JP2003288853A - Ｘ線装置 - Google Patents
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Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】大きい断面積の一様なＸ線を発生し、高効率、
小型で、さらに高速パルス動作および大線量化が可能な
Ｘ線装置を提供することを目的とする。 【解決手段】平面から一様に電子を放出する陰極１と、
この陰極１に対向して配置され前記電子が衝突して平面
から一様にＸ線を放出する陽極２と、前記Ｘ線の取り出
し窓４を有し前記陰極１および前記陽極２を収容する真
空容器３とを備えた構成とする。
小型で、さらに高速パルス動作および大線量化が可能な
Ｘ線装置を提供することを目的とする。 【解決手段】平面から一様に電子を放出する陰極１と、
この陰極１に対向して配置され前記電子が衝突して平面
から一様にＸ線を放出する陽極２と、前記Ｘ線の取り出
し窓４を有し前記陰極１および前記陽極２を収容する真
空容器３とを備えた構成とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、医療診断、工業検
査等に使用されるＸ線装置に関する。
査等に使用されるＸ線装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に産業用Ｘ線発生装置は熱陰極（フ
ィラメント）から放出される電子を電界で加速して陽極
（ターゲット）に衝突させ、その制動放射によって発生
したＸ線を取り出し窓から出射して利用する構成を採っ
ている。
ィラメント）から放出される電子を電界で加速して陽極
（ターゲット）に衝突させ、その制動放射によって発生
したＸ線を取り出し窓から出射して利用する構成を採っ
ている。
【０００３】以下、図14を参照して従来のＸ線装置につ
いて説明する。図14（ａ）に示すように、従来のＸ線管
に代表される産業用Ｘ線発生装置は、主に熱陰極31、陽
極32、取り出し窓33、などから構成されており、フィラ
メント状の熱陰極31に電流を流して加熱することにより
熱電子を放出させ、印加された電界によって加速し、陽
極32に当てて発生する制動Ｘ線を取り出し窓33を通して
外部に出射させる（参考文献 Ｘ線回折・散乱技術 上
菊田著 東京大学出版会）。
いて説明する。図14（ａ）に示すように、従来のＸ線管
に代表される産業用Ｘ線発生装置は、主に熱陰極31、陽
極32、取り出し窓33、などから構成されており、フィラ
メント状の熱陰極31に電流を流して加熱することにより
熱電子を放出させ、印加された電界によって加速し、陽
極32に当てて発生する制動Ｘ線を取り出し窓33を通して
外部に出射させる（参考文献 Ｘ線回折・散乱技術 上
菊田著 東京大学出版会）。
【０００４】この従来のＸ線装置においては、熱陰極31
を構成するタングステン・フィラメントに電流を流して
2000℃以上に加熱する必要があるため、その消費電力が
大きく、小型化に限界がある。
を構成するタングステン・フィラメントに電流を流して
2000℃以上に加熱する必要があるため、その消費電力が
大きく、小型化に限界がある。
【０００５】また図14（ｂ）に示すように、フィラメン
ト型の熱陰極31を利用しているため、陽極32表面での電
子の照射形状は線状となるので、そこから放出されるＸ
線34は取り出し方向によって点状、または線状の焦点形
状を持つことになる。また、放出するＸ線34は、その出
射方向によっては陽極32の一部を透過して出てくる成分
も含まれるため、Ｘ線34のビーム断面での空間強度分布
は不均一なものとなる。さらに、取り出せるＸ線量は、
電子衝突によって加熱される陽極32の熱負荷許容量によ
って制限されるため、この従来のＸ線管では、大線量の
Ｘ線34を取り出すのには制約がある。
ト型の熱陰極31を利用しているため、陽極32表面での電
子の照射形状は線状となるので、そこから放出されるＸ
線34は取り出し方向によって点状、または線状の焦点形
状を持つことになる。また、放出するＸ線34は、その出
射方向によっては陽極32の一部を透過して出てくる成分
も含まれるため、Ｘ線34のビーム断面での空間強度分布
は不均一なものとなる。さらに、取り出せるＸ線量は、
電子衝突によって加熱される陽極32の熱負荷許容量によ
って制限されるため、この従来のＸ線管では、大線量の
Ｘ線34を取り出すのには制約がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、従来の
Ｘ線装置においては、熱陰極を用いているために消費電
力が大きく、小型化に限界があり、さらに、高速パルス
動作の点でも不利である。また、陽極表面での電子の照
射形状が線状となるので、陽極の熱負荷許容量によりＸ
線の大線量化にも制約がある。
Ｘ線装置においては、熱陰極を用いているために消費電
力が大きく、小型化に限界があり、さらに、高速パルス
動作の点でも不利である。また、陽極表面での電子の照
射形状が線状となるので、陽極の熱負荷許容量によりＸ
線の大線量化にも制約がある。
【０００７】そこで、本発明は、大きい断面積の一様な
Ｘ線を発生し、高効率、小型で、さらに高速パルス動作
および大線量化が可能なＸ線装置を提供することを目的
とする。
Ｘ線を発生し、高効率、小型で、さらに高速パルス動作
および大線量化が可能なＸ線装置を提供することを目的
とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１の発明のＸ線装置は、平面から一様に電子
を放出する陰極と、この陰極に対向して配置され前記電
子が衝突して平面から一様にＸ線を放出する陽極と、前
記Ｘ線の取り出し窓を有し前記陰極および前記陽極を収
容する真空容器とを備えた構成とする。
め、請求項１の発明のＸ線装置は、平面から一様に電子
を放出する陰極と、この陰極に対向して配置され前記電
子が衝突して平面から一様にＸ線を放出する陽極と、前
記Ｘ線の取り出し窓を有し前記陰極および前記陽極を収
容する真空容器とを備えた構成とする。
【０００９】請求項２の発明のＸ線装置は、前記陰極の
電子放出面にカーボンナノ構造体を備えている構成とす
る。請求項３の発明のＸ線装置は、前記陰極の電子放出
面と前記陽極の電子衝突面は平行に設けられ、前記陽極
を透過したＸ線が前記取り出し窓から取り出される構成
とする。
電子放出面にカーボンナノ構造体を備えている構成とす
る。請求項３の発明のＸ線装置は、前記陰極の電子放出
面と前記陽極の電子衝突面は平行に設けられ、前記陽極
を透過したＸ線が前記取り出し窓から取り出される構成
とする。
【００１０】請求項４の発明のＸ線装置は、前記陽極が
前記取り出し窓を兼ねる構成とする。請求項５の発明の
Ｘ線装置は、前記陽極は、陰極陽極間の電界と同方向ま
たは斜め方向に軸をもつ細管の集合体である構成とす
る。
前記取り出し窓を兼ねる構成とする。請求項５の発明の
Ｘ線装置は、前記陽極は、陰極陽極間の電界と同方向ま
たは斜め方向に軸をもつ細管の集合体である構成とす
る。
【００１１】請求項６の発明のＸ線装置は、陰極陽極間
の電子流に磁界を印加する磁界印加装置を備えている構
成とする。請求項７の発明のＸ線装置は、前記陽極は、
Ｘ線透過特性の良い材料からなる母材と、この母材の電
子が衝突する面に設けられた高い原子番号の金属の層と
を備えている構成とする。
の電子流に磁界を印加する磁界印加装置を備えている構
成とする。請求項７の発明のＸ線装置は、前記陽極は、
Ｘ線透過特性の良い材料からなる母材と、この母材の電
子が衝突する面に設けられた高い原子番号の金属の層と
を備えている構成とする。
【００１２】請求項８の発明のＸ線装置は、前記陰極近
傍に電子放出を制御するグリッド電極を備えている構成
とする。請求項９の発明のＸ線装置は、前記真空容器
は、陰極陽極間の電界と直交する方向によって絶縁距離
を確保する構造である構成とする。
傍に電子放出を制御するグリッド電極を備えている構成
とする。請求項９の発明のＸ線装置は、前記真空容器
は、陰極陽極間の電界と直交する方向によって絶縁距離
を確保する構造である構成とする。
【００１３】請求項10の発明のＸ線装置は、Ｘ線の取り
出し窓の外または内に、Ｘ線の発散を抑制する発散抑制
装置を備えている構成とする。請求項11の発明のＸ線装
置は、前記発散抑制装置の前方にＸ線検出器を備え、こ
のＸ線検出器と前記発散抑制装置の間に置かれた被検体
内部の透過検査を行うようにした構成とする。
出し窓の外または内に、Ｘ線の発散を抑制する発散抑制
装置を備えている構成とする。請求項11の発明のＸ線装
置は、前記発散抑制装置の前方にＸ線検出器を備え、こ
のＸ線検出器と前記発散抑制装置の間に置かれた被検体
内部の透過検査を行うようにした構成とする。
【００１４】請求項12の発明のＸ線装置は、複数のＸ線
装置を被検体を中心とする円周上に配置し、前記被検体
のＣＴ画像データを得るようにした構成とする。請求項
13の発明のＸ線装置は、前記発散抑制装置の前方に照射
対象物を設置し、この照射対象物の内外部の滅菌あるい
は殺菌を行うようにした構成とする。
装置を被検体を中心とする円周上に配置し、前記被検体
のＣＴ画像データを得るようにした構成とする。請求項
13の発明のＸ線装置は、前記発散抑制装置の前方に照射
対象物を設置し、この照射対象物の内外部の滅菌あるい
は殺菌を行うようにした構成とする。
【００１５】
【発明の実施の形態】本発明の第１の実施の形態のＸ線
装置を図１を参照して説明する。すなわち、図１（ａ）
に示すように、本実施の形態のＸ線装置は、平面状陰極
１とターゲットである平面状陽極２が真空容器３内に収
容されて構成されている。真空容器３は取り出し窓４を
備えている。
装置を図１を参照して説明する。すなわち、図１（ａ）
に示すように、本実施の形態のＸ線装置は、平面状陰極
１とターゲットである平面状陽極２が真空容器３内に収
容されて構成されている。真空容器３は取り出し窓４を
備えている。
【００１６】このように構成された本実施の形態のＸ線
装置においては、図１（ｂ）に示すように、平面状陰極
１から放出された平面状で一様な電子線５が平面状陽極
２により加速され、平面状陽極２に衝突する。これによ
り、平面状陽極２から制動放射による平面状で一様なＸ
線６が発生する。この平面状で一様なＸ線６は取り出し
窓４を通して真空容器３の外部に取り出される。
装置においては、図１（ｂ）に示すように、平面状陰極
１から放出された平面状で一様な電子線５が平面状陽極
２により加速され、平面状陽極２に衝突する。これによ
り、平面状陽極２から制動放射による平面状で一様なＸ
線６が発生する。この平面状で一様なＸ線６は取り出し
窓４を通して真空容器３の外部に取り出される。
【００１７】本実施の形態のＸ線装置においては、平面
状陽極２表面での電子線５の照射形状が平面状となり、
大面積から平面状で一様なＸ線６が発生するので、Ｘ線
６の大線量化および大面積照射利用が可能となる。
状陽極２表面での電子線５の照射形状が平面状となり、
大面積から平面状で一様なＸ線６が発生するので、Ｘ線
６の大線量化および大面積照射利用が可能となる。
【００１８】つぎに本発明の第２の実施の形態のＸ線装
置を図２を用いて説明する。すなわち、本実施の形態の
Ｘ線装置は、平面状陰極１と平面状陰極１の電子放出面
に設けられた平面状のカーボンナノ構造体７と、ターゲ
ットである平面状陽極２と、取り出し窓４を備え前記陰
極１等を収容する真空容器３とから構成されている。
置を図２を用いて説明する。すなわち、本実施の形態の
Ｘ線装置は、平面状陰極１と平面状陰極１の電子放出面
に設けられた平面状のカーボンナノ構造体７と、ターゲ
ットである平面状陽極２と、取り出し窓４を備え前記陰
極１等を収容する真空容器３とから構成されている。
【００１９】ここで、カーボンナノ構造体とは、カーボ
ンナノチューブ、フラーレン等に代表されるナノスケー
ルのカーボン系材料である（参考文献 日経メカニカル
2001.12 No.567 pp.37）。また、特に、このカーボン
ナノ構造体は、電界放出特性に優れており、電気的特
性、機械的強度および化学的安定性等の点からも微小電
子放出源として有効な材料である。
ンナノチューブ、フラーレン等に代表されるナノスケー
ルのカーボン系材料である（参考文献 日経メカニカル
2001.12 No.567 pp.37）。また、特に、このカーボン
ナノ構造体は、電界放出特性に優れており、電気的特
性、機械的強度および化学的安定性等の点からも微小電
子放出源として有効な材料である。
【００２０】このように構成された本実施の形態のＸ線
装置においては、平面状陰極１と平面状陽極２による電
界によりカーボンナノ構造体７から平面状で一様な電子
線５が電界放出により効率良く発生する。したがって、
Ｘ線装置の消費電力低減と小型化、および高速パルス動
作が可能となる。
装置においては、平面状陰極１と平面状陽極２による電
界によりカーボンナノ構造体７から平面状で一様な電子
線５が電界放出により効率良く発生する。したがって、
Ｘ線装置の消費電力低減と小型化、および高速パルス動
作が可能となる。
【００２１】つぎに本発明の第３の実施の形態のＸ線装
置を図３を用いて説明する。すなわち、図３（ａ）に示
すように、本実施の形態のＸ線装置は、平面状陰極１
と、電子線５の衝突を受ける面が平面状陰極１の電子発
生面と平行なターゲットである平面状陽極２および、取
り出し窓４を備え前記陰極１等を収容する真空容器３か
ら構成されている。
置を図３を用いて説明する。すなわち、図３（ａ）に示
すように、本実施の形態のＸ線装置は、平面状陰極１
と、電子線５の衝突を受ける面が平面状陰極１の電子発
生面と平行なターゲットである平面状陽極２および、取
り出し窓４を備え前記陰極１等を収容する真空容器３か
ら構成されている。
【００２２】このように構成された本実施の形態のＸ線
装置においては、図３（ｂ）に示すように、平面状陰極
１から放出された平面状で一様な電子線５が平面状陽極
２により加速され、平面状陽極２に衝突する。これによ
り、平面状陽極２から制動放射による平面状で一様なＸ
線６が発生する。本実施の形態では、特に、この平面状
で一様なＸ線６を平面状陽極２を透過させ、平面状陽極
２の後方から取り出し窓４を通して真空容器３の外部に
取り出す。
装置においては、図３（ｂ）に示すように、平面状陰極
１から放出された平面状で一様な電子線５が平面状陽極
２により加速され、平面状陽極２に衝突する。これによ
り、平面状陽極２から制動放射による平面状で一様なＸ
線６が発生する。本実施の形態では、特に、この平面状
で一様なＸ線６を平面状陽極２を透過させ、平面状陽極
２の後方から取り出し窓４を通して真空容器３の外部に
取り出す。
【００２３】このようにＸ線６を取り出すことで、図１
に示したような電子線５の進行方向に対して傾斜のある
陽極２から発生したＸ線６を利用するのではなく、電子
線５の衝突を受ける面が平面状陰極１の電子発生面と平
行な平面状陽極２の後方に透過してくるＸ線６を利用す
るので、より一様性の高いＸ線６を得ることができる。
また、平面状陰極１と平面状陽極２の電極間距離を短縮
することができる。
に示したような電子線５の進行方向に対して傾斜のある
陽極２から発生したＸ線６を利用するのではなく、電子
線５の衝突を受ける面が平面状陰極１の電子発生面と平
行な平面状陽極２の後方に透過してくるＸ線６を利用す
るので、より一様性の高いＸ線６を得ることができる。
また、平面状陰極１と平面状陽極２の電極間距離を短縮
することができる。
【００２４】本実施の形態のＸ線装置によれば、平面状
陰極１と平面状陽極２の電極間距離が短縮し、かつ、大
面積から一様なＸ線が発生するので、Ｘ線装置の小型
化、Ｘ線６の大線量化および大面積照射利用が可能とな
る。
陰極１と平面状陽極２の電極間距離が短縮し、かつ、大
面積から一様なＸ線が発生するので、Ｘ線装置の小型
化、Ｘ線６の大線量化および大面積照射利用が可能とな
る。
【００２５】つぎに本発明の第４の実施の形態のＸ線装
置を図４を用いて説明する。すなわち、本実施の形態の
Ｘ線装置は、平面状陰極１と、電子線５の衝突を受ける
面が平面状陰極１の電子発生面と平行なターゲットであ
る平面状陽極２と、真空容器３とから構成され、平面状
陽極２はＸ線６の取り出し窓を兼ねる構造となってい
る。
置を図４を用いて説明する。すなわち、本実施の形態の
Ｘ線装置は、平面状陰極１と、電子線５の衝突を受ける
面が平面状陰極１の電子発生面と平行なターゲットであ
る平面状陽極２と、真空容器３とから構成され、平面状
陽極２はＸ線６の取り出し窓を兼ねる構造となってい
る。
【００２６】このように構成された本実施の形態のＸ線
装置においては、平面状陽極２で発生した平面状で一様
なＸ線６が平面状陽極２のみを透過して真空容器３の外
部に取り出される。
装置においては、平面状陽極２で発生した平面状で一様
なＸ線６が平面状陽極２のみを透過して真空容器３の外
部に取り出される。
【００２７】本実施の形態のＸ線装置においては、平面
状陽極２がＸ線６の取り出し窓を兼ねる構造を有してお
り、発生したＸ線６は真空容器３の外部に取り出される
際、図３に示されるように平面状陽極２と取り出し窓４
の２つの物質を透過する必要がなく、図４に示されるよ
うに平面状陽極２のみを透過すればよいので、透過の際
の減衰が低減され効率良くＸ線６を取り出すことができ
る。
状陽極２がＸ線６の取り出し窓を兼ねる構造を有してお
り、発生したＸ線６は真空容器３の外部に取り出される
際、図３に示されるように平面状陽極２と取り出し窓４
の２つの物質を透過する必要がなく、図４に示されるよ
うに平面状陽極２のみを透過すればよいので、透過の際
の減衰が低減され効率良くＸ線６を取り出すことができ
る。
【００２８】つぎに本発明の第５の実施の形態のＸ線装
置を図５を用いて説明する。すなわち、図５（ａ）に示
すように、本実施の形態のＸ線装置は、平面状陰極１、
細管集合体によるターゲットである平面状陽極８、およ
び取り出し窓４を備えた真空容器３から構成されてい
る。
置を図５を用いて説明する。すなわち、図５（ａ）に示
すように、本実施の形態のＸ線装置は、平面状陰極１、
細管集合体によるターゲットである平面状陽極８、およ
び取り出し窓４を備えた真空容器３から構成されてい
る。
【００２９】ここで、細管集合体による平面状陽極８と
は、図５（ｂ）に示すように、印加電界と同方向（電子
線５の進行方向）に長さ方向の軸を持つ細管９の集合体
により構成されたものである。
は、図５（ｂ）に示すように、印加電界と同方向（電子
線５の進行方向）に長さ方向の軸を持つ細管９の集合体
により構成されたものである。
【００３０】このように構成された本実施の形態のＸ線
装置においては、図５（ｃ）に示すように、細管壁10で
発生したＸ線６を細管集合体による平面状陽極８の後方
から取り出す際、Ｘ線６は細管９の空洞部分を主に通る
こととなる。
装置においては、図５（ｃ）に示すように、細管壁10で
発生したＸ線６を細管集合体による平面状陽極８の後方
から取り出す際、Ｘ線６は細管９の空洞部分を主に通る
こととなる。
【００３１】本実施の形態のＸ線装置によれば、Ｘ線６
は細管９の空洞部分を主に通り、細管集合体による平面
状陽極８の後方に進行することとなるので、金属等を透
過する際に受ける減衰が低減され効率良くＸ線６を取り
出すことができる。
は細管９の空洞部分を主に通り、細管集合体による平面
状陽極８の後方に進行することとなるので、金属等を透
過する際に受ける減衰が低減され効率良くＸ線６を取り
出すことができる。
【００３２】なお、図５（ｄ）は平面状陽極８を構成す
る細管９の長さ方向の軸を、印加電界の方向（電子線の
進行方向）に対して斜めの方向にとったものであるが、
このように構成された細管集合体による平面状陽極８で
は電子線５が細管壁10に衝突しやすくなるので、Ｘ線６
の発生効率が高くなる。
る細管９の長さ方向の軸を、印加電界の方向（電子線の
進行方向）に対して斜めの方向にとったものであるが、
このように構成された細管集合体による平面状陽極８で
は電子線５が細管壁10に衝突しやすくなるので、Ｘ線６
の発生効率が高くなる。
【００３３】つぎに本発明の第６の実施の形態のＸ線装
置を図６を用いて説明する。すなわち、図６（ａ）に示
すように、本実施の形態のＸ線装置は、平面状陰極１
と、細管集合体による平面状陽極８と、取り出し窓４を
有する真空容器３と、真空容器３の外部に設けられた磁
界印加装置11とから構成されている。
置を図６を用いて説明する。すなわち、図６（ａ）に示
すように、本実施の形態のＸ線装置は、平面状陰極１
と、細管集合体による平面状陽極８と、取り出し窓４を
有する真空容器３と、真空容器３の外部に設けられた磁
界印加装置11とから構成されている。
【００３４】ここで、図６（ａ）および（ｂ）は、平面
状陰極１と細管集合体による平面状陽極８により発生す
る電界と磁界印加装置11により発生する磁界の方向が同
方向である場合を例としたものである。磁界印加装置11
として、図６（ａ）は電磁石を、図６（ｂ）は永久磁石
を各々想定している。
状陰極１と細管集合体による平面状陽極８により発生す
る電界と磁界印加装置11により発生する磁界の方向が同
方向である場合を例としたものである。磁界印加装置11
として、図６（ａ）は電磁石を、図６（ｂ）は永久磁石
を各々想定している。
【００３５】このように構成された本実施の形態のＸ線
装置においては、図６（ｃ）に示すように、電子線５が
磁界12に拘束されてらせん運動するため、電子線５と細
管壁10との衝突頻度が高くなる。その結果、Ｘ線６の発
生効率が高くなる。
装置においては、図６（ｃ）に示すように、電子線５が
磁界12に拘束されてらせん運動するため、電子線５と細
管壁10との衝突頻度が高くなる。その結果、Ｘ線６の発
生効率が高くなる。
【００３６】図６（ｄ）および（ｅ）は、平面状陰極１
と細管集合体による平面状陽極８により発生する電界と
磁界印加装置11により発生する磁界の方向が直交する方
向である場合を例としたものである。磁界印加装置11と
して、図６（ｄ）は電磁石を、図６（ｅ）は永久磁石を
各々想定している。
と細管集合体による平面状陽極８により発生する電界と
磁界印加装置11により発生する磁界の方向が直交する方
向である場合を例としたものである。磁界印加装置11と
して、図６（ｄ）は電磁石を、図６（ｅ）は永久磁石を
各々想定している。
【００３７】このように構成された本実施の形態のＸ線
装置においては、図６（ｆ）に示すように、電子線５が
磁界12により力13を受けて曲るため、電子線５と細管壁
10との衝突頻度が高くなり、Ｘ線６の発生効率が高くな
る。
装置においては、図６（ｆ）に示すように、電子線５が
磁界12により力13を受けて曲るため、電子線５と細管壁
10との衝突頻度が高くなり、Ｘ線６の発生効率が高くな
る。
【００３８】つぎに本発明の第７の実施の形態のＸ線装
置を図７を用いて説明する。図７に示すように、本実施
の形態のＸ線装置は、平面状陰極１と、電子線５の衝突
を受ける面が平面状陰極１の電子発生面と平行な平面状
陽極（ターゲット）２と、取り出し窓４を備えた真空容
器３とから構成されている。平面状陽極２は、低い原子
番号の金属などのＸ線透過性の高い材質でつくられた陽
極母材14と、この陽極母材14の電子が衝突する表面に設
けられた高い原子番号の金属よるコーティング15により
構成されている。
置を図７を用いて説明する。図７に示すように、本実施
の形態のＸ線装置は、平面状陰極１と、電子線５の衝突
を受ける面が平面状陰極１の電子発生面と平行な平面状
陽極（ターゲット）２と、取り出し窓４を備えた真空容
器３とから構成されている。平面状陽極２は、低い原子
番号の金属などのＸ線透過性の高い材質でつくられた陽
極母材14と、この陽極母材14の電子が衝突する表面に設
けられた高い原子番号の金属よるコーティング15により
構成されている。
【００３９】このように構成された本実施の形態のＸ線
装置においては、平面状陰極１で発生した電子線５が平
面状陽極２の表面の金属コーティング15に衝突してＸ線
６を発生する。そして、発生したＸ線６は陽極母材14を
透過して平面状陽極２の後方に取り出される。このと
き、電子線５が衝突する金属コーティング15は高い原子
番号の金属によるものであるため、Ｘ線発生効率が高
い。また、陽極母材14はＸ線透過性の高い材質でつくら
れているため、陽極母材14を透過する際にＸ線６が受け
る減衰の影響が少ない。
装置においては、平面状陰極１で発生した電子線５が平
面状陽極２の表面の金属コーティング15に衝突してＸ線
６を発生する。そして、発生したＸ線６は陽極母材14を
透過して平面状陽極２の後方に取り出される。このと
き、電子線５が衝突する金属コーティング15は高い原子
番号の金属によるものであるため、Ｘ線発生効率が高
い。また、陽極母材14はＸ線透過性の高い材質でつくら
れているため、陽極母材14を透過する際にＸ線６が受け
る減衰の影響が少ない。
【００４０】本実施の形態のＸ線装置においては、平面
状陽極２でのＸ線発生効率が高く、かつ、平面状陽極２
をＸ線６が透過する際に受ける減衰の影響が少ないで、
電子線５の発生量に対して効率良くＸ線６を取り出すこ
とができる。
状陽極２でのＸ線発生効率が高く、かつ、平面状陽極２
をＸ線６が透過する際に受ける減衰の影響が少ないで、
電子線５の発生量に対して効率良くＸ線６を取り出すこ
とができる。
【００４１】つぎに本発明の第８の実施の形態のＸ線装
置を図８を用いて説明する。図８に示すように、本実施
の形態のＸ線装置は、平面状陰極１と、平面状陽極（タ
ーゲット）２と、取り出し窓４を備えた真空容器３と、
平面状陰極１の前面に設けられたグリッド電極16とから
構成されている。
置を図８を用いて説明する。図８に示すように、本実施
の形態のＸ線装置は、平面状陰極１と、平面状陽極（タ
ーゲット）２と、取り出し窓４を備えた真空容器３と、
平面状陰極１の前面に設けられたグリッド電極16とから
構成されている。
【００４２】このように構成された本実施の形態のＸ線
装置においては、平面状陰極１が熱電子放出源の場合
は、グリッド電極16に印加した電圧に依存して、熱電子
放出された電子を平面状陽極２方向に引き出すことがで
きる。また、平面状陰極１が電界電子放出源の場合は、
グリッド電極16に印加した電圧に依存して平面状陰極１
から電界放出により電子が発生する。
装置においては、平面状陰極１が熱電子放出源の場合
は、グリッド電極16に印加した電圧に依存して、熱電子
放出された電子を平面状陽極２方向に引き出すことがで
きる。また、平面状陰極１が電界電子放出源の場合は、
グリッド電極16に印加した電圧に依存して平面状陰極１
から電界放出により電子が発生する。
【００４３】本実施の形態のＸ線装置においては、グリ
ッド電極16に印加した電圧で、電子の引き出しおよび発
生が行われるので、グリッド電極16により電子線５およ
びＸ線６の発生量および発生タイミングを制御すること
ができる。また、特に、平面状陰極１が電界電子放出源
である場合は、電子線５およびＸ線６の高速パルス制御
（動作）が可能となる。
ッド電極16に印加した電圧で、電子の引き出しおよび発
生が行われるので、グリッド電極16により電子線５およ
びＸ線６の発生量および発生タイミングを制御すること
ができる。また、特に、平面状陰極１が電界電子放出源
である場合は、電子線５およびＸ線６の高速パルス制御
（動作）が可能となる。
【００４４】つぎに本発明の第９の実施の形態のＸ線装
置を図９を用いて説明する。図９に示すように、本実施
の形態のＸ線装置は、平面状陰極１と、平面状陽極（タ
ーゲット）２と、取り出し窓４を備えた真空容器３とか
ら構成されている。ここで、真空容器３は絶縁体で構成
されており、平面状陰極１と平面状陽極２のあいだの特
に沿面の絶縁を保つ役割を担っている。また、真空容器
３とは別に、内部に、平面状陰極１と平面状陽極２のあ
いだの特に沿面の絶縁を保つ役割を担う絶縁構造物を用
いる場合もある。本実施の形態では、この絶縁体である
真空容器３あるいは真空容器３とは別の絶縁構造物の絶
縁距離を確保する方向17が、平面状陰極１と平面状陽極
２に対して印加した電界と直交する方向であることが特
徴である。
置を図９を用いて説明する。図９に示すように、本実施
の形態のＸ線装置は、平面状陰極１と、平面状陽極（タ
ーゲット）２と、取り出し窓４を備えた真空容器３とか
ら構成されている。ここで、真空容器３は絶縁体で構成
されており、平面状陰極１と平面状陽極２のあいだの特
に沿面の絶縁を保つ役割を担っている。また、真空容器
３とは別に、内部に、平面状陰極１と平面状陽極２のあ
いだの特に沿面の絶縁を保つ役割を担う絶縁構造物を用
いる場合もある。本実施の形態では、この絶縁体である
真空容器３あるいは真空容器３とは別の絶縁構造物の絶
縁距離を確保する方向17が、平面状陰極１と平面状陽極
２に対して印加した電界と直交する方向であることが特
徴である。
【００４５】このように構成された本実施の形態のＸ線
装置においては、ハウジング構造が電界方向に対して薄
型の構造となる。その結果、狭い場所にも設置取り付け
が可能となる。
装置においては、ハウジング構造が電界方向に対して薄
型の構造となる。その結果、狭い場所にも設置取り付け
が可能となる。
【００４６】つぎに本発明の第10の実施の形態のＸ線装
置を図10を用いて説明する。図10に示すように、本実施
の形態のＸ線装置は、平面状陰極１と、平面状陽極（タ
ーゲット）２と、取り出し窓４を備えた真空容器３と、
取り出し窓４の外に設けたコリメータ18から構成されて
いる。ここで、コリメータ18は導波管19に置き換えても
よい。また、図10では、電子線５の衝突を受ける面が平
面状陰極１の電子発生面と平行な平面状陽極２を備え、
この平面状陽極２の後方にＸ線６を取り出す場合を例と
しているが、図１に示したような斜交するＸ線発生面を
有する平面状陽極（ターゲット）２を用い、コリメータ
18あるいは導波管19は横方向にＸ線６を取り出すように
してもよい。
置を図10を用いて説明する。図10に示すように、本実施
の形態のＸ線装置は、平面状陰極１と、平面状陽極（タ
ーゲット）２と、取り出し窓４を備えた真空容器３と、
取り出し窓４の外に設けたコリメータ18から構成されて
いる。ここで、コリメータ18は導波管19に置き換えても
よい。また、図10では、電子線５の衝突を受ける面が平
面状陰極１の電子発生面と平行な平面状陽極２を備え、
この平面状陽極２の後方にＸ線６を取り出す場合を例と
しているが、図１に示したような斜交するＸ線発生面を
有する平面状陽極（ターゲット）２を用い、コリメータ
18あるいは導波管19は横方向にＸ線６を取り出すように
してもよい。
【００４７】このように構成された本実施の形態のＸ線
装置においては、発生した平面状Ｘ線６がコリメータ18
あるいは導波管19により発散が制御される。また、Ｘ線
出射形状が点状、線状であるＸ線装置に比べて、コリメ
ータ18あるいは導波管19を通過するＸ線の利用効率が高
くなる。したがって、コリメータ18あるいは導波管19の
出射面から大面積で、かつ、発散角の小さい一様な準平
行Ｘ線20を効率良く得ることができる。
装置においては、発生した平面状Ｘ線６がコリメータ18
あるいは導波管19により発散が制御される。また、Ｘ線
出射形状が点状、線状であるＸ線装置に比べて、コリメ
ータ18あるいは導波管19を通過するＸ線の利用効率が高
くなる。したがって、コリメータ18あるいは導波管19の
出射面から大面積で、かつ、発散角の小さい一様な準平
行Ｘ線20を効率良く得ることができる。
【００４８】つぎに本発明の第11の実施の形態のＸ線装
置を図11を用いて説明する。図11に示すように、本実施
の形態のＸ線装置は、平面型Ｘ線源21と、マルチ導波管
コリメータ22と、被検体23の後方に設けられた撮影器24
と、遮蔽容器25とから構成されている。
置を図11を用いて説明する。図11に示すように、本実施
の形態のＸ線装置は、平面型Ｘ線源21と、マルチ導波管
コリメータ22と、被検体23の後方に設けられた撮影器24
と、遮蔽容器25とから構成されている。
【００４９】このように構成された本実施の形態のＸ線
装置においては、平面型Ｘ線源21で発生した一様な平面
状Ｘ線がマルチ導波管コリメータ22により制御され、大
面積で、かつ、発散角の小さい一様な準平行Ｘ線20が得
られる。この準平行Ｘ線20を被検体23に照射し、被検体
23を透過した準平行Ｘ線20を撮影器24で検出する。撮影
器24では被検体23の内部透過像が検出されるので、被検
体23内部の透過検査を行うことができる。このとき、被
検体23の大きさ、量などに応じて平面型Ｘ線源21は、列
状あるいはマトリクス状に配置される。また、遮蔽容器
25は平面型Ｘ線源21、マルチ導波管コリメータ22、被検
体23および撮影器24を覆っており、これらの外部にＸ線
が漏れるのを防止している。
装置においては、平面型Ｘ線源21で発生した一様な平面
状Ｘ線がマルチ導波管コリメータ22により制御され、大
面積で、かつ、発散角の小さい一様な準平行Ｘ線20が得
られる。この準平行Ｘ線20を被検体23に照射し、被検体
23を透過した準平行Ｘ線20を撮影器24で検出する。撮影
器24では被検体23の内部透過像が検出されるので、被検
体23内部の透過検査を行うことができる。このとき、被
検体23の大きさ、量などに応じて平面型Ｘ線源21は、列
状あるいはマトリクス状に配置される。また、遮蔽容器
25は平面型Ｘ線源21、マルチ導波管コリメータ22、被検
体23および撮影器24を覆っており、これらの外部にＸ線
が漏れるのを防止している。
【００５０】従来の点状あるいは線状のＸ線源を用いて
被検体23の透過像を得る場合は、Ｘ線（ビーム）断面積
が被検体23の大きさと同等以上になるまで、Ｘ線源と被
検体23の間に距離を設けてＸ線を拡大する必要がある
が、本実施の形態のＸ線装置によれば、平面状の一様な
準平行Ｘ線20により被検体23内部の透過像が検出される
ので、従来の点状あるいは線状のＸ線源の場合と比較し
て、Ｘ線源（平面型Ｘ線源21、マルチ導波管コリメータ
22）と被検体23の間の距離が短縮される。
被検体23の透過像を得る場合は、Ｘ線（ビーム）断面積
が被検体23の大きさと同等以上になるまで、Ｘ線源と被
検体23の間に距離を設けてＸ線を拡大する必要がある
が、本実施の形態のＸ線装置によれば、平面状の一様な
準平行Ｘ線20により被検体23内部の透過像が検出される
ので、従来の点状あるいは線状のＸ線源の場合と比較し
て、Ｘ線源（平面型Ｘ線源21、マルチ導波管コリメータ
22）と被検体23の間の距離が短縮される。
【００５１】したがって、装置全体が小型化され、遮蔽
容器25も小さくなるので安全性も高まる。さらに、得ら
れる透過像の解像度が高くなる。また、被検体23の大き
さなどに応じて平面型Ｘ線源21、マルチ導波管コリメー
タ22を列状あるいはマトリクス状に配置することができ
るので、大面積照射によるＸ線検査が可能となる。
容器25も小さくなるので安全性も高まる。さらに、得ら
れる透過像の解像度が高くなる。また、被検体23の大き
さなどに応じて平面型Ｘ線源21、マルチ導波管コリメー
タ22を列状あるいはマトリクス状に配置することができ
るので、大面積照射によるＸ線検査が可能となる。
【００５２】つぎに本発明の第12の実施の形態のＸ線装
置を図12を用いて説明する。図12に示すように、本実施
の形態のＸ線装置は、被検体23に対して準平行Ｘ線20を
照射するＸ線発生ユニット28と、Ｘ線検出器29と、被検
体搬送機30とから構成されている。Ｘ線発生ユニット28
は、前述の平面型Ｘ線源21とマルチ導波管コリメータ22
で構成されている。
置を図12を用いて説明する。図12に示すように、本実施
の形態のＸ線装置は、被検体23に対して準平行Ｘ線20を
照射するＸ線発生ユニット28と、Ｘ線検出器29と、被検
体搬送機30とから構成されている。Ｘ線発生ユニット28
は、前述の平面型Ｘ線源21とマルチ導波管コリメータ22
で構成されている。
【００５３】本実施の形態では、従来のＸ線管と検出器
を用いて構成される一般的なＸ線ＣＴ（コンピュータト
モグラフィ）装置に対して、Ｘ線源21とマルチ導波管22
からなるＸ線発生ユニット28をＣＴのリング支持体の全
周に配置し、Ｘ線検出器29も同様の配置をとっているこ
とが特徴である。
を用いて構成される一般的なＸ線ＣＴ（コンピュータト
モグラフィ）装置に対して、Ｘ線源21とマルチ導波管22
からなるＸ線発生ユニット28をＣＴのリング支持体の全
周に配置し、Ｘ線検出器29も同様の配置をとっているこ
とが特徴である。
【００５４】このように構成された本実施の形態のＸ線
装置においては、まず、一つのＸ線発生ユニット28から
発生した一様で平面状の準平行Ｘ線20が被検体23を透過
し、Ｘ線検出器29により被検体23の内部ＣＴ画像の一部
がデータとして取得される。次に、ＣＴのリング支持体
の全周に配置された各Ｘ線発生ユニット28を電気的に順
次駆動し、各Ｘ線検出器29で被検体23内部ＣＴ画像の一
部のデータを順次取得する。こうして全体のＣＴ画像デ
ータを採取することができる。ここで、被検体23は被検
体搬送機30上に乗り、ＣＴ装置内外を移動することとな
る。
装置においては、まず、一つのＸ線発生ユニット28から
発生した一様で平面状の準平行Ｘ線20が被検体23を透過
し、Ｘ線検出器29により被検体23の内部ＣＴ画像の一部
がデータとして取得される。次に、ＣＴのリング支持体
の全周に配置された各Ｘ線発生ユニット28を電気的に順
次駆動し、各Ｘ線検出器29で被検体23内部ＣＴ画像の一
部のデータを順次取得する。こうして全体のＣＴ画像デ
ータを採取することができる。ここで、被検体23は被検
体搬送機30上に乗り、ＣＴ装置内外を移動することとな
る。
【００５５】本実施の形態のＸ線装置によれば、平面型
Ｘ線源21とマルチ導波管コリメータ22からなる各Ｘ線発
生ユニット28を電気的に順次駆動し、各Ｘ線検出器29で
検出してＣＴ画像データを採取することができるので、
Ｘ線発生ユニット28およびＸ線検出器29を回転等させる
ための機械的な構成を必要とせず、さらに、高速度でＣ
Ｔ画像データを得ることができる。
Ｘ線源21とマルチ導波管コリメータ22からなる各Ｘ線発
生ユニット28を電気的に順次駆動し、各Ｘ線検出器29で
検出してＣＴ画像データを採取することができるので、
Ｘ線発生ユニット28およびＸ線検出器29を回転等させる
ための機械的な構成を必要とせず、さらに、高速度でＣ
Ｔ画像データを得ることができる。
【００５６】なお、上記の説明においては複数設けられ
たＸ線発生ユニット28およびＸ線検出器29を順次駆動す
る態様を説明したが、全てのＸ線発生ユニット28および
Ｘ線検出器29を同時に駆動する構成も可能であり、その
ようにすると、さらに高速度でＣＴ画像データを得るこ
とができる。
たＸ線発生ユニット28およびＸ線検出器29を順次駆動す
る態様を説明したが、全てのＸ線発生ユニット28および
Ｘ線検出器29を同時に駆動する構成も可能であり、その
ようにすると、さらに高速度でＣＴ画像データを得るこ
とができる。
【００５７】つぎに本発明の第13の実施の形態のＸ線装
置を図13を用いて説明する。図13に示すように、本実施
の形態のＸ線装置は、平面型Ｘ線源21と、遮蔽容器25
と、照射対象物26を輸送する対象物輸送機27とから構成
されている。
置を図13を用いて説明する。図13に示すように、本実施
の形態のＸ線装置は、平面型Ｘ線源21と、遮蔽容器25
と、照射対象物26を輸送する対象物輸送機27とから構成
されている。
【００５８】このように構成された本実施の形態のＸ線
装置においては、平面型Ｘ線源21で発生した一様な平面
状Ｘ線６が照射対象物26に照射され、照射対象物26の内
外部の一様な滅菌および殺菌が行われる。このとき、照
射対象物26は対象物輸送機27の上に乗せられ、移動しな
がら順次、Ｘ線６による照射を受ける。また、平面型Ｘ
線源21、照射対象物26および対象物輸送機27の一部は遮
蔽容器25に覆われており、外部にＸ線が漏れることが防
止される。なお、照射対象物26の大きさ、量などに応じ
て平面型Ｘ線源21は、図13に示すように、列状あるいは
マトリクス状に配置される。
装置においては、平面型Ｘ線源21で発生した一様な平面
状Ｘ線６が照射対象物26に照射され、照射対象物26の内
外部の一様な滅菌および殺菌が行われる。このとき、照
射対象物26は対象物輸送機27の上に乗せられ、移動しな
がら順次、Ｘ線６による照射を受ける。また、平面型Ｘ
線源21、照射対象物26および対象物輸送機27の一部は遮
蔽容器25に覆われており、外部にＸ線が漏れることが防
止される。なお、照射対象物26の大きさ、量などに応じ
て平面型Ｘ線源21は、図13に示すように、列状あるいは
マトリクス状に配置される。
【００５９】従来の点状あるいは線状のＸ線源を用いて
照射対象物26の内外部の滅菌および殺菌を行う場合は、
Ｘ線（ビーム）断面積が照射対象物26の大きさと同等以
上になるまで、Ｘ線源と照射対象物26の間に距離を設け
てＸ線を拡大する必要があるが、本実施の形態のＸ線装
置によれば、平面状の一様なＸ線６により照射対象物26
の内外部の一様な滅菌および殺菌が行われるので、従来
の点状あるいは線状のＸ線源の場合と比較して、平面型
Ｘ線源21と照射対象物26の間の距離が短縮される。
照射対象物26の内外部の滅菌および殺菌を行う場合は、
Ｘ線（ビーム）断面積が照射対象物26の大きさと同等以
上になるまで、Ｘ線源と照射対象物26の間に距離を設け
てＸ線を拡大する必要があるが、本実施の形態のＸ線装
置によれば、平面状の一様なＸ線６により照射対象物26
の内外部の一様な滅菌および殺菌が行われるので、従来
の点状あるいは線状のＸ線源の場合と比較して、平面型
Ｘ線源21と照射対象物26の間の距離が短縮される。
【００６０】したがって、装置全体が小型化され、遮蔽
容器25も小さくなるので安全性も高まる。また、照射対
象物26の大きさ、量などに応じて平面型Ｘ線源21を列状
あるいはマトリクス状に配置することができるので、大
面積照射によるＸ線滅菌および殺菌が可能となる。
容器25も小さくなるので安全性も高まる。また、照射対
象物26の大きさ、量などに応じて平面型Ｘ線源21を列状
あるいはマトリクス状に配置することができるので、大
面積照射によるＸ線滅菌および殺菌が可能となる。
【００６１】
【発明の効果】本発明は、大きい断面積の一様なＸ線を
発生し、高効率、小型で、さらに高速パルス動作および
大線量化が可能なＸ線装置を提供することができる。
発生し、高効率、小型で、さらに高速パルス動作および
大線量化が可能なＸ線装置を提供することができる。
【図１】本発明の第１の実施の形態のＸ線装置を示し、
（ａ）は構成を示す断面図、（ｂ）は作用を説明する
図。
（ａ）は構成を示す断面図、（ｂ）は作用を説明する
図。
【図２】本発明の第２の実施の形態のＸ線装置の構成を
示す断面図。
示す断面図。
【図３】本発明の第３の実施の形態のＸ線装置を示し、
（ａ）は構成を示す断面図、（ｂ）は作用を説明する
図。
（ａ）は構成を示す断面図、（ｂ）は作用を説明する
図。
【図４】本発明の第４の実施の形態のＸ線装置の構成を
示す断面図。
示す断面図。
【図５】本発明の第５の実施の形態のＸ線装置を示し、
（ａ）は構成を示す断面図、（ｂ）は平面状陽極の斜視
図、（ｃ）は作用を説明する図、（ｄ）は平面状陽極の
他の配置例を示す斜視図。
（ａ）は構成を示す断面図、（ｂ）は平面状陽極の斜視
図、（ｃ）は作用を説明する図、（ｄ）は平面状陽極の
他の配置例を示す斜視図。
【図６】本発明の第６の実施の形態のＸ線装置を示し、
（ａ），（ｂ），（ｄ），（ｅ）はそれぞれ異なる構成
例を示す断面図、（ｃ）は（ａ），（ｂ）の場合の作用
を説明する図、（ｆ）は（ｄ），（ｅ）の場合の作用を
説明する図。
（ａ），（ｂ），（ｄ），（ｅ）はそれぞれ異なる構成
例を示す断面図、（ｃ）は（ａ），（ｂ）の場合の作用
を説明する図、（ｆ）は（ｄ），（ｅ）の場合の作用を
説明する図。
【図７】本発明の第７の実施の形態のＸ線装置の構成を
示す断面図。
示す断面図。
【図８】本発明の第８の実施の形態のＸ線装置の構成を
示す断面図。
示す断面図。
【図９】本発明の第９の実施の形態のＸ線装置の構成を
示す断面図。
示す断面図。
【図１０】本発明の第10の実施の形態のＸ線装置の構成
を示す断面図。
を示す断面図。
【図１１】本発明の第11の実施の形態のＸ線装置の構成
を示す断面図。
を示す断面図。
【図１２】本発明の第12の実施の形態のＸ線装置を示
し、（ａ）は全体図、（ｂ）は（ａ）のｂ−ｂ線に沿う
断面図。
し、（ａ）は全体図、（ｂ）は（ａ）のｂ−ｂ線に沿う
断面図。
【図１３】本発明の第13の実施の形態のＸ線装置の構成
を示す断面図。
を示す断面図。
【図１４】従来例のＸ線装置を示し、（ａ）は構成を示
す断面図、（ｂ）は作用を説明する図。
す断面図、（ｂ）は作用を説明する図。
１…平面状陰極、２…平面状陽極、３…真空容器、４…
取り出し窓、５…電子線、６…Ｘ線、７…カーボンナノ
構造体、８…細管集合体による平面状陽極、９…細管、
10…細管壁、11…磁界印加装置、12…磁界、13…力、14
…陽極母材、15…金属コーティング、16…グリッド電
極、17…絶縁距離を確保する方向、18…コリメータ、19
…導波管、20…準平行Ｘ線、21…平面型Ｘ線源、22…マ
ルチ導波管コリメータ、23…被検体、24…撮影器、25…
遮蔽容器、26…照射対象物、27…対象物輸送機、28…Ｘ
線発生ユニット、29…Ｘ線検出器、30…被検体搬送機、
31…熱陰極、32…陽極、33…取り出し窓、34…Ｘ線。
取り出し窓、５…電子線、６…Ｘ線、７…カーボンナノ
構造体、８…細管集合体による平面状陽極、９…細管、
10…細管壁、11…磁界印加装置、12…磁界、13…力、14
…陽極母材、15…金属コーティング、16…グリッド電
極、17…絶縁距離を確保する方向、18…コリメータ、19
…導波管、20…準平行Ｘ線、21…平面型Ｘ線源、22…マ
ルチ導波管コリメータ、23…被検体、24…撮影器、25…
遮蔽容器、26…照射対象物、27…対象物輸送機、28…Ｘ
線発生ユニット、29…Ｘ線検出器、30…被検体搬送機、
31…熱陰極、32…陽極、33…取り出し窓、34…Ｘ線。
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フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｇ２１Ｋ 5/00 Ｇ２１Ｋ 5/00 Ｗ
5/02 5/02 Ｘ
5/08 5/08 Ｘ
Ｈ０１Ｊ 35/08 Ｈ０１Ｊ 35/08 Ｆ
35/14 35/14
(72)発明者 山口 晶子
神奈川県横浜市鶴見区末広町２丁目４番地
株式会社東芝京浜事業所内
Ｆターム(参考） 2G001 AA01 AA10 BA11 CA01 HA13
HA14 JA01 JA14 KA03 LA01
SA02
4C093 AA22 BA05 CA27 CA32 CA50
EA02 EA06 EA12 EB18
Claims (13)
- 【請求項１】 平面から一様に電子を放出する陰極と、
この陰極に対向して配置され前記電子が衝突して平面か
ら一様にＸ線を放出する陽極と、前記Ｘ線の取り出し窓
を有し前記陰極および前記陽極を収容する真空容器とを
備えたことを特徴とするＸ線装置。 - 【請求項２】 前記陰極の電子放出面にカーボンナノ構
造体を備えていることを特徴とする請求項１記載のＸ線
装置。 - 【請求項３】 前記陰極の電子放出面と前記陽極の電子
衝突面は平行に設けられ、前記陽極を透過したＸ線が前
記取り出し窓から取り出されることを特徴とする請求項
１記載のＸ線装置。 - 【請求項４】 前記陽極が前記取り出し窓を兼ねること
を特徴とする請求項１記載のＸ線装置。 - 【請求項５】 前記陽極は、陰極陽極間の電界と同方向
または斜め方向に軸をもつ細管の集合体であることを特
徴とする請求項３記載のＸ線装置。 - 【請求項６】 陰極陽極間の電子流に磁界を印加する磁
界印加装置を備えていることを特徴とする請求項５記載
のＸ線装置。 - 【請求項７】 前記陽極は、Ｘ線透過特性の良い材料か
らなる母材と、この母材の電子が衝突する面に設けられ
た高い原子番号の金属の層とを備えていることを特徴と
する請求項４記載のＸ線装置。 - 【請求項８】 前記陰極近傍に電子放出を制御するグリ
ッド電極を備えていることを特徴とする請求項１記載の
Ｘ線装置。 - 【請求項９】 前記真空容器は、陰極陽極間の電界と直
交する方向によって絶縁距離を確保する構造であること
を特徴とする請求項１記載のＸ線装置。 - 【請求項１０】 Ｘ線の取り出し窓の外または内に、Ｘ
線の発散を抑制する発散抑制装置を備えていることを特
徴とする請求項１記載のＸ線装置。 - 【請求項１１】 前記発散抑制装置の前方にＸ線検出器
を備え、このＸ線検出器と前記発散抑制装置の間に置か
れた被検体内部の透過検査を行うようにしたことを特徴
とする請求項10記載のＸ線装置。 - 【請求項１２】 請求項11記載のＸ線装置を被検体を中
心とする円周上に複数配置し、前記被検体のＣＴ画像デ
ータを得るようにしたことを特徴とするＸ線装置。 - 【請求項１３】 前記発散抑制装置の前方に照射対象物
を設置し、この照射対象物の内外部の滅菌あるいは殺菌
を行うようにしたことを特徴とする請求項10記載のＸ線
装置。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2002088943A JP2003288853A (ja) | 2002-03-27 | 2002-03-27 | Ｘ線装置 |
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|---|---|---|---|
| JP2002088943A JP2003288853A (ja) | 2002-03-27 | 2002-03-27 | Ｘ線装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003288853A true JP2003288853A (ja) | 2003-10-10 |
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ID=29234664
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| JP2002088943A Pending JP2003288853A (ja) | 2002-03-27 | 2002-03-27 | Ｘ線装置 |
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- 2002-03-27 JP JP2002088943A patent/JP2003288853A/ja active Pending
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