JP2019023581A - 電子捕獲検出器の検出セルの洗浄方法、分析方法、電子捕獲検出器の検出セル、電子捕獲検出器および分析装置 - Google Patents

Abstract

【課題】検出セルに起因するノイズを減少させる。【解決手段】電子捕獲検出器の検出セルの洗浄方法は、放射線を放射する線源と、試料ガスが導入される試料ガス導入口と、コレクタ電極とを備える、電子捕獲検出器の検出セルに、洗浄ガスを導入することを備える。【選択図】図１

Description

本発明は、電子捕獲検出器の検出セルの洗浄方法、分析方法、電子捕獲検出器の検出セル、電子捕獲検出器および分析装置に関する。

ガスグロマトグラフィにおいて、電子捕獲検出器（Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｃａｐｔｕｒｅ Ｄｅｔｅｃｔｏｒ：ＥＣＤ）を用いて、ハロゲン等の電気陰性度の高い原子を含む電子親和性の高い化合物が検出される。電子捕獲検出器の使用においては、検出セルの変化に起因するノイズの発生により取得するデータの精度が低下することが問題となる。

ノイズの発生の原因となる検出セルの変化としては、試料ガスによるコレクタ電極の汚染や、検出セル内部の酸化等が挙げられる。特許文献１には、検出セル内に挿入されるカラムの軸線延長上から外れた位置にコレクタ電極が取り付けられることにより、コレクタ電極の汚染を低減する電子捕獲検出器が記載されている。

特開２０１１−１２８１７１号公報

一方、電子捕獲検出器に既にノイズが発生した場合では、コレクタ電極の汚染によるノイズについては加熱により減少する場合がある。しかし、検出セル内部の酸化によるノイズについては、現在行われている検出セルの交換による対処の他に、さらなる提案が必要である。

本発明の好ましい実施形態による電子捕獲検出器の検出セルの洗浄方法は、放射線を放射する線源と、試料ガスが導入される試料ガス導入口と、コレクタ電極とを備える、電子捕獲検出器の検出セルに、洗浄ガスを導入することを備える。
さらに好ましい実施形態では、前記洗浄ガスは、還元性を有するガスである。
さらに好ましい実施形態では、前記洗浄ガスは、水素である。
さらに好ましい実施形態では、前記洗浄ガスは、摂氏５００度以下の温度に加熱された前記検出セルに導入される。
さらに好ましい実施形態では、前記洗浄ガスを前記検出セル内に保持または継続的に導入することにより、前記検出セルの酸化を防止する。
本発明の好ましい実施形態による分析方法は、電子捕獲検出器を備える分析装置により試料の分析を行う分析方法であって、前記電子捕獲検出器は、放射線を放射する線源と、試料ガスを導入する試料ガス導入口と、メイクアップガスを導入するメイクアップガス導入口と、コレクタ電極とを備える検出セルを備え、前記試料ガス導入口から前記試料ガスを導入し、前記メイクアップガス導入口から前記メイクアップガスを導入し、前記放射線により発生した電子を前記試料の成分が受け取ったことによる、前記コレクタ電極を含む回路の電気的応答の変化の測定を行うことと、前記測定が行われていないときに、上述の電子捕獲検出器の検出セルの洗浄方法により前記検出セルを洗浄することと、を備える。
本発明の好ましい実施形態による電子捕獲検出器の検出セルは、放射線を放射する線源と、試料ガスを導入する試料ガス導入口と、コレクタ電極と、洗浄ガスを導入する洗浄ガス導入口とを備える。
さらに好ましい実施形態では、前記検出セルは、メイクアップガスを導入する、前記洗浄ガス導入口とは異なるメイクアップガス導入口とを備える。
さらに好ましい実施形態では、前記検出セルは、メイクアップガスおよび前記洗浄ガスを切り替えて前記洗浄ガス導入口に導入する切替機構を備える。
本発明の好ましい実施形態による電子捕獲検出器は、上述の電子捕獲検出器の検出セルを備える。
さらに好ましい実施形態では、前記洗浄ガスの漏れを検出する漏れ検出器を備える。
本発明の好ましい実施形態による分析装置は、上述の電子捕獲検出器を備える。

本発明によれば、検出セルの交換を必要とせず、検出セルの酸化等に起因する電子捕獲検出器のノイズを減少させることが可能となる。

図１は、本発明の一実施形態の電子捕獲検出器の検出セルの洗浄方法に係る分析装置の概略構成を示す図である。 図２は、一実施形態の電子捕獲検出器の検出セルの洗浄方法を含む分析方法の流れを示すフローチャートである。 図３は、変形例における電子捕獲検出器の概略構成を示す図である。 図４は、実施例において取得したクロマトグラムを示す図であり、（Ａ）は、検出されたクロマトグラムであり、（Ｂ）は、基準となるピークの面積に基づいて規格化したクロマトグラムである。

以下、図を参照して本発明を実施するための形態について説明する。本実施形態の電子捕獲検出器の検出セルの洗浄方法は、電子捕獲検出器の検出セルに洗浄ガスを導入することにより、電子捕獲検出器のノイズを減少させるものである。

図１は、本実施形態の電子捕獲検出器の検出セルの洗浄方法に係る分析装置１の概略構成を示す図である。分析装置１は、ガスクロマトグラフであり、分離部１０と、電子捕獲検出器１００ａとを備える。分離部１０は、試料導入部１１と、試料気化部１２と、キャリアガス導入口１３と、分離カラム１４とを備える。電子捕獲検出器１００ａは、検出セル２０ａと、電気信号変換部３０と、制御部４０と、表示部５０とを備える。検出セル２０ａは、試料ガス導入口２１と、セル室２２と、切替導入口２３と、切替部２３０と、メイクアップガス流路２３１と、洗浄ガス流路２３２と、放射線源２４と、コレクタ電極２５と、排気口２６と、ガス漏れ検知器２７とを備える。
なお、制御部４０および表示部５０の機能の一部または全部は、遠隔の電子計算機等に配置され、図１で示された全体が分析システムを構成することができる。

分離部１０は、試料Ｓに含まれる成分を物理的または化学的特性に基づいて分離する。試料導入部１１は、シリンジやオートサンプラー等の注入器を備え、その内部に保持する試料Ｓを試料気化部１２に導入する。試料気化部１２は、試料気化室を備え、導入された試料Ｓを気化する。キャリアガス導入口１３は、試料気化部１２に窒素等の不活性ガスを含むキャリアガスを導入する導入口を備える。分離カラム１４は、充填カラムや中空キャピラリーカラム等のカラムを備える。気化された試料Ｓ（以下、試料ガスＳと呼ぶ）の各成分は、キャリアガスを含む移動相と、分離カラム１４の固定相との間の分配係数等に基づいて分離され、分離された各成分は異なる時間に検出セル２０ａの試料ガス導入口２１に導入される。

検出セル２０ａは、試料Ｓに含まれている電子親和性の高い化合物を、コレクタ電極２５を含む回路の電気的応答の変化として検出する。試料ガス導入口２１は、検出セル２０ａのセル室２２に試料ガスＳを導入する導入口である。セル室２２は、内壁に固着されている放射線源２４を備え、キャリアガス、窒素等の不活性ガスを含むメイクアップガス、試料ガスおよび後述の洗浄ガスが導入される。切替導入口２３は、キャリアガスと洗浄ガスとが切り替えて導入される導入口である。

検出セル２０ａの切替部２３０は、切替バルブ等の切替機構を備え、以下の第１状態および第２状態のいずれかの状態に切り替え可能に構成されている。第１状態は、メイクアップガス流路２３１を通るメイクアップガスを切替導入口２３に流し、洗浄ガス流路２３２を通る洗浄ガスを切替導入口２３に流さない状態である。第２状態は、洗浄ガスを切替導入口２３に流し、メイクアップガスを切替導入口２３に流さない状態である。洗浄ガスは、水素を備える。水素は、還元性を有するため、セル室２２の酸化の度合を減少させることができ、洗浄ガスとして作用する。
なお、洗浄ガスは、還元性を有するガスで、測定を妨げるような悪影響が出るものでなければその組成は特に限定されない。

上述のように、切替部２３０により、検出セル２０ａにメイクアップガスおよび洗浄ガスのいずれかを選択的に導入することができる。電子捕獲検出器１００ａにおいて試料ガスの検出等が行われていないときに、洗浄ガスを検出セル２０ａのセル室２２に導入してセル室２２の酸化を減少させることにより、電子捕獲検出器１００ａのノイズを減少させることができる。
なお、メイクアップガスの貯蔵容器と洗浄ガスの貯蔵容器とを付け替えることによって、検出セル２００ａにメイクアップガスと洗浄ガスとのいずれを導入するかの切替を行ってもよい。これにより、検出セル２００ａの設計を変更しなくても、本実施形態の電子捕獲検出器の検出セルの洗浄方法を適用することができる。

放射線源２４は、^６３Ｎｉ等のベータ線を出射するベータ線放射体を備え、メイクアップガスやキャリアガスとして導入された窒素等をイオン化し、電子を生成する。コレクタ電極２５は、電子信号変換部３０の制御によりセル室２２の内壁より高い電圧Ｖが印加され、放射線源２４からのベータ線により生成された電子や、当該電子の授受により生成されたイオンを収集する。コレクタ電極２５は、セル室２２において、試料ガス導入口２１が配置されている側とは反対側の面から、高さ方向（図の上下方向）に沿って延び、コレクタ電極２５の一部は、放射線源２４と対向している。

測定時には、切替部２３０は、第１状態となっており、メイクアップガスを検出セル２０ａに流す一方、洗浄ガスは検出セル２０ａへ流さない。セル室２２の内部の空間では放射線源２４からのベータ線により窒素等の不活性ガスがイオン化され、電子が生産されている。生産されている電子は、セル室２２の内壁に対し電圧Ｖが印加されたコレクタ電極２５に引き寄せられ、コレクタ電流２５を通る電流となって観察される。本実施形態では、コレクタ電極２５にはパルス状に処理された電圧（以下、パルス電圧と呼ぶ）が加えられる。

試料ガスＳの各成分のうち、電気陰性度の高いハロゲン等の原子を含む化合物は、電子親和性が高く、上述のようにセル室２２の内部で発生している電子を受け取り陰イオンとなる。発生した当該陰イオンは、電子と比較して遥かに質量が大きく移動が遅いため、コレクタ電極２５に単位時間あたりにたどり着く陰イオンの量は、同じ量の電子が存在している場合に比べて減少する。従って、試料ガスＳに上記のような電子親和性の高い化合物が含まれていると、コレクタ電極２５を流れる電流が変化する。

セル室２２に導入されたキャリアガス、メイクアップガス、試料ガスおよび洗浄ガスは排気口２６から排気される。ガス漏れ検知器２７は、検出セル２０ａの外部に配置され、洗浄ガスに含まれる引火性の高い水素の濃度を測定し、一定以上の濃度となった場合に警告音等を発する。

電気信号変換部３０は、積分回路、アナログ／デジタル変換器（Ａ／Ｄ変換器）、および電圧／周波数変換器（Ｖ／Ｆ変換器）等を含んで構成され、コレクタ電極２５からの電気信号を適宜変換して制御部４０へと出力する。電気信号変換部３０は、コレクタ電極２５を通る電流を積分回路により電圧に変換する。Ｖ／Ｆ変換器は、当該電圧の高さに基づいてコレクタ電極２５に与えるパルス電圧の周波数を一定に保つように制御する。セル室２２に導入された試料ガスＳの成分は、このように印加電圧の周波数の変化という電気的応答として検出される。
なお、電気信号変換部３０が行う試料Ｓの検出の方法は、上記のように印加するパルス電圧の周波数の変化として検出する態様でなくともよく、特に限定されない。

制御部４０は、ＣＰＵ等のプロセッサからなり、電気信号変換部３０から出力されたデータを処理したり、分析装置１の動作を制御する。制御部４０は、電気信号変換部３０から出力されたデータを解析したり、不図示の記憶媒体に記憶させたり、当該データからクロマトグラムを構築し、液晶モニタ等を含んで構成される表示部５０に表示させたりする。

図２は、本実施形態の電子捕獲検出器の検出セルの洗浄方法を含む試料の分析方法の流れを示すフローチャートである。ステップＳ１００１において、試料導入部１１は、試料Ｓを試料気化部１２に導入する。ステップＳ１００１が終了したら、ステップＳ１００３が開始される。ステップＳ１００３において、試料気化部１２は、試料気化部１２に導入された試料Ｓを気化する。ステップＳ１００３が終了したらステップＳ１００５が開始される。
なお、試料気化部１２に導入する試料Ｓは気体でもよい。その場合、ステップＳ１００３は省略される。

ステップＳ１００５において、分離カラム１４は、試料気化部１２に保持された気体試料を分離する。試料気化部１２に保持された試料Ｓの各成分は、キャリアガス導入口１４から流量制御されて流されている窒素等のキャリアガスと共に分離カラム１４へと移動する。分離カラム１４は不図示の恒温槽により温度が制御されており、適宜設定された温度の下で、導入された試料Ｓの各成分を分離する。ステップＳ１００５が終了したら、ステップＳ１００７が開始される。

ステップＳ１００７において、電気信号変換部３０は、分離カラム１４で分離された試料ガスＳを、検出セル２０ａに導入して検出する。分離カラム１４で分離された試料ガスＳの各成分は、キャリアガスと共に、電子捕獲検出器１００ａの検出セル２０ａの試料ガス導入口２１からセル室２２に導入される。上述したように、試料ガスＳの成分のうち、電子親和性の高い成分が、コレクタ電極２５を含む回路の電気的応答の変化により検出される。制御部４０は、上記電気的応答に基づくデータから、クロマトグラム等を作成する等のデータ処理を行い、適宜表示部５０に表示する。ステップＳ１００７が終了したら、ステップＳ１００９が開始される。

ステップＳ１００９において、不図示のヒーター等を用いて検出セル２０ａを加熱し、洗浄ガスを導入する。加熱により、サンプルによる汚染に起因するノイズを減少させることができる。検出セル２０ａの温度が高すぎると、検出セル２０ａに悪影響が出たり、加熱に時間がかかる等の不利な点が生じるため、検出セル２０ａは５００℃以下、好ましくは３００℃以下等に加熱されることが好ましい。加熱された検出セル２０ａには、洗浄ガスが導入される。切替部２３０は、検出セル２０ａにメイクアップガスを流さず、洗浄ガスを流す第２の状態となり、検出セル２０ａに導入された洗浄ガスが、還元作用によりセル室２２の内壁等における酸化を減少させ、電子捕獲検出器１００ａのノイズを減少させる。ステップＳ１００９が終了したら、ステップＳ１０１１が開始される。
なお、洗浄ガスを検出セル２０ａに導入する際には加熱をしなくともよく、洗浄ガスを検出セル２０ａに導入する際の温度は特に限定されない。

ステップＳ１０１１において、検出セル２０ａの温度が常温等の、保管の際に設定される温度にまで下げられ、洗浄ガスを通気しながら保管される。ステップＳ１０１１が終了したら、処理を終了する。
なお、検出セル２０ａは、洗浄ガスをセル室２２に保持したまま保管してもよい。検出セル２０ａは、セル室２２に洗浄ガスを通気したり保持させたりすることをせずに保管してもよい。

上述の実施の形態によれば、次の作用効果が得られる。
（１）本実施形態の電子捕獲検出器の検出セルの洗浄方法は、放射線を放射する放射線源２４と、試料ガスＳが導入される試料ガス導入口２１と、コレクタ電極２５とを備える、電子捕獲検出器１００ａの検出セル２０ａに、洗浄ガスを導入することを備える。これにより、検出セル２０ａに起因する電子捕獲検出器１００ａのノイズを減少させることができる。

（２）本実施形態の電子捕獲検出器の検出セルの洗浄方法において、洗浄ガスは、還元性を有するガスである。これにより、検出セル２０ａのセル室２２の酸化を減少させ、電子捕獲検出器１００ａのノイズを減少させることができる。

（３）本実施形態の電子捕獲検出器の検出セルの洗浄方法において、洗浄ガスは、水素である。これにより、水素の強い還元作用を利用して検出セル２０ａのセル室２２の酸化を減少させ、効率的にノイズの除去を行うことができる。

（４）本実施形態の電子捕獲検出器の検出セルの洗浄方法において、洗浄ガスは、摂氏５００度以下の温度に加熱された検出セル２０ａに導入される。これにより、セル室２２のサンプルによる汚染に起因するノイズの除去と、セル室２２の酸化に起因するノイズの除去との両方を効率的に行うことができる。

（５）本実施形態の電子捕獲検出器の検出セルの洗浄方法は、洗浄ガスを検出セル２０ａ内に保持または継続的に導入することにより、検出セル２０ａの酸化を防止する。これにより、非測定時における検出セル２０ａの酸化によるノイズの発生を抑制することができる。

（６）本実施形態の分析方法において、試料ガス導入口２１から試料ガスＳを導入し、切替導入口２３からメイクアップガスを導入し、ベータ線により発生した電子を試料Ｓの成分が受け取ったことによる、コレクタ電極２５を含む回路の電気的応答の変化の測定を行うことと、この測定が行われていないときに、上述の電子捕獲検出器の検出セルの洗浄方法により検出セル２０ａを洗浄することと、を備える。これにより、検出セル２０ａのノイズを減少させた状態で精度よく分析を行うことができる。

（７）本実施形態の検出セル２０ａは、ベータ線を放射する放射線源２４と、試料ガスＳを導入する試料ガス導入口２１と、コレクタ電極２５と、洗浄ガスを導入する切替導入口２３とを備える。これにより、検出セル２０ａに起因する電子捕獲検出器１００ａのノイズを減少させることができる。

（８）本実施形態の検出セル２０ａは、メイクアップガスおよび洗浄ガスを切り替えて切替導入口２３に導入する切替部２３０を備える。これにより、メイクアップガスおよび洗浄ガスのそれぞれに対して導入口を設ける必要が無く、検出セル２０ａの周囲の配管を複雑にせず、電子捕獲検出器１００ａのノイズを減少させることができる。

（９）本実施形態の電子捕獲検出器１００ａおよび分析装置１は、上述の検出セルを備えるため、検出セル２０ａに起因する電子捕獲検出器１００ａのノイズを減少させることができる。

（１０）本実施形態の検出セル２０ａ、電子捕獲検出器１００ａおよび分析装置１は、洗浄ガスの漏れを検出するガス漏れ検出器を備える。これにより、洗浄ガスが引火性の高い水素等の場合、洗浄ガスの漏れを検知し事故を防ぐことができる。

次のような変形も本発明の範囲内であり、上述の実施形態と組み合わせることが可能である。以下の変形例において、上述の実施形態と同様の構造、機能を示す部位に関しては、同一の符号で参照し、適宜説明を省略する。
（変形例）
上述の実施形態では、メイクアップガスと洗浄ガスを切替部２３０により切り替えて検出セル２００ａに導入する構成としたが、メイクアップガスと洗浄ガスとを検出セル２０ａにそれぞれ直接導入する導入口を設けてもよい。

図３は、上述した実施形態の変形例に係る電子捕獲検出器１００ｂを示す図である。電子捕獲検出器１００ｂの検出セル２０ｂは、メイクアップガスをセル室２２に導入するメイクアップガス導入口２３３と、洗浄ガスをセル室２２に導入する洗浄ガス導入口とを備え、メイクアップガス導入口２３３と洗浄ガス導入口２３４とは異なる。これにより、検出セル２０ｂに導入するガスの切替機構を必要とせず、電子捕獲検出器１００ｂのノイズを減少させることができる。

本発明は上記実施形態の内容に限定されるものではない。本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。

以下の実施例では、電子捕獲検出器を備えるガスクロマトグラフにおいて、上述の電子捕獲検出器の検出セルの洗浄方法を行う前後でクロマトグラムを測定した結果が説明される。
なお、本発明は、以下の実施例に示された条件に限定されない。

ガスクロマトグラフィの条件
試料気化室：
キャリアガス：ヘリウム、気化室温度：１２０．０℃、制御モード：圧力モード、圧力：１７０．３ｋＰａ、全流量：６５．２ｍＬ／分、カラム流量：２．９６ｍＬ／分、線速度３７．８ｃｍ／秒、パージ流量：３．０ｍＬ／分、スプリット比：２０．０
分離カラム：
Ｒｘｉ−６２４ＳｉｌＭＳ（島津ジーエルシー）、長さ：６０．０ｍ、内径：０．３２ｍｍ ＩＤ、液相の膜厚：１．８０μｍ、カラム温度：８０．０℃、平衡時間：３．０分
カラム温度プログラム： （合計時間１１．００分）
レート（℃／分） 温度（℃） ホールド時間（分）
− ８０．０ ０．００
１０．０ １２０．０ ７．００

電子捕獲検出器の条件
検出器温度：１３０．０℃、サンプリングレート：４０ミリ秒、終了時間：１１．００分、遅れ時間：０．００分、差分信号の検出器：なし、電流：０．１０ｎＡ、メイクアップガス：窒素

洗浄の条件
電子捕獲検出器の温度：３００℃、水素導入量：３０ｍＬ／分、洗浄時間：１８時間

図４（Ａ）は実施例で取得された、洗浄前後のクロマトグラムを示す図である。ピークＰ１，Ｐ２，Ｐ３は、測定試料に含まれる既知の成分のピークを示し、ピークＰ４，Ｐ５は、ノイズにより生じたピークである。図４（Ｂ）は、ピークＰ３の面積が洗浄前後のクロマトグラムで一致するように規格化した、洗浄前後のクロマトグラムである。洗浄後のクロマトグラムでは、ノイズを原因としたピークが減少し、Ｓ／Ｎ比が上がっている。

１…分析装置、１０…分離部、１４…分離カラム、２０ａ，２０ｂ…検出セル、２１…試料ガス導入口、２２…セル室、２３…切替導入口、２４…放射線源、２５…コレクタ電極、２７…ガス漏れ検出器、３０…電気信号変換部、４０…制御部、１００ａ，１００ｂ…電子捕獲検出器、２３０…切替部、２３１…メイクアップガス流路、２３２…洗浄ガス流路、２３３…メイクアップガス導入口、２３４…洗浄ガス導入口。

Claims (12)

1. 放射線を放射する線源と、試料ガスが導入される試料ガス導入口と、コレクタ電極とを備える、電子捕獲検出器の検出セルに、洗浄ガスを導入することを備える電子捕獲検出器の検出セルの洗浄方法。
2. 請求項１に記載の電子捕獲検出器の検出セルの洗浄方法において、
   前記洗浄ガスは、還元性を有するガスである、電子捕獲検出器の検出セルの洗浄方法。
3. 請求項２に記載の電子捕獲検出器の検出セルの洗浄方法において、
   前記洗浄ガスは、水素である、電子捕獲検出器の検出セルの洗浄方法。
4. 請求項１から３までのいずれか一項に記載の電子捕獲検出器の検出セルの洗浄方法において、
   前記洗浄ガスは、摂氏５００度以下の温度に加熱された前記検出セルに導入される、電子捕獲検出器の検出セルの洗浄方法。
5. 請求項１から４までのいずれか一項に記載の電子捕獲検出器の検出セルの洗浄方法において、
   前記洗浄ガスを前記検出セル内に保持または継続的に導入することにより、前記検出セルの酸化を防止する、電子捕獲検出器の検出セルの洗浄方法。
6. 電子捕獲検出器を備える分析装置により試料の分析を行う分析方法であって、
   前記電子捕獲検出器は、放射線を放射する線源と、試料ガスを導入する試料ガス導入口と、メイクアップガスを導入するメイクアップガス導入口と、コレクタ電極とを備える検出セルを備え、
   前記試料ガス導入口から前記試料ガスを導入し、前記メイクアップガス導入口から前記メイクアップガスを導入し、前記放射線により発生した電子を前記試料の成分が受け取ったことによる、前記コレクタ電極を含む回路の電気的応答の変化の測定を行うことと、
   前記測定が行われていないときに、請求項１から５までのいずれか一項に記載の電子捕獲検出器の検出セルの洗浄方法により前記検出セルを洗浄することと、を備える分析方法。
7. 放射線を放射する線源と、試料ガスを導入する試料ガス導入口と、コレクタ電極と、洗浄ガスを導入する洗浄ガス導入口とを備える、電子捕獲検出器の検出セル。
8. 請求項７に記載の電子捕獲検出器の検出セルにおいて、
   前記検出セルは、メイクアップガスを導入する、前記洗浄ガス導入口とは異なるメイクアップガス導入口とを備える、電子捕獲検出器の検出セル。
9. 請求項７に記載の電子捕獲検出器の検出セルにおいて、
   前記検出セルは、メイクアップガスおよび前記洗浄ガスを切り替えて前記洗浄ガス導入口に導入する切替機構を備える、電子捕獲検出器の検出セル。
10. 請求項７から９までのいずれか一項に記載の電子捕獲検出器の検出セルを備える電子捕獲検出器。
11. 請求項１０に記載の電子捕獲検出器において、
    前記洗浄ガスの漏れを検出する漏れ検出器を備える、電子捕獲検出器。
12. 請求項１０または１１に記載の電子捕獲検出器を備える分析装置。

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