JPH11326103A - 真空度測定方法および測定装置 - Google Patents
真空度測定方法および測定装置Info
- Publication number
- JPH11326103A JPH11326103A JP13389798A JP13389798A JPH11326103A JP H11326103 A JPH11326103 A JP H11326103A JP 13389798 A JP13389798 A JP 13389798A JP 13389798 A JP13389798 A JP 13389798A JP H11326103 A JPH11326103 A JP H11326103A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- degree
- measuring
- gauge
- container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 圧縮された気体の真空度を測定し、測定値を
圧縮比で割ることにより真空度を求め、１０-10Ｔｏｒ
ｒ以下の超高真空度を精度よく測定するための真空度測
定方法および測定装置の提供。 【解決手段】 容器内の真空度を測定する方法であっ
て、該容器内の気体を圧縮し、圧縮された気体の真空度
を測定し、該真空度測定値を圧縮比で割ることにより、
真空度を求めることを特徴とする真空度測定方法。
圧縮比で割ることにより真空度を求め、１０-10Ｔｏｒ
ｒ以下の超高真空度を精度よく測定するための真空度測
定方法および測定装置の提供。 【解決手段】 容器内の真空度を測定する方法であっ
て、該容器内の気体を圧縮し、圧縮された気体の真空度
を測定し、該真空度測定値を圧縮比で割ることにより、
真空度を求めることを特徴とする真空度測定方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空容器内の真空
度の測定方法および測定装置、特に、１０-10Ｔｏｒｒ
以下の超高真空度を精度よく測定するための真空度測定
方法および測定装置に関する。
度の測定方法および測定装置、特に、１０-10Ｔｏｒｒ
以下の超高真空度を精度よく測定するための真空度測定
方法および測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、真空電子源を用いる画像形成装置
用表示パネル、高エネルギー物理学研究用・半導体製造
用シンクロトロンなど超高真空度を必要とする装置が開
発され１０-10Ｔｏｒｒ以下の超高真空度の精度の高い
測定方法および測定装置の必要性が高まってきている。
用表示パネル、高エネルギー物理学研究用・半導体製造
用シンクロトロンなど超高真空度を必要とする装置が開
発され１０-10Ｔｏｒｒ以下の超高真空度の精度の高い
測定方法および測定装置の必要性が高まってきている。
【０００３】超高真空度を測定する従来の測定方法およ
び測定装置としては、熱フィラメントから放出された電
子により気体分子をイオン化し、そのイオン電流を測定
することにより真空度を求める熱陰極型真空計が用いら
れている。
び測定装置としては、熱フィラメントから放出された電
子により気体分子をイオン化し、そのイオン電流を測定
することにより真空度を求める熱陰極型真空計が用いら
れている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来例の
真空度測定方法および測定装置では、真空度が１０-10
Ｔｏｒｒ以下の超高真空になってくると熱陰極型真空計
で測定されるイオン電流が極めて小さくなるために、Ｓ
／Ｎ比が低下し、測定精度が低下するような問題があ
る。
真空度測定方法および測定装置では、真空度が１０-10
Ｔｏｒｒ以下の超高真空になってくると熱陰極型真空計
で測定されるイオン電流が極めて小さくなるために、Ｓ
／Ｎ比が低下し、測定精度が低下するような問題があ
る。
【０００５】本発明は、上記に鑑みなされたものであっ
て、その目的は、従来例の問題点を解消し、１０-10Ｔ
ｏｒｒ以下の超高真空度においても良好なＳ／Ｎ比での
測定が可能な、超高真空度の測定方法および測定装置を
提供することにある。
て、その目的は、従来例の問題点を解消し、１０-10Ｔ
ｏｒｒ以下の超高真空度においても良好なＳ／Ｎ比での
測定が可能な、超高真空度の測定方法および測定装置を
提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の課題・目的は、以
下に示す本発明によって解決・達成される。すなわち本
発明は、容器内の真空度を測定する方法であって、該容
器内の気体を圧縮し、圧縮された気体の真空度を測定
し、該真空度測定値を圧縮比で割ることにより、真空度
を求めることを特徴とする、真空度測定方法を開示する
ものである。
下に示す本発明によって解決・達成される。すなわち本
発明は、容器内の真空度を測定する方法であって、該容
器内の気体を圧縮し、圧縮された気体の真空度を測定
し、該真空度測定値を圧縮比で割ることにより、真空度
を求めることを特徴とする、真空度測定方法を開示する
ものである。
【０００７】また本発明は、容器内の真空度を測定する
装置であって、該容器内の気体を圧縮する手段と、圧縮
された気体の真空度を測定する手段と、該真空度測定値
を該圧縮手段の圧縮比で割って真空度を計算する手段と
で構成されてなることを特徴とする真空度測定装置を開
示するものである。
装置であって、該容器内の気体を圧縮する手段と、圧縮
された気体の真空度を測定する手段と、該真空度測定値
を該圧縮手段の圧縮比で割って真空度を計算する手段と
で構成されてなることを特徴とする真空度測定装置を開
示するものである。
【０００８】本発明によれば、タービンなどの圧縮手段
を用いて、容器内の気体を圧縮し、圧縮された気体の真
空度を測定し、測定値を圧縮比で割ることにより、真空
度を求める真空度測定方法および測定装置を実施するこ
とにより、１０-10Ｔｏｒｒ以下の超高真空度でもＳ／
Ｎ比よく測定することが可能となる。
を用いて、容器内の気体を圧縮し、圧縮された気体の真
空度を測定し、測定値を圧縮比で割ることにより、真空
度を求める真空度測定方法および測定装置を実施するこ
とにより、１０-10Ｔｏｒｒ以下の超高真空度でもＳ／
Ｎ比よく測定することが可能となる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施態様を図面に
基づいて具体的に説明する。本発明の真空度測定方法お
よび測定装置を図１を参照して説明する。１０１は真空
計容器、１０２は真空計容器１０１内に設置された気体
圧縮手段、１０３は気体圧縮手段１０２を駆動させる駆
動手段、１０４は真空計容器１０１内の真空度を測定す
る真空計、１０５は真空計１０４による真空度測定値を
圧縮比で割ることにより真空度真値を得る計算手段、１
１１は測定対象である真空容器、１１２は真空容器１１
１内を真空に排気する排気手段である。
基づいて具体的に説明する。本発明の真空度測定方法お
よび測定装置を図１を参照して説明する。１０１は真空
計容器、１０２は真空計容器１０１内に設置された気体
圧縮手段、１０３は気体圧縮手段１０２を駆動させる駆
動手段、１０４は真空計容器１０１内の真空度を測定す
る真空計、１０５は真空計１０４による真空度測定値を
圧縮比で割ることにより真空度真値を得る計算手段、１
１１は測定対象である真空容器、１１２は真空容器１１
１内を真空に排気する排気手段である。
【００１０】まず、真空容器１１１内を排気系１１２を
用いて超高真空状態にする。次に、駆動手段１０３を用
いて圧縮手段１０２を駆動し、真空容器１１１内の気体
を真空計容器１０１内に所定の圧縮比をもって圧縮す
る。その後真空計１０４を用いて真空計容器１０１内の
真空度を測定する。最後に、計算手段１０５を用いて、
得られた真空度測定値を圧縮比で割ることにより真空容
器１１１内の真空度真値が求められる。
用いて超高真空状態にする。次に、駆動手段１０３を用
いて圧縮手段１０２を駆動し、真空容器１１１内の気体
を真空計容器１０１内に所定の圧縮比をもって圧縮す
る。その後真空計１０４を用いて真空計容器１０１内の
真空度を測定する。最後に、計算手段１０５を用いて、
得られた真空度測定値を圧縮比で割ることにより真空容
器１１１内の真空度真値が求められる。
【００１１】圧縮手段を用いて圧縮することにより、真
空計の測定精度の高い領域で測定できるので、１０-10
Ｔｏｒｒ以下の超高真空度でも高精度に測定できる。な
お、水銀を用いて気体を圧縮・蓄積し、水銀柱の長さを
読み取ることにより、水銀柱では通常測定不可能な高い
真空度を測定するマクレオド真空計は以前より知られて
いる。例えば、回転圧縮機構と自動読み取り機構を具備
する例として特開昭５９-５４９３５号公報記載の例が
ある。しかしながら、マクレオド真空計で測定できる真
空度の範囲はせいぜい低真空領域で、中真空領域・高真
空領域、ましてや１０-10Ｔｏｒｒ以下の超高真空領域
の測定は到底不可能である。
空計の測定精度の高い領域で測定できるので、１０-10
Ｔｏｒｒ以下の超高真空度でも高精度に測定できる。な
お、水銀を用いて気体を圧縮・蓄積し、水銀柱の長さを
読み取ることにより、水銀柱では通常測定不可能な高い
真空度を測定するマクレオド真空計は以前より知られて
いる。例えば、回転圧縮機構と自動読み取り機構を具備
する例として特開昭５９-５４９３５号公報記載の例が
ある。しかしながら、マクレオド真空計で測定できる真
空度の範囲はせいぜい低真空領域で、中真空領域・高真
空領域、ましてや１０-10Ｔｏｒｒ以下の超高真空領域
の測定は到底不可能である。
【００１２】本発明に用いられる圧縮手段としては、タ
ービン型・ロータリ型・スクリュー型など、コンプレッサ
やポンプに通常用いられている手段が使用可能である。
但し、接触部分が存在するとガスやごみの発生源になる
ので、磁気力などにより浮上していて非接触の方が好ま
しい。本発明に用いられる圧縮比調整手段としては、圧
縮手段の回転数を変化させる手段が最も簡便で高精度が
得られるので好ましく好適である。
ービン型・ロータリ型・スクリュー型など、コンプレッサ
やポンプに通常用いられている手段が使用可能である。
但し、接触部分が存在するとガスやごみの発生源になる
ので、磁気力などにより浮上していて非接触の方が好ま
しい。本発明に用いられる圧縮比調整手段としては、圧
縮手段の回転数を変化させる手段が最も簡便で高精度が
得られるので好ましく好適である。
【００１３】本発明に用いられる真空計としては、圧縮
された気体の圧力を精度よく測定できるものであれば、
いずれの真空計も使用することができ、例えば、圧縮気
体の圧力が、１０-10ないし１０-6Ｔｏｒｒの領域では
ＢＡゲージなどの熱陰極真空計が、１０-6ないし１０-4
Ｔｏｒｒの領域ではペニングゲージなどの冷陰極真空計
が、また１０-4ないし１Ｔｏｒｒの領域ではバラトロン
ゲージなどの隔膜式真空計が用いられる。
された気体の圧力を精度よく測定できるものであれば、
いずれの真空計も使用することができ、例えば、圧縮気
体の圧力が、１０-10ないし１０-6Ｔｏｒｒの領域では
ＢＡゲージなどの熱陰極真空計が、１０-6ないし１０-4
Ｔｏｒｒの領域ではペニングゲージなどの冷陰極真空計
が、また１０-4ないし１Ｔｏｒｒの領域ではバラトロン
ゲージなどの隔膜式真空計が用いられる。
【００１４】本発明に用いられる計算手段としては、気
体の種類により圧縮比が異なる場合が多いので、用いる
圧縮手段による各気体の圧縮比を予め記憶しておいて、
測定する気体の種類に応じて圧縮比を変化させ圧力を計
算する手段であるものが好ましい。
体の種類により圧縮比が異なる場合が多いので、用いる
圧縮手段による各気体の圧縮比を予め記憶しておいて、
測定する気体の種類に応じて圧縮比を変化させ圧力を計
算する手段であるものが好ましい。
【００１５】
【実施例】以下、図面に基づき実施例により本発明の詳
細を説明するが、本発明はこれらによってなんら限定さ
れるものではない。
細を説明するが、本発明はこれらによってなんら限定さ
れるものではない。
【００１６】［実施例１］本発明の真空度測定方法およ
び測定装置の第１の実施例として圧縮手段としてタービ
ンを用いた場合を図１を参照して説明する。１０１は真
空計容器、１０２は真空計容器１０１内に設置されたタ
ービン、１０３はタービン１０２を回転させる回転手
段、１０４は真空計容器１０１内の真空度を測定する熱
陰極型真空計、１０５は真空計１０４による真空度測定
値を圧縮比で割ることにより真空度真値を得るパソコ
ン、１１１は測定対象である真空チャンバ、１１２は真
空チャンバ１１１内を真空に排気するターボ分子ポンプ
である。
び測定装置の第１の実施例として圧縮手段としてタービ
ンを用いた場合を図１を参照して説明する。１０１は真
空計容器、１０２は真空計容器１０１内に設置されたタ
ービン、１０３はタービン１０２を回転させる回転手
段、１０４は真空計容器１０１内の真空度を測定する熱
陰極型真空計、１０５は真空計１０４による真空度測定
値を圧縮比で割ることにより真空度真値を得るパソコ
ン、１１１は測定対象である真空チャンバ、１１２は真
空チャンバ１１１内を真空に排気するターボ分子ポンプ
である。
【００１７】まず、真空チャンバ１１１内をターボ分子
ポンプ１１２を用いて超高真空状態にした。次に、回転
手段１０３用いてタービン１０２を回転し、真空チャン
バ１１１内の気体を真空計容器１０１内に所定の圧縮比
をもって圧縮した。その後熱陰極型真空計１０３を用い
て真空計容器１０１内の真空度を測定した。最後に、パ
ソコン１０４を用いて、得られた真空度測定値を圧縮比
で割ることにより真空容器１１１内の真空度真値が求め
られた。
ポンプ１１２を用いて超高真空状態にした。次に、回転
手段１０３用いてタービン１０２を回転し、真空チャン
バ１１１内の気体を真空計容器１０１内に所定の圧縮比
をもって圧縮した。その後熱陰極型真空計１０３を用い
て真空計容器１０１内の真空度を測定した。最後に、パ
ソコン１０４を用いて、得られた真空度測定値を圧縮比
で割ることにより真空容器１１１内の真空度真値が求め
られた。
【００１８】真空度測定値は５.４×１０-7Ｔｏｒｒで
あったので、タービンの圧縮比３×３乗で割り、真空度
真値として１.８×１０-10が得られた。同じ測定を１０
回繰り返し再現性を観測したところ、ばらつきの標準偏
差は±４.５％であり、極めて高精度の測定であること
がわかった。
あったので、タービンの圧縮比３×３乗で割り、真空度
真値として１.８×１０-10が得られた。同じ測定を１０
回繰り返し再現性を観測したところ、ばらつきの標準偏
差は±４.５％であり、極めて高精度の測定であること
がわかった。
【００１９】［実施例２］本発明の真空度測定方法およ
び測定装置の第２の実施例として圧縮比可変タービン圧
縮手段を用いた場合を図２を参照して説明する。２０１
は真空計容器、２０２は真空計容器２０１内に設置され
たタービン、２０３はタービン２０２を回転させる回転
可変回転手段、２０４は真空容器２０１内の真空度を測
定する熱陰極型真空計、２０５は真空計２０４による真
空度測定値を圧縮比で割ることにより真空度真値を得る
パソコン、２１１は測定対象である真空チャンバ、２１
２は真空チャンバ２１１内を真空に排気するターボ分子
ポンプである。
び測定装置の第２の実施例として圧縮比可変タービン圧
縮手段を用いた場合を図２を参照して説明する。２０１
は真空計容器、２０２は真空計容器２０１内に設置され
たタービン、２０３はタービン２０２を回転させる回転
可変回転手段、２０４は真空容器２０１内の真空度を測
定する熱陰極型真空計、２０５は真空計２０４による真
空度測定値を圧縮比で割ることにより真空度真値を得る
パソコン、２１１は測定対象である真空チャンバ、２１
２は真空チャンバ２１１内を真空に排気するターボ分子
ポンプである。
【００２０】まず、真空チャンバ２１１内をターボ分子
ポンプ２１２を用いて超高真空状態にした。次に、回転
手段２０３を用いてタービン２０２を回転し、真空チャ
ンバ２１１内の気体を真空計容器２０１内に所定の圧縮
比をもって圧縮した。その後熱陰極型真空計２０３を用
いて真空計容器２０１内の真空度を測定した。最後に、
パソコン２０４を用いて、得られた真空度測定値を圧縮
比で割ることにより真空容器２１１内の真空度真値が求
められた。
ポンプ２１２を用いて超高真空状態にした。次に、回転
手段２０３を用いてタービン２０２を回転し、真空チャ
ンバ２１１内の気体を真空計容器２０１内に所定の圧縮
比をもって圧縮した。その後熱陰極型真空計２０３を用
いて真空計容器２０１内の真空度を測定した。最後に、
パソコン２０４を用いて、得られた真空度測定値を圧縮
比で割ることにより真空容器２１１内の真空度真値が求
められた。
【００２１】最初、真空度測定値が１.２×１０-9Ｔｏ
ｒｒで測定精度が低下し始める用域であったので、回転
手段２０３を用いてタービン２０２の回転数を増加し、
圧縮比を２×１乗から１×３乗に増加し、真空度測定値
が４.８×１０-8Ｔｏｒｒで高精度領域に入ったので、
これを圧縮比１×３乗で割り、真空度真値として４.８
×１０-11が得られた。同じ測定を１０回繰り返し再現
性を観測したところ、ばらつきの標準偏差は±６％であ
り、極めて高精度の測定であることがわかった。
ｒｒで測定精度が低下し始める用域であったので、回転
手段２０３を用いてタービン２０２の回転数を増加し、
圧縮比を２×１乗から１×３乗に増加し、真空度測定値
が４.８×１０-8Ｔｏｒｒで高精度領域に入ったので、
これを圧縮比１×３乗で割り、真空度真値として４.８
×１０-11が得られた。同じ測定を１０回繰り返し再現
性を観測したところ、ばらつきの標準偏差は±６％であ
り、極めて高精度の測定であることがわかった。
【００２２】［実施例３］本発明の真空度測定方法およ
び測定装置の第３の実施例として圧縮手段として磁気浮
上タービンを用いた場合を図３を参照して説明する。３
０１は真空計容器、３０２は真空計容器３０１内に設置
された磁気浮上タービン、３０３は磁気浮上タービン３
０２を回転させる磁界回転手段、３０４は真空計容器３
０１内の真空度を測定する熱陰極型真空計、３０５は真
空計３０４による真空度測定値を圧縮比で割ることによ
り真空度真値を得るパソコン、３１１は測定対象である
真空チャンバ、３１２は真空チャンバ３１１内を真空に
排気するターボ分子ポンプである。
び測定装置の第３の実施例として圧縮手段として磁気浮
上タービンを用いた場合を図３を参照して説明する。３
０１は真空計容器、３０２は真空計容器３０１内に設置
された磁気浮上タービン、３０３は磁気浮上タービン３
０２を回転させる磁界回転手段、３０４は真空計容器３
０１内の真空度を測定する熱陰極型真空計、３０５は真
空計３０４による真空度測定値を圧縮比で割ることによ
り真空度真値を得るパソコン、３１１は測定対象である
真空チャンバ、３１２は真空チャンバ３１１内を真空に
排気するターボ分子ポンプである。
【００２３】まず、真空チャンバ３１１内をターボ分子
ポンプ３１２を用いて超高真空状態にした。次に、磁界
回転手段３０３を用いて磁気浮上タービン３０２を回転
し、真空チャンバ３１１内の気体を真空計容器３０１内
に所定の圧縮比をもって圧縮した。その後熱陰極型真空
計３０３を用いて真空計容器３０１内の真空度を測定し
た。最後に、パソコン３０４を用いて、得られた真空度
測定値を圧縮比で割ることにより真空容器３１１内の真
空度真空度真値が求められた。
ポンプ３１２を用いて超高真空状態にした。次に、磁界
回転手段３０３を用いて磁気浮上タービン３０２を回転
し、真空チャンバ３１１内の気体を真空計容器３０１内
に所定の圧縮比をもって圧縮した。その後熱陰極型真空
計３０３を用いて真空計容器３０１内の真空度を測定し
た。最後に、パソコン３０４を用いて、得られた真空度
測定値を圧縮比で割ることにより真空容器３１１内の真
空度真空度真値が求められた。
【００２４】真空度測定値は２.１×１０-7Ｔｏｒｒで
あったので、タービンの圧縮比３×５乗で割り、真空度
真値として７.０×１０-13が得られた。同じ測定を１０
回繰り返し再現性を観測したところ、ばらつきの標準偏
差は±８.５％であり、極めて高精度の測定であること
がわかった。
あったので、タービンの圧縮比３×５乗で割り、真空度
真値として７.０×１０-13が得られた。同じ測定を１０
回繰り返し再現性を観測したところ、ばらつきの標準偏
差は±８.５％であり、極めて高精度の測定であること
がわかった。
【００２５】［実施例４］本発明の真空度測定方法およ
び測定装置の第４の実施例として真空計として隔膜式真
空計を用いた場合を図４を参照して説明する。４０１は
真空計容器、４０２は真空計容器４０１内に設置された
タービン、４０３はタービン４０２を回転させる回転手
段、４０４は真空計容器４０１内の真空度を測定する隔
膜式真空計、４０５は真空計４０４による真空度測定値
を圧縮比で割ることにより真空度真値を得るためのパソ
コン、４１１は測定対象である真空チャンバ、４１２は
真空チャンバ４１１内を真空に排気するターボ分子ポン
プである。
び測定装置の第４の実施例として真空計として隔膜式真
空計を用いた場合を図４を参照して説明する。４０１は
真空計容器、４０２は真空計容器４０１内に設置された
タービン、４０３はタービン４０２を回転させる回転手
段、４０４は真空計容器４０１内の真空度を測定する隔
膜式真空計、４０５は真空計４０４による真空度測定値
を圧縮比で割ることにより真空度真値を得るためのパソ
コン、４１１は測定対象である真空チャンバ、４１２は
真空チャンバ４１１内を真空に排気するターボ分子ポン
プである。
【００２６】まず、真空チャンバ４１１内をターボ分子
ポンプ４１２を用いて超高真空状態にした。次に、磁界
回転手段４０３を用いて磁気浮上タービン４０２を回転
し、真空チャンバ４１１内の気体を真空計容器４０１内
に所定の圧縮比をもって圧縮した。その後隔膜式真空計
４０３を用いて真空計容器４０１内の真空度を測定し
た。最後に、パソコン４０４を用いて、得られた真空度
測定値を圧縮比で割ることにより真空容器４１１内の真
空度真空度真値が求められた。
ポンプ４１２を用いて超高真空状態にした。次に、磁界
回転手段４０３を用いて磁気浮上タービン４０２を回転
し、真空チャンバ４１１内の気体を真空計容器４０１内
に所定の圧縮比をもって圧縮した。その後隔膜式真空計
４０３を用いて真空計容器４０１内の真空度を測定し
た。最後に、パソコン４０４を用いて、得られた真空度
測定値を圧縮比で割ることにより真空容器４１１内の真
空度真空度真値が求められた。
【００２７】真空度測定値は６.９×１０-2Ｔｏｒｒで
あったので、タービンの圧縮比８×６乗で割り、真空度
真値として８.６×１０-9が得られた。同じ測定を１０
回繰り返し再現性を観測したところ、ばらつきの標準偏
差は±４％であり、極めて高精度の測定であることがわ
かった。
あったので、タービンの圧縮比８×６乗で割り、真空度
真値として８.６×１０-9が得られた。同じ測定を１０
回繰り返し再現性を観測したところ、ばらつきの標準偏
差は±４％であり、極めて高精度の測定であることがわ
かった。
【００２８】［実施例５］本発明の真空度測定方法およ
び測定装置の第５の実施例として真空計として冷陰極型
真空計を用いた場合を図５を参照して説明する。５０１
は真空計容器、５０２は真空計容器５０１内に設置され
たタービン、５０３はタービン５０２を回転させる回転
手段、５０４は真空計容器５０１内の真空度を測定する
冷陰極型真空計、５０５は真空計５０４による真空度測
定値を圧縮比で割ることにより真空度真値を得るパソコ
ン、５１１は測定対象である真空チャンバ、５１２は真
空チャンバ５１１内を真空に排気するターボ分子ポンプ
である。
び測定装置の第５の実施例として真空計として冷陰極型
真空計を用いた場合を図５を参照して説明する。５０１
は真空計容器、５０２は真空計容器５０１内に設置され
たタービン、５０３はタービン５０２を回転させる回転
手段、５０４は真空計容器５０１内の真空度を測定する
冷陰極型真空計、５０５は真空計５０４による真空度測
定値を圧縮比で割ることにより真空度真値を得るパソコ
ン、５１１は測定対象である真空チャンバ、５１２は真
空チャンバ５１１内を真空に排気するターボ分子ポンプ
である。
【００２９】まず、真空チャンバ５１１内をターボ分子
ポンプ５１２を用いて超高真空状態にした。次に、回転
手段５０３を用いてタービン５０２を回転し、真空チャ
ンバ５１１内の気体を真空計容器５０１内に所定の圧縮
比をもって圧縮した。その後冷陰極型真空計５０３を用
いて真空計容器５０１内の真空度を測定した。最後に、
パソコン５０４を用いて、得られた真空度測定値を圧縮
比で割ることにより真空容器５１１内の真空度真空度真
値が求められた。
ポンプ５１２を用いて超高真空状態にした。次に、回転
手段５０３を用いてタービン５０２を回転し、真空チャ
ンバ５１１内の気体を真空計容器５０１内に所定の圧縮
比をもって圧縮した。その後冷陰極型真空計５０３を用
いて真空計容器５０１内の真空度を測定した。最後に、
パソコン５０４を用いて、得られた真空度測定値を圧縮
比で割ることにより真空容器５１１内の真空度真空度真
値が求められた。
【００３０】真空度測定値は３.６×１０-5Ｔｏｒｒで
あったので、タービンの圧縮比５×４乗で割り、真空度
真値として７.２×１０-10が得られた。同じ測定を１０
回繰り返し再現性を観測したところ、ばらつきの標準偏
差は±４％であり、極めて高精度の測定であることがわ
かった。
あったので、タービンの圧縮比５×４乗で割り、真空度
真値として７.２×１０-10が得られた。同じ測定を１０
回繰り返し再現性を観測したところ、ばらつきの標準偏
差は±４％であり、極めて高精度の測定であることがわ
かった。
【００３１】
【発明の効果】上記のように、タービンなどの圧縮手段
を用いて真空容器内の気体を圧縮し、圧縮された気体の
真空度を測定し、真空度測定値を圧縮比で割ることによ
り、真空度真値を求める本発明の真空度測定方法および
測定装置により、１０-10Ｔｏｒｒ以下の超高真空度に
おいても、良好なＳ／Ｎ比での測定が可能となる等の効
果が奏される。
を用いて真空容器内の気体を圧縮し、圧縮された気体の
真空度を測定し、真空度測定値を圧縮比で割ることによ
り、真空度真値を求める本発明の真空度測定方法および
測定装置により、１０-10Ｔｏｒｒ以下の超高真空度に
おいても、良好なＳ／Ｎ比での測定が可能となる等の効
果が奏される。
【図１】本発明による表示パネル排気方法および装置の
概要を示す模式説明図。
概要を示す模式説明図。
【図２】圧縮比可変圧縮手段を用いた本発明による表示
パネル排気方法および装置の概要を示す模式説明図。
パネル排気方法および装置の概要を示す模式説明図。
【図３】磁気浮上圧縮手段を用いた本発明による表示パ
ネル排気方法および装置の概要を示す模式説明図。
ネル排気方法および装置の概要を示す模式説明図。
【図４】隔膜式真空計を用いた本発明による表示パネル
排気方法および装置の概要を示す模式説明図。
排気方法および装置の概要を示す模式説明図。
【図５】冷陰極型真空計を用いた本発明による表示パネ
ル排気方法および装置の概要を示す模式説明図。
ル排気方法および装置の概要を示す模式説明図。
１０１,２０１,３０１,４０１,５０１ 真空計容器 １０２,２０２,３０２,４０２,５０２ 気体圧縮手段 １０３,２０３,３０３,４０３,５０３ 駆動手段 １０４,２０４,３０４,４０４,５０４ 真空計 １０５,２０５,３０５,４０５,５０５ 計算手段 １１１,２１１,３１１,４１１,５１１ 真空容器 １１２,２１２,３１２,４１２,５１２ 排気系
Claims (10)
- 【請求項１】 容器内の真空度を測定する方法であっ
て、該容器内の気体を圧縮し、圧縮された気体の真空度
を測定し、該真空度測定値を圧縮比で割ることにより、
真空度を求めることを特徴とする真空度測定方法。 - 【請求項２】 容器内の真空度を測定する装置であっ
て、該容器内の気体を圧縮する手段と、圧縮された気体
の真空度を測定する手段と、該真空度測定値を該圧縮手
段の圧縮比で割って真空度を計算する手段とで構成され
てなることを特徴とする真空度測定装置。 - 【請求項３】 前記圧縮手段が、軸方向に対して傾斜し
た羽根を回転する構造を有する手段である請求項２記載
の真空度測定装置。 - 【請求項４】 前記圧縮手段が、圧縮比が調節可能であ
る請求項２または３記載の真空度測定装置。 - 【請求項５】 前記圧縮手段が、前記羽根の回転数を変
化させることにより圧縮比を調整する請求項４記載の真
空度測定装置。 - 【請求項６】 前記圧縮手段が、磁気力により浮上して
いる構造を有する請求項２ないし５のいずれかに記載の
真空度測定装置。 - 【請求項７】 前記真空度測定手段が、熱陰極型真空計
である請求項２ないし６のいずれかに記載の真空度測定
装置。 - 【請求項８】 前記真空度測定手段が、冷陰極型真空計
である請求項２ないし６のいずれかに記載の真空度測定
装置。 - 【請求項９】 前記真空度測定手段が、隔膜式真空計で
ある請求項２ないし６のいずれかに記載の真空度測定装
置。 - 【請求項１０】 前記真空度計算手段が、測定気体によ
って予め記憶してある圧縮比を用いて該気体の真空度を
計算する請求項２ないし９のいずれかに記載の真空度測
定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13389798A JPH11326103A (ja) | 1998-05-15 | 1998-05-15 | 真空度測定方法および測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13389798A JPH11326103A (ja) | 1998-05-15 | 1998-05-15 | 真空度測定方法および測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11326103A true JPH11326103A (ja) | 1999-11-26 |
Family
ID=15115670
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13389798A Pending JPH11326103A (ja) | 1998-05-15 | 1998-05-15 | 真空度測定方法および測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11326103A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012088310A (ja) * | 2010-10-21 | 2012-05-10 | General Electric Co <Ge> | タービンエンジンの通信システム |
| CN103323173A (zh) * | 2013-06-27 | 2013-09-25 | 开平市盈光机电科技有限公司 | 一种用于检测光盘模具镜面的真空度的检测器 |
| CN103884466A (zh) * | 2014-04-01 | 2014-06-25 | 钢研纳克检测技术有限公司 | 对质谱仪进行真空度测量和控制的方法及设备 |
| US8998568B2 (en) | 2010-10-21 | 2015-04-07 | General Electric Company | Sensor packaging for turbine engine |
| CN109387324A (zh) * | 2017-08-08 | 2019-02-26 | 上海卓亚医疗科技有限公司 | 一种加速器真空等级实时监测系统 |
-
1998
- 1998-05-15 JP JP13389798A patent/JPH11326103A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012088310A (ja) * | 2010-10-21 | 2012-05-10 | General Electric Co <Ge> | タービンエンジンの通信システム |
| US8998568B2 (en) | 2010-10-21 | 2015-04-07 | General Electric Company | Sensor packaging for turbine engine |
| CN103323173A (zh) * | 2013-06-27 | 2013-09-25 | 开平市盈光机电科技有限公司 | 一种用于检测光盘模具镜面的真空度的检测器 |
| CN103884466A (zh) * | 2014-04-01 | 2014-06-25 | 钢研纳克检测技术有限公司 | 对质谱仪进行真空度测量和控制的方法及设备 |
| CN109387324A (zh) * | 2017-08-08 | 2019-02-26 | 上海卓亚医疗科技有限公司 | 一种加速器真空等级实时监测系统 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8288715B2 (en) | Oxygen detection method, air leakage determination method, gas component detection device, and vacuum processing apparatus | |
| JPH11326103A (ja) | 真空度測定方法および測定装置 | |
| Yusha et al. | Implementing the principles of operating processes schematization and of performance loss distribution when designing long-stroke reciprocating compressor stages | |
| Lange et al. | Calibration of low pressure penning discharge type gauges | |
| Jin et al. | Vacuum system of the space plasma environment research facility | |
| Peacock et al. | Sensitivity variation of Bayard–Alpert gauges with and without closed grids from 10− 4 to 1 Pa | |
| RU2771640C1 (ru) | Широкодиапазонный манометрический преобразователь | |
| JP3371924B2 (ja) | 逆拡散測定によるヘリウムリーク量検出方法 | |
| Pollard | Progress in vacuum technology | |
| Shtyrkov et al. | A dual absolute pressure measuring transducer | |
| Biltoft | Vacuum Technology | |
| Audi et al. | High pressure pumping speed measurement on sputter ion pumps | |
| Reich et al. | Comparison between static and dynamic calibration methods for ionization gauges | |
| Lange et al. | Response of low pressure Penning discharge type gauges | |
| Werner et al. | The use of a hot cathode ionization gauge for the measurement of hydrogen pressure | |
| Lange et al. | An improved gauge calibration technique | |
| Hecht et al. | Transient response of a cryosorption pumped chamber | |
| JPH08145835A (ja) | スニッファー用ヘリウムリークディテクタ | |
| Lassiter | Striking Characteristics of the Magnetron Ionization Gage in Helium from 1.9 X 10− 7 Torr to 7 X 10− 10 Torr | |
| Welch | DIODE SPUTTER ION PUMP SPEED FOR HYDROGEN AND NITROGEN AS A FUNCTION OF AXIAL AND TRANSVERSE MAGNETIC FIELDS UP TO 1.2 TESLA | |
| Lyudkevich | II. Vacuum apparatus and auxiliaries | |
| Knapp | Vacuum technology | |
| WO2020174227A1 (en) | Determining pressure of gas pumped by a turbomolecular pump | |
| Poulter | Mode changes in RF oscillations observed during the calibration of a low pressure Penning discharge vacuum gauge | |
| Rovner | ULTRA-HIGH VACUUM METAL PHYSICS MEASUREMENT OF LOW PRESSURES OF OXYGEN. Techincal Report No. 3 |