JP2003007236A - Ｘ線管装置及びｘ線検査装置 - Google Patents
Ｘ線管装置及びｘ線検査装置Info
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- JP2003007236A JP2003007236A JP2001187977A JP2001187977A JP2003007236A JP 2003007236 A JP2003007236 A JP 2003007236A JP 2001187977 A JP2001187977 A JP 2001187977A JP 2001187977 A JP2001187977 A JP 2001187977A JP 2003007236 A JP2003007236 A JP 2003007236A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 Ｘ線の放射方向に対してＸ線管装置の横寸法
を小さくし、Ｘ線の放射窓の周囲の空間を広くすること
により、Ｘ線を被検査物に対して様々な角度や方向から
照射する。 【解決手段】 電子銃１は、電子線を放出する陰極を有
し、陽極ターゲット２へ電子ビームを照射する。陽極タ
ーゲット２は、電子ビームの衝突によりＸ線を発生す
る。回転機構３は、電子ビームの衝突による発熱で陽極
ターゲット２が溶融するのを防止するため、陽極ターゲ
ット２を回転する。Ｘ線の放射方向の中心２ａを、陽極
の回転軸２ｂとほぼ平行とする。または、電子ビームの
照射方向１ａを、陽極の回転軸２ｂとほぼ垂直とする。
を小さくし、Ｘ線の放射窓の周囲の空間を広くすること
により、Ｘ線を被検査物に対して様々な角度や方向から
照射する。 【解決手段】 電子銃１は、電子線を放出する陰極を有
し、陽極ターゲット２へ電子ビームを照射する。陽極タ
ーゲット２は、電子ビームの衝突によりＸ線を発生す
る。回転機構３は、電子ビームの衝突による発熱で陽極
ターゲット２が溶融するのを防止するため、陽極ターゲ
ット２を回転する。Ｘ線の放射方向の中心２ａを、陽極
の回転軸２ｂとほぼ平行とする。または、電子ビームの
照射方向１ａを、陽極の回転軸２ｂとほぼ垂直とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、陽極回転機構を備
えたＸ線管装置及びそれを用いたＸ線検査装置に係り、
特に工業用の非破壊検査装置等のようにＸ線を様々な角
度や方向から照射するのに好適なＸ線管装置及びそれを
用いたＸ線検査装置に関する。
えたＸ線管装置及びそれを用いたＸ線検査装置に係り、
特に工業用の非破壊検査装置等のようにＸ線を様々な角
度や方向から照射するのに好適なＸ線管装置及びそれを
用いたＸ線検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般の医療用あるいは工業用のＸ線透過
・撮影装置又はＸ線露光装置等では、多くの場合、Ｘ線
発生源としてＸ線管装置が使用されている。Ｘ線管装置
は、陰極から放出した電子線を陽極に照射し、電子線の
衝突により陽極からＸ線を発生するものである。大出力
のＸ線管装置には、電子線の衝突による発熱で陽極が溶
融するのを防止するために、陽極を回転する回転機構が
備えられている。
・撮影装置又はＸ線露光装置等では、多くの場合、Ｘ線
発生源としてＸ線管装置が使用されている。Ｘ線管装置
は、陰極から放出した電子線を陽極に照射し、電子線の
衝突により陽極からＸ線を発生するものである。大出力
のＸ線管装置には、電子線の衝突による発熱で陽極が溶
融するのを防止するために、陽極を回転する回転機構が
備えられている。
【０００３】図４は、従来の陽極回転機構を備えたＸ線
管装置の概略構成を示す斜視図である。Ｘ線管装置４０
は、電子線を放出する陰極を有する電子銃４１と、電子
ビームの衝突によりＸ線を発生する陽極ターゲット４２
と、陽極ターゲット４２を回転する回転機構４３とを備
えている。電子銃４１、陽極ターゲット４２及び回転機
構４３の一部は、金属あるいはガラス製の外囲器４６内
に真空封入されてＸ線管管球を構成している。Ｘ線管管
球及び回転機構４３の一部はさらにシステム容器４８内
に収納され、システム容器４８にはＸ線を放射する放射
窓４７が設けられている。
管装置の概略構成を示す斜視図である。Ｘ線管装置４０
は、電子線を放出する陰極を有する電子銃４１と、電子
ビームの衝突によりＸ線を発生する陽極ターゲット４２
と、陽極ターゲット４２を回転する回転機構４３とを備
えている。電子銃４１、陽極ターゲット４２及び回転機
構４３の一部は、金属あるいはガラス製の外囲器４６内
に真空封入されてＸ線管管球を構成している。Ｘ線管管
球及び回転機構４３の一部はさらにシステム容器４８内
に収納され、システム容器４８にはＸ線を放射する放射
窓４７が設けられている。
【０００４】電子銃４１は、外囲器４６内に固定されて
いる。陽極ターゲット４２は円盤状で、そのＸ線放射面
はＸ線の放射方向に対して所定角度傾斜している。電子
銃４１からの電子ビームが衝突することにより、陽極タ
ーゲット４２のＸ線放射面からＸ線が発生する。Ｘ線は
陽極ターゲット４２のＸ線放射面から所定の角度範囲で
放射されるが、図４に一点鎖線で示したように、Ｘ線の
放射方向の中心は電子ビームの照射方向とほぼ垂直とな
る。回転機構４３は、ステータコイル４４、軸受け４５
及び支持部を有し、軸受け４５及び支持部により陽極タ
ーゲット４２は回転可能に保持されている。ステータコ
イル４４は、励磁電流を流したときに発生する磁界の作
用により、陽極ターゲット４２を回転させる。
いる。陽極ターゲット４２は円盤状で、そのＸ線放射面
はＸ線の放射方向に対して所定角度傾斜している。電子
銃４１からの電子ビームが衝突することにより、陽極タ
ーゲット４２のＸ線放射面からＸ線が発生する。Ｘ線は
陽極ターゲット４２のＸ線放射面から所定の角度範囲で
放射されるが、図４に一点鎖線で示したように、Ｘ線の
放射方向の中心は電子ビームの照射方向とほぼ垂直とな
る。回転機構４３は、ステータコイル４４、軸受け４５
及び支持部を有し、軸受け４５及び支持部により陽極タ
ーゲット４２は回転可能に保持されている。ステータコ
イル４４は、励磁電流を流したときに発生する磁界の作
用により、陽極ターゲット４２を回転させる。
【０００５】このように従来の陽極回転機構を備えたＸ
線管装置は、電子ビームの照射方向が陽極の回転軸方向
と一致し、Ｘ線を放射する放射窓４７の左右に電子銃４
１及び回転機構４３を配置していた。
線管装置は、電子ビームの照射方向が陽極の回転軸方向
と一致し、Ｘ線を放射する放射窓４７の左右に電子銃４
１及び回転機構４３を配置していた。
【０００６】図５は、従来の陽極回転機構を備えたＸ線
管装置を用いたＸ線検査装置の構成図である。Ｘ線検査
装置５０は、被検査物を載せるＸＹテーブル１１、Ｘ線
管装置４０、及びＸ線検出装置２０を含んで構成され
る。Ｘ線検出装置２０は、Ｘ線管装置４０から発生して
ＸＹテーブル１１上の被検査物を透過したＸ線を検出
し、画像信号に変換する。Ｘ線管装置４０及びＸ線検出
装置２０は、それぞれ図示しない移動機構によりＸ線検
査装置５０内を移動可能に構成されている。
管装置を用いたＸ線検査装置の構成図である。Ｘ線検査
装置５０は、被検査物を載せるＸＹテーブル１１、Ｘ線
管装置４０、及びＸ線検出装置２０を含んで構成され
る。Ｘ線検出装置２０は、Ｘ線管装置４０から発生して
ＸＹテーブル１１上の被検査物を透過したＸ線を検出
し、画像信号に変換する。Ｘ線管装置４０及びＸ線検出
装置２０は、それぞれ図示しない移動機構によりＸ線検
査装置５０内を移動可能に構成されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】工業用の非破壊検査装
置等のＸ線検査装置では、Ｘ線を被検査物に対して様々
な角度や方向から照射することが要求される。しかしな
がら、従来の陽極回転機構を備えたＸ線管装置は、Ｘ線
の放射窓の左右に電子銃及び回転機構を配置していたた
め、放射窓を上に向けた状態で装置が横長の構成とな
り、図５において放射窓４７がＸ線検査装置５０内を移
動可能な範囲が限られていた。また、Ｘ線の放射窓の周
囲に電子銃及び回転機構があるため、放射窓の周囲の空
間を広く取ることができず、Ｘ線を被検査物に対して照
射する角度や方向が限られていた。
置等のＸ線検査装置では、Ｘ線を被検査物に対して様々
な角度や方向から照射することが要求される。しかしな
がら、従来の陽極回転機構を備えたＸ線管装置は、Ｘ線
の放射窓の左右に電子銃及び回転機構を配置していたた
め、放射窓を上に向けた状態で装置が横長の構成とな
り、図５において放射窓４７がＸ線検査装置５０内を移
動可能な範囲が限られていた。また、Ｘ線の放射窓の周
囲に電子銃及び回転機構があるため、放射窓の周囲の空
間を広く取ることができず、Ｘ線を被検査物に対して照
射する角度や方向が限られていた。
【０００８】本発明は、Ｘ線の放射方向に対して横寸法
が小さく、Ｘ線の放射窓の周囲の空間が広いＸ線管装置
を提供することを目的とする。
が小さく、Ｘ線の放射窓の周囲の空間が広いＸ線管装置
を提供することを目的とする。
【０００９】本発明はまた、Ｘ線を被検査物に対して様
々な角度や方向から照射することのできるＸ線検査装置
を提供することを目的とする。
々な角度や方向から照射することのできるＸ線検査装置
を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の本発明
に係るＸ線管装置は、電子線発生源と、電子線発生源か
ら照射される電子線の衝突によりＸ線を発生する陽極
と、陽極を回転する回転手段とを備えたＸ線管装置にお
いて、陽極から発生するＸ線の放射方向の中心を、回転
手段による陽極の回転軸とほぼ平行にしたものである。
に係るＸ線管装置は、電子線発生源と、電子線発生源か
ら照射される電子線の衝突によりＸ線を発生する陽極
と、陽極を回転する回転手段とを備えたＸ線管装置にお
いて、陽極から発生するＸ線の放射方向の中心を、回転
手段による陽極の回転軸とほぼ平行にしたものである。
【００１１】従来、Ｘ線の放射方向の中心は、陽極の回
転軸とほぼ垂直であった。このため、陽極を回転する回
転手段は、Ｘ線の放射窓の横に配置する必要があった。
請求項１に記載の本発明では、Ｘ線の放射方向の中心を
陽極の回転軸とほぼ平行にすることにより、陽極を回転
する回転手段をＸ線の放射窓の下方に配置することがで
きる。
転軸とほぼ垂直であった。このため、陽極を回転する回
転手段は、Ｘ線の放射窓の横に配置する必要があった。
請求項１に記載の本発明では、Ｘ線の放射方向の中心を
陽極の回転軸とほぼ平行にすることにより、陽極を回転
する回転手段をＸ線の放射窓の下方に配置することがで
きる。
【００１２】請求項２に記載の本発明に係るＸ線管装置
は、電子線発生源と、電子線発生源から照射される電子
線の衝突によりＸ線を発生する陽極と、陽極を回転する
回転手段とを備えたＸ線管装置において、電子線発生源
から陽極へ照射される電子線の照射方向を、回転手段に
よる陽極の回転軸とほぼ垂直にしたものである。
は、電子線発生源と、電子線発生源から照射される電子
線の衝突によりＸ線を発生する陽極と、陽極を回転する
回転手段とを備えたＸ線管装置において、電子線発生源
から陽極へ照射される電子線の照射方向を、回転手段に
よる陽極の回転軸とほぼ垂直にしたものである。
【００１３】従来、電子線の照射方向は、陽極の回転軸
方向と一致していた。このため、陽極を回転する回転手
段は、電子線発生源と並んで配置する必要があった。請
求項２に記載の本発明では、電子線の照射方向を陽極の
回転軸とほぼ垂直にすることにより、電子線発生源と陽
極を回転する回転手段とをほぼ垂直に配置することがで
きる。従って、電子線発生源又は回転手段をＸ線の放射
窓の下方に配置することができる。
方向と一致していた。このため、陽極を回転する回転手
段は、電子線発生源と並んで配置する必要があった。請
求項２に記載の本発明では、電子線の照射方向を陽極の
回転軸とほぼ垂直にすることにより、電子線発生源と陽
極を回転する回転手段とをほぼ垂直に配置することがで
きる。従って、電子線発生源又は回転手段をＸ線の放射
窓の下方に配置することができる。
【００１４】請求項３に記載の本発明に係るＸ線検査装
置は、Ｘ線を発生するＸ線発生源と、Ｘ線発生源から発
生して被検査物を透過したＸ線を検出するＸ線検出装置
とを備えたＸ線検査装置において、Ｘ線発生源として、
請求項１又は請求項２に記載のＸ線管装置を備えたもの
である。
置は、Ｘ線を発生するＸ線発生源と、Ｘ線発生源から発
生して被検査物を透過したＸ線を検出するＸ線検出装置
とを備えたＸ線検査装置において、Ｘ線発生源として、
請求項１又は請求項２に記載のＸ線管装置を備えたもの
である。
【００１５】請求項１又は請求項２に記載のＸ線管装置
は、Ｘ線の放射方向に対して横寸法が小さく、Ｘ線の放
射窓の周囲の空間が広い。これをＸ線発生源として用い
ることにより、Ｘ線を被検査物に対して様々な角度や方
向から照射することができる。
は、Ｘ線の放射方向に対して横寸法が小さく、Ｘ線の放
射窓の周囲の空間が広い。これをＸ線発生源として用い
ることにより、Ｘ線を被検査物に対して様々な角度や方
向から照射することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面に従って説明する。図１（ａ）は本発明の一実施の
形態によるＸ線管装置の概略構成を示す斜視図、図１
（ｂ）は電子銃と陽極ターゲットの側面図である。Ｘ線
管装置１０は、電子ビームを発生する電子銃１と、電子
ビームの衝突によりＸ線を発生する陽極ターゲット２
と、陽極ターゲット２を回転する回転機構３とを備えて
いる。電子銃１、陽極ターゲット２及び回転機構３の一
部は、金属あるいはガラス製の外囲器６内に真空封入さ
れている。外囲器６には、Ｘ線を放射する放射窓７が設
けられている。
図面に従って説明する。図１（ａ）は本発明の一実施の
形態によるＸ線管装置の概略構成を示す斜視図、図１
（ｂ）は電子銃と陽極ターゲットの側面図である。Ｘ線
管装置１０は、電子ビームを発生する電子銃１と、電子
ビームの衝突によりＸ線を発生する陽極ターゲット２
と、陽極ターゲット２を回転する回転機構３とを備えて
いる。電子銃１、陽極ターゲット２及び回転機構３の一
部は、金属あるいはガラス製の外囲器６内に真空封入さ
れている。外囲器６には、Ｘ線を放射する放射窓７が設
けられている。
【００１７】電子銃１は、電子線を放出する陰極と、陰
極から電子線を引き出す引出し電極と、電子線を集束す
る電子集束系とを備えている。陰極は、タングステンや
酸化バリウム等の電子放出特性に優れた材料で構成され
ている。引出し電極及び電子集束系は、数段の電極で電
子レンズを構成したものである。各電極は、電圧を印加
する高電圧発生部（図示省略）及びその制御部（図示省
略）に接続されている。各電極には、所望の焦点寸法を
形成するために、電子ビームが通る穴が設けられてお
り、印加電圧によって集束作用を持つように設計されて
いる。陰極から放出された電子線は、引出し電極で作ら
れる磁界により引き出され、電子集束系で所望の焦点寸
法となるように細く集束されて電子ビームとなり、陽極
ターゲット２へ照射される。
極から電子線を引き出す引出し電極と、電子線を集束す
る電子集束系とを備えている。陰極は、タングステンや
酸化バリウム等の電子放出特性に優れた材料で構成され
ている。引出し電極及び電子集束系は、数段の電極で電
子レンズを構成したものである。各電極は、電圧を印加
する高電圧発生部（図示省略）及びその制御部（図示省
略）に接続されている。各電極には、所望の焦点寸法を
形成するために、電子ビームが通る穴が設けられてお
り、印加電圧によって集束作用を持つように設計されて
いる。陰極から放出された電子線は、引出し電極で作ら
れる磁界により引き出され、電子集束系で所望の焦点寸
法となるように細く集束されて電子ビームとなり、陽極
ターゲット２へ照射される。
【００１８】陽極ターゲット２は、Ｘ線発生効率の良い
高原子番号の材料、例えばタングステン、タンタル等で
構成されている。陽極ターゲット２は図１に示すように
円盤状で、そのＸ線放射面はＸ線の放射方向に対して所
定角度傾斜している。電子銃１からの電子ビームが衝突
することにより、陽極ターゲット２のＸ線放射面からＸ
線が発生する。Ｘ線は陽極ターゲット２のＸ線放射面か
ら所定の角度範囲で放射されるが、図１（ｂ）に一点鎖
線で示したように、Ｘ線の放射方向の中心２ａは、電子
ビームの照射方向１ａとほぼ垂直となる。
高原子番号の材料、例えばタングステン、タンタル等で
構成されている。陽極ターゲット２は図１に示すように
円盤状で、そのＸ線放射面はＸ線の放射方向に対して所
定角度傾斜している。電子銃１からの電子ビームが衝突
することにより、陽極ターゲット２のＸ線放射面からＸ
線が発生する。Ｘ線は陽極ターゲット２のＸ線放射面か
ら所定の角度範囲で放射されるが、図１（ｂ）に一点鎖
線で示したように、Ｘ線の放射方向の中心２ａは、電子
ビームの照射方向１ａとほぼ垂直となる。
【００１９】回転機構３は、ステータコイル４、軸受け
５及び支持部を有し、軸受け５及び支持部により陽極タ
ーゲット４は回転可能に保持されている。ステータコイ
ル４は、励磁電流を流したときに発生する磁界の作用に
より、陽極ターゲット２を回転させる。
５及び支持部を有し、軸受け５及び支持部により陽極タ
ーゲット４は回転可能に保持されている。ステータコイ
ル４は、励磁電流を流したときに発生する磁界の作用に
より、陽極ターゲット２を回転させる。
【００２０】本実施の形態によれば、図１（ｂ）に一点
鎖線で示したように、Ｘ線の放射方向の中心２ａは、陽
極の回転軸２ｂとほぼ平行となっている。これにより、
回転機構３をＸ線の放射窓７の下方に配置することがで
きる。従って、Ｘ線の放射方向に対して装置の横寸法が
小さくなり、Ｘ線の放射窓７の周囲の空間が広くなる。
鎖線で示したように、Ｘ線の放射方向の中心２ａは、陽
極の回転軸２ｂとほぼ平行となっている。これにより、
回転機構３をＸ線の放射窓７の下方に配置することがで
きる。従って、Ｘ線の放射方向に対して装置の横寸法が
小さくなり、Ｘ線の放射窓７の周囲の空間が広くなる。
【００２１】また、本実施の形態によれば、図１（ｂ）
に一点鎖線で示したように、電子ビームの照射方向１ａ
は、陽極の回転軸２ｂとほぼ垂直となっている。これに
より、電子銃１と回転機構３とをほぼ垂直に配置するこ
とができる。従って、電子銃１又は回転機構３をＸ線の
放射窓７の下方に配置することができ、Ｘ線の放射方向
に対して装置の横寸法が小さくなり、Ｘ線の放射窓７の
周囲の空間が広くなる。
に一点鎖線で示したように、電子ビームの照射方向１ａ
は、陽極の回転軸２ｂとほぼ垂直となっている。これに
より、電子銃１と回転機構３とをほぼ垂直に配置するこ
とができる。従って、電子銃１又は回転機構３をＸ線の
放射窓７の下方に配置することができ、Ｘ線の放射方向
に対して装置の横寸法が小さくなり、Ｘ線の放射窓７の
周囲の空間が広くなる。
【００２２】なお、本実施の形態では、陽極を回転する
回転機構３が電子銃１より大きいため、回転機構３の方
をＸ線の放射窓７の下方に配置しているが、本発明は電
子銃１をＸ線の放射窓７の下方に配置してもよい。
回転機構３が電子銃１より大きいため、回転機構３の方
をＸ線の放射窓７の下方に配置しているが、本発明は電
子銃１をＸ線の放射窓７の下方に配置してもよい。
【００２３】図２（ａ）は本発明の他の実施の形態によ
るＸ線管装置の概略構成を示す斜視図、図２（ｂ）は電
子銃と陽極ターゲットの側面図である。本実施の形態が
図１に示した実施の形態と異なる点は、電子ビームの照
射方向１ａと、陽極ターゲット２のＸ線放射面の傾斜角
度である。他は、図１に示した実施の形態と同様であ
る。本実施の形態では、図２（ｂ）に一点鎖線で示した
ように、電子ビームの照射方向１ａは、陽極の回転軸２
ｂに対して、垂直より下向きとなっている。一方、陽極
ターゲット２のＸ線放射面はＸ線の放射方向の中心２ａ
に対して傾斜角度が大きくなり、結果として、図２
（ｂ）に一点鎖線で示したように、Ｘ線の放射方向の中
心２ａは、陽極の回転軸２ｂとほぼ平行となっている。
るＸ線管装置の概略構成を示す斜視図、図２（ｂ）は電
子銃と陽極ターゲットの側面図である。本実施の形態が
図１に示した実施の形態と異なる点は、電子ビームの照
射方向１ａと、陽極ターゲット２のＸ線放射面の傾斜角
度である。他は、図１に示した実施の形態と同様であ
る。本実施の形態では、図２（ｂ）に一点鎖線で示した
ように、電子ビームの照射方向１ａは、陽極の回転軸２
ｂに対して、垂直より下向きとなっている。一方、陽極
ターゲット２のＸ線放射面はＸ線の放射方向の中心２ａ
に対して傾斜角度が大きくなり、結果として、図２
（ｂ）に一点鎖線で示したように、Ｘ線の放射方向の中
心２ａは、陽極の回転軸２ｂとほぼ平行となっている。
【００２４】本実施の形態によれば、電子銃１を陽極タ
ーゲット２の斜め上方に配置することができる。従っ
て、Ｘ線の放射方向に対して装置の横寸法がさらに小さ
くなる。
ーゲット２の斜め上方に配置することができる。従っ
て、Ｘ線の放射方向に対して装置の横寸法がさらに小さ
くなる。
【００２５】図３は、本発明の一実施の形態によるＸ線
検査装置の構成図である。Ｘ線検査装置３０は、被検査
物を載せるＸＹテーブル１１、Ｘ線管装置１０、及びＸ
線検出装置２０を含んで構成される。Ｘ線検出装置２０
は、Ｘ線管装置１０から発生してＸＹテーブル１１上の
被検査物を透過したＸ線を検出し、画像信号に変換す
る。Ｘ線管装置１０及びＸ線検出装置２０は、それぞれ
図示しない移動機構によりＸ線検査装置３０内を移動可
能に構成されている。
検査装置の構成図である。Ｘ線検査装置３０は、被検査
物を載せるＸＹテーブル１１、Ｘ線管装置１０、及びＸ
線検出装置２０を含んで構成される。Ｘ線検出装置２０
は、Ｘ線管装置１０から発生してＸＹテーブル１１上の
被検査物を透過したＸ線を検出し、画像信号に変換す
る。Ｘ線管装置１０及びＸ線検出装置２０は、それぞれ
図示しない移動機構によりＸ線検査装置３０内を移動可
能に構成されている。
【００２６】図３において、Ｘ線管装置１０はＸ線の放
射方向に対して横寸法が小さいため、放射窓７がＸ線検
査装置３０内を移動可能な範囲は図５の場合に比べて広
がっている。また、Ｘ線管装置１０はＸ線の放射窓の周
囲の空間が広いため、Ｘ線をＸＹテーブル１１上の被検
査物に対して様々な角度や方向から照射することができ
る。
射方向に対して横寸法が小さいため、放射窓７がＸ線検
査装置３０内を移動可能な範囲は図５の場合に比べて広
がっている。また、Ｘ線管装置１０はＸ線の放射窓の周
囲の空間が広いため、Ｘ線をＸＹテーブル１１上の被検
査物に対して様々な角度や方向から照射することができ
る。
【００２７】
【発明の効果】請求項１に記載のＸ線管装置によれば、
Ｘ線の放射方向の中心を陽極の回転軸とほぼ平行にする
ことにより、陽極を回転する回転手段をＸ線の放射窓の
下方に配置することができる。従って、Ｘ線の放射方向
に対して装置の横寸法が小さくなり、Ｘ線の放射窓の周
囲の空間が広くなる。
Ｘ線の放射方向の中心を陽極の回転軸とほぼ平行にする
ことにより、陽極を回転する回転手段をＸ線の放射窓の
下方に配置することができる。従って、Ｘ線の放射方向
に対して装置の横寸法が小さくなり、Ｘ線の放射窓の周
囲の空間が広くなる。
【００２８】請求項２に記載のＸ線管装置によれば、電
子線の照射方向を陽極の回転軸とほぼ垂直にすることに
より、電子線発生源と陽極を回転する回転手段とをほぼ
垂直に配置することができる。従って、電子線発生源又
は回転手段をＸ線の放射窓の下方に配置することができ
るので、Ｘ線の放射方向に対して装置の横寸法が小さく
なり、Ｘ線の放射窓の周囲の空間が広くなる。
子線の照射方向を陽極の回転軸とほぼ垂直にすることに
より、電子線発生源と陽極を回転する回転手段とをほぼ
垂直に配置することができる。従って、電子線発生源又
は回転手段をＸ線の放射窓の下方に配置することができ
るので、Ｘ線の放射方向に対して装置の横寸法が小さく
なり、Ｘ線の放射窓の周囲の空間が広くなる。
【００２９】請求項３に記載のＸ線検査装置によれば、
Ｘ線発生源として請求項１又は請求項２に記載のＸ線管
装置を用いることにより、Ｘ線を被検査物に対して様々
な角度や方向から照射することができる。
Ｘ線発生源として請求項１又は請求項２に記載のＸ線管
装置を用いることにより、Ｘ線を被検査物に対して様々
な角度や方向から照射することができる。
【図１】 図１（ａ）は本発明の一実施の形態によるＸ
線管装置の概略構成を示す斜視図、図１（ｂ）は電子銃
と陽極ターゲットの側面図である。
線管装置の概略構成を示す斜視図、図１（ｂ）は電子銃
と陽極ターゲットの側面図である。
【図２】 図２（ａ）は本発明の他の実施の形態による
Ｘ線管装置の概略構成を示す斜視図、図２（ｂ）は電子
銃と陽極ターゲットの側面図である。
Ｘ線管装置の概略構成を示す斜視図、図２（ｂ）は電子
銃と陽極ターゲットの側面図である。
【図３】 本発明の一実施の形態によるＸ線検査装置の
構成図である。
構成図である。
【図４】 従来の陽極回転機構を備えたＸ線管装置の概
略構成を示す斜視図である。
略構成を示す斜視図である。
【図５】 従来の陽極回転機構を備えたＸ線管装置を用
いたＸ線検査装置の構成図である。
いたＸ線検査装置の構成図である。
１…電子銃、２…陽極ターゲット、３…回転機構、４…
ステータコイル、５…軸受け、６…外囲器、７…放射
窓、１０…Ｘ線管装置、１１…ＸＹテーブル、２０…Ｘ
線検出装置、３０…Ｘ線検査装置
ステータコイル、５…軸受け、６…外囲器、７…放射
窓、１０…Ｘ線管装置、１１…ＸＹテーブル、２０…Ｘ
線検出装置、３０…Ｘ線検査装置
Claims (3)
- 【請求項１】 電子線発生源と、 前記電子線発生源から照射される電子線の衝突によりＸ
線を発生する陽極と、 前記陽極を回転する回転手段とを備えたＸ線管装置にお
いて、 前記陽極から発生するＸ線の放射方向の中心が、前記回
転手段による前記陽極の回転軸とほぼ平行であることを
特徴とするＸ線管装置。 - 【請求項２】 電子線発生源と、 前記電子線発生源から照射される電子線の衝突によりＸ
線を発生する陽極と、 前記陽極を回転する回転手段とを備えたＸ線管装置にお
いて、 前記電子線発生源から前記陽極へ照射される電子線の照
射方向が、前記回転手段による前記陽極の回転軸とほぼ
垂直であることを特徴とするＸ線管装置。 - 【請求項３】 Ｘ線を発生するＸ線発生源と、 前記Ｘ線発生源から発生して被検査物を透過したＸ線を
検出するＸ線検出装置とを備えたＸ線検査装置におい
て、 前記Ｘ線発生源として、請求項１又は請求項２に記載の
Ｘ線管装置を備えたことを特徴とするＸ線検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001187977A JP4707268B2 (ja) | 2001-06-21 | 2001-06-21 | Ｘ線管装置及びｘ線検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001187977A JP4707268B2 (ja) | 2001-06-21 | 2001-06-21 | Ｘ線管装置及びｘ線検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003007236A true JP2003007236A (ja) | 2003-01-10 |
| JP4707268B2 JP4707268B2 (ja) | 2011-06-22 |
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ID=19027183
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001187977A Expired - Fee Related JP4707268B2 (ja) | 2001-06-21 | 2001-06-21 | Ｘ線管装置及びｘ線検査装置 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4707268B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111403073A (zh) * | 2020-03-19 | 2020-07-10 | 哈尔滨工程大学 | 一种基于电子加速器的多用途终端 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5574048A (en) * | 1978-11-20 | 1980-06-04 | Machlett Lab Inc | Soft xxray lithographic system |
| JPH06111741A (ja) * | 1992-09-28 | 1994-04-22 | Rigaku Corp | 回転対陰極ｘ線発生装置 |
| JPH08162285A (ja) * | 1994-10-03 | 1996-06-21 | Rigaku Corp | 回転対陰極ｘ線管、ｘ線発生装置、およびｘ線発生装置の組立方法 |
| JP2000306533A (ja) * | 1999-02-19 | 2000-11-02 | Toshiba Corp | 透過放射型ｘ線管およびその製造方法 |
-
2001
- 2001-06-21 JP JP2001187977A patent/JP4707268B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| CN111403073A (zh) * | 2020-03-19 | 2020-07-10 | 哈尔滨工程大学 | 一种基于电子加速器的多用途终端 |
| CN111403073B (zh) * | 2020-03-19 | 2023-01-03 | 哈尔滨工程大学 | 一种基于电子加速器的多用途终端 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4707268B2 (ja) | 2011-06-22 |
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