JPS6112539B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6112539B2 JPS6112539B2 JP55171144A JP17114480A JPS6112539B2 JP S6112539 B2 JPS6112539 B2 JP S6112539B2 JP 55171144 A JP55171144 A JP 55171144A JP 17114480 A JP17114480 A JP 17114480A JP S6112539 B2 JPS6112539 B2 JP S6112539B2
- Authority
- JP
- Japan
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- sample
- anticathode
- soft
- electron
- electron beam
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- Expired
Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/252—Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は試料に電子線やＸ線を照射することに
より試料から発生する種々の電子のエネルギーを
電子分光するための装置に関する。
より試料から発生する種々の電子のエネルギーを
電子分光するための装置に関する。
セラミツクス・金属や半導体等の固体試料表面
の物理的・化学的性質を決定する有力な手段とし
て、Ｘ線や電子線を試料に照射した際発生するオ
ージエ電子や光電子の電子エネルギー分光があ
る。オージエ電子分光とは軟Ｘ線や電子線等の照
射によつて試料を構成する原子の内殻電子が放出
されて、高いイオン化状態に励起した後、低いエ
ネルギー単位に遷移する際に放出するオージエ電
子のエネルギーを測定して放出源である原子を同
定するもので、固体表面の特に軽元素の検出手法
としてすぐれている。他方、エスカ（ESCA）光
電子分光とは、特定の位置エネルギーを持つた軟
Ｘ線や電子線の照射によつて試料内原子の内殻電
子が｛（入射エネルギー）−（結合エネルギー）｝な
るエネルギーを持つて放出される光電子を分光す
るもので、試料物質の化学結合状態を研究する手
法としてすぐれている。
の物理的・化学的性質を決定する有力な手段とし
て、Ｘ線や電子線を試料に照射した際発生するオ
ージエ電子や光電子の電子エネルギー分光があ
る。オージエ電子分光とは軟Ｘ線や電子線等の照
射によつて試料を構成する原子の内殻電子が放出
されて、高いイオン化状態に励起した後、低いエ
ネルギー単位に遷移する際に放出するオージエ電
子のエネルギーを測定して放出源である原子を同
定するもので、固体表面の特に軽元素の検出手法
としてすぐれている。他方、エスカ（ESCA）光
電子分光とは、特定の位置エネルギーを持つた軟
Ｘ線や電子線の照射によつて試料内原子の内殻電
子が｛（入射エネルギー）−（結合エネルギー）｝な
るエネルギーを持つて放出される光電子を分光す
るもので、試料物質の化学結合状態を研究する手
法としてすぐれている。
ところで、Ｘ線照射によつて試料から光電子以
外にもオージエ電子が発生するが、このオージエ
電子の量を測定に適するような値にするためには
極めて強度の高いＸ線を照射しなければならない
ので、オージエ電子測定のためには電子線照射を
行うのが普通である。又、電子線照射の場合には
試料内部に到達した電子線エネルギー分布が広く
なるため、光電子の測定を行つても有益な情報が
得られず、光電子分光のためには軟Ｘ線を照射す
るのが普通である。そしてこのような理由から従
来は、オージエ電子分光と光電子分光の両方を行
なうためには、夫々別個の装置を用いるか、或は
単一装置内に軟Ｘ線源や電子銃を備えたものを使
用する必要があつた。
外にもオージエ電子が発生するが、このオージエ
電子の量を測定に適するような値にするためには
極めて強度の高いＸ線を照射しなければならない
ので、オージエ電子測定のためには電子線照射を
行うのが普通である。又、電子線照射の場合には
試料内部に到達した電子線エネルギー分布が広く
なるため、光電子の測定を行つても有益な情報が
得られず、光電子分光のためには軟Ｘ線を照射す
るのが普通である。そしてこのような理由から従
来は、オージエ電子分光と光電子分光の両方を行
なうためには、夫々別個の装置を用いるか、或は
単一装置内に軟Ｘ線源や電子銃を備えたものを使
用する必要があつた。
本発明はこのようにオージエ電子分光と光電子
分光を行なう単一装置の改良に関するもので、軟
Ｘ線照射と電子照射を行なうための手段を簡略化
して装置のコスト低減と操作性の向上を目的とす
るものであり、以下図面に基づき詳説する。
分光を行なう単一装置の改良に関するもので、軟
Ｘ線照射と電子照射を行なうための手段を簡略化
して装置のコスト低減と操作性の向上を目的とす
るものであり、以下図面に基づき詳説する。
添付図面は本発明の一実施例を示す構成略図
で、１は試料室を表わしており、該試料室１内に
は試料移動台２上に載置された試料３が収納さ
れ、超高真空に保たれている。該試料室１の側壁
には試料３から発生するオージエ電子或は光電子
ｅ-のエネルギーを分析するための同芯半球型エ
ネルギーアナライザー４が取り付けられており、
その分析結果は表示記録装置５によつて記録され
る。又試料室の他の側壁にはＸ線と電子線の照射
手段６が取り付けられている。該照射手段６に内
部には例えばマグネシウム又はアルミニウムから
なる対陰極（Ｘ線ターゲツト）７と該対陰極に対
向して置かれる陰極（フイラメント）８が夫々電
気的にに遮断された状態で設けられており、軟Ｘ
線や電子線を発生させる場合には、対陰極７に対
してフイラメント８の電位を高電圧電源９によつ
て負電位とし、加熱電源１０によつて加熱された
フイラメント８から発生した電子線が対陰極７に
向けて加熱されるようにする。この加速された電
子線は対陰極７表面に衝突し、大半は反射電子と
なつて通過穴１１から取り出され、試料３上に照
射される。前記電子線の照射により対陰極７から
は軟Ｘ線が発生し、前記通過穴１１を通して、同
様に試料３上に照射される。そこで、今、切換ス
イツチＳを実線で示すように端子ａ側に接続して
対陰極７を試料３と同じ接地電位に保つた場合に
は、試料には電子線と軟Ｘ線が同時に照射され
る。この状態において試料３から発生するオージ
エ電子の分光が行なわれる。このとき電子線照射
の他にＸ線照射によつて試料３から相当量の光電
子も発生するが、試料を照射する軟Ｘ線の量が反
射電子の量に比してずつと弱いため光電子に基づ
くスペクトルは他のオージエ電子や二次電子に埋
もれてしまつて殆んど測定できない。尚試料３と
対陰極７との間に電子レンズを置き、反射電子を
集束して試料に照射するようにすればセミミクロ
的な分析が可能となる。
で、１は試料室を表わしており、該試料室１内に
は試料移動台２上に載置された試料３が収納さ
れ、超高真空に保たれている。該試料室１の側壁
には試料３から発生するオージエ電子或は光電子
ｅ-のエネルギーを分析するための同芯半球型エ
ネルギーアナライザー４が取り付けられており、
その分析結果は表示記録装置５によつて記録され
る。又試料室の他の側壁にはＸ線と電子線の照射
手段６が取り付けられている。該照射手段６に内
部には例えばマグネシウム又はアルミニウムから
なる対陰極（Ｘ線ターゲツト）７と該対陰極に対
向して置かれる陰極（フイラメント）８が夫々電
気的にに遮断された状態で設けられており、軟Ｘ
線や電子線を発生させる場合には、対陰極７に対
してフイラメント８の電位を高電圧電源９によつ
て負電位とし、加熱電源１０によつて加熱された
フイラメント８から発生した電子線が対陰極７に
向けて加熱されるようにする。この加速された電
子線は対陰極７表面に衝突し、大半は反射電子と
なつて通過穴１１から取り出され、試料３上に照
射される。前記電子線の照射により対陰極７から
は軟Ｘ線が発生し、前記通過穴１１を通して、同
様に試料３上に照射される。そこで、今、切換ス
イツチＳを実線で示すように端子ａ側に接続して
対陰極７を試料３と同じ接地電位に保つた場合に
は、試料には電子線と軟Ｘ線が同時に照射され
る。この状態において試料３から発生するオージ
エ電子の分光が行なわれる。このとき電子線照射
の他にＸ線照射によつて試料３から相当量の光電
子も発生するが、試料を照射する軟Ｘ線の量が反
射電子の量に比してずつと弱いため光電子に基づ
くスペクトルは他のオージエ電子や二次電子に埋
もれてしまつて殆んど測定できない。尚試料３と
対陰極７との間に電子レンズを置き、反射電子を
集束して試料に照射するようにすればセミミクロ
的な分析が可能となる。
他方、切換スイツチＳを点線で示すように端子
ｂ側に切り換えてフイラメント８を接地電位にす
ると対陰極７は試料３の電位よりも高くなる。つ
まり、対陰極と試料との間に減速電界が形成され
るため、対陰極７から発生した反射電子線は減速
されて試料３に到達しない。その結果試料には軟
Ｘ線のみが照射されることになり、光電子のエネ
ルギースペクトルを測定することが可能となる。
ｂ側に切り換えてフイラメント８を接地電位にす
ると対陰極７は試料３の電位よりも高くなる。つ
まり、対陰極と試料との間に減速電界が形成され
るため、対陰極７から発生した反射電子線は減速
されて試料３に到達しない。その結果試料には軟
Ｘ線のみが照射されることになり、光電子のエネ
ルギースペクトルを測定することが可能となる。
以上の様に本発明においては、共通の電源９，
１０やフイラメント８と切換スイツチＳを用いて
電子線源を兼ねるＸ線発生源を構成しているた
め、Ｘ線源と電子線源を別個に設ける従来装置に
比較して装置のコスト低減と操作性の向上に著し
い効果が得られる。
１０やフイラメント８と切換スイツチＳを用いて
電子線源を兼ねるＸ線発生源を構成しているた
め、Ｘ線源と電子線源を別個に設ける従来装置に
比較して装置のコスト低減と操作性の向上に著し
い効果が得られる。
添付図面は本発明の一実施例を示す構成略図で
ある。 １：試料室、２：試料移動台、３：試料、４：
同芯半球型エネルギーアナライザー、５：記録表
示装置、７：対陰極、８：フイラメント、９：高
電圧電源、１０：加熱電源、Ｓ：切換スイツチ。
ある。 １：試料室、２：試料移動台、３：試料、４：
同芯半球型エネルギーアナライザー、５：記録表
示装置、７：対陰極、８：フイラメント、９：高
電圧電源、１０：加熱電源、Ｓ：切換スイツチ。
Claims (1)
- １ 対向しておかれる陰極と対陰極からなる軟Ｘ
線発生手段と、該軟Ｘ線発生手段からの軟Ｘ線照
射や対陰極からの反射電子線照射によつて試料か
ら発生する二次的な電子の結合又は位置エネルギ
ーを分析するアナライザーを備えた装置におい
て、前記陰極又は対陰極のいずれか一方を選択的
に接地電位にする手段を設けた事を特徴とする電
子分光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55171144A JPS5794637A (en) | 1980-12-04 | 1980-12-04 | Electronic spectroscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55171144A JPS5794637A (en) | 1980-12-04 | 1980-12-04 | Electronic spectroscope |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5794637A JPS5794637A (en) | 1982-06-12 |
| JPS6112539B2 true JPS6112539B2 (ja) | 1986-04-09 |
Family
ID=15917796
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55171144A Granted JPS5794637A (en) | 1980-12-04 | 1980-12-04 | Electronic spectroscope |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5794637A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63101128U (ja) * | 1986-12-22 | 1988-07-01 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH088443Y2 (ja) * | 1990-10-04 | 1996-03-06 | 理学電機工業株式会社 | Ｘ線光電子分光装置 |
-
1980
- 1980-12-04 JP JP55171144A patent/JPS5794637A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63101128U (ja) * | 1986-12-22 | 1988-07-01 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5794637A (en) | 1982-06-12 |
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