JP2009301920A - ナノチップエミッタ作製方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明はナノチップエミッタ作製方法に関し、単一若しくは複数個の原子をエミッタ先端部に配置する手法を実現することを目的としている。
【解決手段】タングステンエミッタ1の外側の結晶面から内側の結晶面へと順次高い電圧から低い電圧を引出電極5に印加し、その都度各結晶面で電界蒸発を行なうように構成する。この構成によれば、エミッタへの印加電圧を印加制御を行なうことにより、(111)面内の[111]軸上に単一若しくは3個若しくは6個の原子を配置したイオン源とすることができる。
【選択図】図4
【解決手段】タングステンエミッタ1の外側の結晶面から内側の結晶面へと順次高い電圧から低い電圧を引出電極5に印加し、その都度各結晶面で電界蒸発を行なうように構成する。この構成によれば、エミッタへの印加電圧を印加制御を行なうことにより、(111)面内の[111]軸上に単一若しくは3個若しくは6個の原子を配置したイオン源とすることができる。
【選択図】図4
Description
本発明はナノチップエミッタ作製方法に関し、更に詳しくはナノチップと呼ばれる単原子若しくは複数原子から放出される光源(ナノチップエミッタ)の作製方法に関する。
荷電粒子線の光源として、電子線ではFEG(電界放射型)がSERM(選択的エストロゲン受容体作動薬)の光源として、イオンビームに対してはGa液体金属イオン源が用いられている。そして、このような光源は、電子顕微鏡やFIB装置(集束イオンビーム装置)に用いられている。
近年、ナノチップと呼ばれる単原子、若しくは数原子から放出される光源の研究が行われている。この光源は、従来の光源サイズが数10nmであるのに対し、数nm以下であること、更に輝度が1桁以上高いことが特徴として挙げられている。ナノチップは、通常の数100nmの先端径を持つエミッタ上に更に数nm程度の微細突起を製作し、この微細突起に高電界を集中させることにより小さな光源サイズとより高い高輝度を期待するものである。
エミッタを高電界(静電界若しくは負電界)の下で加熱させて結晶方位のビルドアップを行ない、微細突起を製作する手法や、エミッタ先端に貴金属等を蒸着し、FIM(電界イオン顕微鏡)を利用し、加熱と高電界でエミッタ上に微小突起を製作する手法、更にFIMにおける窒素(N2)ガス導入によりエミッタ先端をエッチングして、微細突起を製作する手法等が報告されている。
本発明は、上記の方法とは別の、FIMによる電界蒸発によるナノチップの作成手法に関連するものである。
先に述べたFIMについて説明する。FIMは電界イオン顕微鏡と呼ばれ、先鋭化(200nm程度)されたエミッタを液体窒素温度以下に冷却し、エミッタに正の高電圧を印加すると共に、エミッタ先端の近傍に希ガスを10-3Pa程度導入すると、希ガスはエミッタ先端部での原子構造に応じてイオン化され、それぞれのイオンは加速され、蛍光板にエミッタ先端の原子構造を投影する投影タイプのイオン顕微鏡である。今日、現存する最も安価で、かつ容易に最高の倍率を得る装置として知られている。
先に述べたFIMについて説明する。FIMは電界イオン顕微鏡と呼ばれ、先鋭化(200nm程度)されたエミッタを液体窒素温度以下に冷却し、エミッタに正の高電圧を印加すると共に、エミッタ先端の近傍に希ガスを10-3Pa程度導入すると、希ガスはエミッタ先端部での原子構造に応じてイオン化され、それぞれのイオンは加速され、蛍光板にエミッタ先端の原子構造を投影する投影タイプのイオン顕微鏡である。今日、現存する最も安価で、かつ容易に最高の倍率を得る装置として知られている。
このエミッタ先端部を更に数nm以下にすることにより、極めて光源サイズの小さい、かつ高輝度の希ガスイオンを作成することができるため、これを電子顕微鏡やFIBの光源として使用することが本発明の主旨である。そして、本発明は、この先端部を数nm程度にすることにおいては、エミッタ先端部に単原子若しくは複数の原子を配置することであり、これはエミッタに単に高電圧をかけるばかりではなく、各結晶面内の原子を移動させる固有の電圧で制御することにより、エミッタ先端部に単一若しくは複数の原子を配置させることである。
図6はFIMの一般的な構成を示す図である。図において、1はイオンを発生するエミッタであり、通常先端径が20nm以下に電界研磨されたタングステン(W)の単結晶が使用される。このエミッタ1は電源2で加熱され、その表面を超高真空下で清浄化が行なわれる。また、エミッタ1は通常、図示されていない冷却装置により液体窒素温度以下に冷却されている。
3はガス導入チューブであり、ガスとしてはヘリウム(He)や窒素(N2)が使用される。4は超高真空内でのガスの導入量を調整するバルブであり、真空外のガスボンベ4’に接続されている。5は引出電極であり、電源6を通してエミッタ1と引出電極5の間に高電圧が印加され、エミッタ近傍でイオン化されたガスイオンが引出電極5方向に加速され、イオンビームが作成される。更にエミッタ1と引出電極5は共通の電源7にバイアスされ、イオンビームのエネルギーが与えられる。
8はアノードであり、通常グランド電位に保持されている。9はイオンビームの検出器であり、主としてMCP(マルチチャネルプレート:Multi Channel Plate)が使用されている。10は蛍光板であり、MCP9に入射したイオンビームが数々の電子を発生し、それらが蛍光板10に加速されて衝突して発光し、エミッタ先端部の原子構造が投影される。11はミラーであり、蛍光板10上のイオンビームのパターンをのぞき窓を経由して真空外部で人間の眼13により観察できる構造となっており、エミッタ1から放出されるイオンビームの量やエミッションパターンの観察に用いられる。
本発明での使用においては、MCP9、蛍光板10及びミラー11の3個の部品は、一体構造をしており、パターンを観察した後は、真空外からこれらの部品を光源から外し、中心の(111)面の明るいビームが以下にあるレンズや偏向系であるイオン光学レンズ系に入射できるような構造になっている。このようなFIM装置を使用してエミッタ先端の原子構造を観察することができる。
図7はタングステン単結晶のボールモデルによる結晶面を示す図である。(a)は(111)面に垂直な軸[111](紙面に垂直)方向から見た場合の結晶面を示し、使用するタングステンエミッタの尖鋭先端方向から観察した場合に対応しており、(b)は(110)面側から見た側面を示しており、エミッタ先端部を横方向から観察した場合に対応している。
[111]軸は3つの{211}面即ち(211),(121),(112)で囲まれており、更にその外側の3つの{110}面即ち(110),(101),(011)が取り囲んでいることが分かる。ここでは図示されていないが、FIM像では[111]と{211}面の間に3つの{221}面と3つの{335}面が観察されていることが分かる。
図8は3つの{211}面で囲まれたタングステン(111)面の原子の配列を示した図である。(111)面の軸[111]は紙面に垂直方向であり、一番上のトップテラスでは1つの原子が、そしてその下の2層目のテラスには3個の原子が、そして更にその下の3層目には10個の原子が位置することが分かる。そして、エミッタに正の高電圧が印加されると電界の方向は紙面の下から上に向かう方向となる。
そのため、先に述べた3層目の10個の原子は、特に三角形の頂点の3つの原子は、他の原子に比べて電界が強くなるため、即真空中に放出され、10個の粒子として観察されず、6個の粒子として観察されることになる。即ち、このことは、何らかの原因で頂上の単一原子がどこかに飛んで行ってしまった場合、外部からの電界強度を制御することにより、その下の2層目からの1つの原子を頂上に移動させること、また同様に、2層目の3個の原子が欠けた場合、その下の3層目の原子を2層目に移動させ、補充することができることが予想される。このことは、外部からの電界の強度を最適に制御することにより、エミッタ先端の原子配列を正しく整列することが可能であることを意味している。
従来のこの種の装置としては、イオン化室の圧力を比較的低い第1の圧力としてエミッタと引出電極との間にエミッタ先端部を電界蒸発させる電圧を印加し、その後、引出電圧を下げてイオンビームの最大角電流密度が得られる電圧を検出し、その後引出電圧を該電圧に設定する技術が知られている(例えば特許文献1参照)。
また、エミッタの先端を電界蒸発させるために引出電圧を上げ、この電圧で電界蒸発を行なった後、引出電圧を下げ、エミッタ先端の(111)面にイオン化を集中させる技術が知られている(例えば特許文献2参照)。
また、エミッタ、エミッタ冷却手段、引出電極と、該エミッタ周辺にイオン化すべきガスを導入する手段と、該エミッタと引出電極の間に直流高電圧にパルス電圧を重畳させて印加する手段を備えた技術が知られている(例えば特許文献3参照)。
特開平7−272652号公報(段落0023〜0028、図5)
特開平7−192669号公報(段落0010〜0018、図3)
特開昭64−10548号公報(第2頁右上欄第14行〜第3頁左上欄第18行、第1図〜第3図)
従来の技術では、エミッタを高電界の下で加熱させて結晶方位のビルドアップを行ない、微細突起を製作する手法や、エミッタ先端に貴金属を蒸着又はメッキし、FIMを利用して加熱と高電界でエミッタ上に微小突起を製作する手法や、FIMにおける窒素ガス導入によりエミッタ先端をエッチングして微細突起を製作する手法等が考えられる。
従来の技術では、エミッタを加熱する場合、温度の制御が煩雑であり、また結晶方位のビルドアップは真空の残留ガスの質に左右されてしまうという問題がある。また、貴金属の蒸着やメッキにおいては、数原子層の蒸着、メッキであり、その制御が極めて難しく、特にメッキの場合にはメッキ液等の残渣が超高真空内の汚染となり、再現性に大きな問題がある。また、窒素ガスのエッチングでは、エッチング時間に多量の時間がかかる等の問題がある。
また、FIMによる電界蒸発を利用して、エミッタ先端に単一、若しくは複数の原子を取り付けるためには、再現性や極めて高い設定精度で高電圧を印加しなければならない。電界蒸発を利用したナノチップエミッタの作成では、各結晶面に対応した独自の高電圧を印加し、各結晶面の原子の整列化を行っている。
この高電圧の印加は、結晶面の原子を移動させ、再配置をするように最適に制御する必要がある。電圧値が高すぎれば原子は電界蒸発で真空中に放出されてしまう。また、電圧が低すぎると、結晶面内での再配置を行えないという問題がある。
このように、電界強度の制御により、強い電界の印加による電界蒸発と弱い電界による原子を真空外に放出させることなく原子の配置を制御し、安定な原子からの最大エミッションを得るように電界強度を下げて制御する必要がある。しかも、この過程を再現性よくかつ精度よく行わなければならない。
現在は、高電圧をマニュアルで操作し、MCP(マイクロチャネルプレート)上のエミッションパターンを観察しながら、目的とする結晶面がどの程度の電界蒸発をしているのか確認しながら、高電圧の設定を行っている。電界蒸発の状態は、観察像中の目的とする結晶面のコントラストが著しく低くなること、若しくは頻繁に原子が動き回る様子から予想できる。
しかしながら、電界蒸発中の観察では、原子の再配列は予測できても、正しく原子が再配置されたか否かは正確には判断できず、再び高電圧を下げて、電界蒸発を中止して、FIM像を観察している。即ち、現在では任意の高電圧VoでFIM像を観察し、目的とする結晶面を電界蒸発させるため、ΔV1だけ高電圧を増加させたVo+ΔV1の電圧で任意の時間、電界蒸発を実施し、その後、再びVoの電圧に戻し、原子の再配列が行われたか否かを確認し、再配列が行なわれていなければ、再度ΔV1の増加、若しくはΔV2の増加による電界蒸発を行ない、その後、再度確認のため、電圧Voに戻して観察を行なう。そして、原子からのエミッションを最適にするためには、通常のVo電圧を更に下げて設定しなければならない。
これらの操作は必要に応じ、目的とする再配列が行なわれるまで繰り返されることになる。このことは、装置を操作する人間には極めて煩わしいことである。
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであって、第1に各結晶面に合わせた高圧印加電圧を設定し、制御することにより最終的に単一若しくは複数個の原子をエミッタ先端部に配置する手法を実現することを目的とし、第2にΔVをVoの高圧に重畳させ、ΔVの幅を任意に設定し、かつ時間と共に変化させて電界蒸発を行ない、原子の再配置を確実なものにする手法を実現することを目的としている。
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであって、第1に各結晶面に合わせた高圧印加電圧を設定し、制御することにより最終的に単一若しくは複数個の原子をエミッタ先端部に配置する手法を実現することを目的とし、第2にΔVをVoの高圧に重畳させ、ΔVの幅を任意に設定し、かつ時間と共に変化させて電界蒸発を行ない、原子の再配置を確実なものにする手法を実現することを目的としている。
(1)請求項1記載の発明は、タングステンエミッタの外側の結晶面から内側の結晶面へと順次高い電圧から低い電圧を引出電極に印加し、その都度各結晶面で電界蒸発を行なうことを特徴とする。
(2)請求項2記載の発明は、タングステンエミッタでの各結晶面に適宜な引出電圧を順次印加して電界蒸発を行なう場合において、以下の工程で行なうことを特徴とする。
1)タングステンエミッタに電圧V1を印加し、結晶面(110)の原子の電界蒸発を行なう
2)タングステンエミッタに電圧V2(<V1)を印加し、結晶面(211)の原子の電界蒸発を行なう
3)タングステンエミッタに電圧V3(<V2)を印加し、結晶面(221)の原子の電界蒸発を行なう
4)タングステンエミッタに電圧V4(<V3)を印加し、結晶面(111)の原子の電界蒸発を行なう
5)タングステンエミッタに電圧V5(<V4)を印加し、結晶面(111)の原子の電界蒸発を行なう
6)タングステンエミッタに電圧V6(<V5)を印加し、結晶面(111)の原子の電界蒸発を行なう
(3)請求項3記載の発明は、タングステンエミッタへの引出電圧を、引出電極に任意の時間幅で掃引印加することにより、最適な電界蒸発に基づく原子の再配列を行なうようにしたことを特徴とする。
1)タングステンエミッタに電圧V1を印加し、結晶面(110)の原子の電界蒸発を行なう
2)タングステンエミッタに電圧V2(<V1)を印加し、結晶面(211)の原子の電界蒸発を行なう
3)タングステンエミッタに電圧V3(<V2)を印加し、結晶面(221)の原子の電界蒸発を行なう
4)タングステンエミッタに電圧V4(<V3)を印加し、結晶面(111)の原子の電界蒸発を行なう
5)タングステンエミッタに電圧V5(<V4)を印加し、結晶面(111)の原子の電界蒸発を行なう
6)タングステンエミッタに電圧V6(<V5)を印加し、結晶面(111)の原子の電界蒸発を行なう
(3)請求項3記載の発明は、タングステンエミッタへの引出電圧を、引出電極に任意の時間幅で掃引印加することにより、最適な電界蒸発に基づく原子の再配列を行なうようにしたことを特徴とする。
(4)請求項4記載の発明は、タングステンエミッタの引出電極への引出電圧の印加を、Vo+ΔVからVo−ΔVへ変化させ、変化させた状態でVo−ΔVの状態を所定時間保持することを繰り返して、Vo+ΔVで電界蒸発による原子再配列を行ない、Vo−ΔVの状態で所定時間保持することにより、エミッタを構成する原子の配列を安定化することを特徴とする。
(5)請求項5記載の発明は、請求項4において、掃引時のエミッション電流を測定して引出電極への引出電圧を求め、制御装置から引出電圧電源を制御してVo+ΔV及びVo−ΔVを自動的に引出電極に印加して原子の配列を安定化させるようにしたことを特徴とする。
(1)請求項1記載の発明によれば、各結晶面に合わせた高圧印加電圧を設定し、制御することにより最終的に単一若しくは複数個の原子をエミッタ先端部に配置することができる。
(2)請求項2記載の発明によれば、各結晶面に合わせた高圧印加電圧を漸次下げていくようにすることで、最終的に単一若しくは複数個の原子をエミッタ先端部に配置することができる。
(3)請求項3記載の発明によれば、電圧変化量を基準の高圧に重畳させ、電圧の変化量の幅を任意に設定し、かつ時間と共に変化させて電界蒸発を行ない、原子の再配置を確実なものにすることができる。
(4)請求項4記載の発明によれば、タングステンエミッタの引出電極への引出電圧の印加を、Vo+ΔVからVo−ΔVへ変化させ、変化させた状態でVo−ΔVの状態を所定時間保持することを繰り返して原子再配列を行なうので、原子の再配置を確実なものにすることができる。
(5)請求項5記載の発明によれば、タングステンエミッタの原子の再配置を自動で行なうことができる。
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。
(第1の実施の形態)
図1に示されたFIM(電界イオン顕微鏡)を用いて本発明方法の一実施の形態を説明する。以降、タングステンをWと表すことにする。
(第1の実施の形態)
図1に示されたFIM(電界イオン顕微鏡)を用いて本発明方法の一実施の形態を説明する。以降、タングステンをWと表すことにする。
1)200nm程度の先端径を持つW(111)エミッタを超高真空で真空排気した後、Heガスを10-3Pa程度導入し、エミッタ1に正の高電圧を徐々に印加すると、エミッタ1に吸着されていた吸着ガス分子が電界により放出され、MCP9上ではランダムなスポットが表示される。これを一般にフィールドデソープションと呼ぶ。
更に、印加電圧を上昇させると、エミッタ1内の原子が外部からの強電界の作用により移動し、原子のマイグレーション(移動)が行なわれる。結晶内に欠陥などがある場合は、この作用により修正が可能となる。更に、印加電圧を上げることにより、結晶内を動き回っていた原子はこの強い外部電界によりエミッタ1から真空中に放出され、タングステン原子の電界蒸発が行なわれる。
このように、高電圧印加によるエミッタ近傍での電界を制御することにより、エミッタ表面の吸着物の放出、結晶面内での原子の再配置又はエミッタ1を構成している原子を蒸発させることができる。これら一連の過程は、MCP9上でエミッションパターンとして観察され、MCP上でのエミッションパターンを観察しながら、既に示したエミッタ1の各結晶面の原子をそれぞれ固有の高電圧値で電界蒸発と各結晶面内での原子のマイグレーションを制御することにより、最終的に[111]軸上にタングステンの単一原子、若しくは3個の原子、更に若しくは6個の原子配置をさせることができる。
2)先ず最初は、先に述べた{110}面上の原子を整列させるため、{110}面上の原子が電界蒸発を行なう電圧V1を印加する。電界蒸発が行なわれると、MCP9上には{110}面上の原子が激しく動き回ると共に、各{110}面の外周の原子は{110}面の中心に向かって移動し、中心に来た後、真空中に放出される様子が観察できる。この観察を行ないながら電圧V1を設定し、その結果{110}面の原子が整列される。
図1は本発明によるFIM像を示す図であり、(A)〜(F)が示されている。この図は本発明の一実施形態におけるディスプレイ上に表示した表示画面中のメイン画面の一例を中間調画像の写真で示す図である(図2、図9についても同じ)。図1の(A)は{110}面の電界蒸発をV1=23KVで実施した後に、電圧を21KVに下げて観察したFIM像である。{110}面の面が明確に識別されていることが分かる。と同時に、{211}面の領域が霞んで観察されており、このことは現在のV2=21KVで{211}面が電界蒸発中であることが分かる。
3)次に{110}面の内側の{211}面の原子の整列を行なうために、先のV1よりも低い電圧V2を印加し、{211}面の電界蒸発を行ない、{211}面での原子の整列を行なう。この場合についても同様に、前記2)の如くMCP9上で各{211}面の外周の原子は、{211}面の中心に向かって移動し、その後真空外に放出される様子を観察しながら電圧V2を設定する。
先に示した図1の(A)では、電圧を先の電圧V1よりも低い21KVに設定したために、既に{211}面の電界蒸発が開始されていることが、{211}面の領域が霞みがかかったように観察されていることから容易に判断することができる。
4)同様に、先のV2よりも低い電圧V3を印加し、先の{211}面の内側に位置する{221}面の電界蒸発を行なう。V3の電圧の設定は手、先と同様にMCP9上でのパターンの観察で{221}面の領域が電界蒸発で霞んで見えることで最適な電圧値に設定することができる。図1の(B)は、V3=17KVで観察されたFIM像であり、既に{211}面がクリアにされ、{221}面の領域がぼけていることより、{221}面での電界蒸発が進行中であることが分かる。
5)更に、先の印加電圧V3よりも低い電圧V4を印加させて(111)面の原子の電界蒸発を上記と同様に実施する。これにより図8で示される(111)面上に単一、若しくは3個、更に6個の原子を配置させるべくV4の電圧の設定を行なう。図1の(C)は、V4を14KVに設定し、(111)面の電界蒸発を実施したFIM像である。この場合においても、MCP9上のFIM像を観察しながら最適な電圧V4を設定する。
図1の(D)は、その結果、電圧を14KVで電界蒸発を行なった後、得られたFIM像であり、(111)面上に6個の原子が観察されていることが分かる。
6)更に、先の印加電圧V4より低い電圧V5を印加させて、同様に先の6個の原子の上層3個原子を同様な手法で作成することができる。図1の(E)は電圧を13KVで電界蒸発を行なった後得られたFIM像であり、図8で見られる3つの原子像が観察されている。
6)更に、先の印加電圧V4より低い電圧V5を印加させて、同様に先の6個の原子の上層3個原子を同様な手法で作成することができる。図1の(E)は電圧を13KVで電界蒸発を行なった後得られたFIM像であり、図8で見られる3つの原子像が観察されている。
7)更に、先の印加電圧V5より低い電圧V6を設定することにより、単一原子を配置することができる。図1の(F)は12KVで電界蒸発を行なった後得られた単一原子像である。
8)このように、逐次タングステンエミッタに印加される電圧を変化させて、電界蒸発を行なうことにより、エミッタ1の各結晶面にある原子をエミッタ先端部にマイグレーションさせ、単原子若しくは複数原子レベルでの荷電粒子の光源を作成すると共に破損したエミッタの再生を行なうことができる。
このように、実施の形態1によれば、各結晶面に合わせた高圧印加電圧を設定し、制御することにより最終的に単一若しくは複数個の原子をエミッタ先端部に配置することができる。また、各結晶面に合わせた高圧印加電圧を漸次下げていくようにすることで、最終的に単一若しくは複数個の原子をエミッタ先端部に配置することができる。
(第2の実施の形態)
図9は(111)方位の単結晶エミッタでのHeガスによるFIM像を示す図である。図9の(A)はタングステン(111)方位の単結晶エミッタでのHeガスによる理想的なFIM像である。中心の(111)結晶方位面に3個の原子が配置され、その外側に3つの{221}結晶方位による多数の原子が、更にその外側を同様に3つの{211}結晶方位の多数の原子が、そして更にその外側をやはり3つの{110}結晶方位の多数の原子が取り囲んでいることが示されている。
(第2の実施の形態)
図9は(111)方位の単結晶エミッタでのHeガスによるFIM像を示す図である。図9の(A)はタングステン(111)方位の単結晶エミッタでのHeガスによる理想的なFIM像である。中心の(111)結晶方位面に3個の原子が配置され、その外側に3つの{221}結晶方位による多数の原子が、更にその外側を同様に3つの{211}結晶方位の多数の原子が、そして更にその外側をやはり3つの{110}結晶方位の多数の原子が取り囲んでいることが示されている。
特に注目すべき点は、エミッタ先端部に位置する(111)結晶面の原子の数であり、エミッタ先端部は物理的理想状態では、図8に示したように、最上面には1個、その下の2層目には3個、そしてその下の3層目には10個が配置される。本発明では、この(111)面上に配置された単一若しくは3個の原子を、極めて小さい光源サイズで、かつ極めて高い輝度を持つイオン光源として使用することを目的とするものである。
しかしながら、通常のFIM実験では、必ずしも先に述べたように(111)面頂上に単一若しくは3個の原子が配置されるとは限らず、電界蒸発での電圧の印加状態、エミッタ近傍の真空の質などの実験条件の違いにより、図9の(B)で示されるように、頂上や2層目の原子が電界蒸発で飛ばされて、3層目や4層目の多数の原子が最上面に配置される構造をとることが多々ある。
図9の(B)は同じエミッタによるパターンであるが、異なる時期に観察されたため、観察カメラの位置がずれたことによりパターンが回転し、倍率も異なって示されている。このような場合、これらを光源として使用すると、光源サイズが大きくなると共に、輝度が大幅に減少して使用に最適な状態が得られなくなる。このように、光源として使用するためには、(111)面上に単一若しくは3個の原子を再現性よく配置させることが極めて重要である。そのために、エミッタへの印加電圧を微妙にかつ精度よく制御して、原子の再配列を行なうことが本発明の主旨である。本発明では、このFIM装置を使用してエミッタ先端の原子構造を観察し、印加電圧を微小に制御して先端の原子の配列をコントロールするものである。
図2は(111)面の頂上に3個の原子が配置されるように引出電圧を制御した一連の結果を示す図である。図2のそれぞれのパターンに対応した引出電圧が図3の電圧印加のグラフに示されている。図3は引出電圧印加の様子を示す図である。横軸は時間、縦軸は引出電圧である。
図2の(A)は引出電圧12KVで得られたFIM像である。円で示された(111)の中央は、少なくとも3個以上の原子らしきものが観察されているが、その数は定かでないことが分かる。これは、図3のVo=12KVの(A)状態に対応する。図2の(B)は、引出電圧を更に12.65KVに増加した時のFIM像であり、(111)の中心部の原子が強い電界により動き回り、中心部が像ボケとなっていることが分かる。これは、図3の(B)の電圧で電界印加が行われていることに対応する。
この処理の終了後、引出電圧を元の12KV値に戻した図3の(C)の位置で、FIMの観察を行なった結果が、図2の(C)に示されており、(111)の中央には4個の原子が集まっていることが分かる。(111)上に3個の原子を配置させるためには、再度強い電界印加を行わなければならない。図3の(D)の電圧を12.7KVに増加させ、先よりも強い電界印加を行なう。
この状態は、図2の(D)に対応しており、先と同様に(111)の中心がボケて観察されており、強い電圧印加のため、原子が移動若しくは電界蒸発が行われていることが分かる。図3の(E)に示された、12KVの電圧に戻して観察された時のFIM像は、図2の(E)に示されており、(111)の中央に三角形らしき構造が観察され、3個の原子によるトリマが形成されたことを予想させている。
次に、図3の(F)で示されるように電圧を11.5KVに下げると、もはや電界蒸発や原子の移動は起こらず、図2の(F)に示されるように(111)面の中心に3個の原子がきれいに観察される。そして、更に図3の(G)に示されるような状態の9.53KVでは、図2の(G)で示される(111)面上の3個の原子の輝度が周りの他の結晶面に比べて、際だって明るくなった状態で示されている。
このように、単一若しくは複数個の原子を再配置させて作成するナノチップエミッタでは、電界印加を正確に制御するため、印加電圧の精度よい制御、再現性及び印加電圧の上下特性が極めて重要となる。この実施の形態によれば、電圧変化量を基準の高圧に重畳させ、電圧の変化量の幅を任意に設定し、かつ時間と共に変化させて所定の時間幅での電界蒸発を行ない、原子の再配置を確実なものにすることができる。
また、タングステンエミッタの引出電極への引出電圧の印加を、Vo+ΔVからVo−ΔVへ変化させ、変化させた状態でVo−ΔVの状態を所定時間保持することを繰り返して原子再配列を行なうので、原子の再配置を確実なものにすることができる。
図4は本発明の一実施の形態の要部を示す図である。図6と同一のものは、同一の符号を付して示す。図において、1はエミッタ、5は引出電極、6は該引出電極5に引出電圧を印加する引出電圧電源、20は引出電圧電源6の制御を行なうパソコン(PC)、22はエミッタ1からのエミッション電流を検出するエミッション電流検出器、21は該エミッション電流検出器22の出力を受けてエミッション電流を測定する電流計で、その出力は前記PC20に通知される。このように構成された装置の動作を説明すれば、以下の通りである。
イオンは引出電極5に印加された引出電圧電源6で加速され、イオンビームのエミッションが行なわれる。(111)面上からのエミッション電流は、エミッション電流検出器22で検出され、電流計21を通してPC20に接続されている。上記引出電圧電源6は、パソコン20で制御され、引出電圧によるエミッション電流値が記録され、最適なエミッションが得られるように引出電圧が制御される。
図5は引出電圧制御の様子を示す図である。横軸は時間、縦軸は引出電圧である。清浄な(111)エミッタに電圧Voを印加した後、電圧を予め指定された上昇ステップで電圧ΔV1だけ増加させ、Vo+ΔV1とし、(111)面上での原子の移動を行わせ、その後電圧を予め指定された下降ステップΔV2だけ下降させ、Vo+ΔV1−ΔV2とし、この状態でエミッション電流Ioを測定する。具体的には、エミッション電流検出器22(図4参照)でエミッション電流を検出する。
PC20はこのエミッション電流Ioを、予め指定されている目標のエミッション電流Ikと比較する。さして、IoがIkより小さければ更にΔV2だけ下降させ、同様にエミッション電流Ioを測定し、Ikと比較する。IoがIkになるまで予め指定された回数N回まで繰り返す。
目標のIkが得られない場合には、再度元に戻り、電圧を上昇させて原子を移動させる際に電圧をVo+ΔV1とし、以下同様に電圧の下降とIoの測定と比較を繰り返す。このような制御動作を行なうことにより、タングステンエミッタの原子の再配置を自動で行なうことができる。
以上、説明したように、本発明によれば、エミッタへの印加電圧を各結晶面に合わせて電界蒸発を実施し、エミッタ表面のクリーニングと各結晶面内での原子の再配列を行ない、(111)面内の[111]軸上に単一若しくは3個若しくは6個の原子を配置したイオン源とすることができる。
また、エミッタ先端に原子を配置させるに当たり、外部からの電界強度を正確にかつ再現性よく制御させ、原子の結晶内での移動、更に強い電界での電界蒸発を行なう過程で、高電圧を任意の幅の範囲内で電気的に走査させることにより、最適な電界蒸発、原子の再配列を実現させると共に、エミッションの最高値を容易に得ることができる。
1 エミッタ
5 引出電極
6 引出電圧電源
20 パソコン(PC)
21 電流計
22 エミッション電流検出器
5 引出電極
6 引出電圧電源
20 パソコン(PC)
21 電流計
22 エミッション電流検出器
Claims (5)
- タングステンエミッタの外側の結晶面から内側の結晶面へと順次高い電圧から低い電圧を引出電極に印加し、その都度各結晶面で電界蒸発を行なうことを特徴とするナノチップエミッタ作製方法。
- タングステンエミッタでの各結晶面に適宜な引出電圧を順次印加して電界蒸発を行なう場合において、以下の工程で行なうことを特徴とする請求項1記載のナノチップエミッタ作製方法。
1)タングステンエミッタに電圧V1を印加し、結晶面(110)の原子の電界蒸発を行なう
2)タングステンエミッタに電圧V2(<V1)を印加し、結晶面(211)の原子の電界蒸発を行なう
3)タングステンエミッタに電圧V3(<V2)を印加し、結晶面(221)の原子の電界蒸発を行なう
4)タングステンエミッタに電圧V4(<V3)を印加し、結晶面(111)の原子の電界蒸発を行なう
5)タングステンエミッタに電圧V5(<V4)を印加し、結晶面(111)の原子の電界蒸発を行なう
6)タングステンエミッタに電圧V6(<V5)を印加し、結晶面(111)の原子の電界蒸発を行なう - タングステンエミッタへの引出電圧を、引出電極に任意の時間幅で掃引印加することにより、最適な電界蒸発に基づく原子の再配列を行なうようにしたことを特徴とするナノチップエミッタ作製方法。
- タングステンエミッタの引出電極への引出電圧の印加を、Vo+ΔVからVo−ΔVへ変化させ、変化させた状態でVo−ΔVの状態を所定時間保持することを繰り返して、Vo+ΔVで電界蒸発による原子再配列を行ない、Vo−ΔVの状態で所定時間保持することにより、エミッタを構成する原子の配列を安定化することを特徴とする請求項3記載のナノチップエミッタ作製方法。
- 請求項4において、掃引時のエミッション電流を測定して引出電極への引出電圧を求め、制御装置から引出電圧電源を制御してVo+ΔV及びVo−ΔVを自動的に引出電極に印加して原子の配列を安定化させるようにしたことを特徴とするナノチップエミッタ作製方法。
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