JPH11288678A - 蛍光ｘ線源 - Google Patents
蛍光ｘ線源Info
- Publication number
- JPH11288678A JPH11288678A JP11030301A JP3030199A JPH11288678A JP H11288678 A JPH11288678 A JP H11288678A JP 11030301 A JP11030301 A JP 11030301A JP 3030199 A JP3030199 A JP 3030199A JP H11288678 A JPH11288678 A JP H11288678A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluorescent
- ray
- vacuum case
- source according
- ray source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05G—X-RAY TECHNIQUE
- H05G2/00—Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
- H01J35/08—Anodes; Anti cathodes
- H01J35/112—Non-rotating anodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2235/00—X-ray tubes
- H01J2235/08—Targets (anodes) and X-ray converters
- H01J2235/086—Target geometry
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- X-Ray Techniques (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 蛍光Ｘ線源を従来の装置にくらべて大きい効
率が得られるように構成する。 【解決手段】 内面１が陽極ターゲットとして構成され
Ｘ線出射窓１０が設けられている真空ケースを備え、こ
の真空ケースが真空ケースのなかに配置され集束されず
に周囲に放射する電子源を囲み、その電子が制動Ｘ線８
を発生するため陽極ターゲットに当たり、単一エネルギ
ーのＸ線を発生するために制動Ｘ線の伝搬路に蛍光ター
ゲット９が配置されている。
率が得られるように構成する。 【解決手段】 内面１が陽極ターゲットとして構成され
Ｘ線出射窓１０が設けられている真空ケースを備え、こ
の真空ケースが真空ケースのなかに配置され集束されず
に周囲に放射する電子源を囲み、その電子が制動Ｘ線８
を発生するため陽極ターゲットに当たり、単一エネルギ
ーのＸ線を発生するために制動Ｘ線の伝搬路に蛍光ター
ゲット９が配置されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は蛍光ターゲットに単
一エネルギーのＸ線を発生させる制動Ｘ線を発生するた
めに電子源および陽極ターゲットを有する蛍光Ｘ線源に
関する。
一エネルギーのＸ線を発生させる制動Ｘ線を発生するた
めに電子源および陽極ターゲットを有する蛍光Ｘ線源に
関する。
【０００２】
【従来の技術】さまざまな放射スペクトルの蛍光Ｘ線を
発生するために、さまざまな材料から形成された蛍光タ
ーゲットを備えた蛍光ターゲット保持板が配置されてい
るケースの蓋のなかにターゲットと向き合ってリング状
の一次源、たとえばアメリシウム放射源（ドイツ特許出
願公開第33 26 737 号明細書参照）が設けられ、これら
の一次源によりそれぞれ向き合って配置されている蛍光
ターゲットに発生させた特性的な少なくともほば単一エ
ネルギーの蛍光Ｘ線が一次源の中央でケースの蓋のなか
に設けられている孔を通って出射し得る蛍光Ｘ線源は知
られている。確かにこのような蛍光Ｘ線源は非常にコン
パクトに構成され、このことは通常の応用目的を満足す
るが、それは、一次源のアクティビティが典型的に１０
ｍＣｉであるのでＸ線の高い流れを供給し得ないし、ま
た一次源が絶えず放射するのでスイッチオフ可能でもな
い。加えて、それは絶えず放射する一次源であるゆえ
に、費用をかけて廃棄物問題を解決されなければならな
い。このような蛍光Ｘ線源の輸送の際にも安全上の理由
からかなりの費用がかかる。
発生するために、さまざまな材料から形成された蛍光タ
ーゲットを備えた蛍光ターゲット保持板が配置されてい
るケースの蓋のなかにターゲットと向き合ってリング状
の一次源、たとえばアメリシウム放射源（ドイツ特許出
願公開第33 26 737 号明細書参照）が設けられ、これら
の一次源によりそれぞれ向き合って配置されている蛍光
ターゲットに発生させた特性的な少なくともほば単一エ
ネルギーの蛍光Ｘ線が一次源の中央でケースの蓋のなか
に設けられている孔を通って出射し得る蛍光Ｘ線源は知
られている。確かにこのような蛍光Ｘ線源は非常にコン
パクトに構成され、このことは通常の応用目的を満足す
るが、それは、一次源のアクティビティが典型的に１０
ｍＣｉであるのでＸ線の高い流れを供給し得ないし、ま
た一次源が絶えず放射するのでスイッチオフ可能でもな
い。加えて、それは絶えず放射する一次源であるゆえ
に、費用をかけて廃棄物問題を解決されなければならな
い。このような蛍光Ｘ線源の輸送の際にも安全上の理由
からかなりの費用がかかる。
【０００３】さらに、冒頭に記載されている種類のスイ
ッチオフ可能な蛍光Ｘ線源であって、スイッチオフがた
とえば白熱陰極において加熱電流が遮断されることによ
って電子源を不能動化することに基づいている蛍光Ｘ線
源は知られている。このような蛍光Ｘ線源は制動Ｘ線へ
の電気エネルギーの変換だけでなく、蛍光Ｘ線への制動
Ｘ線の変換もごくわずかな効率で行われるという問題を
有している。前者の効率は約１％であり、後者の効率は
ほば装置の幾何形状に関係する。従来のＸ線管により達
成される像質（ここでは検出量子効率（ＤＱＥ）が重要
な特性量である）を得るためには、電力が現在通常の電
力の少なくとも１０倍に高められなければならなかった
が、このことは実際上排除されている。
ッチオフ可能な蛍光Ｘ線源であって、スイッチオフがた
とえば白熱陰極において加熱電流が遮断されることによ
って電子源を不能動化することに基づいている蛍光Ｘ線
源は知られている。このような蛍光Ｘ線源は制動Ｘ線へ
の電気エネルギーの変換だけでなく、蛍光Ｘ線への制動
Ｘ線の変換もごくわずかな効率で行われるという問題を
有している。前者の効率は約１％であり、後者の効率は
ほば装置の幾何形状に関係する。従来のＸ線管により達
成される像質（ここでは検出量子効率（ＤＱＥ）が重要
な特性量である）を得るためには、電力が現在通常の電
力の少なくとも１０倍に高められなければならなかった
が、このことは実際上排除されている。
【０００４】冒頭に記載されている種類の公知の蛍光Ｘ
線源では、焦点ヘッドのなかに位置している陰極から発
生された電子は直接に蛍光ターゲットに集束され（この
ことはもちろん電力を制限する）、もしくは電子はＸ線
源のケースの一部分に加速され、そこで制動Ｘ線を発生
し、これらの制動Ｘ線が次いで装置の幾何形状により予
め定められた空間角度で蛍光ターゲットに当たり、そこ
で蛍光Ｘ線を発生する（これについてはたとえばヨーロ
ッパ特許第0 459 567 号明細書、ドイツ特許出願公開第
37 16 618 号明細書およびドイツ特許出願公開第 196 3
9 241 号明細書を参照）。ここでも再び既に冒頭に記載
した低効率の問題が生ずるので、冒頭に記載されている
種類の蛍光Ｘ線源を用いた場合、受容可能な寸法が守ら
れるかぎり、不満足な像質しか得られない。上記両文献
において説明されている蛍光Ｘ線源には、集束された電
子源から陽極ターゲットに発生させられた制動Ｘ線を照
射される円錐状の蛍光ターゲットが使用される。陽極タ
ーゲットに特性的な単一エネルギーの蛍光Ｘ線が発生さ
せられる。
線源では、焦点ヘッドのなかに位置している陰極から発
生された電子は直接に蛍光ターゲットに集束され（この
ことはもちろん電力を制限する）、もしくは電子はＸ線
源のケースの一部分に加速され、そこで制動Ｘ線を発生
し、これらの制動Ｘ線が次いで装置の幾何形状により予
め定められた空間角度で蛍光ターゲットに当たり、そこ
で蛍光Ｘ線を発生する（これについてはたとえばヨーロ
ッパ特許第0 459 567 号明細書、ドイツ特許出願公開第
37 16 618 号明細書およびドイツ特許出願公開第 196 3
9 241 号明細書を参照）。ここでも再び既に冒頭に記載
した低効率の問題が生ずるので、冒頭に記載されている
種類の蛍光Ｘ線源を用いた場合、受容可能な寸法が守ら
れるかぎり、不満足な像質しか得られない。上記両文献
において説明されている蛍光Ｘ線源には、集束された電
子源から陽極ターゲットに発生させられた制動Ｘ線を照
射される円錐状の蛍光ターゲットが使用される。陽極タ
ーゲットに特性的な単一エネルギーの蛍光Ｘ線が発生さ
せられる。
【０００５】ドイツ特許出願公開第 196 39 243 号明細
書には、電気的に切換可能な種々の蛍光ターゲットに制
動Ｘ線を照射するようにしたＮ個の異なるターゲットを
備えた蛍光Ｘ線源が記載されている。この場合に複数個
の集束される電子源が必要であることは別として、陽極
側から可能な電力の１／Ｎしか利用されない。
書には、電気的に切換可能な種々の蛍光ターゲットに制
動Ｘ線を照射するようにしたＮ個の異なるターゲットを
備えた蛍光Ｘ線源が記載されている。この場合に複数個
の集束される電子源が必要であることは別として、陽極
側から可能な電力の１／Ｎしか利用されない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の課題
は、冒頭に記載されている種類の蛍光Ｘ線源を、従来の
装置にくらべて大きい効率を有するように構成すること
である。
は、冒頭に記載されている種類の蛍光Ｘ線源を、従来の
装置にくらべて大きい効率を有するように構成すること
である。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に、本発明によれば、好ましくは内面全体が陽極ターゲ
ットとして構成されＸ線出射窓を有する真空ケースのな
かに、集束されずに周囲に放射する電子源と、Ｘ線出射
窓に向きを合わされて、蛍光ターゲットとが配置されて
いる。
に、本発明によれば、好ましくは内面全体が陽極ターゲ
ットとして構成されＸ線出射窓を有する真空ケースのな
かに、集束されずに周囲に放射する電子源と、Ｘ線出射
窓に向きを合わされて、蛍光ターゲットとが配置されて
いる。
【０００８】本発明による蛍光Ｘ線源では、実際上、真
空ケースのすべての好ましくは冷却される内面が陽極タ
ーゲットとして構成されているので、陰極として簡単な
集束されずに周囲に放射する電子源、従って大きくかつ
パワーの強い電子源が使用され得る。その際、電子光学
系が、好ましくは加熱可能なワイヤスパイラルとして構
成されている陰極と、陽極としての役割をする真空ケー
スの内面とからのみ成っていると好ましい。
空ケースのすべての好ましくは冷却される内面が陽極タ
ーゲットとして構成されているので、陰極として簡単な
集束されずに周囲に放射する電子源、従って大きくかつ
パワーの強い電子源が使用され得る。その際、電子光学
系が、好ましくは加熱可能なワイヤスパイラルとして構
成されている陰極と、陽極としての役割をする真空ケー
スの内面とからのみ成っていると好ましい。
【０００９】陰極は主として真空ケースの内面全体に均
等に電子を照射し、それによって最も簡単な構成と共
に、その後に蛍光ターゲットのなかで単一エネルギーの
蛍光Ｘ線の発生のために変換される制動Ｘ線を発生する
際に非常に高い効率が得られる。
等に電子を照射し、それによって最も簡単な構成と共
に、その後に蛍光ターゲットのなかで単一エネルギーの
蛍光Ｘ線の発生のために変換される制動Ｘ線を発生する
際に非常に高い効率が得られる。
【００１０】こうして本発明による蛍光Ｘ線源は、スイ
ッチオフ可能であり、蛍光Ｘ線フォトンの高い流れを可
能にし、それにもかかわらず小形のコンパクトな構造形
態、従って複雑でなく場所的制約のない使用を可能に
し、厄介な廃棄物処理の必要がなく、また常に能動的な
放射源が存在していないので問題なしに輸送することの
できる蛍光Ｘ線源である。蛍光Ｘ線フォトンの高い流れ
に対して決定的なことは、制動Ｘ線フォトンの高い流れ
が蛍光ターゲットの励起のために利用されるように、真
空ケースの陽極として有効なすべての内面が集束されず
に周囲に放射する電子源により均等に電子を照射される
ことである。
ッチオフ可能であり、蛍光Ｘ線フォトンの高い流れを可
能にし、それにもかかわらず小形のコンパクトな構造形
態、従って複雑でなく場所的制約のない使用を可能に
し、厄介な廃棄物処理の必要がなく、また常に能動的な
放射源が存在していないので問題なしに輸送することの
できる蛍光Ｘ線源である。蛍光Ｘ線フォトンの高い流れ
に対して決定的なことは、制動Ｘ線フォトンの高い流れ
が蛍光ターゲットの励起のために利用されるように、真
空ケースの陽極として有効なすべての内面が集束されず
に周囲に放射する電子源により均等に電子を照射される
ことである。
【００１１】本発明による蛍光Ｘ線源の場合、少なくと
もほぼ単一エネルギーの蛍光Ｘ線は必ずしも焦点から出
発しない。しかしこのことはたとえばＸ線解析のような
多くの用途にとって欠点とはならない。
もほぼ単一エネルギーの蛍光Ｘ線は必ずしも焦点から出
発しない。しかしこのことはたとえばＸ線解析のような
多くの用途にとって欠点とはならない。
【００１２】蛍光ターゲットとしては用途に応じて、画
定された焦点を発生するための、たとえば前記ヨーロッ
パ特許第0 459 567 号明細書または英国特許第 1 443 0
48号明細書に記載されているような円錐状の針が用いら
れてもよいし、焦点が必要でない、または望ましくない
場合には、面状に広がった中実のターゲットが用いられ
てもよく、この面状に広がった中実のターゲットはケー
スのなかでＸ線出射窓と向き合う面に、もしくはケース
の外側でＸ線出射窓の前に配置されていてもよい。Ｘ線
出射窓は小さい原子番号の薄い材料、たとえば０．３ｍ
ｍの厚みのベリリウム板から成っている。
定された焦点を発生するための、たとえば前記ヨーロッ
パ特許第0 459 567 号明細書または英国特許第 1 443 0
48号明細書に記載されているような円錐状の針が用いら
れてもよいし、焦点が必要でない、または望ましくない
場合には、面状に広がった中実のターゲットが用いられ
てもよく、この面状に広がった中実のターゲットはケー
スのなかでＸ線出射窓と向き合う面に、もしくはケース
の外側でＸ線出射窓の前に配置されていてもよい。Ｘ線
出射窓は小さい原子番号の薄い材料、たとえば０．３ｍ
ｍの厚みのベリリウム板から成っている。
【００１３】構成を簡単にする観点で、本発明の実施態
様の場合、真空ケースがほぼ円筒状で端壁にＸ線出射窓
を有するように構成され、電子源が真空ケースの内部で
少なくともほぼ真空ケースの中心軸線に位置する蛍光タ
ーゲットを同心に囲む。
様の場合、真空ケースがほぼ円筒状で端壁にＸ線出射窓
を有するように構成され、電子源が真空ケースの内部で
少なくともほぼ真空ケースの中心軸線に位置する蛍光タ
ーゲットを同心に囲む。
【００１４】さまざまな放射スペクトルの蛍光Ｘ線を発
生し得るようにするために、本発明の実施態様によれ
ば、制動Ｘ線の放射路に、位置調節可能な、すなわち変
位可能または回転可能な保持板に配置されている種々の
蛍光ターゲットを入れることができる。その際に保持板
は真空ケースの外側でＸ線出射窓の前に配置されていて
よい。しかし、保持板を真空ケースの内側にＸ線出射窓
と向かい合わせて配置することも可能である。この場合
には真空ケースは、本発明の変形例により、ケース突起
部１８を有し、このケース突起部のなかに保持板が、そ
の都度ただ１つの蛍光ターゲットが制動Ｘ線の伝搬路に
位置するように回転可能に配置されている。その際に高
いコストを要する気密な貫通を避けるため、保持板が磁
気的結合により、真空ケースの外部に配置された操作要
素と結合されていてよい。最も簡単な場合には、回転駆
動部は保持板に取付けられている棒磁石とそれに対して
平行に真空ケースの外側に取付けられている回転可能な
棒磁石とから成っている。外側の磁石が回転されると、
それは内側の磁石に回転を伝導し、それによって蛍光タ
ーゲット保持板をも回転させる。
生し得るようにするために、本発明の実施態様によれ
ば、制動Ｘ線の放射路に、位置調節可能な、すなわち変
位可能または回転可能な保持板に配置されている種々の
蛍光ターゲットを入れることができる。その際に保持板
は真空ケースの外側でＸ線出射窓の前に配置されていて
よい。しかし、保持板を真空ケースの内側にＸ線出射窓
と向かい合わせて配置することも可能である。この場合
には真空ケースは、本発明の変形例により、ケース突起
部１８を有し、このケース突起部のなかに保持板が、そ
の都度ただ１つの蛍光ターゲットが制動Ｘ線の伝搬路に
位置するように回転可能に配置されている。その際に高
いコストを要する気密な貫通を避けるため、保持板が磁
気的結合により、真空ケースの外部に配置された操作要
素と結合されていてよい。最も簡単な場合には、回転駆
動部は保持板に取付けられている棒磁石とそれに対して
平行に真空ケースの外側に取付けられている回転可能な
棒磁石とから成っている。外側の磁石が回転されると、
それは内側の磁石に回転を伝導し、それによって蛍光タ
ーゲット保持板をも回転させる。
【００１５】本発明による蛍光Ｘ線源の陽極ターゲット
はそれ自体は公知の仕方で、高い原子番号の材料、たと
えばタングステンを含んでいる層により形成されてい
る。
はそれ自体は公知の仕方で、高い原子番号の材料、たと
えばタングステンを含んでいる層により形成されてい
る。
【００１６】蛍光ターゲットの蛍光Ｘ線への制動Ｘ線の
変換の際の効率はそれ自体は公知の仕方で、真空ケース
の内面が陽極ターゲットを形成する層の下に低い原子番
号の材料、好ましくはアルミニウムまたはベリリウムか
ら成るコンプトン散乱層を有することにより高められ
る。その際に場合によっては真空ケース全体がコンプト
ン散乱層の材料から形成されていてもよい。コンプトン
散乱層の存在により、多くの制動Ｘ線が蛍光ターゲット
に到達し、その結果として全体効率が高められるよう
に、制動Ｘ線の反射および多重反射が可能にされる。
変換の際の効率はそれ自体は公知の仕方で、真空ケース
の内面が陽極ターゲットを形成する層の下に低い原子番
号の材料、好ましくはアルミニウムまたはベリリウムか
ら成るコンプトン散乱層を有することにより高められ
る。その際に場合によっては真空ケース全体がコンプト
ン散乱層の材料から形成されていてもよい。コンプトン
散乱層の存在により、多くの制動Ｘ線が蛍光ターゲット
に到達し、その結果として全体効率が高められるよう
に、制動Ｘ線の反射および多重反射が可能にされる。
【００１７】本発明の変形例によれば、集束されていな
い、従って大きくかつ高パワーの電子源を使用する場合
に必要な冷却が保証されているように、陽極ターゲット
を保持する真空ケースの内面は冷却材を流される通路を
含んでいてよい。
い、従って大きくかつ高パワーの電子源を使用する場合
に必要な冷却が保証されているように、陽極ターゲット
を保持する真空ケースの内面は冷却材を流される通路を
含んでいてよい。
【００１８】もたらされた電力のキロワットあたりの到
達可能なアクティビティは大面積のターゲットを用いて
数１００ｍＣｉ／ｋＷである。たとえば噴射水冷却を有
する２００Ｗ／ｍｍ2 ないし３００Ｗ／ｍｍ2 の固定陽
極におけるパワー密度から出発すると、非常に小さい陽
極幾何形状により既に非常に高いアクティビティが発生
され得る。
達可能なアクティビティは大面積のターゲットを用いて
数１００ｍＣｉ／ｋＷである。たとえば噴射水冷却を有
する２００Ｗ／ｍｍ2 ないし３００Ｗ／ｍｍ2 の固定陽
極におけるパワー密度から出発すると、非常に小さい陽
極幾何形状により既に非常に高いアクティビティが発生
され得る。
【００１９】
【発明の実施の形態】本発明の他の利点、特徴および詳
細は実施例および図面による以下の説明から明らかにな
る。
細は実施例および図面による以下の説明から明らかにな
る。
【００２０】図１による本発明による蛍光Ｘ線源では主
として真空ケースのほぼ円筒状のケース壁２の内面１の
全体が陽極ターゲットとして構成され、その際にケース
壁２は液体または気体状の冷却媒体を流されている冷却
通路３を含んでいる。
として真空ケースのほぼ円筒状のケース壁２の内面１の
全体が陽極ターゲットとして構成され、その際にケース
壁２は液体または気体状の冷却媒体を流されている冷却
通路３を含んでいる。
【００２１】蛍光Ｘ線源の電子光学系は、ワイヤから成
る円筒状スパイラルとして構成されている集束せずに周
囲に放射する電子源を有する陰極４およびケース壁２の
内面１を含んでいる。
る円筒状スパイラルとして構成されている集束せずに周
囲に放射する電子源を有する陰極４およびケース壁２の
内面１を含んでいる。
【００２２】加速電圧源５により、加熱電圧源６により
加熱可能な陰極４から出る電子がケース壁２の内面１に
向けて加速される。
加熱可能な陰極４から出る電子がケース壁２の内面１に
向けて加速される。
【００２３】陽極ターゲットとして作用するケース壁２
の内面１は好ましくはその表面全体に、しかし少なくと
も陰極４を囲む範囲に、陽極材料７、図１による実施例
ではたとえばタングステン層を設けられており、この陽
極材料から電子が衝突すると制動Ｘ線が出される。
の内面１は好ましくはその表面全体に、しかし少なくと
も陰極４を囲む範囲に、陽極材料７、図１による実施例
ではたとえばタングステン層を設けられており、この陽
極材料から電子が衝突すると制動Ｘ線が出される。
【００２４】陽極材料７の下に、図１および２による実
施例の場合には、この実施例の場合にはベリリウムまた
はアルミニウムから形成されたケース壁２によって形成
されているコンプトン散乱層が配置されている。しか
し、後で説明する図３による実施例の場合のように、陽
極材料７とケース壁２との間に適当な材料から成る特別
なコンプトン散乱層が設けられていてもよい。
施例の場合には、この実施例の場合にはベリリウムまた
はアルミニウムから形成されたケース壁２によって形成
されているコンプトン散乱層が配置されている。しか
し、後で説明する図３による実施例の場合のように、陽
極材料７とケース壁２との間に適当な材料から成る特別
なコンプトン散乱層が設けられていてもよい。
【００２５】陰極４から出る電子は陽極材料７として設
けられているタングステン層に向けて加速され、その際
に図２に示されているように空間角度内に放射される制
動Ｘ線８を発生させる。この制動Ｘ線８は、場合によっ
てはコンプトン散乱層での反射の後に、大部分が蛍光タ
ーゲットに当たる。
けられているタングステン層に向けて加速され、その際
に図２に示されているように空間角度内に放射される制
動Ｘ線８を発生させる。この制動Ｘ線８は、場合によっ
てはコンプトン散乱層での反射の後に、大部分が蛍光タ
ーゲットに当たる。
【００２６】図１による実施例では蛍光ターゲット９
は、真空ケースの端壁１１に取付けられ、真空ケースの
内部に位置しかつ円筒状スパイラルにより囲まれている
円錐状の針として構成されている。真空ケース、円筒状
スパイラルおよび蛍光ターゲット９の中心軸線は、同心
の配置をなすように、少なくともほぼ一致している。蛍
光ターゲットから出る蛍光Ｘ線は真空ケースの中に端壁
１１と向かい合う端壁１２のなかに配置されているＸ線
出射窓１０を通って真空ケースから出射する。
は、真空ケースの端壁１１に取付けられ、真空ケースの
内部に位置しかつ円筒状スパイラルにより囲まれている
円錐状の針として構成されている。真空ケース、円筒状
スパイラルおよび蛍光ターゲット９の中心軸線は、同心
の配置をなすように、少なくともほぼ一致している。蛍
光ターゲットから出る蛍光Ｘ線は真空ケースの中に端壁
１１と向かい合う端壁１２のなかに配置されているＸ線
出射窓１０を通って真空ケースから出射する。
【００２７】図２による実施例の場合、このような針の
代わりに面状に広がっている中実の蛍光ターゲット９が
設けられ、この蛍光ターゲット９は図２に示されていな
いＸ線出射窓と向き合って配置されている。
代わりに面状に広がっている中実の蛍光ターゲット９が
設けられ、この蛍光ターゲット９は図２に示されていな
いＸ線出射窓と向き合って配置されている。
【００２８】図３による本発明による蛍光Ｘ線源は、ほ
ぼ円筒状のケース壁２のほかに２つの端壁１１および１
２を有する真空ケースを有している。真空ケースの内面
全体はたとえばアルミニウムまたはベリリウムから成る
コンプトン散乱層を設けられており、このコンプトン散
乱層は部分１３、１４および１５から組み立てられてい
る。このコンプトン散乱層の上にその内面全体を覆う陽
極材料、たとえばタングステンの層が配置されている。
真空ケースの長手方向軸線のなかに同心に配置された円
錐状の針として構成されている蛍光ターゲット９は陰極
４により囲まれている。この陰極４は、陽極ターゲット
として有効な真空ケースの内面全体および特に陰極４を
囲む円筒状の範囲が制動Ｘ線を発生するために均等に電
子を照射されるように、実際上真空ケースの内部空間お
よび蛍光ターゲット９の全長にわたって延びている。制
動Ｘ線の作用のもとに蛍光ターゲット９から出る単一エ
ネルギーの蛍光Ｘ線は、コリメータ１６により囲まれて
いるたとえばベリリウムから成るＸ線出射窓１０を通っ
て出射する。
ぼ円筒状のケース壁２のほかに２つの端壁１１および１
２を有する真空ケースを有している。真空ケースの内面
全体はたとえばアルミニウムまたはベリリウムから成る
コンプトン散乱層を設けられており、このコンプトン散
乱層は部分１３、１４および１５から組み立てられてい
る。このコンプトン散乱層の上にその内面全体を覆う陽
極材料、たとえばタングステンの層が配置されている。
真空ケースの長手方向軸線のなかに同心に配置された円
錐状の針として構成されている蛍光ターゲット９は陰極
４により囲まれている。この陰極４は、陽極ターゲット
として有効な真空ケースの内面全体および特に陰極４を
囲む円筒状の範囲が制動Ｘ線を発生するために均等に電
子を照射されるように、実際上真空ケースの内部空間お
よび蛍光ターゲット９の全長にわたって延びている。制
動Ｘ線の作用のもとに蛍光ターゲット９から出る単一エ
ネルギーの蛍光Ｘ線は、コリメータ１６により囲まれて
いるたとえばベリリウムから成るＸ線出射窓１０を通っ
て出射する。
【００２９】円錐状の針として構成されている図３の実
施例の蛍光ターゲット９は、図２による実施例の場合に
示されているように、面状に広がっている中実の蛍光タ
ーゲット９により置換され得る。これはその場合にコン
プトン散乱層の部分１４の中央に配置しなければならな
い。
施例の蛍光ターゲット９は、図２による実施例の場合に
示されているように、面状に広がっている中実の蛍光タ
ーゲット９により置換され得る。これはその場合にコン
プトン散乱層の部分１４の中央に配置しなければならな
い。
【００３０】図４による蛍光Ｘ線源は、単一の蛍光ター
ゲットではなく多数の蛍光ターゲットが真空ケースの外
側に配置されていることにより、図１による蛍光Ｘ線源
と相違している。これらの蛍光ターゲット９、９′、
９″、９′″は面状かつ中実に構成され、さまざまな材
料から形成されかつ位置調節可能な、すなわち回転可能
な保持板１７に配置されている。陽極材料７として設け
られているタングステン層に電子が当たる際に生ずる制
動Ｘ線は、場合によってはコンプトン散乱層での反射の
後に、Ｘ線出射窓１０を通って真空ケースから出射し、
蛍光ターゲット９、９′、９″、９′″の１つ、たとえ
ば蛍光ターゲット９の上に当たる。
ゲットではなく多数の蛍光ターゲットが真空ケースの外
側に配置されていることにより、図１による蛍光Ｘ線源
と相違している。これらの蛍光ターゲット９、９′、
９″、９′″は面状かつ中実に構成され、さまざまな材
料から形成されかつ位置調節可能な、すなわち回転可能
な保持板１７に配置されている。陽極材料７として設け
られているタングステン層に電子が当たる際に生ずる制
動Ｘ線は、場合によってはコンプトン散乱層での反射の
後に、Ｘ線出射窓１０を通って真空ケースから出射し、
蛍光ターゲット９、９′、９″、９′″の１つ、たとえ
ば蛍光ターゲット９の上に当たる。
【００３１】蛍光ターゲット９、９′、９″、９′″を
有する保持板１７は真空ケースの外側に配置されていな
くてもよく、その代わりに、図５による実施例の場合の
ように、真空ケースの内側に位置していてもよい。
有する保持板１７は真空ケースの外側に配置されていな
くてもよく、その代わりに、図５による実施例の場合の
ように、真空ケースの内側に位置していてもよい。
【００３２】図３による実施例と広範囲に亘って一致し
ている図５による実施例の場合には、針状の蛍光ターゲ
ットの代わりに、蛍光ターゲット９、９′、９″、
９′″を有する保持板１７が、さもなければ少なくとも
ほぼ円筒状の真空ケースのケース突起部１８のなかに回
転可能に配置されている。その際にこの配置は、それぞ
れ常に蛍光ターゲット９、９′、９″、９′″の１つの
みが真空ケースの円筒状の内部空間内すなわち制動Ｘ線
が伝搬する範囲内に突入するように行われている。動作
位置にそれぞれ位置している蛍光ターゲット（図５に示
されている作動位置では蛍光ターゲット９）から出発す
る蛍光Ｘ線はたとえばベリリウムから成るＸ線出射窓１
０を通って出射する。
ている図５による実施例の場合には、針状の蛍光ターゲ
ットの代わりに、蛍光ターゲット９、９′、９″、
９′″を有する保持板１７が、さもなければ少なくとも
ほぼ円筒状の真空ケースのケース突起部１８のなかに回
転可能に配置されている。その際にこの配置は、それぞ
れ常に蛍光ターゲット９、９′、９″、９′″の１つの
みが真空ケースの円筒状の内部空間内すなわち制動Ｘ線
が伝搬する範囲内に突入するように行われている。動作
位置にそれぞれ位置している蛍光ターゲット（図５に示
されている作動位置では蛍光ターゲット９）から出発す
る蛍光Ｘ線はたとえばベリリウムから成るＸ線出射窓１
０を通って出射する。
【００３３】保持板１７は、位置調節装置１９と保持板
１７との間の気密に真空ケースの壁を通して導かれる結
合を必要とせずに、ケースの外側に回転可能に配置され
ている同じく磁気的な位置調節装置１９により保持板１
７の位置調節が行われ得るように、永久磁石として構成
されているかまたは永久磁石を備えていてよい。
１７との間の気密に真空ケースの壁を通して導かれる結
合を必要とせずに、ケースの外側に回転可能に配置され
ている同じく磁気的な位置調節装置１９により保持板１
７の位置調節が行われ得るように、永久磁石として構成
されているかまたは永久磁石を備えていてよい。
【００３４】陽極材料としてタングステンを使用した場
合に得られる放射スペクトルのシミュレートされた例
が、蛍光Ｘ線フォトンのエネルギー（ｋｅＶ）を横軸
に、蛍光Ｘ線フォトンの相対的な数（ｎ）を縦軸にとっ
て、図６および７に示されており、実際に少なくとも本
質的に単一エネルギーの蛍光Ｘ線が発生されることを示
している。なお、図６にはランタンから形成された蛍光
ターゲットに対する放射スペクトルが、図７にはバリウ
ムから形成された蛍光ターゲットに対する放射スペクト
ルが示されている。蛍光線ＫαおよびＫβの上側および
（または）下側のスペクトル成分が望ましくないなら
ば、これらはたとえば必要に応じてＸ線出射窓１０の前
に設けられる適当なフィルタにより除去され得る。
合に得られる放射スペクトルのシミュレートされた例
が、蛍光Ｘ線フォトンのエネルギー（ｋｅＶ）を横軸
に、蛍光Ｘ線フォトンの相対的な数（ｎ）を縦軸にとっ
て、図６および７に示されており、実際に少なくとも本
質的に単一エネルギーの蛍光Ｘ線が発生されることを示
している。なお、図６にはランタンから形成された蛍光
ターゲットに対する放射スペクトルが、図７にはバリウ
ムから形成された蛍光ターゲットに対する放射スペクト
ルが示されている。蛍光線ＫαおよびＫβの上側および
（または）下側のスペクトル成分が望ましくないなら
ば、これらはたとえば必要に応じてＸ線出射窓１０の前
に設けられる適当なフィルタにより除去され得る。
【００３５】Ｘ線出射窓１０の材料の選定は、制動Ｘ線
が出射して、真空ケースの外側に配置されている蛍光タ
ーゲットに到達すべきか、または図３および５による実
施例のようにＸ線出射窓１０を通って特性蛍光Ｘ線を出
射すべきかに関係する。
が出射して、真空ケースの外側に配置されている蛍光タ
ーゲットに到達すべきか、または図３および５による実
施例のようにＸ線出射窓１０を通って特性蛍光Ｘ線を出
射すべきかに関係する。
【００３６】本発明は示されている実施例に限定されな
い。図３および５による実施例の場合と異なって、制動
Ｘ線をＸ線出射窓１０および前置されているコリメータ
１６を介して出射させて、真空ケースの外側に配置され
ている蛍光ターゲットに向ける、すなわち蛍光ターゲッ
ト保持板１７を図３または５中のＸ線出射窓１０の右前
に配置することの他に、Ｘ線出射窓１０と向かい合う真
空ケースの側に別のＸ線出射窓を設け、蛍光Ｘ線が右の
Ｘ線出射窓１０および真空ケースの内部空間を通過した
後に、蛍光Ｘ線がこの別のＸ線出射窓を通って出射し得
るように構成することも可能である。
い。図３および５による実施例の場合と異なって、制動
Ｘ線をＸ線出射窓１０および前置されているコリメータ
１６を介して出射させて、真空ケースの外側に配置され
ている蛍光ターゲットに向ける、すなわち蛍光ターゲッ
ト保持板１７を図３または５中のＸ線出射窓１０の右前
に配置することの他に、Ｘ線出射窓１０と向かい合う真
空ケースの側に別のＸ線出射窓を設け、蛍光Ｘ線が右の
Ｘ線出射窓１０および真空ケースの内部空間を通過した
後に、蛍光Ｘ線がこの別のＸ線出射窓を通って出射し得
るように構成することも可能である。
【図１】本発明による蛍光Ｘ線源の構成の概要を示す部
分断面図。
分断面図。
【図２】本発明による別の蛍光Ｘ線源の真空ケースの壁
の一部分の拡大断面図。
の一部分の拡大断面図。
【図３】本発明による蛍光Ｘ線源の別の実施例の縦断面
図。
図。
【図４】さまざまな放射スペクトルの蛍光Ｘ線を発生す
る本発明による蛍光Ｘ線源の変形例の構成の図１に相当
する図。
る本発明による蛍光Ｘ線源の変形例の構成の図１に相当
する図。
【図５】同じくさまざまな放射スペクトルの蛍光Ｘ線を
発生する本発明による別の蛍光Ｘ線源の図３に相当する
図。
発生する本発明による別の蛍光Ｘ線源の図３に相当する
図。
【図６】ランタンから形成された蛍光ターゲットと結び
付けられた陽極材料としてのタングステンに対する蛍光
スペクトルを示す図。
付けられた陽極材料としてのタングステンに対する蛍光
スペクトルを示す図。
【図７】バリウムから形成された蛍光ターゲットと結び
付けられた陽極材料としてのタングステンに対する蛍光
スペクトルを示す図。
付けられた陽極材料としてのタングステンに対する蛍光
スペクトルを示す図。
１ 内面 ２ ケース壁 ３ 冷却通路 ４ 陰極 ５ 加速電圧源 ６ 加熱電圧源 ７ 陽極材料 ８ 制動Ｘ線 ９、９′、９″、９′″ 蛍光ターゲット １０ Ｘ線出射窓 １１、１２ 端壁 １３、１４、１５ 部分 １６ コリメータ １７ ターゲット板 １８ ケース突起部 １９ 調節装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 デトレフ マッテルン ドイツ連邦共和国 91056 エルランゲン クレーエンホルスト
Claims (17)
- 【請求項１】 内面が陽極ターゲットとして構成されＸ
線出射窓が設けられている真空ケースを備え、この真空
ケースが真空ケースのなかに配置され集束されずに周囲
に放射する電子源を囲み、その電子が制動Ｘ線を発生す
るため陽極ターゲットに当たり、単一エネルギーのＸ線
を発生するために制動Ｘ線の伝搬路に蛍光ターゲットが
配置されていることを特徴とする蛍光Ｘ線源。 - 【請求項２】 電子源が加熱可能なワイヤスパイラルで
あることを特徴とする請求項１記載の蛍光Ｘ線源。 - 【請求項３】 真空ケースがほぼ円筒状で端壁にＸ線出
射窓を有するように構成され、電子源が真空ケースの内
部で少なくともほぼ真空ケースの中心軸線に位置する蛍
光ターゲットを同心に囲んでいることを特徴とする請求
項１または２記載の蛍光Ｘ線源。 - 【請求項４】 制動Ｘ線の放射路に、位置調節可能な保
持板の上に配置されている種々の蛍光ターゲットを入れ
ることができることを特徴とする請求項１または２記載
の蛍光Ｘ線源。 - 【請求項５】 保持板が真空ケースの外部でＸ線出射窓
の前に配置されていることを特徴とする請求項４記載の
蛍光Ｘ線源。 - 【請求項６】 保持板が真空ケースの内部にＸ線出射窓
と向き合って配置されていることを特徴とする請求項４
または５記載の蛍光Ｘ線源。 - 【請求項７】 真空ケースがケース突起部を有し、この
ケース突起部のなかに保持板が、その都度ただ１つの蛍
光ターゲットが制動Ｘ線の伝搬路に位置するように回転
可能に配置されていることを特徴とする請求項６記載の
蛍光Ｘ線源。 - 【請求項８】 保持板が磁気的結合により、真空ケース
の外部に配置された操作要素と結合されていることを特
徴とする請求項６記載の蛍光Ｘ線源。 - 【請求項９】 真空ケースがほぼ円筒状で端壁にＸ線出
射窓を有するように構成されていることを特徴とする請
求項１ないし８の１つに記載の蛍光Ｘ線源。 - 【請求項１０】 電子線源が好ましくは真空ケースの中
心軸線の周りに同心である加熱可能なワイヤスパイラル
であることを特徴とする請求項１または４ないし９の１
つに記載の蛍光Ｘ線源。 - 【請求項１１】 陽極ターゲットが高い原子番号の材料
を含む層により形成されていることを特徴とする請求項
１ないし１０の１つに記載の蛍光Ｘ線源。 - 【請求項１２】 真空ケースの内面（１）が陽極ターゲ
ットを形成する層の下にコンプトン散乱層を有すること
を特徴とする請求項１１記載の蛍光Ｘ線源。 - 【請求項１３】 コンプトン散乱層が低い原子番号の材
料を含んでいることを特徴とする請求項１２記載の蛍光
Ｘ線源。 - 【請求項１４】 コンプトン散乱層がアルミニウムおよ
びベリリウムから成るグループの少なくとも１つの材料
を含んでいることを特徴とする請求項１３記載の蛍光Ｘ
線源。 - 【請求項１５】 真空ケースがコンプトン散乱層の材料
から形成されていることを特徴とする請求項１２ないし
１４の１つに記載の蛍光Ｘ線源。 - 【請求項１６】 陽極ターゲットを形成する層がタング
ステンを含んでいることを特徴とする請求項１１ないし
１５の１つに記載の蛍光Ｘ線源。 - 【請求項１７】 真空ケースの壁が冷却材を流される通
路を含んでいることを特徴とする請求項１ないし１６の
１つに記載の蛍光Ｘ線源。
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19805290A DE19805290C2 (de) | 1998-02-10 | 1998-02-10 | Monochromatische Röntgenstrahlenquelle |
| DE19808342A DE19808342C1 (de) | 1998-02-27 | 1998-02-27 | Abschaltbare Fluoreszenz-Röntgenstrahlenquelle |
| DE19808342.4 | 1998-02-27 | ||
| DE19805290.1 | 1998-02-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11288678A true JPH11288678A (ja) | 1999-10-19 |
Family
ID=26043750
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11030301A Withdrawn JPH11288678A (ja) | 1998-02-10 | 1999-02-08 | 蛍光ｘ線源 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6141400A (ja) |
| JP (1) | JPH11288678A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007207548A (ja) * | 2006-02-01 | 2007-08-16 | Toshiba Electron Tubes & Devices Co Ltd | Ｘ線源および蛍光ｘ線分析装置 |
| JP2008016339A (ja) * | 2006-07-06 | 2008-01-24 | Toshiba Corp | Ｘ線源および蛍光ｘ線分析装置 |
| WO2008078477A1 (ja) * | 2006-12-22 | 2008-07-03 | Stanley Electric Co., Ltd. | Ｘ線発生装置 |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AUPQ831200A0 (en) * | 2000-06-22 | 2000-07-13 | X-Ray Technologies Pty Ltd | X-ray micro-target source |
| US6993115B2 (en) * | 2002-12-31 | 2006-01-31 | Mcguire Edward L | Forward X-ray generation |
| CN1302510C (zh) * | 2003-05-15 | 2007-02-28 | 谭大刚 | 基于透射阳极x线机的可变换准单能或双能荧光x线源 |
| US7200203B2 (en) * | 2004-04-06 | 2007-04-03 | Duke University | Devices and methods for targeting interior cancers with ionizing radiation |
| WO2007088934A1 (ja) * | 2006-02-01 | 2007-08-09 | Toshiba Electron Tubes & Devices Co., Ltd. | Ｘ線源及び蛍光ｘ線分析装置 |
| US7203283B1 (en) * | 2006-02-21 | 2007-04-10 | Oxford Instruments Analytical Oy | X-ray tube of the end window type, and an X-ray fluorescence analyzer |
| US20080043910A1 (en) * | 2006-08-15 | 2008-02-21 | Tomotherapy Incorporated | Method and apparatus for stabilizing an energy source in a radiation delivery device |
| US7916834B2 (en) * | 2007-02-12 | 2011-03-29 | Thermo Niton Analyzers Llc | Small spot X-ray fluorescence (XRF) analyzer |
| US7835502B2 (en) * | 2009-02-11 | 2010-11-16 | Tomotherapy Incorporated | Target pedestal assembly and method of preserving the target |
| JP2012524374A (ja) | 2009-04-16 | 2012-10-11 | エリック・エイチ・シルバー | 単色ｘ線の方法および装置 |
| CN105027227B (zh) | 2013-02-26 | 2017-09-08 | 安科锐公司 | 电磁致动的多叶准直器 |
| WO2014175762A1 (en) | 2013-04-25 | 2014-10-30 | Siemens Aktiengesellschaft | Device and method for x-ray generation |
| US10748734B2 (en) * | 2016-09-05 | 2020-08-18 | Stellarray, Inc. | Multi-cathode EUV and soft x-ray source |
| EP3641651A4 (en) * | 2017-05-19 | 2021-04-07 | Imagine Scientific, Inc. | MONOCHROMATIC X-RAY IMAGING SYSTEMS AND METHODS |
| JP7299226B2 (ja) * | 2018-02-09 | 2023-06-27 | イマジン サイエンティフィック，インコーポレイテッド | 単色ｘ線撮像システム及び方法 |
| US10818467B2 (en) | 2018-02-09 | 2020-10-27 | Imagine Scientific, Inc. | Monochromatic x-ray imaging systems and methods |
| WO2020056281A1 (en) | 2018-09-14 | 2020-03-19 | Imagine Scientific, Inc. | Monochromatic x-ray component systems and methods |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2677069A (en) * | 1951-05-26 | 1954-04-27 | Charles H Bachman | Device for producing x-rays |
| US3383510A (en) * | 1964-12-07 | 1968-05-14 | Parametrics Inc | Alpha particle excited monochromatic X-ray source |
| US3567928A (en) * | 1969-06-12 | 1971-03-02 | Du Pont | Fluorescent analytical radiation source for producing soft x-rays and secondary electrons |
| US4048496A (en) * | 1972-05-08 | 1977-09-13 | Albert Richard D | Selectable wavelength X-ray source, spectrometer and assay method |
| GB1443048A (en) * | 1972-12-05 | 1976-07-21 | Strahlen Umweltforsch Gmbh | X-ray source |
| US3919548A (en) * | 1974-07-24 | 1975-11-11 | David E Porter | X-Ray energy spectrometer system |
| DE3326737A1 (de) * | 1983-07-25 | 1985-02-14 | Kraftwerk Union AG, 4330 Mülheim | Verfahren zur zerstoerungsfreien bestimmung des spaltgasdruckes in kernbrennstaeben |
| DE3716618A1 (de) * | 1987-05-18 | 1988-12-08 | Philips Patentverwaltung | Strahlenquelle zur erzeugung einer im wesentlichen monochromatischen roentgenstrahlung |
| DE4017002A1 (de) * | 1990-05-26 | 1991-11-28 | Philips Patentverwaltung | Strahlenquelle fuer quasimonochromatische roentgenstrahlung |
| US5729583A (en) * | 1995-09-29 | 1998-03-17 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of Commerce | Miniature x-ray source |
| DE19639243C2 (de) * | 1996-09-24 | 1998-07-02 | Siemens Ag | Multi-, insbesondere dichromatische Röntgenquelle |
| DE19639241C2 (de) * | 1996-09-24 | 1998-07-23 | Siemens Ag | Monochromatische Röntgenstrahlenquelle |
-
1999
- 1999-02-08 JP JP11030301A patent/JPH11288678A/ja not_active Withdrawn
- 1999-02-09 US US09/246,452 patent/US6141400A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007207548A (ja) * | 2006-02-01 | 2007-08-16 | Toshiba Electron Tubes & Devices Co Ltd | Ｘ線源および蛍光ｘ線分析装置 |
| JP2008016339A (ja) * | 2006-07-06 | 2008-01-24 | Toshiba Corp | Ｘ線源および蛍光ｘ線分析装置 |
| WO2008078477A1 (ja) * | 2006-12-22 | 2008-07-03 | Stanley Electric Co., Ltd. | Ｘ線発生装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6141400A (en) | 2000-10-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH11288678A (ja) | 蛍光ｘ線源 | |
| US7738632B2 (en) | X-ray tube with transmission anode | |
| US7197116B2 (en) | Wide scanning x-ray source | |
| US7428298B2 (en) | Magnetic head for X-ray source | |
| US6005918A (en) | X-ray tube window heat shield | |
| US6661876B2 (en) | Mobile miniature X-ray source | |
| US7496180B1 (en) | Focal spot temperature reduction using three-point deflection | |
| US7558374B2 (en) | System and method for generating X-rays | |
| US20150124934A1 (en) | Distributed, field emission-based x-ray source for phase contrast imaging | |
| US6907110B2 (en) | X-ray tube with ring anode, and system employing same | |
| JPS60157147A (ja) | 光制御ｘ線スキヤナ | |
| JP2009009942A (ja) | 高圧縮電子銃用の一次元グリッド・メッシュ | |
| WO2004086439A2 (en) | Method and apparatus for controlling electron beam current | |
| JP2003288853A (ja) | Ｘ線装置 | |
| JPH10106460A (ja) | 多色、特に２色ｘ線を発生させる放射線源 | |
| KR101151858B1 (ko) | 다중타겟 및 다중전자빔을 구비한 엑스선 발생장치 | |
| RU2161843C2 (ru) | Точечный высокоинтенсивный источник рентгеновского излучения | |
| US7852987B2 (en) | X-ray tube having a rotating and linearly translating anode | |
| US20140112449A1 (en) | System and method for collimating x-rays in an x-ray tube | |
| JP3871654B2 (ja) | Ｘ線発生装置 | |
| KR101023713B1 (ko) | 투과형 또는 반사형 모드의 선택이 가능한 듀얼 ｘ-선 발생장치 | |
| JPS5928939B2 (ja) | Ｘ線発生器 | |
| JP7300745B2 (ja) | 走査型のｘ線源及びその画像形成システム | |
| JP3147927B2 (ja) | Ｘ線発生装置 | |
| US20210272766A1 (en) | Fluid-cooled compact x-ray tube and system including the same |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20060509 |