JP5455700B2 - 電界放出電子銃及びその制御方法 - Google Patents
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Description
2 真空室
3 引き出し電極
4 電子源制御部
5 操作部
6 フィラメント
7 フラッシング電源
8 電流計
9 引き出し電源
10 加速電源
11 排気系
12 電流計A1
13 電流計A2
14 電流計A3
15 極細引き出し電極
16 非蒸発ゲッターポンプ(NEG)
17 イオンポンプ
18 チタンサブレメーションポンプ
19 クライオポンプ
20 1段ターボ分子ポンプ
21 2段ターボ分子ポンプ
22 補助ポンプ
23 ファラデーカップ
Claims (14)
- タングステンの<310>単結晶からなる電界放出電子源と、
当該電子源が配置される真空室と、前記真空室を排気する排気系と、
前記電子源と接続され、電流を流して前記電子源を加熱するフィラメントと、当該フィラメントに電流を流す電源と、当該電子源から放出される総電流量を測定する電流計と、を備える荷電粒子線装置であって、
前記総電流量を定期的に測定し、当該総電流量が、最初の電子線放出直後の前記電子源からの総電流量、または前記フィラメントに電流を流した直後の前記電子線からの総電流量に対して30%〜70%の決められた比率以下になったときに、前記電源が前記フィラメントに電流を流すように制御する制御部を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1の荷電粒子線装置において、
前記制御部は、当該総電流量が、電子線放出直後あるいは前記フィラメントに電流を流した直後の総電流量に対して半分になったときに、前記電源が前記フィラメントに電流を流すように制御することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1の荷電粒子線装置において、
前記制御部に前記フィラメントに電流を流す時期,電流を流す時間、及び電流量を決めるパラメータを入力する操作部を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1の荷電粒子線装置において、
前記排気系は、前記真空室の圧力を10-9Pa台以下に維持することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1の荷電粒子線装置において、
前記フィラメントに一定時間1回又は複数回電流を流し、通電加熱によって前記電子源の温度を1500K以上にあげることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1の荷電粒子線装置において、
前記制御部は、試料から放出された信号を検出している間は、前記フィラメントに電流を流す制御を行わないことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1の荷電粒子線装置において、
前記制御部は、当該荷電粒子線装置が操作されている間は、前記フィラメントに電流を流す制御を行わないことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1の荷電粒子線装置において、
当該荷電粒子線装置はモニターを備え、
前記制御部は、当該総電流量が、最初の電子線放出直後の前記電子源からの総電流量、または前記フィラメントに電流を流した直後の前記電子線からの総電流量に対して前記比率以下になったときに、前記モニター上に、前記フィラメントに電流を流すことを促すメッセージを表示することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1記載の荷電粒子線装置において、
前記電子源から電子線を放出させる引き出し電極は金属の細線からなり、当該電子線が当たるグラウンド側にファラデーカップを設け、前記ファラデーカップとグラウンドの間に電流計を配置することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項4記載の荷電粒子線装置において、
前記真空室内部品及び真空室は、300℃以上加熱可能な材料で作製され、10-3Pa台以下の圧力を維持する真空炉で1時間以上300℃以上の温度で脱ガスの処理が施されたことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項4記載の荷電粒子線装置において、
前記排気系として非蒸発ゲッターポンプと1l/s以上の排気速度を持つイオンポンプを併用することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項4記載の荷電粒子線装置において、
前記排気系として、チタンサブレメーションポンプとイオンポンプを併用することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項4記載の荷電粒子線装置において、
前記排気系として、クライオポンプを用いることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項4記載の荷電粒子線装置において、
前記排気系として、100l/s以上の排気速度を持つ1段ターボ分子ポンプと、前記1段ターボ分子ポンプの排出口に配置された2段ターボ分子ポンプと、前記2段ターボ分子ポンプの排出口に配置された補助ポンプからなることを特徴とする荷電粒子線装置。
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