JP4581824B2 - 粒子線顕微鏡、及び真空分析装置用部材移動機構 - Google Patents
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試料の電子線照射位置の斜め上方に配置された、該試料から放出される二次電子を検出する手段、および試料の電子線照射位置の直上に位置するように前記対物レンズの下部に固定された、該試料から放出される反射電子を検出するための手段からなる第1の検出手段と、
前記試料室内を低真空にした状態で試料から放出される二次電子を検出するための第2の検出手段の構成要素である電極と、
前記試料室の外部からの操作に応じて、前記対物レンズと前記試料との間で該試料の電子線照射位置の上方となる位置と、前記第1の検出手段による検出の妨げとならない位置との間で、前記電極を移動させる移動手段と、
前記試料の前記電子線照射位置から放出された固有X線を検出するX線検出器と、
を備えるとともに、前記電極は前記対物レンズと前記試料との間で該試料の電子線照射位置の上方となる位置において前記X線検出器により検出される前記固有X線の通過部分の周囲に欠損部を設けたことを特徴としている。
以下、本発明に係る粒子線顕微鏡の一実施例(実施例1)である走査電子顕微鏡について、図面を参照して説明する。図1は本実施例による走査電子顕微鏡の検出部を中心とする要部の概略構成図、図2はこの走査電子顕微鏡の動作モードを説明するための図である。図1及び図2では、既に説明した図6と同一の構成要素には同一符号を付して詳しい説明を省略する。
次に、本発明の他の実施例(実施例2)による走査電子顕微鏡について図3、図4を参照して説明する。上記実施例1の構成の場合、直線往復動するロッド24はOリング22に接触した状態で摺動する。こうしたシール構造は一般的に利用されてはいるが、走査電子顕微鏡の試料チャンバのようにロッドが大気環境と真空環境とを往復する場合には、次のような問題が起こる場合がある。
(2)直線往復動の場合、Oリングシール面が摺動ストローク全体となるため、摺動の潤滑性を高めるため及びロッド表面の凹凸によるガスリークを防止するために塗布されている真空用グリースが無くなり易く(グリース切れを起こし易く)、摺動不良やガスリークの原因となり易い。
(3)ロッド表面に付着した微小なゴミをロッドの摺動に伴いOリングへと送り込んでしまい、それによってシール不良を起こす場合がある。
(4)上記(2)、(3)のような問題を未然に回避するために、定期的なメインテナンスが必要となる。特に、操作回数の多い場合には注意が必要であり、メインテナンスのために稼働率が低くなるおそれがある。
11…電子線
12…偏向コイル
13…対物レンズ
14…試料ステージ
15…試料
16…電極
161…円形開口部
162…欠損部
17…直流電圧源
20…試料チャンバ
21、201…開口部
22、37…Oリング
23…反射電子検出器
24…ロッド
25…コンデンサ
26…増幅器
27…X線検出器
29…高真空二次電子検出器
30…回転導入機構
31…ハウジング
311…フランジ
32、45…ネジ
33…軸棒
34…ツマミ
35…ピン
36…ストッパ
38…軸
39…平行リンク機構
391…第1リンク
392…第2リンク
393…第3リンク
394…第4リンク
40…歯車機構
401…第1平歯車
402…第2平歯車
41…電極取付ブロック
42…被覆線
43…フィードスルー
44…コネクタ
Claims (3)
- 密閉可能な試料室内で、対物レンズで集束された電子線を試料に照射し、該試料上で該電子線の照射位置を走査することにより該試料から放出された二次電子や反射電子を検出し、その検出信号に基づいて該試料の2次元画像や試料組成に関する情報を取得する走査電子顕微鏡である粒子線顕微鏡において、
試料の電子線照射位置の斜め上方に配置された、該試料から放出される二次電子を検出する手段、および試料の電子線照射位置の直上に位置するように前記対物レンズの下部に固定された、該試料から放出される反射電子を検出するための手段からなる第1の検出手段と、
前記試料室内を低真空にした状態で試料から放出される二次電子を検出するための第2の検出手段の構成要素である電極と、
前記試料室の外部からの操作に応じて、前記対物レンズと前記試料との間で該試料の電子線照射位置の上方となる位置と、前記第1の検出手段による検出の妨げとならない位置との間で、前記電極を移動させる移動手段と、
前記試料の前記電子線照射位置から放出された固有X線を検出するX線検出器と、
を備えるとともに、前記電極は前記対物レンズと前記試料との間で該試料の電子線照射位置の上方となる位置において前記X線検出器により検出される前記固有X線の通過部分の周囲に欠損部を設けたことを特徴とする粒子線顕微鏡。 - 前記第1の検出手段は、前記試料室内を高真空にした状態で試料から放出される二次電子、および低真空から高真空までの範囲において試料から放出される反射電子を検出するための検出器であることを特徴とする請求項1に記載の粒子線顕微鏡。
- 前記移動手段は、
前記試料室の外部に位置する回動操作部と、
該回動操作部の回動操作に伴う回転駆動力を前記試料室内に伝達する軸棒と、
前記試料室内にあって前記軸棒の回転運動を直線運動に変換する駆動力変換部と、
前記軸棒を回動可能としつつ該軸棒の周面と接触して該軸棒周囲における前記試料室内外を連通する空隙を閉塞するシール部と、
を含むことを特徴とする請求項1又は2のいずれかに記載の粒子線顕微鏡。
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WO2016121224A1 (ja) * | 2015-01-30 | 2016-08-04 | 松定プレシジョン株式会社 | 荷電粒子線装置及び走査電子顕微鏡 |
JP6808691B2 (ja) * | 2018-08-09 | 2021-01-06 | 日本電子株式会社 | 試料搬送装置及び電子顕微鏡 |
EP3664121A1 (en) * | 2018-12-05 | 2020-06-10 | ASML Netherlands B.V. | High voltage vacuum feedthrough |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61206147A (ja) * | 1985-03-08 | 1986-09-12 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡用試料交換装置 |
JPS6231932A (ja) * | 1985-08-03 | 1987-02-10 | Shimadzu Corp | 荷電粒子線走査型試料観察装置 |
JPH1040850A (ja) * | 1996-07-22 | 1998-02-13 | Hitachi Ltd | 低真空雰囲気型走査電子顕微鏡 |
JPH11163092A (ja) * | 1997-11-21 | 1999-06-18 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | ワーク直線移動装置 |
JP2001126655A (ja) * | 1999-10-25 | 2001-05-11 | Hitachi Ltd | 走査電子顕微鏡 |
JP2001148232A (ja) * | 2000-09-28 | 2001-05-29 | Hitachi Ltd | 走査形電子顕微鏡 |
JP2001155675A (ja) * | 1999-11-25 | 2001-06-08 | Hitachi Ltd | 走査電子顕微鏡等の低真空二次電子検出装置 |
JP2001338600A (ja) * | 2000-05-26 | 2001-12-07 | Hitachi Ltd | 電子線装置 |
JP2002100316A (ja) * | 2000-09-22 | 2002-04-05 | Jeol Ltd | 低真空走査電子顕微鏡 |
JP2002134055A (ja) * | 2000-10-25 | 2002-05-10 | Hitachi Ltd | 走査電子顕微鏡 |
JP2003014667A (ja) * | 2001-07-05 | 2003-01-15 | Hitachi Ltd | 電子線を用いた観察装置及び観察方法 |
JP2004039453A (ja) * | 2002-07-03 | 2004-02-05 | Seiko Instruments Inc | 微細ステンシル構造修正装置 |
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Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61206147A (ja) * | 1985-03-08 | 1986-09-12 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡用試料交換装置 |
JPS6231932A (ja) * | 1985-08-03 | 1987-02-10 | Shimadzu Corp | 荷電粒子線走査型試料観察装置 |
JPH1040850A (ja) * | 1996-07-22 | 1998-02-13 | Hitachi Ltd | 低真空雰囲気型走査電子顕微鏡 |
JPH11163092A (ja) * | 1997-11-21 | 1999-06-18 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | ワーク直線移動装置 |
JP2001126655A (ja) * | 1999-10-25 | 2001-05-11 | Hitachi Ltd | 走査電子顕微鏡 |
JP2001155675A (ja) * | 1999-11-25 | 2001-06-08 | Hitachi Ltd | 走査電子顕微鏡等の低真空二次電子検出装置 |
JP2001338600A (ja) * | 2000-05-26 | 2001-12-07 | Hitachi Ltd | 電子線装置 |
JP2002100316A (ja) * | 2000-09-22 | 2002-04-05 | Jeol Ltd | 低真空走査電子顕微鏡 |
JP2001148232A (ja) * | 2000-09-28 | 2001-05-29 | Hitachi Ltd | 走査形電子顕微鏡 |
JP2002134055A (ja) * | 2000-10-25 | 2002-05-10 | Hitachi Ltd | 走査電子顕微鏡 |
JP2003014667A (ja) * | 2001-07-05 | 2003-01-15 | Hitachi Ltd | 電子線を用いた観察装置及び観察方法 |
JP2004039453A (ja) * | 2002-07-03 | 2004-02-05 | Seiko Instruments Inc | 微細ステンシル構造修正装置 |
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