２を備えている。筐体
２は、縦長の略直方体状を呈し、頂面２１にはＸ線を出
射するＸ線管３を具備している。筐体２の頂面２１と側
面２２との角部には、その角部を面取りしてなるテーパ
面２３が形成されている。テーパ面２３は、Ｘ線の出射
方向（図１では上下方向）に対し傾斜した面であり、Ｘ
線の出射方向に対し平行でなく、かつ、垂直でない向き
に形成されている。
Ｘ線発生装置及びＸ線管を示す。図１に示すように、Ｘ
線発生装置１は、Ｘ線を出射する装置であって、駆動回
路などの構成部品を収容する筐体２を備えている。筐体
２は、縦長の略直方体状を呈し、頂面２１にはＸ線を出
射するＸ線管３を具備している。筐体２の頂面２１と側
面２２との角部には、その角部を面取りしてなるテーパ
面２３が形成されている。テーパ面２３は、Ｘ線の出射
方向（図１では上下方向）に対し傾斜した面であり、Ｘ
線の出射方向に対し平行でなく、かつ、垂直でない向き
に形成されている。
【００１９】また、このテーパ面２３は、筐体２の頂面
２１と側面２２の片側との角部にのみに形成されてい
る。Ｘ線管３は、筐体２の中心から一方へ片寄る位置に
設けられている。例えば、Ｘ線管３は、テーパ面２３が
形成されていない側へ片寄る位置に形成される。このＸ
線管３は、Ｘ線を発生させるものであり、電子銃部４と
Ｘ線発生部５を備えている。
２１と側面２２の片側との角部にのみに形成されてい
る。Ｘ線管３は、筐体２の中心から一方へ片寄る位置に
設けられている。例えば、Ｘ線管３は、テーパ面２３が
形成されていない側へ片寄る位置に形成される。このＸ
線管３は、Ｘ線を発生させるものであり、電子銃部４と
Ｘ線発生部５を備えている。
【００２０】筐体２の正面２４の下部には、通気口２
５、コネクタ２６が設けられている。通気口２５は、筐
体２の内外の通気を行うものであり、その通気口２５の
内側には冷却ファン（図示なし）が設置されている。コ
ネクタ２６は、Ｘ線発生装置１の駆動制御を行うＸ線コ
ントローラ等との配線接続を行うためのものである。
５、コネクタ２６が設けられている。通気口２５は、筐
体２の内外の通気を行うものであり、その通気口２５の
内側には冷却ファン（図示なし）が設置されている。コ
ネクタ２６は、Ｘ線発生装置１の駆動制御を行うＸ線コ
ントローラ等との配線接続を行うためのものである。
【００２１】図２に本実施形態に係るＸ線管３を示す。
図２（ａ）はＸ線管の正面図であり、図２（ｂ）は図２
（ａ）のｂ−ｂにおけるＸ線管の断面図である。
図２（ａ）はＸ線管の正面図であり、図２（ｂ）は図２
（ａ）のｂ−ｂにおけるＸ線管の断面図である。
【００２２】図２（ａ）に示すように、Ｘ線管３のＸ線
発生部５は、電子銃部４からの電子を受けてＸ線を発生
させ出射するためのものであり、胴部５１と頭部５２と
により構成されている。頭部５２は、軸方向を上下に向
けた円柱状を呈し、その頂面５３にＸ線を出射するため
のＸ線出射窓５４を有している。また、頭部５２の頂面
５３と側面５５との角部分には、その角部分を面取りし
てなるテーパ面５６が形成されている。
発生部５は、電子銃部４からの電子を受けてＸ線を発生
させ出射するためのものであり、胴部５１と頭部５２と
により構成されている。頭部５２は、軸方向を上下に向
けた円柱状を呈し、その頂面５３にＸ線を出射するため
のＸ線出射窓５４を有している。また、頭部５２の頂面
５３と側面５５との角部分には、その角部分を面取りし
てなるテーパ面５６が形成されている。
【００２３】テーパ面５６は、Ｘ線の出射方向（図２
（ａ）、（ｂ）では上下方向）に対し傾斜した面であ
り、Ｘ線の出射方向に対し平行でなく、かつ、垂直でな
い向きに形成されている。また、テーパ面５６は、Ｘ線
出射窓５４を挟んで筐体２の側部の二箇所に形成されて
いる。
（ａ）、（ｂ）では上下方向）に対し傾斜した面であ
り、Ｘ線の出射方向に対し平行でなく、かつ、垂直でな
い向きに形成されている。また、テーパ面５６は、Ｘ線
出射窓５４を挟んで筐体２の側部の二箇所に形成されて
いる。
【００２４】図２（ｂ）に示すように、Ｘ線発生部５の
頭部５２の側部には、電子銃部４が結合されている。電
子銃部４は、電子を発生させＸ線発生部５に向けて放出
するものであり、その内部には、外部からの電力供給に
より発熱するヒータ４１、ヒータ４１により熱せられ電
子を放出するカソード４２、カソード４２から放出され
た電子を集束させるフォーカスグリッド電極４３がそれ
ぞれ設けられている。この電子銃部４とＸ線発生部５と
の内部空間は連通しており、Ｘ線管３の外部に対し密封
されている。また、それら電子銃部４及びＸ線発生部５
の内部空間は、ほぼ真空の状態に維持されている。
頭部５２の側部には、電子銃部４が結合されている。電
子銃部４は、電子を発生させＸ線発生部５に向けて放出
するものであり、その内部には、外部からの電力供給に
より発熱するヒータ４１、ヒータ４１により熱せられ電
子を放出するカソード４２、カソード４２から放出され
た電子を集束させるフォーカスグリッド電極４３がそれ
ぞれ設けられている。この電子銃部４とＸ線発生部５と
の内部空間は連通しており、Ｘ線管３の外部に対し密封
されている。また、それら電子銃部４及びＸ線発生部５
の内部空間は、ほぼ真空の状態に維持されている。
【００２５】Ｘ線発生部５の内部には、ターゲット６が
設置されている。ターゲット６は、電子銃部４からの電
子を先端面で受けてＸ線を発生させるものであり、Ｘ線
発生部５の頭部５２及び胴部５１の軸方向に向けて配置
されている。
設置されている。ターゲット６は、電子銃部４からの電
子を先端面で受けてＸ線を発生させるものであり、Ｘ線
発生部５の頭部５２及び胴部５１の軸方向に向けて配置
されている。
【００２６】図３にＸ線発生装置の正面側から見た断面
図を示す。
図を示す。
【００２７】図３に示すように、Ｘ線発生装置１の筐体
２の内部には、高圧ブロック部７が設置されている。高
圧ブロック部７は高電圧が印加されるものを収容したも
のであり、この高圧ブロック部７にはＸ線管３の胴部５
１、ブリーダ抵抗７１、コッククロフト回路７２、昇圧
トランス７３などが内蔵されている。また、筐体２の内
部には、駆動回路８１、８２が設置されている。駆動回
路８１、８２は、ターゲット電圧回路、カソード電圧回
路、グリッド電圧回路、ヒータ電圧回路などにより構成
されている。
２の内部には、高圧ブロック部７が設置されている。高
圧ブロック部７は高電圧が印加されるものを収容したも
のであり、この高圧ブロック部７にはＸ線管３の胴部５
１、ブリーダ抵抗７１、コッククロフト回路７２、昇圧
トランス７３などが内蔵されている。また、筐体２の内
部には、駆動回路８１、８２が設置されている。駆動回
路８１、８２は、ターゲット電圧回路、カソード電圧回
路、グリッド電圧回路、ヒータ電圧回路などにより構成
されている。
【００２８】次にＸ線管及びＸ線発生装置の使用方法に
ついて説明する。
ついて説明する。
【００２９】図４にＸ線管及びＸ線発生装置を用いた検
査システムの構成を示す。図４に示すように、Ｘ線発生
装置１には、Ｘ線コントローラ９１が接続されている。
Ｘ線コントローラ９１は、Ｘ線発生装置１の作動制御を
行うものである。このＸ線コントローラ９１には、ＣＰ
Ｕ９２に接続されている。ＣＰＵ９２は、検査システム
の全体の制御を行うものである。
査システムの構成を示す。図４に示すように、Ｘ線発生
装置１には、Ｘ線コントローラ９１が接続されている。
Ｘ線コントローラ９１は、Ｘ線発生装置１の作動制御を
行うものである。このＸ線コントローラ９１には、ＣＰ
Ｕ９２に接続されている。ＣＰＵ９２は、検査システム
の全体の制御を行うものである。
【００３０】Ｘ線発生装置１のＸ線の出射方向には検査
すべき試料９３が配置されている。試料９３としては、
ＩＣなどの電子デバイス、アルミダイキャストのほか、
金属、ゴム、プラスチック、セラミックスなどからなる
各種の製品・部品などが対象となる。この試料９３は、
マニュピレータ９４の作動によりＸ線出射方向に対して
ほぼ直交する軸を中心に回転しその向きが変えられるよ
うになっている。マニュピレータ９４は、Ｘ線出射方向
に対してほぼ直交する回転軸を有しており、ＣＰＵ９２
の指令により駆動回路９５を介してその回転軸を駆動さ
せる。
すべき試料９３が配置されている。試料９３としては、
ＩＣなどの電子デバイス、アルミダイキャストのほか、
金属、ゴム、プラスチック、セラミックスなどからなる
各種の製品・部品などが対象となる。この試料９３は、
マニュピレータ９４の作動によりＸ線出射方向に対して
ほぼ直交する軸を中心に回転しその向きが変えられるよ
うになっている。マニュピレータ９４は、Ｘ線出射方向
に対してほぼ直交する回転軸を有しており、ＣＰＵ９２
の指令により駆動回路９５を介してその回転軸を駆動さ
せる。
【００３１】また、マニュピレータ９４は、試料９３を
Ｘ線出射方向に移動させることができる構造となってい
る。この試料９３の移動により、試料９３がＸ線の出射
位置に対して接近し又は離間する。このため、検査シス
テムによる得られる試料９３の透視拡大画像についてそ
の拡大率を任意に変えることが可能となる。
Ｘ線出射方向に移動させることができる構造となってい
る。この試料９３の移動により、試料９３がＸ線の出射
位置に対して接近し又は離間する。このため、検査シス
テムによる得られる試料９３の透視拡大画像についてそ
の拡大率を任意に変えることが可能となる。
【００３２】検査すべき試料９３が板状のものであると
きには、その試料９３をマニュピレータ９４の回転軸に
直接取り付けられるが、試料９３が板状でないもの又は
微小なものであるときには、板状のホルダなどを介して
試料９３をマニュピレータ９４の回転軸に間接的に取り
付けてもよい。
きには、その試料９３をマニュピレータ９４の回転軸に
直接取り付けられるが、試料９３が板状でないもの又は
微小なものであるときには、板状のホルダなどを介して
試料９３をマニュピレータ９４の回転軸に間接的に取り
付けてもよい。
【００３３】Ｘ線の出射方向の試料９３の後方には、Ｘ
線カメラ９６が設置されている。Ｘ線カメラ９６は、イ
メージインテンシファイア管などを内蔵しＸ線を検出す
るものである。Ｘ線カメラ９６には画像処理装置９７が
接続されており、この画像処理装置９７により試料９３
の拡大透視画像が形成される。また、画像処理装置９７
はＣＰＵ９２に接続されており、試料９３の拡大透視画
像のデータをＣＰＵ９２に伝送する。また、ＣＰＵ９２
には、モニタ９８が接続されている。モニタ９８は、Ｃ
ＰＵ９２から伝送される信号に基づき試料９３の拡大透
視画像を表示する。
線カメラ９６が設置されている。Ｘ線カメラ９６は、イ
メージインテンシファイア管などを内蔵しＸ線を検出す
るものである。Ｘ線カメラ９６には画像処理装置９７が
接続されており、この画像処理装置９７により試料９３
の拡大透視画像が形成される。また、画像処理装置９７
はＣＰＵ９２に接続されており、試料９３の拡大透視画
像のデータをＣＰＵ９２に伝送する。また、ＣＰＵ９２
には、モニタ９８が接続されている。モニタ９８は、Ｃ
ＰＵ９２から伝送される信号に基づき試料９３の拡大透
視画像を表示する。
【００３４】このような検査システムにおいて、試料９
３をＸ線出射位置の前方にセットし、Ｘ線発生装置１か
らＸ線を出射すると、そのＸ線は、試料９３に照射さ
れ、試料９３を透過してＸ線カメラ９６に入射される。
Ｘ線は、Ｘ線カメラ９６により検出され電気的な信号に
変換される。そして、その信号は、画像処理装置９７に
入力され、試料９３の拡大透視画像のデータに演算され
る。拡大透視画像のデータは、ＣＰＵ９２を介してモニ
タ９８に伝送され、その拡大透視画像のデータに基づい
てモニタ９８に試料９３の拡大透視画像が表示される。
３をＸ線出射位置の前方にセットし、Ｘ線発生装置１か
らＸ線を出射すると、そのＸ線は、試料９３に照射さ
れ、試料９３を透過してＸ線カメラ９６に入射される。
Ｘ線は、Ｘ線カメラ９６により検出され電気的な信号に
変換される。そして、その信号は、画像処理装置９７に
入力され、試料９３の拡大透視画像のデータに演算され
る。拡大透視画像のデータは、ＣＰＵ９２を介してモニ
タ９８に伝送され、その拡大透視画像のデータに基づい
てモニタ９８に試料９３の拡大透視画像が表示される。
【００３５】このため、試料９３の拡大透視画像を見る
ことにより、試料９３の内部構造などを確認することが
できる。
ことにより、試料９３の内部構造などを確認することが
できる。
【００３６】一方、Ｘ線の照射方向に対し試料９３の向
きを変えることにより、試料９３の内部構造などをより
的確に把握することができる。すなわち、マニュピレー
タ９４の回転軸を適宜回動させて試料９３の向きを変え
れば、モニタ９８に異なる方向から見た試料９３の拡大
透視画像を表示することができる。従って、試料９３の
内部におけるヘアクラック、気泡などの有無を的確に判
断することができる。
きを変えることにより、試料９３の内部構造などをより
的確に把握することができる。すなわち、マニュピレー
タ９４の回転軸を適宜回動させて試料９３の向きを変え
れば、モニタ９８に異なる方向から見た試料９３の拡大
透視画像を表示することができる。従って、試料９３の
内部におけるヘアクラック、気泡などの有無を的確に判
断することができる。
【００３７】その際、図５に示すように、Ｘ線発生装置
１にはＸ線出射方向に対し傾斜したテーパ面２３が形成
され、Ｘ線管３が筐体２の中心から片寄る位置に設けら
れており、また、Ｘ線管３にはＸ線出射方向に対し傾斜
したテーパ面５６が形成されている。
１にはＸ線出射方向に対し傾斜したテーパ面２３が形成
され、Ｘ線管３が筐体２の中心から片寄る位置に設けら
れており、また、Ｘ線管３にはＸ線出射方向に対し傾斜
したテーパ面５６が形成されている。
【００３８】このため、試料９３をＸ線出射窓５４によ
り近接させながら、その試料９３の向きを十分に変える
ことが可能となる。従って、試料９３の拡大率の大きい
拡大透視画像が得られると共に、試料９３の向きを変え
て試料９３の内部構造などを詳細に確認することができ
る。
り近接させながら、その試料９３の向きを十分に変える
ことが可能となる。従って、試料９３の拡大率の大きい
拡大透視画像が得られると共に、試料９３の向きを変え
て試料９３の内部構造などを詳細に確認することができ
る。
【００３９】ところで、このような本実施形態に係るＸ
線発生装置１及びＸ線管３に対し、テーパ面２３を形成
しないＸ線発生装置及びテーパ面５６を形成しないＸ線
管にあっては、それらを用いて試料９３の検査を行って
も、試料９３の向きを変えながら拡大率の大きい拡大透
視画像を得ることはできない。
線発生装置１及びＸ線管３に対し、テーパ面２３を形成
しないＸ線発生装置及びテーパ面５６を形成しないＸ線
管にあっては、それらを用いて試料９３の検査を行って
も、試料９３の向きを変えながら拡大率の大きい拡大透
視画像を得ることはできない。
【００４０】例えば、図６に示すように、テーパ面２３
を形成しないＸ線発生装置Ｃ及びテーパ面５６を形成し
ないＸ線管Ｄを用いて試料９３の検査を行う場合、試料
９３の拡大透視画像の拡大率を上げるために試料９３を
Ｘ線出射位置に近づけつつ、試料９３の向きを変えよう
とすると、試料９３がＸ線発生装置Ｃの角部分又はＸ線
管Ｄの角部分に接触してしまう。
を形成しないＸ線発生装置Ｃ及びテーパ面５６を形成し
ないＸ線管Ｄを用いて試料９３の検査を行う場合、試料
９３の拡大透視画像の拡大率を上げるために試料９３を
Ｘ線出射位置に近づけつつ、試料９３の向きを変えよう
とすると、試料９３がＸ線発生装置Ｃの角部分又はＸ線
管Ｄの角部分に接触してしまう。
【００４１】このため、試料９３の向きを変えるために
は試料９３をＸ線出射位置から一定の距離Ａ２だけ離さ
なければならない。この距離Ａ２は、前述した式（２）
に示すように拡大透視画像の拡大率に直接影響するもの
であり、この距離Ａ２が短いほど拡大率が大きくなる。
また、距離Ａ２は、本実施形態に係るＸ線発生装置１及
びＸ線管３を用いた場合の距離Ａ１と比べると（図５参
照）、長いものとなる。従って、このようなテーパ面２
３を形成しないＸ線発生装置Ｃ及びテーパ面５６を形成
しないＸ線管Ｄにあっては、拡大率の大きい拡大透視画
像を得ることができず、試料９３の内部構造などを詳細
に確認することができない。
は試料９３をＸ線出射位置から一定の距離Ａ２だけ離さ
なければならない。この距離Ａ２は、前述した式（２）
に示すように拡大透視画像の拡大率に直接影響するもの
であり、この距離Ａ２が短いほど拡大率が大きくなる。
また、距離Ａ２は、本実施形態に係るＸ線発生装置１及
びＸ線管３を用いた場合の距離Ａ１と比べると（図５参
照）、長いものとなる。従って、このようなテーパ面２
３を形成しないＸ線発生装置Ｃ及びテーパ面５６を形成
しないＸ線管Ｄにあっては、拡大率の大きい拡大透視画
像を得ることができず、試料９３の内部構造などを詳細
に確認することができない。
【００４２】以上のように、本実施形態に係るＸ線発生
装置１、Ｘ線管３及びそれらを用いた検査システムによ
れば、試料９３をＸ線の出射位置に近接させて配置しな
がら、その試料９３の向きを変えることが可能である。
従って、試料９３の拡大率の大きい拡大透視画像が得ら
れると共に、試料９３の向きを変えることにより試料９
３の内部構造などを詳細に確認することができる。
装置１、Ｘ線管３及びそれらを用いた検査システムによ
れば、試料９３をＸ線の出射位置に近接させて配置しな
がら、その試料９３の向きを変えることが可能である。
従って、試料９３の拡大率の大きい拡大透視画像が得ら
れると共に、試料９３の向きを変えることにより試料９
３の内部構造などを詳細に確認することができる。
【００４３】（第二実施形態）次に第二実施形態に係る
Ｘ線管、Ｘ線発生装置等について説明する。
Ｘ線管、Ｘ線発生装置等について説明する。
【００４４】図７に本実施形態に係るＸ線管３ａを示
す。図７に示すように、Ｘ線管３ａは、頭部５２の両側
部を垂直に削ぎ落とし、頭部５２の正面側の上部にテー
パ面５６を形成したものである。
す。図７に示すように、Ｘ線管３ａは、頭部５２の両側
部を垂直に削ぎ落とし、頭部５２の正面側の上部にテー
パ面５６を形成したものである。
【００４５】図８に本実施形態に係るＸ線管３ｂを示
す。図８に示すように、Ｘ線管３ｂは、頭部５２の頂面
５３と側面５５の角部分にアールを付けてテーパ面５６
としたものである。尚、ここで言う「テーパ面」とは、
傾斜した平面に限られず、凸状に湾曲した面及び凹状に
湾曲した面も含むものである。
す。図８に示すように、Ｘ線管３ｂは、頭部５２の頂面
５３と側面５５の角部分にアールを付けてテーパ面５６
としたものである。尚、ここで言う「テーパ面」とは、
傾斜した平面に限られず、凸状に湾曲した面及び凹状に
湾曲した面も含むものである。
【００４６】図９に本実施形態に係るＸ線管３ｃを示
す。図９に示すように、Ｘ線管３ｃは、頭部５２の両側
部及び正面側にの上部にテーパ面５６をそれぞれ形成し
たものである。
す。図９に示すように、Ｘ線管３ｃは、頭部５２の両側
部及び正面側にの上部にテーパ面５６をそれぞれ形成し
たものである。
【００４７】図１０に本実施形態に係るＸ線管３ｄを示
す。図１０に示すように、Ｘ線管３ｄは、頭部５２の両
側部及び正面を垂直に削ぎ落としたものである。
す。図１０に示すように、Ｘ線管３ｄは、頭部５２の両
側部及び正面を垂直に削ぎ落としたものである。
【００４８】これらのＸ線管３ａ〜３ｄであっても、第
一実施形態に係るＸ線管３と同様にして、Ｘ線を試料９
３に照射しその試料９３を透過するＸ線を検出すること
により試料９３の内部構造などを検査する検査システム
に用いられた場合、試料９３をＸ線の出射窓５４に近接
させて配置しながらその試料９３を出射方向と交差する
軸を中心に回動させても、テーパ面５６又は削ぎ落とし
領域の形成により試料９３が頂面５３に当接することを
回避できる。このため、試料９３をＸ線の出射位置に近
接させて配置しながら、その試料９３の向きを変えるこ
とが可能である。従って、試料９３の拡大率の大きい拡
大透視画像が得られると共に、試料９３の向きを変えて
試料９３の内部構造などを詳細に確認することができ
る。
一実施形態に係るＸ線管３と同様にして、Ｘ線を試料９
３に照射しその試料９３を透過するＸ線を検出すること
により試料９３の内部構造などを検査する検査システム
に用いられた場合、試料９３をＸ線の出射窓５４に近接
させて配置しながらその試料９３を出射方向と交差する
軸を中心に回動させても、テーパ面５６又は削ぎ落とし
領域の形成により試料９３が頂面５３に当接することを
回避できる。このため、試料９３をＸ線の出射位置に近
接させて配置しながら、その試料９３の向きを変えるこ
とが可能である。従って、試料９３の拡大率の大きい拡
大透視画像が得られると共に、試料９３の向きを変えて
試料９３の内部構造などを詳細に確認することができ
る。
【００４９】また、本実施形態に係るＸ線発生装置は、
第一実施形態に係るＸ線発生装置１のＸ線管３を前述の
Ｘ線管３ａ〜３ｄのいずれかに代えたものである。この
ようなＸ線発生装置であっても、第一実施形態に係るＸ
線発生装置と同様にして、Ｘ線を試料９３に照射しその
試料９３を透過するＸ線を検出することにより試料９３
の内部構造などを検査する検査システムに用いられた場
合、試料９３をＸ線の出射窓５４に近接させて配置しな
がらその試料９３を出射方向と交差する軸を中心に回動
させても、テーパ面２３の形成により試料９３が頂面２
１に当接することを回避できる。このため、試料９３を
Ｘ線の出射位置に近接させて配置しながら、その試料９
３の向きを変えることが可能である。従って、試料９３
の拡大率の大きい拡大透視画像が得られると共に、試料
９３の向きを変えて試料９３の内部構造などを詳細に確
認することができる。
第一実施形態に係るＸ線発生装置１のＸ線管３を前述の
Ｘ線管３ａ〜３ｄのいずれかに代えたものである。この
ようなＸ線発生装置であっても、第一実施形態に係るＸ
線発生装置と同様にして、Ｘ線を試料９３に照射しその
試料９３を透過するＸ線を検出することにより試料９３
の内部構造などを検査する検査システムに用いられた場
合、試料９３をＸ線の出射窓５４に近接させて配置しな
がらその試料９３を出射方向と交差する軸を中心に回動
させても、テーパ面２３の形成により試料９３が頂面２
１に当接することを回避できる。このため、試料９３を
Ｘ線の出射位置に近接させて配置しながら、その試料９
３の向きを変えることが可能である。従って、試料９３
の拡大率の大きい拡大透視画像が得られると共に、試料
９３の向きを変えて試料９３の内部構造などを詳細に確
認することができる。
【００５０】更に、第一実施形態に係る検査システムに
おいて、本実施形態に係るＸ線管又はＸ線発生装置を用
いても、第一実施形態に係る検査システムと同様な作用
効果が得られる。
おいて、本実施形態に係るＸ線管又はＸ線発生装置を用
いても、第一実施形態に係る検査システムと同様な作用
効果が得られる。
【００５１】（第三実施形態）次に第三実施形態に係る
Ｘ線管、Ｘ線発生装置等について説明する。
Ｘ線管、Ｘ線発生装置等について説明する。
【００５２】図１１に本実施形態に係るＸ線発生装置１
ｅを示す。図１１に示すように、Ｘ線発生装置１は、横
長の筐体２ｅを備えたものである。筐体２ｅの頂面２１
には、Ｘ線を出射するＸ線管３ｄが設けられている。筐
体２ｅの頂面２１と側面２２、２２との両角部には、そ
れらの角部を面取りしてなるテーパ面２３がそれぞれ形
成されている。
ｅを示す。図１１に示すように、Ｘ線発生装置１は、横
長の筐体２ｅを備えたものである。筐体２ｅの頂面２１
には、Ｘ線を出射するＸ線管３ｄが設けられている。筐
体２ｅの頂面２１と側面２２、２２との両角部には、そ
れらの角部を面取りしてなるテーパ面２３がそれぞれ形
成されている。
【００５３】このようなＸ線発生装置１ｅであっても、
第一実施形態に係るＸ線発生装置と同様にして、Ｘ線を
試料９３に照射しその試料９３を透過するＸ線を検出す
ることにより試料９３の内部構造などを検査する検査シ
ステムに用いられた場合、試料９３をＸ線の出射窓５４
に近接させて配置しながらその試料９３を出射方向と交
差する軸を中心に回動させても、テーパ面２３の形成に
より試料９３が頂面２１に当接することを回避できる。
このため、試料９３をＸ線の出射位置に近接させて配置
しながら、その試料９３の向きを変えることが可能であ
る。従って、試料９３の拡大率の大きい拡大透視画像が
得られると共に、試料９３の向きを変えて試料９３の内
部構造などを詳細に確認することができる。
第一実施形態に係るＸ線発生装置と同様にして、Ｘ線を
試料９３に照射しその試料９３を透過するＸ線を検出す
ることにより試料９３の内部構造などを検査する検査シ
ステムに用いられた場合、試料９３をＸ線の出射窓５４
に近接させて配置しながらその試料９３を出射方向と交
差する軸を中心に回動させても、テーパ面２３の形成に
より試料９３が頂面２１に当接することを回避できる。
このため、試料９３をＸ線の出射位置に近接させて配置
しながら、その試料９３の向きを変えることが可能であ
る。従って、試料９３の拡大率の大きい拡大透視画像が
得られると共に、試料９３の向きを変えて試料９３の内
部構造などを詳細に確認することができる。
【００５４】また、本実施形態に係るＸ線発生装置１ｅ
は、Ｘ線管３ｄをＸ線管３、３ａ〜３ｃのいずれかに代
えたものであってもよい。この場合であっても、前述と
同様な作用効果が得られる。
は、Ｘ線管３ｄをＸ線管３、３ａ〜３ｃのいずれかに代
えたものであってもよい。この場合であっても、前述と
同様な作用効果が得られる。
【００５５】更に、第一実施形態に係る検査システムに
おいて、本実施形態に係るＸ線管又はＸ線発生装置を用
いても、第一実施形態に係る検査システムと同様な作用
効果が得られる。
おいて、本実施形態に係るＸ線管又はＸ線発生装置を用
いても、第一実施形態に係る検査システムと同様な作用
効果が得られる。
【００５６】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、次
のような効果が得られる。
のような効果が得られる。
【００５７】Ｘ線を被検査物に照射しその被検査物を透
過するＸ線を検出することにより被検査物の内部構造な
どを検査する場合、被検査物をＸ線の出射窓に近接させ
て配置しながらその被検査物を出射方向と交差する軸を
中心に回動させても、テーパ面の形成により被検査物が
先端面に当接することを回避できる。このため、被検査
物をＸ線の出射位置に近接させて配置しながら、その被
検査物の向きを変えることが可能である。従って、被検
査物の拡大率の大きい拡大透視画像が得られると共に、
被検査物の向きを変えて被検査物の内部構造などを詳細
に確認することができる。
過するＸ線を検出することにより被検査物の内部構造な
どを検査する場合、被検査物をＸ線の出射窓に近接させ
て配置しながらその被検査物を出射方向と交差する軸を
中心に回動させても、テーパ面の形成により被検査物が
先端面に当接することを回避できる。このため、被検査
物をＸ線の出射位置に近接させて配置しながら、その被
検査物の向きを変えることが可能である。従って、被検
査物の拡大率の大きい拡大透視画像が得られると共に、
被検査物の向きを変えて被検査物の内部構造などを詳細
に確認することができる。
【図１】本発明の第一実施形態に係るＸ線管及びＸ線発
生装置の説明図である。
生装置の説明図である。
【図２】第一実施形態に係るＸ線管の説明図である。
【図３】第一実施形態に係るＸ線発生装置の説明図であ
る。
る。
【図４】Ｘ線発生装置及びＸ線管を用いた検査システム
の説明図である。
の説明図である。
【図５】Ｘ線発生装置及びＸ線管の使用方法の説明図で
ある。
ある。
【図６】本発明の前提となる技術の説明図である。
【図７】第二実施形態に係るＸ線管の説明図である。
【図８】第二実施形態に係るＸ線管の説明図である。
【図９】第二実施形態に係るＸ線管の説明図である。
【図１０】第二実施形態に係るＸ線管の説明図である。
【図１１】第三実施形態に係るＸ線発生装置の説明図で
ある。
ある。
１…Ｘ線発生装置、２…筐体、２３…テーパ面、３…Ｘ
線管（Ｘ線発生手段）、５３…頂面（先端面）、５４…
Ｘ線出射窓、５６…テーパ面。
線管（Ｘ線発生手段）、５３…頂面（先端面）、５４…
Ｘ線出射窓、５６…テーパ面。
Claims (5)
- 【請求項１】 Ｘ線を出射するＸ線管において、 前記Ｘ線の出射窓を有する先端面を有し、前記先端面の
前記出射窓の周辺に前記Ｘ線の出射方向に対して傾斜す
るテーパ面が形成されていること、を特徴とするＸ線
管。 - 【請求項２】 Ｘ線を出射するＸ線出射手段を備えたＸ
線発生装置において、 前記Ｘ線出射手段が請求項１に記載のＸ線管であるこ
と、を特徴とするＸ線発生装置。 - 【請求項３】 Ｘ線を出射するＸ線出射手段を備えたＸ
線発生装置において、 構成部品を収容する筐体を備え、 前記Ｘ線出射手段の出射窓が設けられる前記筐体の表面
に、前記Ｘ線の出射方向に対して傾斜するテーパ面が形
成されていること、を特徴とするＸ線発生装置。 - 【請求項４】 前記筐体の前記表面の一方に片寄る位置
に前記出射窓が設けられ、前記表面の他方側に前記テー
パ面が形成されていること、を特徴とする請求項３に記
載のＸ線発生装置。 - 【請求項５】 Ｘ線を被検査物に照射し、前記被検査物
を透過するＸ線を検出することにより前記被検査物の状
態を検査する検査システムにおいて、 前記Ｘ線を出射する請求項２〜４のいずれかに記載のＸ
線発生装置と、 前記被検査物を前記Ｘ線の出射方向に対し交差する軸を
中心に回動させる回動手段と、 前記Ｘ線の出射方向であって前記被検査物の後方に配置
され前記被検査物を透過する前記Ｘ線を検出するＸ線検
出手段と、を備えたことを特徴とする検査システム。
Priority Applications (13)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02587898A JP4574755B2 (ja) | 1998-02-06 | 1998-02-06 | Ｘ線発生装置及び検査システム |
| EP99901950A EP1052675B1 (en) | 1998-02-06 | 1999-02-05 | Apparatus for x-ray generation, and test system |
| AU21868/99A AU2186899A (en) | 1998-02-06 | 1999-02-05 | X-ray tube, apparatus for x-ray generation, and test system |
| DE69932647T DE69932647T2 (de) | 1998-02-06 | 1999-02-05 | Röntgenstrahlen-Erzeugungsgerät |
| EP03076059A EP1335401B1 (en) | 1998-02-06 | 1999-02-05 | Apparatus for x-ray generation |
| KR1020007008530A KR100694938B1 (ko) | 1998-02-06 | 1999-02-05 | Ｘ선관, ｘ선 발생 장치 및 검사 시스템 |
| PCT/JP1999/000509 WO1999040606A1 (fr) | 1998-02-06 | 1999-02-05 | Tube a rayons x, generateur de rayons x, et systeme d'analyse |
| DE69913491T DE69913491T2 (de) | 1998-02-06 | 1999-02-05 | Röntgenröhre, Röntgenstrahlengenerator und Untersuchungssystem |
| DE69941229T DE69941229D1 (de) | 1998-02-06 | 1999-02-05 | Röntgenstrahlen-Erzeugungsgerät |
| EP06011090A EP1699069B1 (en) | 1998-02-06 | 1999-02-05 | Apparatus for X-ray generation |
| US09/633,160 US6490341B1 (en) | 1998-02-06 | 2000-08-04 | X-ray tube, x-ray generator, and inspection system |
| US10/295,859 US6856671B2 (en) | 1998-02-06 | 2002-11-18 | X-ray tube, x-ray generator, and inspection system |
| US11/042,205 US7106829B2 (en) | 1998-02-06 | 2005-01-26 | X-ray tube, x-ray generator, and inspection system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02587898A JP4574755B2 (ja) | 1998-02-06 | 1998-02-06 | Ｘ線発生装置及び検査システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11224624A true JPH11224624A (ja) | 1999-08-17 |
| JP4574755B2 JP4574755B2 (ja) | 2010-11-04 |
Family
ID=12178052
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02587898A Expired - Fee Related JP4574755B2 (ja) | 1998-02-06 | 1998-02-06 | Ｘ線発生装置及び検査システム |
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| Country | Link |
|---|---|
| US (3) | US6490341B1 (ja) |
| EP (3) | EP1699069B1 (ja) |
| JP (1) | JP4574755B2 (ja) |
| KR (1) | KR100694938B1 (ja) |
| AU (1) | AU2186899A (ja) |
| DE (3) | DE69941229D1 (ja) |
| WO (1) | WO1999040606A1 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7006601B2 (en) | 2004-02-26 | 2006-02-28 | Hamamatsu Photonics K.K. | X-ray source |
| US7031433B2 (en) | 2004-02-27 | 2006-04-18 | Hamamatsu Photonics K.K. | X-ray source and a nondestructive inspector |
| US7085353B2 (en) | 2004-02-27 | 2006-08-01 | Hamamatsu Photonics K.K. | X-ray tube |
| JP2016091601A (ja) * | 2014-10-29 | 2016-05-23 | 松定プレシジョン株式会社 | 反射型ｘ線発生装置 |
| JP2019186093A (ja) * | 2018-04-12 | 2019-10-24 | 浜松ホトニクス株式会社 | Ｘ線管 |
Families Citing this family (6)
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|---|---|---|---|---|
| JP4574755B2 (ja) * | 1998-02-06 | 2010-11-04 | 浜松ホトニクス株式会社 | Ｘ線発生装置及び検査システム |
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