JP2008047309A - 電界放出型電子銃、およびその運転方法 - Google Patents
電界放出型電子銃、およびその運転方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008047309A JP2008047309A JP2006219139A JP2006219139A JP2008047309A JP 2008047309 A JP2008047309 A JP 2008047309A JP 2006219139 A JP2006219139 A JP 2006219139A JP 2006219139 A JP2006219139 A JP 2006219139A JP 2008047309 A JP2008047309 A JP 2008047309A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- field emission
- electron
- heating
- electron source
- electron gun
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/06—Electron sources; Electron guns
- H01J37/073—Electron guns using field emission, photo emission, or secondary emission electron sources
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/261—Details
- H01J37/265—Controlling the tube; circuit arrangements adapted to a particular application not otherwise provided, e.g. bright-field-dark-field illumination
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/06—Sources
- H01J2237/063—Electron sources
- H01J2237/06308—Thermionic sources
- H01J2237/06316—Schottky emission
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/245—Detection characterised by the variable being measured
- H01J2237/24507—Intensity, dose or other characteristics of particle beams or electromagnetic radiation
- H01J2237/24514—Beam diagnostics including control of the parameter or property diagnosed
- H01J2237/24535—Beam current
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/26—Electron or ion microscopes
- H01J2237/28—Scanning microscopes
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Cold Cathode And The Manufacture (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明の第一の課題を達成するための手段は、繊維状炭素物質とそれを支持する導電性基材から構成される電子源と、電子を電界放出させる引出装置と、電子を加速させる加速装置と、該電子源を加熱する手段を有する電界放出型電子銃において、電界放出前に該電子源を加熱保持後、電界放出電流の変動幅が規定値内になる最低の加熱温度を適宜調整することにある。本発明の第二の課題を達成するための手段は、本発明の電子銃およびその運転方法を各種電子ビーム応用装置に適用することにある。
【選択図】図7
Description
23,38(2002)に開示されている。また、CNT電子源において、600K以上の温度に保持した状態で電界放出させると、電界放出電流が安定化することが、Niels deJonge:Phys.Rev.Lett.94,186807 (2005)に開示されている。
(図6(b))で検出することが可能である。
(T2)を決定し、再度、T2まで温度を上昇させ、保持する。
13…導電性基材先端部に形成した平坦面、14…電界放出電流モニタ装置、15…加熱電源制御装置、16…電界放出電流を検出するための絞り、17…電子銃、18…アライメントコイル、19…コンデンサレンズ、20…非点補正コイル、21…偏向,走査コイル、22…対物レンズ、23…対物レンズ絞り、24…試料、25…試料ステージ、26…排気系、27…二次電子検出器、28…ブランキング電極。
Claims (8)
- 少なくとも繊維状炭素物質を固定した導電性基材を有する電子源と、前記電子源より電子を電界放出させる引出装置と、前記電子源より電界放出された電子を加速させる加速装置とを有する電界放出型電子銃において、
前記繊維状炭素物質を加熱する加熱手段と、
前記加熱手段を制御する制御装置とを有し、
前記制御装置は電界放出前に電子源を所定の加熱保持温度とし、かつ電界放出中に前記加熱保持温度より低温の電界放出温度とすることを特徴とする電界放出型電子銃。 - 請求項1に記載された電界放出型電子銃において、
前記制御装置は、電界放出電流の変動幅に基づき、電界放出温度を調整する機能を有することを特徴とする電界放出型電子銃。 - 請求項1に記載された電界放出型電子銃において、前記電界放出中の電界放出電流を検出する監視装置を有し、前記制御装置は前記監視装置の情報に基づき電界放出温度を調整する機能を有することを特徴とする電界放出型電子銃。
- 請求項2または3に記載された電界放出型電子源であって、
前記制御装置は、前記電界放出電流の変動幅が所定値を超えた場合に、前記変動幅が所定値内となる最低加熱温度まで加熱する機能を有することを特徴とする電界放出型電子銃。 - 繊維状炭素物質を用いた電子源の少なくとも前記繊維状炭素物質を加熱して浄化する工程と、
前記加熱した繊維状炭素物質の温度を下げる工程と、
前記温度を下げた繊維状炭素物質より電子を電界放出させる工程と、
前記電界放出された電子を加速させる工程とを有する電界放出型電子銃の運転方法であって、
前記電界放出させる工程は、前記繊維状炭素物質を浄化する温度より低温の所定の温度に加熱されることを特徴とする電界放出型電子銃の運転方法。 - 電子銃と、前記電子銃より放出された電子ビームが照射される位置に設けられた試料ステージと、試料を走査した電子を検出する検出器とを有する走査型電子顕微鏡であって、
前記電子銃は、繊維状炭素物質を固定した導電性基材を有する電子源と、前記電子源より電子を電界放出させる引出装置と、前記電子源より電界放出された電子を加速させる加速装置と、前記繊維状炭素物質を加熱する加熱手段と、前記加熱手段を制御する制御装置とを有し、
前記制御装置は電界放出前に電子源を所定の加熱保持温度とし、かつ電界放出中に前記加熱保持温度より低温の電界放出温度とする制御を行うことを特徴とする走査型電子顕微鏡。 - 請求項6に記載された走査型電子顕微鏡において、
前記資料ステージを駆動する駆動装置と、前記駆動装置を制御する駆動装置制御システムと、電子顕微鏡から得られる画像を処理する測長システムとを有することを特徴とする走査型電子顕微鏡。 - 試料基板に電子ビームを照射する電子銃と、前記電子ビームを偏光させまたは走査させる偏光・走査コイルと、前記電子ビームを明滅させるブランキング電極とを有する電子線描画装置であって、
前記電子銃は、繊維状炭素物質を固定した導電性基材を有する電子源と、前記電子源より電子を電界放出させる引出装置と、前記電子源より電界放出された電子を加速させる加速装置と、前記繊維状炭素物質を加熱する加熱手段と、前記加熱手段を制御する制御装置とを有し、
前記制御装置は電界放出前に電子源を所定の加熱保持温度とし、かつ電界放出中に前記加熱保持温度より低温の電界放出温度とする制御を行うことを特徴とする電子線描画装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006219139A JP2008047309A (ja) | 2006-08-11 | 2006-08-11 | 電界放出型電子銃、およびその運転方法 |
US11/882,498 US20080169743A1 (en) | 2006-08-11 | 2007-08-02 | Field emission electron gun and method of operating the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006219139A JP2008047309A (ja) | 2006-08-11 | 2006-08-11 | 電界放出型電子銃、およびその運転方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008047309A true JP2008047309A (ja) | 2008-02-28 |
Family
ID=39180854
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006219139A Pending JP2008047309A (ja) | 2006-08-11 | 2006-08-11 | 電界放出型電子銃、およびその運転方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20080169743A1 (ja) |
JP (1) | JP2008047309A (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5455700B2 (ja) | 2010-02-18 | 2014-03-26 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電界放出電子銃及びその制御方法 |
FR2965102B1 (fr) * | 2010-09-17 | 2016-12-16 | Centre Nat De La Rech Scient (Cnrs) | Canon a electrons emettant sous haute tension, destine notamment a la microscopie electronique |
EP2748834A1 (en) * | 2011-11-28 | 2014-07-02 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | X-ray tube with heatable field emission electron emitter and method for operating same |
JP6166910B2 (ja) * | 2013-02-26 | 2017-07-19 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | カソードの動作温度調整方法、及び描画装置 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08167396A (ja) * | 1994-12-14 | 1996-06-25 | Jeol Ltd | 電界放射型電子銃を備えた電子ビーム装置 |
JPH1031955A (ja) * | 1996-07-17 | 1998-02-03 | Hitachi Ltd | 熱拡散補給型電子源の製造方法およびその電子源を用いた電子線応用装置 |
JP2002216687A (ja) * | 2000-11-17 | 2002-08-02 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 熱電界放射陰極の動作条件設定方法とそのための装置 |
JP2004079223A (ja) * | 2002-08-12 | 2004-03-11 | Hitachi Ltd | カーボンナノチューブを有する電子源とそれを用いた電子顕微鏡および電子線描画装置 |
JP2005243389A (ja) * | 2004-02-26 | 2005-09-08 | Daiken Kagaku Kogyo Kk | 電子源及びその製造方法 |
JP2005276720A (ja) * | 2004-03-26 | 2005-10-06 | Hitachi High-Technologies Corp | 電界放出型電子銃およびそれを用いた電子ビーム応用装置 |
JP2006019200A (ja) * | 2004-07-05 | 2006-01-19 | Shimadzu Corp | 電界放射電子源 |
JP2006049293A (ja) * | 2004-06-30 | 2006-02-16 | Hitachi High-Technologies Corp | 電界放出型電子銃およびそれを用いた電子ビーム応用装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4143292A (en) * | 1975-06-27 | 1979-03-06 | Hitachi, Ltd. | Field emission cathode of glassy carbon and method of preparation |
JP2001325910A (ja) * | 2000-05-16 | 2001-11-22 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 電子銃とその使用方法 |
-
2006
- 2006-08-11 JP JP2006219139A patent/JP2008047309A/ja active Pending
-
2007
- 2007-08-02 US US11/882,498 patent/US20080169743A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08167396A (ja) * | 1994-12-14 | 1996-06-25 | Jeol Ltd | 電界放射型電子銃を備えた電子ビーム装置 |
JPH1031955A (ja) * | 1996-07-17 | 1998-02-03 | Hitachi Ltd | 熱拡散補給型電子源の製造方法およびその電子源を用いた電子線応用装置 |
JP2002216687A (ja) * | 2000-11-17 | 2002-08-02 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 熱電界放射陰極の動作条件設定方法とそのための装置 |
JP2004079223A (ja) * | 2002-08-12 | 2004-03-11 | Hitachi Ltd | カーボンナノチューブを有する電子源とそれを用いた電子顕微鏡および電子線描画装置 |
JP2005243389A (ja) * | 2004-02-26 | 2005-09-08 | Daiken Kagaku Kogyo Kk | 電子源及びその製造方法 |
JP2005276720A (ja) * | 2004-03-26 | 2005-10-06 | Hitachi High-Technologies Corp | 電界放出型電子銃およびそれを用いた電子ビーム応用装置 |
JP2006049293A (ja) * | 2004-06-30 | 2006-02-16 | Hitachi High-Technologies Corp | 電界放出型電子銃およびそれを用いた電子ビーム応用装置 |
JP2006019200A (ja) * | 2004-07-05 | 2006-01-19 | Shimadzu Corp | 電界放射電子源 |
Non-Patent Citations (3)
Title |
---|
NIELS DE JONGE: ""Optical Performance of Carbon-Nanotube Electron Sources"", PHYSICAL REVIEW LETTERS, vol. PRL94, 186807, JPN6009002630, 13 May 2005 (2005-05-13), ISSN: 0001232242 * |
齋藤弥八: ""カーボンナノチューブフィールドエミッタ"", 表面科学, vol. 23, no. 1, JPN6009002632, 2002, pages 38 - 43, ISSN: 0001232243 * |
齋藤弥八: "カーボンナノチューブフィールドエミッタ", 表面科学, vol. 23, no. 1, JPN7009005505, 2002, JP, pages 38 - 43, ISSN: 0001496511 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20080169743A1 (en) | 2008-07-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4688760B2 (ja) | 荷電粒子ビーム照射デバイス及び荷電粒子ビーム照射デバイスを動作させるための方法 | |
JP3832402B2 (ja) | カーボンナノチューブを有する電子源とそれを用いた電子顕微鏡および電子線描画装置 | |
JP2007087676A (ja) | 電界放出型電子銃およびそれを用いた電子ビーム装置 | |
US7151268B2 (en) | Field emission gun and electron beam instruments | |
US7732764B2 (en) | Field emission electron gun and electron beam applied device using the same | |
JP5102968B2 (ja) | 導電性針およびその製造方法 | |
US7722425B2 (en) | Electron source manufacturing method | |
JP4210131B2 (ja) | 電子源及び電子源の使用方法 | |
JP2008047309A (ja) | 電界放出型電子銃、およびその運転方法 | |
JP2006269443A (ja) | カーボンナノチューブを有する電子源とそれを用いた電子顕微鏡および電子線描画装置 | |
JP4895938B2 (ja) | 電界放出型電子銃およびそれを用いた電子線応用装置 | |
US20220406552A1 (en) | Emitter, electron gun in which same is used, electronic device in which same is used, and method for manufacturing same | |
JP2006049293A (ja) | 電界放出型電子銃およびそれを用いた電子ビーム応用装置 | |
JP2007179867A (ja) | 繊維状炭素物質を用いた電子源 | |
JP4032057B2 (ja) | 電子源の製造方法 | |
JP2010015966A (ja) | 電子放出素子,電子銃、それを用いた電子顕微鏡装置及び電子線描画装置 | |
JP5114168B2 (ja) | 電界放出型電子源およびそれを用いた電子線応用装置 | |
JP2005032500A (ja) | 冷陰極とそれを用いた電子源及び電子線装置 | |
JP2007123022A (ja) | X線源およびそれに用いられるターゲット | |
EP1596418B1 (en) | Electron gun | |
JP2006331853A (ja) | フィラメントアセンブリ及び電子銃並びに電子ビーム装置 | |
JP2005332677A (ja) | 電子源の製造方法と使用方法 | |
US20060001350A1 (en) | Field emission electron gun and electron beam apparatus using the same | |
JP4943641B2 (ja) | フィラメントアセンブリ及び電子銃並びに電子ビーム装置 | |
JP2010067452A (ja) | 電子放射陰極、電子顕微鏡および電子ビーム露光機 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080616 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080616 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090114 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090127 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090330 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20091222 |