KR20010040658A - X선관, x선 발생 장치 및 검사 시스템 - Google Patents
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Abstract
Description
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- X선을 출사하는 X선관에 있어서,상기 X선의 출사창을 갖는 선단면을 가지며, 상기 선단면의 상기 출사창의 주변에 상기 X선의 출사 방향에 대하여 경사진 테이퍼면이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 X선관.
- 제 1 항에 있어서, 상기 테이퍼면은 상기 출사창을 중심으로 하여 그 양측에 대칭적으로 두 개 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 X선관.
- 제 2 항에 있어서, 상기 두 개의 테이퍼면은 상기 X선의 출사 방향에 대하여 동일 각도로 경사져 있는 것을 특징으로 하는 X선관.
- 피검사물을 향하여 X선을 출사하여 상기 피검사물을 투과하는 X선을 검출하는 것에 의해 상기 피검사물의 상태를 검사하는 검사 시스템으로서 상기 X선의 출사 방향에 대하여 교차하는 축을 중심으로 상기 피검사물의 방향을 조절 가능한 검사 시스템에 사용되는 X선관에 있어서,상기 피검사물에 대향하는 선단면에 상기 X선의 출사창을 가지며, 상기 선단면의 상기 출사창의 주변에 상기 X선의 출사 방향에 대하여 경사지며, 또한 상기 축과 평행한 테이퍼면이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 X선관.
- X선을 출사하는 X선 출사 수단을 구비한 X선 발생 장치에 있어서,상기 X선 출사 수단은 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 기재된 X선관인 것을 특징으로 하는 X선 발생 장치.
- X선을 출사하는 X선 출사 수단을 구비한 X선 발생 장치에 있어서,구성 부품을 수용하는 케이스를 구비하며,상기 X선 출사 수단의 출사창이 설치되는 상기 케이스의 표면에, 상기 X선의 출사 방향에 대하여 경사진 테이퍼면이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 X선 발생 장치.
- 제 6 항에 있어서, 상기 케이스의 상기 표면의 한쪽에 치우치는 위치에 상기 출사창이 설치되며, 상기 표면의 다른쪽에 상기 테이퍼면이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 X선 발생 장치.
- 제 6 항에 있어서, 상기 테이퍼면은 상기 출사창을 중심으로 하여 그 양측에 대칭적으로 두 개 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 X선 발생 장치.
- 제 8 항에 있어서, 상기 두개의 테이퍼면은 상기 X선의 출사 방향에 대하여 동일 각도로 경사져 있는 것을 특징으로 하는 X선 발생 장치.
- X선을 피검사물에 조사하며, 상기 피검사물을 투과하는 X선을 검출하는 것에 의해 상기 피검사물의 상태를 검사하는 검사 시스템에 있어서,상기 X선을 출사하는 제 5 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 기재된 X선 발생 장치와,상기 피검사물을 상기 X선의 출사 방향에 대하여 교차하는 축을 중심으로 회전 작동시키는 회전 작동 수단과,상기 X선의 출사 방향에서 상기 피검사물의 후방에 배치되어 상기 피검사물을 투과하는 상기 X선을 검출하는 X선 검출 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 검사 시스템.
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