JP6501891B2 - イオンビーム装置およびガス電界電離イオン源の洗浄方法 - Google Patents
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Description
Claims (13)
- 針状の先端を持つエミッタ電極と、該エミッタ電極の先端方向に離間した位置に開口を有する引出電極と、前記エミッタ電極を内包するチャンバとを有するガス電界電離イオン源を含むイオンビーム装置であって、
前記ガス電界電離イオン源は、
前記エミッタ電極にビーム発生電圧以上の電圧を印加した状態で、前記チャンバにイオン化用ガスを導入するイオン化用ガス導入経路と、
前記エミッタ電極に前記ビーム発生電圧未満の電圧を印加した状態または電圧を印加しない状態のいずれかの状態で、前記チャンバに洗浄用ガスを導入する洗浄用ガス導入経路と、
前記エミッタ電極を冷却する冷却装置を有し、
前記洗浄用ガスが導入された状態での前記チャンバの圧力は、前記イオン化用ガスが導入されるときの前記チャンバの圧力より高くなるように設定されており、
前記チャンバへ前記洗浄用ガスを導入するときには前記イオン化用ガスを導入するときよりも、前記エミッタ電極の温度が高くなるように設定されており、
前記チャンバへ前記イオン化用ガスを導入するときには前記冷却装置を稼働し、
前記チャンバへ前記洗浄用ガスを導入するときには前記冷却装置を停止するイオンビーム
装置。 - 請求項1に記載のイオンビーム装置において、
前記チャンバへ前記洗浄用ガスが導入された状態では、前記チャンバ内での放電発生を抑止するイオンビーム装置。 - 請求項1に記載のイオンビーム装置において、
前記洗浄用ガスの純度は前記イオン化用ガスの純度よりも低いイオンビーム装置。 - 請求項1に記載のイオンビーム装置において、
前記イオン化用ガス導入経路には、前記イオン化用ガスを純化する純化部が設置されるイオンビーム装置。 - 請求項4に記載のイオンビーム装置において、
前記純化部は、前記イオン化用ガスを選択的に透過する膜であるイオンビーム装置。 - 請求項1に記載のイオンビーム装置において、
前記洗浄用ガスの分子量は、前記イオン化用ガスの分子量以下であるイオンビーム装置。 - 請求項1に記載のイオンビーム装置において、
前記洗浄用ガスは、前記イオン化用ガスの分子量以下であるガスを含む混合ガスであるイオンビーム装置。 - 請求項1に記載のイオンビーム装置において、
前記洗浄用ガスは水素を含むイオンビーム装置。 - 請求項1に記載のイオンビーム装置において、
前記イオン化用ガスは水素であるイオンビーム装置。 - 請求項1に記載のイオンビーム装置において、
前記イオン化用ガスとして二種類以上のガスが用いられ、
前記洗浄用ガスは、前記二種類以上のガスのいずれの分子量よりも小さい分子量のガスを含むイオンビーム装置。 - 請求項1に記載のイオンビーム装置において、さらに、
前記ガス電界電離イオン源の稼働時間が所定値を超えた場合、または前記ガス電界電離イオン源から放出されるイオンビームの安定性が所定値より低下した場合のいずれかの場合に、前記洗浄用ガスを前記チャンバに導入する制御をする制御部を有するイオンビーム装置。 - 針状の先端を持つエミッタ電極と、該エミッタ電極の先端方向に離間した位置に開口を有する引出電極と、前記エミッタ電極を内包するチャンバとを有するガス電界電離イオン源を含むイオンビーム装置であって、
前記ガス電界電離イオン源は、
前記エミッタ電極にビーム発生電圧以上の電圧を印加した状態で、前記チャンバにイオン化用ガスを導入するイオン化用ガス導入経路と、
前記エミッタ電極に前記ビーム発生電圧未満の電圧を印加した状態または電圧を印加しない状態のいずれかの状態で、前記チャンバに前記イオン化用ガスの純度よりも低い洗浄用ガスを導入する洗浄用ガス導入経路とを有し、
前記洗浄用ガスが導入された状態での前記チャンバの圧力は、前記イオン化用ガスが導入されるときの前記チャンバの圧力より高いイオンビーム装置。 - 針状の先端を持つエミッタ電極と、該エミッタ電極の先端方向に離間した位置に開口を有する引出電極と、前記エミッタ電極を内包するチャンバとを有するガス電界電離イオン源を含むイオンビーム装置であって、
前記ガス電界電離イオン源は、
前記エミッタ電極にビーム発生電圧以上の電圧を印加した状態で、前記チャンバにイオン化用ガスを導入するイオン化用ガス導入経路と、
前記エミッタ電極に前記ビーム発生電圧未満の電圧を印加した状態または電圧を印加しない状態のいずれかの状態で、前記チャンバに洗浄用ガスを導入する洗浄用ガス導入経路とを有し、
前記洗浄用ガスが導入された状態での前記チャンバの圧力は、前記イオン化用ガスが導入されるときの前記チャンバの圧力より高く設定されており、
前記イオン化用ガスとして二種類以上のガスが用いられ、
前記洗浄用ガスは、前記二種類以上のガスのいずれの分子量よりも小さい分子量のガスを含むイオンビーム装置。
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