CN109387324A - 一种加速器真空等级实时监测系统 - Google Patents
一种加速器真空等级实时监测系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN109387324A CN109387324A CN201710671708.3A CN201710671708A CN109387324A CN 109387324 A CN109387324 A CN 109387324A CN 201710671708 A CN201710671708 A CN 201710671708A CN 109387324 A CN109387324 A CN 109387324A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- vacuum
- accelerator
- monitoring system
- time monitoring
- level real
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L21/00—Vacuum gauges
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
Abstract
本发明涉及一种加速器真空等级实时监测系统,该系统包括真空检测计(1)、三通管(2)以及监测控制器,所述的三通管(2)的三个端口分别连接加速器、真空泵和真空检测计(1),所述的真空检测计(1)连接监测控制器。与现有技术相比,该监测系统结构简单,能够在加速器真空建立过程中实现真空等级的实时全自动监测,提高工作效率。
Description
技术领域
本发明涉及一种加速器监测系统,尤其是涉及一种速器真空等级实时监测系统。
背景技术
目前,在ELEKTA(医科达)加速器重建真空过程中没有实时监测真空的仪器,只能在重建真空12个小时后才能对离子泵进行尝试加电,通过机器的相应参数得知机器腔体内的真空等级。如果腔体有泄漏,真空在12小时后没有达到E-6的等级,离子泵无法工作,机器读数也无反应。如果在重建过程中能得知泄漏情况,这样可以大大的减小了维修时间。
发明内容
本发明的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提供一种加速器真空等级实时监测系统。
本发明的目的可以通过以下技术方案来实现:
一种加速器真空等级实时监测系统,该系统包括真空检测计、三通管以及监测控制器,所述的三通管的三个端口分别连接加速器、真空泵和真空检测计,所述的真空检测计连接监测控制器。
所述的三通管为T型结构的三通管。
三通管中连接真空检测计的端口为凸台状端口,凸台状端口的凸出部设有用于与所述的真空检测计螺纹连接的外螺纹。
所述的凸台状端口的凸出部套设有密封垫圈,所述的密封垫圈高度低于所述的凸出部的高度。
所述的三通管中连接加速器和真空泵的两个端口分别设有用于螺纹连接的内螺纹。
所述的三通管中连接加速器和真空泵的两个端口端部分别设有向外侧凸出的法兰凸缘,所述的法兰凸缘上设有用于将端口与加速器和真空泵连接固定的螺丝孔。
所述的监测控制器包括存储真空检测结果的存储器、用于对真空检测结果进行处理的单片机以及用于显示真空检测结果实时变化曲线的显示屏,所述的真空检测计连接单片机,所述的单片机连接存储器和显示屏。
所述的监测控制器还包括用于真空检测结果异常报警的报警器,所述的报警器连接单片机。
与现有技术相比,本发明具有如下优点:
(1)本发明采用三通管将加速器、真空泵和真空检测计进行连通,从而实现在采用真空泵对加速器建立真空的同时实现真空等级的实时监测,可以随时反映加速器的真空级别,真空等级一旦发生异常,随时可以进行维修,大大减少维修时间;
(2)本发明三通管与真空检测计采用螺纹连接的方式,并采用密封垫圈进行密封,三通管与加速器和真空泵也均采用螺纹连接的方式,也设置的法兰凸缘能够实现加固连接,保证密封性,从而三通管的三个端口均具有很好的密封性能,防止泄漏,提高监测结果的准确性;
(3)本发明采用监测控制器能够实现全自动监测,存储器能够存储整个监测过程中的所有数据,方便查看,同时显示屏也能直观地对监测结果进行显示,报警器能够在真空状态发生异常时进行报警,及时通知维修人员进行维修,大大节约时间,提高工作效率;
(4)本发明结构简单,易于实现。
附图说明
图1为本发明加速器真空等级实时监测系统的结构示意图。
图中,1为真空检测计,2为三通管。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明进行详细说明。
实施例
如图1所示,一种加速器真空等级实时监测系统,该系统包括真空检测计1、三通管2以及监测控制器,三通管2的三个端口分别连接加速器、真空泵和真空检测计1,真空检测计1连接监测控制器。
三通管2为T型结构的三通管。三通管2中连接真空检测计1的端口为凸台状端口,凸台状端口的凸出部设有用于与真空检测计1螺纹连接的外螺纹。凸台状端口的凸出部套设有密封垫圈,密封垫圈高度低于凸出部的高度,保证了密封性。
三通管2中连接加速器和真空泵的两个端口分别设有用于螺纹连接的内螺纹。三通管2中连接加速器和真空泵的两个端口端部分别设有向外侧凸出的法兰凸缘,法兰凸缘上设有用于将端口与加速器和真空泵连接固定的螺丝孔。
监测控制器包括存储真空检测结果的存储器、用于对真空检测结果进行处理的单片机以及用于显示真空检测结果实时变化曲线的显示屏,真空检测计1连接单片机,单片机连接存储器和显示屏。监测控制器还包括用于真空检测结果异常报警的报警器,报警器连接单片机。
本发明加速器真空等级实时监测系统的工作原理:在对加速器建立真空时,通过三通管2将加速器、真空泵和真空检测计1进行连接,实现连通,真空泵对加速器建立真空,同时真空检测计1实时检测真空数据并发送至监测控制器,监测控制器中的存储器能够存储所有监测数据,同时单片机能够控制显示屏显示整个监测过程中的监测数据曲线图,直观可靠,在监测数据发生异常时,如随着时间的推移,真空等级不断下降则说明发生泄漏,此时报警器发出报警信号,维修人员及时进行维修。
Claims (8)
1.一种加速器真空等级实时监测系统,其特征在于,该系统包括真空检测计(1)、三通管(2)以及监测控制器,所述的三通管(2)的三个端口分别连接加速器、真空泵和真空检测计(1),所述的真空检测计(1)连接监测控制器。
2.根据权利要求1所述的一种加速器真空等级实时监测系统,其特征在于,所述的三通管(2)为T型结构的三通管。
3.根据权利要求1或2所述的一种加速器真空等级实时监测系统,其特征在于,三通管(2)中连接真空检测计(1)的端口为凸台状端口,凸台状端口的凸出部设有用于与所述的真空检测计(1)螺纹连接的外螺纹。
4.根据权利要求3所述的一种加速器真空等级实时监测系统,其特征在于,所述的凸台状端口的凸出部套设有密封垫圈,所述的密封垫圈高度低于所述的凸出部的高度。
5.根据权利要求1或2所述的一种加速器真空等级实时监测系统,其特征在于,所述的三通管(2)中连接加速器和真空泵的两个端口分别设有用于螺纹连接的内螺纹。
6.根据权利要求5所述的一种加速器真空等级实时监测系统,其特征在于,所述的三通管(2)中连接加速器和真空泵的两个端口端部分别设有向外侧凸出的法兰凸缘,所述的法兰凸缘上设有用于将端口与加速器和真空泵连接固定的螺丝孔。
7.根据权利要求1所述的一种加速器真空等级实时监测系统,其特征在于,所述的监测控制器包括存储真空检测结果的存储器、用于对真空检测结果进行处理的单片机以及用于显示真空检测结果实时变化曲线的显示屏,所述的真空检测计(1)连接单片机,所述的单片机连接存储器和显示屏。
8.根据权利要求7所述的一种加速器真空等级实时监测系统,其特征在于,所述的监测控制器还包括用于真空检测结果异常报警的报警器,所述的报警器连接单片机。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201710671708.3A CN109387324A (zh) | 2017-08-08 | 2017-08-08 | 一种加速器真空等级实时监测系统 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201710671708.3A CN109387324A (zh) | 2017-08-08 | 2017-08-08 | 一种加速器真空等级实时监测系统 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN109387324A true CN109387324A (zh) | 2019-02-26 |
Family
ID=65414102
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201710671708.3A Pending CN109387324A (zh) | 2017-08-08 | 2017-08-08 | 一种加速器真空等级实时监测系统 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN109387324A (zh) |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH051964A (ja) * | 1991-06-24 | 1993-01-08 | Mitsubishi Electric Corp | 真空リークテスト装置 |
JPH11326103A (ja) * | 1998-05-15 | 1999-11-26 | Canon Inc | 真空度測定方法および測定装置 |
JP2005172611A (ja) * | 2003-12-11 | 2005-06-30 | Jeol Ltd | 荷電粒子線装置および荷電粒子線装置の圧力測定方法 |
KR20070045792A (ko) * | 2005-10-28 | 2007-05-02 | 삼성전자주식회사 | 반도체 제조 설비의 진공 누출 감지 시스템 및 그의 설비인터락 제어 방법 |
CN101858958A (zh) * | 2010-05-20 | 2010-10-13 | 常州市明及电气技术开发有限公司 | 智能型真空断路器在线监测装置及方法 |
CN101902126A (zh) * | 2009-05-25 | 2010-12-01 | 同方威视技术股份有限公司 | 溅射离子泵用电源设备 |
CN203015264U (zh) * | 2012-11-22 | 2013-06-19 | 成都卓程科技有限公司 | 应用于加速器阀门的控制系统 |
CN105517314A (zh) * | 2015-12-01 | 2016-04-20 | 沈阳东软医疗系统有限公司 | 一种直线加速器的加速管真空度检测装置 |
CN207231716U (zh) * | 2017-08-08 | 2018-04-13 | 上海卓亚医疗科技有限公司 | 一种加速器真空等级实时监测系统 |
-
2017
- 2017-08-08 CN CN201710671708.3A patent/CN109387324A/zh active Pending
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH051964A (ja) * | 1991-06-24 | 1993-01-08 | Mitsubishi Electric Corp | 真空リークテスト装置 |
JPH11326103A (ja) * | 1998-05-15 | 1999-11-26 | Canon Inc | 真空度測定方法および測定装置 |
JP2005172611A (ja) * | 2003-12-11 | 2005-06-30 | Jeol Ltd | 荷電粒子線装置および荷電粒子線装置の圧力測定方法 |
KR20070045792A (ko) * | 2005-10-28 | 2007-05-02 | 삼성전자주식회사 | 반도체 제조 설비의 진공 누출 감지 시스템 및 그의 설비인터락 제어 방법 |
CN101902126A (zh) * | 2009-05-25 | 2010-12-01 | 同方威视技术股份有限公司 | 溅射离子泵用电源设备 |
CN101858958A (zh) * | 2010-05-20 | 2010-10-13 | 常州市明及电气技术开发有限公司 | 智能型真空断路器在线监测装置及方法 |
CN203015264U (zh) * | 2012-11-22 | 2013-06-19 | 成都卓程科技有限公司 | 应用于加速器阀门的控制系统 |
CN105517314A (zh) * | 2015-12-01 | 2016-04-20 | 沈阳东软医疗系统有限公司 | 一种直线加速器的加速管真空度检测装置 |
CN207231716U (zh) * | 2017-08-08 | 2018-04-13 | 上海卓亚医疗科技有限公司 | 一种加速器真空等级实时监测系统 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN106894490A (zh) | 一种铁路真空卸污系统 | |
CN203719846U (zh) | 一种提供稳定基准本底指标的气体检漏系统 | |
CN207065102U (zh) | 一种液体泄漏自动探测装置 | |
CN207231716U (zh) | 一种加速器真空等级实时监测系统 | |
CN206184273U (zh) | 一种外压式超滤膜元件的检漏装置 | |
CN104315770A (zh) | 冷媒充注系统及方法 | |
CN108930622A (zh) | 移动式柴油机高压分路压力综合诊断装置和诊断方法 | |
CN208637504U (zh) | 一种包装桶自动抽真空置换装置 | |
CN208579895U (zh) | 一种手套完整性检漏仪 | |
CN109387324A (zh) | 一种加速器真空等级实时监测系统 | |
CN204064578U (zh) | 一种汽车清洗器喷嘴的气密性检测装置 | |
CN105910765A (zh) | 一种飞机真空清水系统气密检查方法 | |
CN208902528U (zh) | 一种压力式盾构刀盘刀具磨损检测装置 | |
CN205940905U (zh) | 一种注液机夹具气密检测装置 | |
CN102496587B (zh) | 晶圆在位检测装置以及晶圆在位检测方法 | |
CN204740110U (zh) | 一种尿素加热管检测装置 | |
CN207741907U (zh) | 一种单向阀气密检测系统 | |
CN202947842U (zh) | 一种压缩机吸气管测漏装置 | |
CN109115617A (zh) | 一种地热管试压检测装置 | |
CN204301931U (zh) | 一种密封法兰漏气检验装置 | |
CN203661766U (zh) | 一种控制阀过滤器 | |
CN104180949A (zh) | 透气阀检测装置 | |
CN220239499U (zh) | 中央集尘清洁吸扫设备智能安全运行系统 | |
CN204142711U (zh) | 有毒气体容器的不停机湿度监测装置 | |
CN105241610A (zh) | 空调室内机的检漏方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination |