JPH08162285A - 回転対陰極ｘ線管、ｘ線発生装置、およびｘ線発生装置の組立方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 据付位置に制限のない卓上型の回転対陰極Ｘ
線管を得る。 【解決手段】 第１ケーシング１２の側面に高電圧ブッ
シング１６と対陰極支持体１８とを固定し、第２ケーシ
ング１４の側面にターボ分子ポンプ２０を固定する。第
２ケーシング１４の底面を架台の天板２６にボルト２８
で固定する。第１ケーシング１２の三つの側面のそれぞ
れに形成したＸ線取り出し窓から、ラインフォーカスの
二つのＸ線ビーム３２と、３４と、ポイントフォーカス
の一つのＸ線ビーム３６を取り出せる。据付面から回転
中心までの高さが３００ｍｍの標準的な縦型ゴニオメー
タと、この卓上型の回転対陰極Ｘ線管とを組み合わせる
場合、Ｘ線取り出し角を６度とすると、天板２６の上面
から回転対陰極２４の焦点までの高さを２８０ｍｍに設
定すればよい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、卓上型の回転対
陰極Ｘ線管に関する。

【０００２】

【従来の技術】回転対陰極Ｘ線管は開放型のＸ線管であ
り、ケーシングの内部を排気ポンプで排気しながら使用
する。この回転対陰極Ｘ線管は、ケーシングの内部にフ
ィラメントと回転対陰極を備え、ケーシングは、Ｘ線利
用装置の架台の天板に固定される。従来の回転対陰極Ｘ
線管では、Ｘ線管のケーシングは天板を貫通するように
固定されている。そして、天板の上方に突き出たケーシ
ング部分に対陰極支持体が固定され、天板の下側に突き
出たケーシング部分に排気ポンプが固定されている。こ
のように配置することにより、排気ポンプを天板の下側
に収納して、排気ポンプがＸ線利用装置の邪魔にならな
いようにしている。

【０００３】回転対陰極の姿勢としては、その回転軸線
を水平に配置する場合と鉛直に配置する場合とがある。
回転軸線を水平に配置した場合は、円筒状の回転対陰極
の周面の上面位置または下面位置に、上方または下方か
ら電子ビームを照射する。これにより、水平面に対して
所定の取り出し角だけ上方または下方に傾斜した方向
に、水平方向に細長い断面を有するラインフォーカスの
Ｘ線ビームを取り出すことができる。このＸ線ビームを
Ｘ線ディフラクトメータのＸ線源として用いる場合に
は、Ｘ線ディフラクトメータの焦点円が鉛直面内になる
ようにゴニオメータを配置する。このような配置のゴニ
オメータを縦型ゴニオメータと呼ぶ。一方、回転対陰極
の回転軸線を鉛直に配置した場合は、円筒状の回転対陰
極の周面に電子ビームを横方向から照射すると、鉛直方
向に細長い断面を有するラインフォーカスのＸ線ビーム
を、水平方向に取り出すことができる。このＸ線ビーム
をＸ線ディフラクトメータのＸ線源として用いる場合に
は、Ｘ線ディフラクトメータの焦点円が水平面内になる
ようにゴニオメータを配置する。このような配置のゴニ
オメータを横型ゴニオメータと呼ぶ。

【０００４】回転対陰極Ｘ線管では、回転対陰極の回転
軸線を水平にしたタイプと、回転軸線を鉛直にしたタイ
プは、それぞれ、別個に製作されるのが普通である。す
なわち、縦型ゴニオメータ用の回転対陰極Ｘ線管と、横
型ゴニオメータ用の回転対陰極Ｘ線管とが別個に用意さ
れる。これに対して、１台のＸ線管において、回転対陰
極の回転軸線の配置を水平と鉛直の間で切り換えるよう
にすることも知られている。この切り換え方式では、排
気ポンプを天板の下側に収納したままにして、対陰極支
持体をケーシングに取り付ける位置を変更する。その場
合は、フィラメントの位置も変更する。したがって、ケ
ーシングには、少なくとも、対陰極支持体を取り付ける
ための複数の取付開口を形成しておく必要があり、ケー
シングが大型化する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の回転対
陰極Ｘ線管は、Ｘ線管のケーシングまたは排気ポンプ
が、天板に設けた孔は上下に貫通することになり、Ｘ線
管の設置位置が天板の孔の位置に限定されてしまう。し
たがって、Ｘ線管を天板上で自由に位置変更することが
できない。

【０００６】また、対陰極支持体をケーシングへ取り付
ける位置を変更することによって回転対陰極の回転軸線
を水平姿勢と鉛直姿勢の間で切り換えるようにすると、
ケーシングが大型になり、回転対陰極Ｘ線管の持ち運び
がますます困難になる。

【０００７】この発明は上述の問題点を解決するために
なされたものであり、その目的は、据付位置に制限のな
い卓上型の回転対陰極Ｘ線管を提供することにある。こ
の発明の別の目的は、既存のＸ線ディフラクトメータの
ゴニオメータに適合できる卓上型の回転対陰極Ｘ線管を
提供することにある。この発明のさらに別の目的は、ケ
ーシング自体の姿勢を変更することによって回転対陰極
の回転軸線の姿勢を水平配置と鉛直配置とに切り換える
ことが可能な卓上型の回転対陰極Ｘ線管を提供すること
にある。この発明のさらに別の目的は、Ｘ線ディフラク
トメータのゴニオメータの広角側の測定限界を広げるこ
とができるような回転対陰極Ｘ線管を提供することにあ
る。

【０００８】また、この発明は天板における任意の位置
に上記回転対陰極Ｘ線管を据え付けることができるとと
もに、その据付け位置を容易に変更することができるＸ
線発生装置の提供を目的とする。さらにこの発明は、天
板の平面性を確保しながら上記Ｘ線発生装置を組み立て
ることができる方法の提供を目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この発明の回転対陰極Ｘ
線管は、卓上型にするための各種の工夫をしている。ま
ず、ケーシングの据付面を含む平面の一方の側だけに、
ケーシングと高電圧ブッシングと排気ポンプと対陰極支
持体とを配置している。例えば、回転対陰極Ｘ線管をＸ
線利用装置の架台の天板上に据え付ける場合、ケーシン
グの据付面を天板に固定すれば、この天板の上方に、Ｘ
線管の全ての構成要素が配置される。したがって、天板
には、ボルトを固定するためのネジ孔を設けるだけで、
回転対陰極Ｘ線管を天板上に据え付けることができ、回
転対陰極Ｘ線管の設置場所にほとんど制約がない。ま
た、回転対陰極Ｘ線管の移動や持ち運びも容易になる。

【００１０】回転対陰極の回転軸線を据付面に平行に配
置した場合、この姿勢は、Ｘ線ディフラクトメータの縦
型ゴニオメータと組み合わせるのに適している。この場
合、据付面に近い方から順に、排気ポンプと対陰極支持
体と高電圧ブッシングをケーシングに取り付けることが
でき、据付面とは反対の側の回転対陰極面上に焦点が形
成される。ケーシングは四角柱の形状にでき、排気ポン
プと対陰極支持体と高電圧ブッシングの全てを前記四角
柱の一つの側面だけに取り付けることができる。このよ
うにすると、四角柱の三つの側面にそれぞれＸ線取り出
し窓を設けることができ、また、ケーシング全体を横に
倒すことにより、回転対陰極の回転軸線を据付面に垂直
に変更することも簡単にできる。

【００１１】この卓上型の回転対陰極Ｘ線管は、既存の
Ｘ線ディフラクトメータのゴニオメータと適合するよう
に、焦点の高さ位置などを工夫している。回転対陰極の
回転軸線を据付面に平行に配置する場合は、縦型ゴニオ
メータに適合するように、据付面から回転対陰極の焦点
までの高さＨ１を２６０〜３００ｍｍの範囲内にしてい
る。その理由は以下の通りである。標準的な縦型ゴニオ
メータは、ゴニオメータ半径が１８５ｍｍで、据付面か
ら回転中心までの高さが３００ｍｍであるが、Ｘ線の取
り出し角を６度にした場合は、上述のＨ１を２８０ｍｍ
に設定すると、この回転対陰極Ｘ線管は、この標準的な
縦型ゴニオメータに適合する。そして、Ｘ線取り出し角
が０度〜１２度の範囲を考慮すると、これに適するＨ１
は、３００〜２６０ｍｍとなる。

【００１２】据付面からケーシングの最も遠い面までの
距離Ｈ３を短くすると、この回転対陰極Ｘ線管をＸ線デ
ィフラクトメータの縦型ゴニオメータと組み合わせたと
きに、ゴニオメータの回折角度の広角側の測定限界を広
くすることができる。好ましくは、上述のＨ３の値を３
５０ｍｍ以内とする。また、据付面からケーシングの最
も遠い面に、回転対陰極の回転軸線に平行な二つの傾斜
面を形成して山形にすると、距離Ｈ３が同じでも、傾斜
面を形成しない場合と比較して、広角側の測定限界を広
くできる。上述のＨ３を３４０ｍｍとして、かつ上述の
傾斜面を形成した場合、上述の標準的な縦型ゴニオメー
タと組み合わせたときに、広角側の測定限界は１５４度
と広くなる。

【００１３】回転対陰極の回転軸線を据付面に垂直に配
置する場合には、横型ゴニオメータと組み合わせるのに
適している。標準的な横型ゴニオメータでは、ゴニオメ
ータの据付面から焦点円までの高さが３００ｍｍである
ので、回転対陰極Ｘ線管のケーシングの据付面から焦点
までの高さも３００ｍｍとする。

【００１４】回転対陰極Ｘ線管の据付面が水平であると
仮定すると、回転対陰極の回転軸線を水平に配置した場
合、回転対陰極の焦点からケーシングの上面までの距離
を短くすれば、ゴニオメータの広角側の測定限界を広く
とることができる。しかし、対陰極の焦点からケーシン
グの上面までの間には電子銃があり、この電子銃に高電
圧を印加する高電圧ブッシングをケーシングに取り付け
る必要もある。そこで、この高電圧ブッシングの外径寸
法を小さくすれば、回転対陰極の焦点からケーシングの
上面までの距離を短くすることが可能になる。この発明
では、この点を考慮して、高電圧ブッシングの絶縁流体
として絶縁ガスを用い、さらにモールド樹脂で成形した
ケーブルポストの内部に放電抑制回路を埋め込むことに
よって、高電圧ブッシングの小径化を果たしている。

【００１５】上記の構成をもって回転対陰極Ｘ線管を卓
上型としたことにより、排気ポンプ等の構成要素との干
渉を回避するための孔を天板に設ける必要がなくなり、
ボルトを固定するためのねじ孔を設けるだけで、回転対
陰極Ｘ線管を天板上に据え付けることができるようにな
った。そこで、天板における任意の多数位置にねじ孔を
あらかじめ設けておくとともに、該ねじ孔のいずれかを
用いて回転対陰極Ｘ線管を天板上の所要位置に締結する
ようにＸ線発生装置を構築すれば、天板における任意の
位置に回転対陰極Ｘ線管を据え付けできるとともに、そ
の据付け位置を容易に変更できるようになり、Ｘ線の利
用形態を変更する場合にも柔軟な対応が可能となる。

【００１６】ここで、天板を、上面板と下面板の間にハ
ニカム形状のコア部材を配設した構成とし、上記回転対
陰極Ｘ線管を固定するための多数のねじ孔は上面板に設
け、下面板を支持部材に固定すれば、ハニカム形状のコ
ア部材が振動を吸収するため、Ｘ線を利用した各種測定
の高精度化を実現することができる。またコア部材をハ
ニカム形状とすることにより、高い強度を確保しながら
軽量化を実現でき、組立作業が容易となる。

【００１７】また、上面板の下面に各ねじ孔の周縁部か
ら下方に垂下する有底筒状のキャップ部材を取り付けた
構成とすれば、上面板と下面板に挟まれたコア部材の内
部とねじ孔とを隔離することができる。その結果、例え
ばねじ孔からコア部材内に水分等が侵入して同部材を腐
食させるような不都合を回避でき、耐久性が向上する。

【００１８】さて、上述のように天板を、上面板と下面
板の間にハニカム形状のコア部材を挟んだ構造とした場
合、この下面板を支持部材にボルトを用いて固定する
際、支持部材に設定した四個所以上の固定個所（三個所
であれば、三点支持となるため平面性は確保される。）
に高さ寸法の誤差があると、そのままでは天板に歪が生
じることになる。そこで、本発明者らは上記Ｘ線発生装
置の開発とともに、天板の平面度を確保しながら同装置
を容易に組み立てることができる方法を創作した。

【００１９】すなわち、次の工程をもって、ボルトを用
いて前記支持部材の仮止め個所および本止め個所に下面
板を締結する。まず、支持部材における本止め個所の近
傍にボルトを捩じ込んでおく。次に仮止め個所で、支持
部材と下面板とをスペーサを介してボルト固定すること
により一定の間隔をあけて仮止めする。さらに、本止め
個所の近傍に捩じ込んだボルトの高さを調整することに
より、該ボルトで下面板を支持する。これにより下面板
の平面性が確保される。そして、本止め個所において、
支持部材と下面板とをボルト固定する。このようにして
支持部材に固定した天板の上面板に設けたいずれかのね
じ孔を用いて、回転対陰極Ｘ線管を天板上の所要位置に
締結する。

【００２０】なお、仮止めを三角形の頂点となる任意の
三個所で行なうようにすれば、いわゆる三点支持になる
ので、平面性を確保しつつ確実に下面板を仮止めするこ
とができ好ましい。

【００２１】

【発明の実施の形態】まず、この発明のＸ線発生装置お
よび回転対陰極Ｘ線管の一実施形態について、図面を参
照して詳細に説明する。図１は、この発明のＸ線発生装
置および回転対陰極Ｘ線管の一実施形態についてその概
略的な外観を示す斜視図である。Ｘ線発生装置は、回転
対陰極Ｘ線管１、天板２、支持部材としての架台３で構
成されている。この実施形態は、Ｘ線発生装置をＸ線デ
ィフラクトメータのＸ線源として利用する場合を説明す
る。したがって、天板２上には、Ｘ線ディフラクトメー
タの他の構成要素、例えばゴニオメータ，Ｘ線検出器等
が併せて搭載される。

【００２２】回転対陰極Ｘ線管１のケーシング１０は概
略四角柱の形状をしており、第１ケーシング１２と第２
ケーシング１４とからなる。第１ケーシング１２の側面
には、高電圧ブッシング１６と対陰極支持体１８とが固
定されている。第２ケーシング１４の側面にはターボ分
子ポンプ２０が固定されている。第２ケーシング１４の
底面は、後述するように天板２にボルト２８で固定され
る。第１ケーシング１２と第２ケーシング１４も互いに
ボルト３０で固定される。

【００２３】高電圧ブッシング１６は、電子銃２２を機
械的に支持すると共に、この電子銃２２のフィラメント
に負の高電圧を印加するものである。対陰極支持体１８
の内部には電動機が内蔵されており、この電動機の回転
子が対陰極２４に固定されていて、対陰極２４はこの電
動機により数千〜１万数千ｒｐｍで回転駆動される。対
陰極２４は円筒状であり、その周面の上面位置に電子ビ
ームが照射されて、ここからＸ線が発生する。第１ケー
シング１２の三つの側面にはそれぞれＸ線取り出し窓が
形成されていて、この取り出し窓から三方向にＸ線ビー
ム３２、３４、３６を取り出すことができる。そして、
取り出し窓の形成されていないケーシング側面だけに、
高電圧ブッシング１６と対陰極支持体１８とターボ分子
ポンプ２０が固定されている。

【００２４】三つのＸ線ビームのうち、二つのＸ線ビー
ム３２、３４は、水平方向に細長い断面を有するライン
フォーカスのＸ線ビームであり、水平面に対して上方に
６度の取り出し角で、互いに反対方向に取り出される。
これらのラインフォーカスのＸ線ビーム３２、３４は、
縦型のゴニオメータを備えるＸ線ディフラクトメータの
Ｘ線源として用いられる。別のＸ線ビーム３６は、ポイ
ントフォーカスのＸ線ビームであり、水平面に対して上
方に６度の取り出し角で、上述のラインフォーカスのＸ
線ビーム３２、３４に対してほぼ直角な方向に、取り出
される。このポイントフォーカスのＸ線ビーム３６は、
コリメータを通して試料にＸ線ビームを照射するタイプ
のＸ線利用装置、例えば、４軸自動回折計や、微小領域
Ｘ線ディフラクトメータや、各種の回折カメラなど、に
用いられる。この回転対陰極Ｘ線管１を使用するとき
は、必要に応じて、一つ、二つ、あるいは三つのＸ線ビ
ームを用いることができ、使わない取り出し窓がある場
合は、これを遮蔽しておく。

【００２５】図２の（Ａ）は、図１に示す回転対陰極Ｘ
線管１の詳しい構造を示した正面断面図である。（Ｂ）
はＸ線取り出し窓を横切る水平面で切断した平面断面図
である。第１ケーシング１２の上部の側面にはスペーサ
管３８を介して高電圧ブッシング１６の取付フランジ１
７が固定されている。取付フランジ１７の外径は８６ｍ
ｍと小さくなっている。高電圧ブッシング１６の真空側
端子は、電子銃２２を機械的に支持すると共に、この電
子銃２２のフィラメント４０に負の高電圧を供給する。
第１ケーシング１２の下部の側面には対陰極支持体１８
の取付フランジ１９が固定されている。円筒状の回転対
陰極２４の直径は１００ｍｍである。

【００２６】回転対陰極２４の上方にはフィラメント４
０があって、フィラメント４０から放出された電子ビー
ムは、回転対陰極２４の周面の上面位置に照射される。
この焦点の高さの位置において、ベリリウム箔からなる
三個のＸ線取り出し窓４２、４４、４６が第１ケーシン
グ１２に形成され、これらのＸ線取り出し窓４２、４
４、４６からＸ線ビーム３２、３４、３６を取り出すこ
とができる。この回転対陰極Ｘ線管１に、例えば１８ｋ
Ｗの電力を投入する場合は、フィラメント４０に−６０
ｋＶを印加し、管電流は３００ｍＡに設定する。回転対
陰極２４はアース電位である。回転対陰極２４の焦点か
らケーシングの上面までの高さをできるだけ低くするた
めに、高電圧ブッシング１６の最大外径寸法すなわち取
付フランジ１７の外径寸法は９０ｍｍ以下にするのが好
ましい。

【００２７】第２ケーシング１４の側面にはターボ分子
ポンプ２０の取付フランジ２１が固定される。取付フラ
ンジ２１の外径は１３４ｍｍであり、また、排気する開
口部の内径は約１００ｍｍである。このポンプ２０の排
気速度は毎秒１５０リットルであり、このポンプ２０に
より、Ｘ線管の内部は１０⁷ Ｔｏｒｒに排気される。こ
のターボ分子ポンプ２０は回転軸線が水平に配置されて
いて、軸受にはグリース潤滑が施されている。ケーシン
グの全体の高さを短縮するためには、ターボ分子ポンプ
２０の直径を小さくしたいところであるが、ターボ分子
ポンプ２０の排気口径を小さくするとコンダクタンスが
小さくなって排気速度が小さくなってしまう。したがっ
て、排気口径を小さくするには限界がある。このターボ
分子ポンプ２０の排気口径は８０〜１２０ｍｍの範囲内
が適当である。

【００２８】第１ケーシング１２と第２ケーシング１４
の間にはＯリングがあり、各取付フランジ１７、１９、
２１とケーシングの間にもＯリングがあり、これによっ
て真空がシールされる。

【００２９】第２ケーシング１４の上面はボルト３０で
第１ケーシング１２の底面に固定され、一方、第２ケー
シング１４の底面はボルト２８で天板２の上面に固定さ
れている。天板２には４個のネジ孔を設けるだけで、こ
の回転対陰極Ｘ線管１を天板２の上に据え付けることが
できる。ボルト２８を取り外せば、回転対陰極Ｘ線管１
を自由に移動することができる。この天板２の構造、お
よび天板２への回転対陰極Ｘ線管１の据え付けについて
は後述する。

【００３０】図３は図１に示す回転対陰極Ｘ線管１の側
面図である。第１ケーシング１２の上面には二つの傾斜
面４８、５０が形成されている。これにより、第１ケー
シング１２の上端は、中央が高くなった山形になってい
る。この上端部は、図２の（Ａ）に示すように、蓋５２
を備えている。したがって、この蓋５２の中央部分が高
くなっていて、両端が傾斜している。傾斜面４８、５０
を形成した理由は、Ｘ線ディフラクトメータのＸ線検出
器の広角側の測定限界を広げるためであり、この点は後
述する。

【００３１】図４は、高電圧ブッシングの縦断面図であ
る。このブッシングは、真空側絶縁部材としての絶縁碍
子５４と、大気側絶縁部材としてのケーブルポスト５６
との間に狭い空間５８を形成して、この空間５８に絶縁
ガスを封入したものである。絶縁ガスとしては六フッ化
硫黄を用いている。絶縁碍子５４はアルミナセラミック
スで形成されていて、有底の概略円筒形状をしており、
円筒部分にはわずかにテーパがついている。この絶縁碍
子５４の先端には、真空側端子６０が貫通していて、こ
れがロー付けにより絶縁碍子５４に気密に固着されてい
る。ケーブルポスト５６はモールド樹脂で形成されてい
る。

【００３２】このモールド樹脂は、エポキシ樹脂であ
り、粒径が５〜８μｍのアルミナ粉末が混入されてい
る。エポキシ樹脂とアネミナ粉末の重量比は９：４であ
る。このケーブルポスト５６は、成形するときに、黄銅
製のホルダー６２の内壁面を成形型の一部として用いて
おり、これにより、ケーブルポスト５６はホルダー６２
と一体になるように成形される。このケーブルポスト５
６は、その内部に放電抑制回路６４が埋め込まれてい
て、接続端子６６と大気側端子６８とが外部に露出して
いる。ケーブルポスト５６から露出している接続端子６
６は、絶縁碍子５４を貫通している真空側端子６０に接
続されている。

【００３３】放電抑制回路６４は、放電抑制コイルとア
レスタとコンデンサとを含んでいる。Ｘ線管において
は、電子銃とＸ線管の管壁との間、あるいは、電子銃と
ターゲットとの間で、放電が生じることがある。この最
初の放電が生じると、次々と放電が誘発され易い。放電
抑制回路６４は、この２次放電を抑制するためのもので
ある。また、放電抑制回路６４は、高電圧ケーブルの先
にある高電圧電源を保護する役割も果たしている。この
放電抑制回路６４を、モールド樹脂の内部にモールドし
てあると、小径化された絶縁碍子５４の内部において、
放電抑制回路６４の位置を確実に位置決めでき、放電抑
制回路６４の構成部品が絶縁碍子５４に触れる危険をな
くす。

【００３４】このブッシングは、取付フランジ１７によ
ってスペーサ管の管壁７０に取り付けられる。絶縁碍子
５４の根本のフランジ部７２は、取付フランジ１７とホ
ルダー６２のフランジ部７４との間に挾まれて固定され
る。ホルダー６２のフランジ部７４はボルト７６によっ
て取付フランジ１７に固定される。

【００３５】真空側端子６０から大気側端子６８に至る
電気的通路を説明すると、真空側端子６０は、接続端子
６６と、ケーブルポスト５６の内部の導線とを経由し
て、放電抑制回路６４に接続している。また、この放電
抑制回路６４は、ケーブルポスト５６の内部の別の導線
を経由して、大気側端子６８に接続している。したがっ
て、真空側端子６０と大気側端子６８との間の接続導体
は、ケーブルポスト５６内の導線と放電抑制回路６４と
から構成される。また、真空側端子６０と大気側端子６
８とその間の接続導体とからなる導電体は、絶縁碍子５
４とケーブルポスト５６とによって、取付フランジ１７
に対して気密封止可能に電気的に絶縁されている。

【００３６】ホルダー６２には絶縁ガスを空間５８に供
給するための供給弁７８を設けてある。この供給弁７８
の取付ネジ部８０は、ホルダー６２のネジ部にねじ込ん
でから接着剤でホルダー６２に固着される。これにより
絶縁ガスが封止される。供給弁７８の内部には、バネ付
勢された逆止弁があり、この逆止弁の大気側に、さら
に、Ｏリングシールされた栓がある。この栓をねじ込み
式のキャップ８２で外側から押さえている。ホルダー６
２の外周面には、冷却水を通すための溝８４が形成され
ていて、この溝８４は水冷ジャケット板８６で覆われて
いる。この水冷ジャケット板８６はホルダー６２の外周
面にロー付けされている。この水冷ジャケット板８６は
電気的に接地されている。

【００３７】図４において、管壁７０の上側がＸ線管の
内部すなわち真空側であり、管壁７０の下側が大気側で
ある。管壁７０と取付フランジ１７の間はＯリング８８
て真空シールされ、取付フランジ１７と絶縁碍子５４と
の間はＯリング９０で真空シールされる。また、絶縁碍
子５４とホルダー６２の間はＯリング９２によって絶縁
ガスがシールされる。

【００３８】ホルダー６２には、絶縁ガスの圧力低下を
検出する圧力センサ（図示せず）を設けてある。絶縁ガ
スの封入圧力は、ゲージ圧で１．５気圧としてあるが、
ゲージ圧で０．４気圧まで圧力が下がったときに、これ
を圧力センサで検出するようにしている。ガスの圧力低
下が検出されたら、供給弁７８から絶縁ガスを供給でき
る。

【００３９】ホルダー６２のフランジ部７４には４等配
で切り欠きがあり、取付フランジ１７における対応箇所
には貫通孔があいている。この貫通孔にボルトを通すこ
とによって、取付フランジ１７を管壁７０に固定でき
る。

【００４０】絶縁碍子５４の端面に固着された真空側端
子６０は、二個のフィラメント端子と、二個のバイアス
端子とからなる。二個のフィラメント端子はＸ線管の電
子銃のフィラメントに接続される。二個のバイアス端子
は互いに短絡されて、電子ビームを集束するためのウェ
ーネルト電極に接続される。これらの真空側端子６０の
先端には雌ねじが切ってあり、この雌ねじに接続線を接
続できる。各端子の電位の一例を示すと、フィラメント
端子にはアースに対して−６０ｋＶが印加され、フィラ
メント端子間には２６Ｖの電圧が印加され、バイアス端
子にはフィラメント端子に対して−７６０Ｖのバイアス
電圧が印加される。

【００４１】大気側端子６８は、中央のバイアス端子
と、その外側の二つの環状のフィラメント端子からな
る。これらの大気側端子６８を取り囲むように、環状の
コロナリング９４がケーブルポスト５６に埋め込まれて
いる。このコロナリング９４はコロナ放電を防止してい
る。このコロナリング９４がないと、大気側端子６８の
エッジ部とスペーサ管のエッジ部との間でコロナ放電が
生じる恐れがある。このコロナリング９４は、放電抑制
回路６４も取り囲むようにケーブルポスト５６の軸方向
に延びている。このコロナリング９４はフィラメント電
位となっている。

【００４２】次に、この高電圧ブッシングの機能を説明
する。真空側端子６０と、これにつながる接続端子６６
は、取付フランジ１７に対して、絶縁碍子５４によって
絶縁されている。絶縁碍子５４の外面は、真空空間に露
出しているので外面での絶縁耐圧は非常に高い。また、
絶縁碍子５４の内面は絶縁ガスに覆われているので、こ
の内面での絶縁耐圧も非常に高い。

【００４３】この高電圧ブッシングは、電子銃からの伝
導熱が真空側端子６０を伝わることによって加熱され
る。真空側端子６０で電子銃を機械的に支持した場合の
温度上昇の一例を示すと、真空側端子６０の端部で３０
０℃、接続端子６６のところで１２０℃、ホルダー６２
のフランジ部７４で５０℃である。この高電圧ブッシン
グは、絶縁碍子５４とケーブルポスト５６の間の絶縁流
体として、油を使わずに絶縁ガスを使っているので、絶
縁流体の温度上昇に伴う問題が少ない。

【００４４】すなわち、ガスは圧縮性流体であるから、
絶縁ガスの温度が上昇してこれが熱膨張しても、ガスの
圧力上昇に置き代わるだけであり、その圧力上昇も大し
たことはない。したがって、油の場合のように容積を大
きくする必要はなく、絶縁ガスの封入容積は少なくて済
む。また、油の場合のような熱膨張吸収装置も必要では
ない。したがって、絶縁ガスを採用することにより、高
電圧ブッシングの小型化に大きく寄与している。この実
施形態では、絶縁ガスの封入空間５８の厚さは約２ｍｍ
である。

【００４５】この高電圧ブッシングでは、熱伝導を良好
にすることにより、電子銃から伝わってくる熱をホルダ
ー６２を介して冷却水に逃がすようにしている。すなわ
ち、ケーブルポスト５６のモールド樹脂には、電気絶縁
性が良好でかつ熱伝導も良好なアルミナセラミックスの
微粒子を混入してあるので、真空側端子６０に伝わった
熱は、ケーブルポスト５６を介してホルダー６２に伝わ
り易い。また、絶縁碍子５４は熱伝導良好なアルミナセ
ラミックスで形成されているので、この絶縁碍子５４を
介しても、ホルダー６２に熱を逃がすことができる。

【００４６】このような構成により、高電圧ブッシング
の温度上昇を抑制できる。もし、このような工夫をせず
に温度上昇が大きくなると、ブッシングのモールド樹脂
や、高電圧ケーブルの接続部のゴムなどに悪影響を及ぼ
すことになる。以上説明したように、この高電圧ブッシ
ングでは冷却能力を高めてあるので、真空側端子６０で
直接、電子銃組立体を機械的に支持することが可能であ
る。

【００４７】図５は、図１の回転対陰極Ｘ線管１と、縦
型ゴニオメータ９８を有するＸ線ディフラクトメータと
を組み合わせた状態を示す側面図である。縦型ゴニオメ
ータ９８は水平な回転軸線を備え、この回転軸線の回り
を、２θ回転台１００と試料台１０２が２対１の角速度
比で回転する。試料１０４は、その表面を回転軸線が通
過するように、試料台１０２に取り付けられる。２θ回
転台１００には検出器アーム１０６が固定され、この検
出器アーム１０６に受光スリット１１０とＸ線検出器１
０８が固定される。回転対陰極Ｘ線管１の焦点９６から
縦型ゴニオメータ９８の回転中心までの距離すなわちゴ
ニオメータ半径Ｒは１８５ｍｍである。縦型ゴニオメー
タ９８の回転中心から受光スリット１１０までの距離も
Ｒに等しい。天板２の上面から、縦型ゴニオメータ９８
の回転中心までの高さＨは３００ｍｍである。

【００４８】このような構造のゴニオメータと回転対陰
極Ｘ線管１とを組み合わせる場合、縦型ゴニオメータ９
８の回転中心に向かってＸ線ビームが正しく照射される
ように、回転対陰極Ｘ線管１を設置する必要がある。同
Ｘ線管１の焦点９６からは、水平面に対して上方に約６
度の角度でＸ線ビーム３４が取り出されるので、Ｘ線ビ
ーム３４が焦点９６から１８５ｍｍ進んだときには、焦
点９６よりも約２０ｍｍだけ高い位置にＸ線ビームが到
達する。したがって、焦点９６の高さＨ１が、縦型ゴニ
オメータ９８の回転中心の高さＨ２よりも２０ｍｍだけ
低い位置となるようにしておけばよい。

【００４９】この実施形態の回転対陰極Ｘ線管１の場
合、天板２の上面から対陰極の焦点９６までの高さＨ１
は２８０ｍｍであり、回転中心までの高さＨ２が３００
ｍｍの縦型ゴニオメータ９８と適合する。換言すれば、
卓上型の回転対陰極Ｘ線管１を製作するには、ターボ分
子ポンプを据付面の上方に固定しても焦点９６の高さＨ
１が２８０ｍｍを越えないように工夫する必要がある。

【００５０】また、Ｘ線管のケーシング１０の高さも問
題になる。試料１０４からの回析Ｘ線１１２の回析角度
２θを大きくしていくと、検出器アーム１０６や、これ
に搭載されているスリットボックスやＸ線検出器１０８
が、Ｘ線管に衝突する恐れがある。Ｘ線ディフラクトメ
ータの性能としては回析角度２θはできるだけ広角側ま
で検出できた方がよい。そこで、この実施形態の回転対
陰極Ｘ線管１では、まず、ケーシング１０の上面までの
高さＨ３を３４０ｍｍまで短縮している。

【００５１】さらに、ケーシング１０の上面に傾斜面５
０を設けて、検出器アーム１０６などがケーシング１０
の上面に衝突しない限界の回析角度２θをできるだけ広
げるようにしている。その結果、この実施形態では、回
析角度２θの最大検出角度は１５４度となった。Ｘ線焦
点９６（すなわち対陰極の上面位置）の上方には電子銃
を配置する必要があるので、現在のところ、高さＨ３を
短縮するのはこれが限界である。なお、上述のように、
高電圧ブッシングとして絶縁ガスを封入したタイプを開
発して、これを利用しているので、高電圧ブッシングの
外径寸法を小さくすることが可能になっており、これ
が、高さＨ３を短縮するのに役立っている。

【００５２】回転対陰極Ｘ線管１の左側に縦型ゴニオメ
ータを配置する場合には、ケーシング１０の左側の傾斜
面４８が回析角度２θの最大検出角度を広角側に広げる
のに役立つ。

【００５３】上述のＨ１の数値は、Ｘ線取り出し角を０
度から１２度までの範囲内にすることを考慮して、２６
０〜３００ｍｍにするのが適当である。また、上述のＨ
３の値は、３５０ｍｍ以下が適当である。

【００５４】図６は、図１に示す回転対陰極Ｘ線管１の
姿勢を変更した状態を示す斜視図である。この姿勢で
は、回転対陰極２４の回転軸線は鉛直になっている。こ
の姿勢にするには、図１のボルト２８を取り外してか
ら、第１ケーシング１２の側面に支持ブロック１１４を
ボルト１１６で固定する。そして、この支持ブロック１
１４の底面をボルト１１８で天板２に固定する。このよ
うな姿勢にすると、高電圧ブッシング１６と対陰極支持
体１８とターボ分子ポンプ２０はケーシング１０の上側
に来る。この姿勢においては、ケーシング１０の据付面
は、支持ブロック１１４の底面となる。

【００５５】回転対陰極２４の周面上の焦点１２４は鉛
直面内にあり、鉛直方向に細長い断面を有するラインフ
ォーカスのＸ線ビーム１２０、１２２がＸ線取り出し窓
から水平に取り出される。この場合、ポイントフォーカ
スのＸ線ビームを取り出すＸ線取り出し窓は第１ケーシ
ング１２の下側に位置するので、この窓は使用しない。

【００５６】図７は、図６に示す姿勢の回転対陰極Ｘ線
管１において、ターボ分子ポンプ２０をケーシングの下
側に配置した状態を示す斜視図である。このような姿勢
にするには、図６において、まず、Ｘ線管を大気に開放
してから、ボルト３０を取り外して第２ケーシング１４
を第１ケーシング１２から取り外す。次に、第２ケーシ
ング１４の上下をひっくり返して、再び、第２ケーシン
グ１４を第１ケーシング１２にボルト３０で固定する。
これにより、ターボ分子ポンプ２０の固定された側が下
側にくる。

【００５７】図８は、図６に示す姿勢の回転対陰極Ｘ線
管１と横型ゴニオメータ１２６とを組み合わせた状態を
示す平面図である。横型ゴニオメータ１２６の構成は、
基本的に図５に示した縦型ゴニオメータ９８の構造と同
じである。ただ、ゴニオメータの回転軸線が鉛直に配置
されていることが異なっている。したがって、横型ゴニ
オメータ１２６の焦点円は水平面内にある。Ｘ線管の焦
点１２４から横型ゴニオメータ１２６の回転中心までの
距離Ｒは１８５ｍｍである。図６に示す姿勢の回転対陰
極の場合、ラインフォーカスのＸ線ビーム１２０は焦点
１２４から水平に放射されるので、図８において、天板
から焦点１２４までの高さと、天板から横型ゴニオメー
タ１２６の焦点円までの高さは等しくすればよい。横型
ゴニオメータ１２６の場合、天板から焦点円までの高さ
は３００ｍｍに設定してあるのが一般的であるから、焦
点１２４の高さが３００ｍｍになるように、図６の支持
ブロック１１４の高さを設定してある。この横型ゴニオ
メータ１２６の２θの最大検出角度は、図５の場合と同
様に１５４度になる。

【００５８】次に、天板２の構造について図９〜図１１
を主に参照して詳細に説明する。図９に示すように、天
板２は上面板２０１と下面板２０２の間にハニカム形状
のコア部材２０３を挟んだ構造をしている。上面板２０
１および下面板２０２は、剛性が高く高強度の金属板
（例えば、鋼板，ステンレス板）により形成することが
好ましい。また、コア部材２０３は、例えば薄肉の鋼板
を折り曲げ、適宜溶接または接着することによりハニカ
ム形状としてあり、上端を上面板２０１の下面に、下端
を下面板２０２にそれぞれ溶接または接着してある。

【００５９】このようなハニカム形状のコア部材２０３
を介在させることにより、上面板２０１，下面板２０２
を薄肉形状としても充分な剛性および強度を確保するこ
とができ、その結果、天板２の軽量化を図ることが可能
になる。しかも、ハニカム形状のコア部材２０３が、上
面板２０１に据え付けられる回転対陰極Ｘ線管１やゴニ
オメータ等の機材から生ずる振動を吸収するため、Ｘ線
回折測定の高精度化を実現することができる。

【００６０】上面板２０１には、多数のねじ孔２０４が
一定の間隔で碁盤目状に穿設してある。これらのねじ孔
２０４は、回転対陰極Ｘ線管１の据え付け用に用いるボ
ルト２８が螺合する形状になっており、所要の位置に形
成した四個のねじ孔２０４を利用して、それらのねじ孔
２０４にボルト２８を螺合することで、回転対陰極Ｘ線
管１を固定することができる。さらに、Ｘ線ディフラク
トメータを構成する他の機材、例えばゴニオメータやＸ
線検出器も、同様のボルト２８を使用して上面板２０１
における所要位置のねじ孔２０４に固定することができ
る。

【００６１】これら、回転対陰極Ｘ線管１，ゴニオメー
タ，Ｘ線検出器等の天板２上でのレイアウトは、測定内
容に応じて自由に変更することができる。そのレイアウ
ト変更は、ボルト２８を螺合するねじ孔２０４を変える
だけなので、ユーザにも手軽に行なうことができる。な
お、このような据付け自由度の拡大およびレイアウト変
更の容易化は、天板２の任意位置に多数のねじ孔２０４
を穿設することで実現できるため、例えば、一枚の鋼板
で形成した天板２であってもその目的は達成することが
できる。

【００６２】上記のように上面板２０１に多数のねじ孔
２０４を穿設した場合、ボルト２８を螺合していないね
じ孔２０４を介してコア部材２０３の内部が外部と連通
することになるため、外気の水分等がコア部材２０３の
内部で結露し、同部材２０３を腐食させるおそれがあ
る。そこで、この実施形態では、図１０および図１１に
示すように、上面板２０１の下面に各ねじ孔２０４の周
縁部から下方に垂下するように、有底円筒状のキャップ
部材２０５を取り付けてある。これによりキャップ部材
２０５が隔壁を形成して、コア部材２０３の内部を外部
から遮蔽するので、外気水分等の侵入を防止することが
できる。

【００６３】次に、上述したＸ線発生装置の組立方法に
ついて、図１２および図１３を主に参照して説明する。
天板２を支持する架台（支持部材）３には、複数個所に
ボルト３０６を挿入する取付孔３０２，３０３が穿設し
てある。そのうち、三角形の頂点となる三個所（例え
ば、図１２のａで示す個所）を仮止め個所とし、他の個
所（例えば、同図のｂで示す個所）を本止め個所とす
る。そして、本止め個所ｂの近傍には、さらにボルト３
０４を螺合できるねじ孔３０５が穿設してある。また、
天板２の下面板２０２において、上記仮止め個所ａおよ
び本止め個所ｂに対応する部位にもボルト３０６を螺合
するねじ孔３０７が穿設してある。

【００６４】まず、本止め個所ｂの近傍に穿設したねじ
孔３０５に、天板２を配設する側（上面側）の開口から
ボルト３０４を捩じ込んでおく。次いで、架台３の上方
に天板２を配置し、仮止め個所ａに穿設した取付孔３０
２に、架台３の下面側の開口からボルト３０６を挿入
し、かつ対向する下面板２０２のねじ孔３０７に該ボル
ト３０６を螺合することにより、下面板２０２を架台３
に仮止めする。このとき、仮止め個所ａにおける架台３
と下面板２０２との間に適宜の高さをしたスペーサ３０
８を介在させておく。このスペーサ３０８によって架台
３と下面板２０２との間には、先に捩じ込んだボルト３
０４を上下させることのできる隙間が形成される。仮止
め個所ａは、三個所としてあるので、平面を無理なく支
持するのに好適ないわゆる三点支持となり、たとえ仮止
め個所ａの高さ寸法に誤差があっても、下面板２０２を
変形させることがない。したがって、下面板２０２は平
面性を維持したままの状態で架台３に仮止めされる。

【００６５】次いで、本止め個所ｂの近傍に捩じ込んで
あるボルト３０４の高さを調整し、該ボルト３０４の頭
部を下面板２０２に接触させることにより、仮止めの状
態のままで（すなわち、平面性を維持したままで）、本
止め個所ｂの近傍に対向する部位をボルト３０４によっ
て下方から支持する。このとき、ボルト３０４をあまり
強く下面板２０２に押し当てると、その圧力によって下
面板２０２が変形してしまうおそれがあるので注意を要
する。

【００６６】その後、本止め個所ｂに穿設した取付孔３
０３に、架台３の下面側の開口からボルト３０６を挿入
し、かつ対向する下面板２０２のねじ孔３０７に該ボル
ト３０６を螺合することにより、下面板２０２を架台３
に本止めする。このとき、架台３における本止め個所ｂ
の高さ寸法に誤差があっても、本止め個所ｂの近傍でボ
ルト３０４が下面板２０２を支持しているので、下面板
２０２を変形させるようなことがない。以上の手順によ
って、下面板２０２の平面性を維持したまま、天板２を
架台３に固定することができる。このようにして固定し
た天板２の所要位置に、ボルト２８を用いて回転対陰極
Ｘ線管１を固定すれば、この実施形態に示したＸ線発生
装置の組み立てが完了する。

【００６７】

【発明の効果】この発明の回転対陰極Ｘ線管は、ケーシ
ングの据付面を含む平面の一方の側だけに、ケーシング
と高電圧ブッシングと排気ポンプと対陰極支持体とを配
置したので、据付箇所に貫通孔を形成することなく回転
対陰極Ｘ線管を据付箇所に載せることができ、卓上型の
回転対陰極Ｘ線管１となる。したがって、回転対陰極Ｘ
線管の設置位置に制約がなく、移動も簡単である。ま
た、四角柱の形状をしたケーシングの一つの側面だけ
に、高電圧ブッシングと対陰極支持体と排気ポンプを固
定するようにしたので、回転対陰極の回転軸線を据付面
に平行と垂直の間で切り換えるには、ケーシングの姿勢
を変更するだけで済む。さらに、据付面から対陰極の焦
点までの高さを特定の値にすることにより、既存のＸ線
ディフラクトメータのゴニオメータと卓上型の同転対陰
極Ｘ線管とを組み合わせることができる。さらに、据付
面からケーシングの上面までの高さをできるだけ低くし
て、かつ、この上面に傾斜面を形成することにより、ゴ
ニオメータの広角側の測定限界を広げることができる。
また、この発明のＸ線発生装置によれば、天板に設けた
多数のねじ孔のいずれかを用いて任意の位置に回転対陰
極Ｘ線管を据え付けることができるとともに、同Ｘ線管
を固定するためのねじ孔を変更するだけで、容易に回転
対陰極Ｘ線管の据付け位置を変更することができる。さ
らに、この発明のＸ線発生装置の組立方法によれば、天
板の平面性を確保しながら容易にＸ線発生装置を組み立
てることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明のＸ線発生装置の一実施形態について
概略的な外観を示す斜視図である。

【図２】図１に示すＸ線発生装置の正面断面図と平面断
面図である。

【図３】図１に示すＸ線発生装置の側面図である。

【図４】高電圧ブッシングの縦断面図である。

【図５】回転対陰極Ｘ線管と縦型ゴニオメータの組み合
わせを示す側面図である。

【図６】図１に示す回転対陰極Ｘ線管の姿勢を変更した
状態を示す斜視図である。

【図７】図６に示す姿勢の回転対陰極Ｘ線管において、
ターボ分子ポンプをケーシングの下側に配置した状態を
示す斜視図である。

【図８】図６に示す姿勢の回転対陰極Ｘ線管と横型ゴニ
オメータの組み合わせを示す平面図である。

【図９】図１に示す天板の構成を一部切欠いて示す斜視
図である。

【図１０】図９に示す天板の一部を拡大して下方から示
す断面図である。

【図１１】図９に示す天板の一部を拡大して示す縦断面
図である。

【図１２】図１に示す架台の平面図である。

【図１３】図１２に示す架台に図９に示す天板を固定下
状態を一部拡大して示す縦断面図である。

【符号の説明】

１：回転対陰極Ｘ線管 ２：天板 ３：架台（支持部材） １０：ケーシング １２：第１ケーシング １４：第２ケーシング １６：高電圧ブッシング １８：対陰極支持体 ２０：ターボ分子ポンプ ２２：電子銃 ２４：回転対陰極 ２６：天板 ３２，３４：ラインフォーカスのＸ線ビーム ３６：ポイントフォーカスのＸ線ビーム ４０：フィラメント ４２，４４，４６：取り出し窓 ４８，５０：傾斜面 ９８：縦型ゴニオメータ １２６：横型ゴニオメータ ２０１：上面板 ２０２：下面板 ２０３：コア部材 ２０４：ねじ孔 ２０５：キャップ部材 ３０１：ボルト ３０２，３０３：取付孔 ３０４：ボルト ３０５：ねじ孔 ３０６：ボルト ３０７：ねじ孔 ３０８：スペーサ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高橋 孝明 東京都昭島市松原町３−９−12 理学電機 株式会社内

Claims (19)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電子を放出するフィラメントと、フィラ
   メントに対向して配置された回転対陰極と、フィラメン
   トと回転対陰極を気密に格納するケーシングと、フィラ
   メントに高電圧を印加するための高電圧ブッシングと、
   ケーシングの内部を排気する排気ポンプと、回転対陰極
   を回転駆動する駆動機構を内蔵した対陰極支持体とを備
   える回転対陰極Ｘ線管において、 Ｘ線管を据付場所に据え付けるための据付面がケーシン
   グに設けられていて、この据付面を含む平面の一方の側
   だけに、ケーシングと高電圧ブッシングと排気ポンプと
   対陰極支持体とが配置されていることを特徴とする回転
   対陰極Ｘ線管。
2. 【請求項２】 請求項１記載の回転対陰極Ｘ線管におい
   て、前記回転対陰極の回転軸線が前記据付面に平行に配
   置され、前記据付面に近い方から順に、排気ポンプと対
   陰極支持体と高電圧ブッシングがケーシングに取り付け
   られ、据付面とは反対の側の対陰極面上に焦点が形成さ
   れることを特徴とする回転対陰極Ｘ線管。
3. 【請求項３】 請求項２記載の回転対陰極Ｘ線管におい
   て、前記据付面から回転対陰極の焦点までの高さが２６
   ０〜３００ｍｍの範囲内にあることを特徴とする回転対
   陰極Ｘ線管。
4. 【請求項４】 請求項３記載の回転対陰極Ｘ線管におい
   て、前記据付面からケーシングの最も遠い面までの距離
   が３５０ｍｍ以内であることを特徴とする回転陰極Ｘ線
   管。
5. 【請求項５】 請求項１記載の回転対陰極Ｘ線管におい
   て、前記ケーシングが四角柱の形状にされ、排気ポンプ
   と対陰極支持体と高電圧ブッシングの全てが前記四角柱
   の一つの側面だけに取り付けられることを特徴とする回
   転対陰極Ｘ線管。
6. 【請求項６】 請求項５記載の回転対陰極Ｘ線管におい
   て、前記四角柱の前記一つの側面以外の三つの側面のそ
   れぞれにＸ線取り出し窓が設けられていることを特徴と
   する回転対陰極Ｘ線管。
7. 【請求項７】 請求項５記載の回転対陰極Ｘ線管におい
   て、前記据付面からケーシングの最も遠い面に、回転対
   陰極の回転軸線に平行な二つの傾斜面が形成され、これ
   によりケーシングの端部に山形が形成されることを特徴
   とする回転対陰極Ｘ線管。
8. 【請求項８】 請求項１記載の回転対陰極Ｘ線管におい
   て、前記排気ポンプはターボ分子ポンプであり、このポ
   ンプの回転軸線は回転対陰極の回転軸線と平行であるこ
   とを特徴とする回転対陰極Ｘ線管。
9. 【請求項９】 請求項８記載の回転対陰極Ｘ線管におい
   て、前記ターボ分子ポンプの排気口径が８０〜１２０ｍ
   ｍの範囲内にあることを特徴とする回転対陰極Ｘ線管。
10. 【請求項１０】 請求項１記載の回転対陰極Ｘ線管にお
    いて、前記回転対陰極の回転軸線が前記据付面に垂直に
    配置され、据付面に垂直な対陰極面上に焦点が形成され
    ることを特徴とする回転対陰極Ｘ線管。
11. 【請求項１１】 請求項１０記載の回転対陰極Ｘ線管に
    おいて、前記据付面から回転対陰極の焦点までの高さが
    約３００ｍｍであることを特徴とする回転対陰極Ｘ線
    管。
12. 【請求項１２】 請求項１記載の回転対陰極Ｘ線管にお
    いて、前記高電圧ブッシングに絶縁ガスが封入されてい
    ることを特徴とする回転対陰極Ｘ線管。
13. 【請求項１３】 請求項１２記載の回転対陰極Ｘ線管に
    おいて、前記高電圧ブッシングの最大外径寸法が９０ｍ
    ｍ以下であることを特徴とする回転対陰極Ｘ線管。
14. 【請求項１４】 請求項１２記載の回転対陰極Ｘ線管に
    おいて、前記高電圧ブッシングが、Ｘ線管に取り付ける
    ための取付部と、Ｘ線管の電子銃に電気的に接続される
    真空側端子と、高電圧ケーブルの電極に電気的に接続さ
    れる大気側端子と、真空側端子と大気側端子との間を電
    気的に接続する接続導体と、真空側端子と接続導体と大
    気側端子とからなる導電体を取付部に対して気密封止可
    能に電気的に絶縁する絶縁部材とを備え、この絶縁部材
    が、真空側に露出する真空側絶縁部材と、大気側に露出
    する大気側絶縁部材とを備えていて、真空側絶縁部材と
    大気側絶縁部材との間の空間に絶縁ガスが封入され、前
    記大気側絶縁部材はモールド樹脂で形成されていて、こ
    のモールド樹脂の内部に放電抑制回路が埋め込まれてい
    ることを特徴とする回転対陰極Ｘ線管。
15. 【請求項１５】 請求項１乃至１４のいずれか一項に記
    載の回転対陰極Ｘ線管と、この回転対陰極Ｘ線管を据え
    付ける天板と、この天板を支持する支持部材とを備えた
    Ｘ線発生装置であって、 前記天板における任意の多数位置にねじ孔をあらかじめ
    設けておくとともに、該ねじ孔のいずれかを用いて前記
    回転対陰極Ｘ線管を天板上の所要位置に固定することを
    特徴とするＸ線発生装置。
16. 【請求項１６】 請求項１５記載のＸ線発生装置におい
    て、前記天板は、前記ねじ孔を設けた上面板と、前記支
    持部材に固定する下面板と、これら上面板および下面板
    の間に配設したハニカム形状のコア部材とを備えている
    ことを特徴とするＸ線発生装置。
17. 【請求項１７】 請求項１６記載のＸ線発生装置におい
    て、前記上面板の下面に前記各ねじ孔の周縁部から下方
    に垂下する有底筒状のキャップ部材を取り付けたことを
    特徴とするＸ線発生装置。
18. 【請求項１８】 前記天板の下面板をボルトを用いて前
    記支持部材の仮止め個所および本止め個所に固定するよ
    うにした請求項１６記載のＸ線発生装置において、前記
    支持部材の本止め個所の近傍にボルトを捩じ込んでおく
    工程と、前記仮止め個所で、支持部材と下面板とをスペ
    ーサを介してボルト固定することにより一定の間隔をあ
    けて仮止めする工程と、前記本止め個所の近傍に捩じ込
    んだボルトの高さを調整して該ボルトによって前記下面
    板を支持する工程と、前記本止め個所で、支持部材と下
    面板とをボルト固定する工程と、前記天板の上面板に設
    けたいずれかのねじ孔を用いて前記回転対陰極Ｘ線管を
    天板上の所要位置に固定する工程とを含むことを特徴と
    するＸ線発生装置の組立方法。
19. 【請求項１９】 前記仮止めする工程において、三角形
    の頂点となる任意の三個所に設定した仮止め個所で支持
    部材と下面板とを仮止めすることを特徴とする請求項１
    ８記載のＸ線発生装置の組立方法。