JP2008309676A - 検査システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1の検査セットは、電界放射型電子エミッタと、X線検出器と、を含み、材料検査に用いる。第2の検査セットは、陽極先端部の半径方向外側を環状に囲む電界放射型の環状電子エミッタと、環状電子エミッタのX線照射方向両側位置に配置された電子遮蔽部材と、を備え、X線検査に用いる。
【選択図】図1
Description
図1を参照して、この検査システムは、材料検査を行うために、検査セット1と、撮像カメラセット3と、これらセット1,3を検査対象部位にまで搬送する搬送ロボット5と、制御コンピュータ7と、を備えて構成されている。
図5ないし図9に本発明の実施の形態2に係る検査システムを示す。これらの図で図1ないし図4と対応ないし類似する部分には同一の符号を付している。図5は図2に対応する実施の形態2の検査システムの構成を示す図、図6はX線管の断面図、図7はX線管の要部の外観を拡大して示す図である。図8はX線管の動作を説明するための図、図9はX線管から照射するX線の直径を可変にする構成を示す図である。実施の形態2では、X線検査のため、放射線源がX線を照射するX線管により構成されている。
3 撮像カメラセット
5 搬送ロボット
5a 搭載台
5b 前輪
5c 後輪
7 制御コンピュータ
9 壁面
10 電磁石式吸着部材
11 通信/電源ケーブル
13 検査対象
15 放射線源
17 X線検出器
19 真空空間
21 密封装置
23 真空排気装置
24 排水装置
25 電源
27 真空シール
28 軸状陽極
29 環状電子エミッタ
31 電子遮蔽部材
Claims (12)
- 搬送ロボットに搭載されて移動制御が可能な検査セットと、遠隔位置から検査セットの操作を制御する制御コンピュータとを含み、
上記検査セットは、放射線源としての電界放射型電子エミッタと、X線検出器とを備え、
検査に際しては上記検査セットを密封装置により検査対象と共に同一真空空間に密封制御可能とした、ことを特徴とする検査システム。 - 上記電界放射型電子エミッタは、陰極表面に電界放射により電子線を放射線として放出するナノ炭素膜を設けてなるものである、ことを特徴とする請求項1に記載の検査システム。
- 搬送ロボットに搭載されて移動制御が可能な検査セットと、遠隔位置から検査セットの操作を制御する制御コンピュータとを含み、
上記検査セットは、真空管内部に、X線照射方向線上に錐形に延びる陽極先端部と、この陽極先端部を環状に囲む電界放射型の環状電子エミッタと、上記環状電子エミッタに対して少なくともそのX線照射方向後方位置に配置された電子遮蔽部材とを備え、陽極先端部前方の真空管の管壁にX線透過可能な薄膜からなるX線導出窓を備えた、ことを特徴とする検査システム。 - 上記環状電子エミッタは、環状陰極表面に電界放射により電子線を放射線として放出するナノ炭素膜を設けてなるものである、ことを特徴とする請求項3に記載の検査システム。
- 上記陽極先端部後部に導熱部を備えた、ことを特徴とする請求項3に記載の検査システム。
- 上記電子遮蔽部材は、X線照射方向周りを環状に配置されている、ことを特徴とする請求項3ないし5のいずれかに記載の検査システム。
- 上記電子遮蔽部材は、環状電子エミッタの内径より小径の内径を有した環状板構造を有する、ことを特徴とする請求項6に記載の検査システム。
- 上記電子遮蔽部材は、環状電子エミッタのX線照射方向両側を該X線照射方向周りを環状に配置されかつ環状電子エミッタの内径より小径の内径を有する一対の環状板部を備える、ことを特徴とする請求項3ないし5のいずれかに記載の検査システム。
- 上記環状電子エミッタと電子遮蔽部材とが一体に上記陽極先端部に対してX線照射方向前後に移動可能になっている、ことを特徴とする請求項3ないし8のいずれかに記載の検査システム。
- 上記検査セットを、検査対象と共に同一空間内に密封装置で覆うと共に該密封装置内部空間の気圧の制御を可能とした、ことを特徴とする請求項3ないし9のいずれかに記載の検査システム。
- 陽極先端部から放射したX線を、検査対象を透過させると共にこの透過したX線(透過X線)を検出する、ことを特徴とする請求項3ないし10のいずれかに記載の検査システム。
- 陽極先端部から放射したX線を検査対象で反射させると共にこの反射したX線(反射X線)を検出する、ことを特徴とする請求項3ないし10のいずれかに記載の検査システム。
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