JP5114168B2 - 電界放出型電子源およびそれを用いた電子線応用装置 - Google Patents
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Description
2 突起部分
3 グラファイト層
4 電界放出型電子源
5 電極
6 引出電極
7 加速電極
8 引出電極電源
9 加速電極電源
10 加熱電源
11 電界放出型電子銃
12 アライメントコイル
13 コンデンサレンズ
14 非点補正コイル
15 偏向,走査コイル
16 対物レンズ
17 対物レンズ絞り
18 試料
19 試料ステージ
20 二次電子検出器
21 排気系
22 ブランキング電極
Claims (6)
- 炭素よりなり、電極に接続されるフィラメント部と、該フィラメント部に一体として形成された突起部とを有する電子源であって、前記突起部の先端は円錐形状または角錘形状を有し、開き角が、100°以上130°以下であり、前記突起部の最先端部にグラファイト層を有することを特徴とする電子源。
- 請求項1に記載の電子源において、
前記突起部分の最先端の曲率半径が、10nm以上100nm以下であることを特徴とする電子源。 - 請求項1又は2に記載された電子源と、前記電子源を加熱する加熱装置と、前記突起部より電子を電界放出させる引出装置と、電界放出された電子を加速させる加速装置とを有することを特徴とする電界放出型電子銃。
- 請求項3に記載された電界放出型電子銃と、前記電界放出型電子銃より放出された電子線が照射される位置に配置された試料ステージと、前記電界放出型電子銃より放出され、試料に照射されて得られる電子線を検出する電子線検出器とを有することを特徴とする電界放出型電子顕微鏡。
- 請求項4に記載された電界放出型電子顕微鏡であって、前記電子線検出器は試料より発生する二次電子を検出する二次電子線検出器であり、前記二次電子線検出器より得られる情報により試料の寸法を計測することを特徴とする電界放出型電子顕微鏡。
- 請求項3に記載された電界放出型電子銃と、前記電界放出型電子銃より放出された電子線が照射される位置に形成された試料ステージと、電子線をON/OFFしながら、試料上で電子線を偏向,走査する機構と、を有することを特徴とする電子線描画装置。
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